JP3132109B2 - ２ポートｓａｗ共振子 - Google Patents
２ポートｓａｗ共振子Info
- Publication number
- JP3132109B2 JP3132109B2 JP03324487A JP32448791A JP3132109B2 JP 3132109 B2 JP3132109 B2 JP 3132109B2 JP 03324487 A JP03324487 A JP 03324487A JP 32448791 A JP32448791 A JP 32448791A JP 3132109 B2 JP3132109 B2 JP 3132109B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- comb
- transducer
- shaped
- saw resonator
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波を用いた２ポ
ートＳＡＷ共振子の電極構造に関する。
ートＳＡＷ共振子の電極構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の２ポートＳＡＷ共振子の電極構造
としては、例えば、米国特許３８８６５０４号公報、又
は特開昭６１−２８１６１２号公報等に記載されてい
る。これらはいずれも弾性表面波を励振し又検出する２
つのくし歯状変換器（以降ＩＤＴと呼ぶ）と、その両側
に配置したグレーティング反射器とからなる。
としては、例えば、米国特許３８８６５０４号公報、又
は特開昭６１−２８１６１２号公報等に記載されてい
る。これらはいずれも弾性表面波を励振し又検出する２
つのくし歯状変換器（以降ＩＤＴと呼ぶ）と、その両側
に配置したグレーティング反射器とからなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術では２ポートＳＡＷ共振子を発振回路に組み込んでＳ
ＡＷ発振器を実現するに際して、２ポートＳＡＷ共振子
の出力（検出）ポートの終端条件によっては２ポート共
振子の共振条件が変化して共振現象が不安定となり易い
という問題点があった。そこで本発明はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところは、共振安
定性の優れた２ポートＳＡＷ共振子を作成し周波数安定
性の優れたＵＨＦ帯のＳＡＷ発振器を市場に提供するこ
とにある。
術では２ポートＳＡＷ共振子を発振回路に組み込んでＳ
ＡＷ発振器を実現するに際して、２ポートＳＡＷ共振子
の出力（検出）ポートの終端条件によっては２ポート共
振子の共振条件が変化して共振現象が不安定となり易い
という問題点があった。そこで本発明はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところは、共振安
定性の優れた２ポートＳＡＷ共振子を作成し周波数安定
性の優れたＵＨＦ帯のＳＡＷ発振器を市場に提供するこ
とにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の２ポートＳＡＷ
共振子は、圧電体平板上にくし歯状変換器とこのくし歯
状変換器を挟む一対の反射器を形成した２ポートＳＡＷ
共振子において、前記反射器と前記くし歯状変換器は周
期的に配置された金属導体ストリップにより形成され、
前記反射器と前記くし歯状変換器の最も近接した前記金
属導体ストリップの間隔を前記くし歯状変換器のスペー
ス幅にほぼ等しくし、前記くし歯状変換器の放射コンダ
クタンスの最大値を与える周波数と前記反射器の反射中
心周波数をほぼ一致させ、前記くし歯状変換器のトータ
ル反射係数を０．８以上とし、前記くし歯状変換器を二
つ以上の入力側くし歯状変換器と二つ以上の出力側くし
歯状変換器とに分割するとともに、前記入力側くし歯状
変換器と前記出力側くし歯状変換器とを交互に配置した
ことを特徴とする。また、前記反射器のライン幅対スペ
ース幅比をほぼ１とし、前記くし歯状変換器のライン幅
対スペース幅比を１以上としたことを特徴とする。さら
に、前記入力側くし歯状変換器の接地電位側に属する電
極指と前記出力側くし歯状変換器の接地電位側に属する
電極指とを弾性表面波の伝搬路を横断する接続導体によ
り接続し、この接続導体の幅を前記くし歯状変換器のラ
イン幅の整数倍とし、かつ、前記接続導体の両側のスペ
ース幅を前記くし歯状変換器のスペース幅の整数倍とし
たことを特徴とする。
共振子は、圧電体平板上にくし歯状変換器とこのくし歯
状変換器を挟む一対の反射器を形成した２ポートＳＡＷ
共振子において、前記反射器と前記くし歯状変換器は周
期的に配置された金属導体ストリップにより形成され、
前記反射器と前記くし歯状変換器の最も近接した前記金
属導体ストリップの間隔を前記くし歯状変換器のスペー
ス幅にほぼ等しくし、前記くし歯状変換器の放射コンダ
クタンスの最大値を与える周波数と前記反射器の反射中
心周波数をほぼ一致させ、前記くし歯状変換器のトータ
ル反射係数を０．８以上とし、前記くし歯状変換器を二
つ以上の入力側くし歯状変換器と二つ以上の出力側くし
歯状変換器とに分割するとともに、前記入力側くし歯状
変換器と前記出力側くし歯状変換器とを交互に配置した
ことを特徴とする。また、前記反射器のライン幅対スペ
ース幅比をほぼ１とし、前記くし歯状変換器のライン幅
対スペース幅比を１以上としたことを特徴とする。さら
に、前記入力側くし歯状変換器の接地電位側に属する電
極指と前記出力側くし歯状変換器の接地電位側に属する
電極指とを弾性表面波の伝搬路を横断する接続導体によ
り接続し、この接続導体の幅を前記くし歯状変換器のラ
イン幅の整数倍とし、かつ、前記接続導体の両側のスペ
ース幅を前記くし歯状変換器のスペース幅の整数倍とし
たことを特徴とする。
【０００５】
【実施例】図１は本発明の２ポートＳＡＷ共振子がもつ
電極構造の実施例を示す平面図である。図１により本発
明の構成を詳しく説明する。まず最初に図１中の各部位
の名称を列記すると、１００は圧電体平板、１０１は交
流電源、１０２と１０３は２ポートＳＡＷ共振子の入力
端子、１０４と１０５は出力端子、１０６は出力端子に
接続した終端負荷となる抵抗、１０７と１０８は金属導
体ストリップを多数平行配置して両端を接続してなる反
射器（グレーティング反射器）、１０９と１１０はＩＤ
Ｔの接地電位側導体、１１２は接続導体、１１３は入力
側ＩＤＴ、１１４は出力側ＩＤＴである。
電極構造の実施例を示す平面図である。図１により本発
明の構成を詳しく説明する。まず最初に図１中の各部位
の名称を列記すると、１００は圧電体平板、１０１は交
流電源、１０２と１０３は２ポートＳＡＷ共振子の入力
端子、１０４と１０５は出力端子、１０６は出力端子に
接続した終端負荷となる抵抗、１０７と１０８は金属導
体ストリップを多数平行配置して両端を接続してなる反
射器（グレーティング反射器）、１０９と１１０はＩＤ
Ｔの接地電位側導体、１１２は接続導体、１１３は入力
側ＩＤＴ、１１４は出力側ＩＤＴである。
【０００６】１００の圧電体平板は、水晶、ＬｉＴａＯ
3 、ＬｉＮｂＯ3 、等に代表される圧電材料の表面を鏡
面研磨仕上げ状態として用いられる。１０１の交流電源
は前記励振用ＩＤＴの正電極と負電極に接続して弾性表
面波（ＳＡＷ）を発生させる。１０６の終端負荷抵抗
は、前記２ポートＳＡＷ共振子の出力端に接続するトラ
ンジスタの入力インピーダンス等を代表する。１０７及
び１０８、１１３、１１２、１１４等の導体パターン
は、前記１００上に、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の金属
薄膜を蒸着又はスパッタ等の手段で形成した後、フォト
リソグラフィー等の手段で微細パターンを形成してな
る。本発明の２ポートＳＡＷ共振子にあっては、前記反
射器１０７、１０８及びＩＤＴを次の１ポートＳＡＷ共
振子の構成とした後、修正して作成する。まず反射器１
０７と１０８の導体ストリップの配列周期ＰR は発生す
る弾性表面波の波長λのほぼ１／２とする（図１中のＰ
R ＝ＳR＋ｌR ）。さらに導体幅ｌR と導体間隔ＳR の
比ｌR ／ＳR をほぼ１とする。一方前記ＩＤＴの導体配
列周期ＰTは、前記反射器が作る弾性表面波の反射特性
の最大値を与える周波数とＩＤＴの放射コンダクタンス
特性の最大値が一致するよう設定される（図１中のＰT
＝ｌT ＋ＳT である。）例えば、圧電体平板１００がＳ
Ｔカット水晶板であり、反射器とＩＤＴの導体金属がＡ
ｌである場合には前記ＰR とＰT の比として、ＰR ／Ｐ
T＝１．００２〜１．０２程度にとられる。さらに又前
記ＩＤＴの導体幅ｌT と導体間の間隔をＳT として、反
射器とＩＤＴの最も近接した導体間の距離を前記ＳT と
なるようにして１ポートＳＡＷ共振子を構成する。又、
ｌT ／ＳT の比は１以下でも良いが１以上である方が、
１ポートＳＡＷ共振子の直列共振抵抗を低減できる。さ
らに又前記１ポートＳＡＷ共振子は、一体であるＩＤＴ
の総対数Ｍと反射器の導体数Ｎの比Ｍ／Ｎを１．０〜
２．０として、Ｑ値を最大としている他、ＩＤＴの正電
極と負電極を１対としてＭ対とした時に一体化したＩＤ
Ｔのトータルな反射係数Γを次式のように定義した上で
０．８以上としたいわゆるエネルギー閉込型ＳＡＷ共振
子を実現する。
3 、ＬｉＮｂＯ3 、等に代表される圧電材料の表面を鏡
面研磨仕上げ状態として用いられる。１０１の交流電源
は前記励振用ＩＤＴの正電極と負電極に接続して弾性表
面波（ＳＡＷ）を発生させる。１０６の終端負荷抵抗
は、前記２ポートＳＡＷ共振子の出力端に接続するトラ
ンジスタの入力インピーダンス等を代表する。１０７及
び１０８、１１３、１１２、１１４等の導体パターン
は、前記１００上に、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の金属
薄膜を蒸着又はスパッタ等の手段で形成した後、フォト
リソグラフィー等の手段で微細パターンを形成してな
る。本発明の２ポートＳＡＷ共振子にあっては、前記反
射器１０７、１０８及びＩＤＴを次の１ポートＳＡＷ共
振子の構成とした後、修正して作成する。まず反射器１
０７と１０８の導体ストリップの配列周期ＰR は発生す
る弾性表面波の波長λのほぼ１／２とする（図１中のＰ
R ＝ＳR＋ｌR ）。さらに導体幅ｌR と導体間隔ＳR の
比ｌR ／ＳR をほぼ１とする。一方前記ＩＤＴの導体配
列周期ＰTは、前記反射器が作る弾性表面波の反射特性
の最大値を与える周波数とＩＤＴの放射コンダクタンス
特性の最大値が一致するよう設定される（図１中のＰT
＝ｌT ＋ＳT である。）例えば、圧電体平板１００がＳ
Ｔカット水晶板であり、反射器とＩＤＴの導体金属がＡ
ｌである場合には前記ＰR とＰT の比として、ＰR ／Ｐ
T＝１．００２〜１．０２程度にとられる。さらに又前
記ＩＤＴの導体幅ｌT と導体間の間隔をＳT として、反
射器とＩＤＴの最も近接した導体間の距離を前記ＳT と
なるようにして１ポートＳＡＷ共振子を構成する。又、
ｌT ／ＳT の比は１以下でも良いが１以上である方が、
１ポートＳＡＷ共振子の直列共振抵抗を低減できる。さ
らに又前記１ポートＳＡＷ共振子は、一体であるＩＤＴ
の総対数Ｍと反射器の導体数Ｎの比Ｍ／Ｎを１．０〜
２．０として、Ｑ値を最大としている他、ＩＤＴの正電
極と負電極を１対としてＭ対とした時に一体化したＩＤ
Ｔのトータルな反射係数Γを次式のように定義した上で
０．８以上としたいわゆるエネルギー閉込型ＳＡＷ共振
子を実現する。
【０００７】
【数１】
【０００８】但しここで、ＭはＩＤＴ対数、ａは電極１
本当たりの弾性表面波の反射係数、Ｈは導体膜厚、λは
弾性表面波の波長である。例えば前記ＳＴカット水晶板
でＡｌ導体で形成されたＩＤＴであればＭが８０以上あ
れば充分に良好なＱ値をもつ１ポートＳＡＷ共振子を構
成できる。このときのΓ＝２．４４８程度である。本発
明の２ポートＳＡＷ共振子にあっては、前述の１ポート
ＳＡＷ共振子のＩＤＴ電極を電極の座標配置をそのまま
にして、複数個の入力と出力ＩＤＴに分割した上で、接
地電位側の電極群を接続導体で接続して２ポートＳＡＷ
共振子を構成している。前記ＩＤＴの分割の仕方につい
て種々の条件で試作して、共振周波数の安定性を検討し
た結果、入力及び出力ＩＤＴの数を各々２つ以上の複数
個の多数とする方が良く、その配列は、反射器側から順
に入力ＩＤＴ、出力ＩＤＴ、入力ＩＤＴ・・・が又はこ
の逆の出力ＩＤＴ、入力ＩＤＴ、出力ＩＤＴ・・・の順
に交互に配置する。この際に前述した通りＩＤＴの電極
指の位置座標は前述の１ポートＳＡＷ共振子の位置を保
つものとする。次にこのように分割された多数のＩＤＴ
の接地側に属する電極指を導体１０９、１１０等で接続
した後、さらに、弾性表面波の伝播路を横断して形成し
た接続導体１１２を用いて１０９と１１０等を相互に接
続する。この接続導体は、１ポートＳＡＷ共振子として
形成された際のＩＤＴの電極指位置を保つように、もと
の電極指の位置を左右にずらして１ヶ所に集めて形成す
る方法をとるため、接続導体の幅がＩＤＴのライン幅ｌ
T の整数倍のｎｌT の寸法をもち、又、接続導体の両側
に存在するスペースはＩＤＴのスペース幅ＳT の整数倍
ｍＳT とｋＳT を有する。（但し以上のｎ、ｍ、ｋは整
数）。
本当たりの弾性表面波の反射係数、Ｈは導体膜厚、λは
弾性表面波の波長である。例えば前記ＳＴカット水晶板
でＡｌ導体で形成されたＩＤＴであればＭが８０以上あ
れば充分に良好なＱ値をもつ１ポートＳＡＷ共振子を構
成できる。このときのΓ＝２．４４８程度である。本発
明の２ポートＳＡＷ共振子にあっては、前述の１ポート
ＳＡＷ共振子のＩＤＴ電極を電極の座標配置をそのまま
にして、複数個の入力と出力ＩＤＴに分割した上で、接
地電位側の電極群を接続導体で接続して２ポートＳＡＷ
共振子を構成している。前記ＩＤＴの分割の仕方につい
て種々の条件で試作して、共振周波数の安定性を検討し
た結果、入力及び出力ＩＤＴの数を各々２つ以上の複数
個の多数とする方が良く、その配列は、反射器側から順
に入力ＩＤＴ、出力ＩＤＴ、入力ＩＤＴ・・・が又はこ
の逆の出力ＩＤＴ、入力ＩＤＴ、出力ＩＤＴ・・・の順
に交互に配置する。この際に前述した通りＩＤＴの電極
指の位置座標は前述の１ポートＳＡＷ共振子の位置を保
つものとする。次にこのように分割された多数のＩＤＴ
の接地側に属する電極指を導体１０９、１１０等で接続
した後、さらに、弾性表面波の伝播路を横断して形成し
た接続導体１１２を用いて１０９と１１０等を相互に接
続する。この接続導体は、１ポートＳＡＷ共振子として
形成された際のＩＤＴの電極指位置を保つように、もと
の電極指の位置を左右にずらして１ヶ所に集めて形成す
る方法をとるため、接続導体の幅がＩＤＴのライン幅ｌ
T の整数倍のｎｌT の寸法をもち、又、接続導体の両側
に存在するスペースはＩＤＴのスペース幅ＳT の整数倍
ｍＳT とｋＳT を有する。（但し以上のｎ、ｍ、ｋは整
数）。
【０００９】次に以上の構成により得られる本発明の２
ポートＳＡＷ共振子の共振特性（伝送特性）を図２に示
した。図２の２ポートＳＡＷ共振子は、２つの反射器と
４つの入力ＩＤＴと３つの出力ＩＤＴより構成したもの
で、共振周波数を１３０ＭＨｚとしている。図２中の横
軸は周波数であり縦軸は、動作減衰量ＳB （２０１）と
伝送位相量（２０２）φを同一図中に表示した。図２の
例にあっては、φが０度を中心に±９０°変化する同相
型を示したが、１８０°中心に±９０°変化する逆相型
も入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの接続の仕方により実現でき
ることも付け加える。
ポートＳＡＷ共振子の共振特性（伝送特性）を図２に示
した。図２の２ポートＳＡＷ共振子は、２つの反射器と
４つの入力ＩＤＴと３つの出力ＩＤＴより構成したもの
で、共振周波数を１３０ＭＨｚとしている。図２中の横
軸は周波数であり縦軸は、動作減衰量ＳB （２０１）と
伝送位相量（２０２）φを同一図中に表示した。図２の
例にあっては、φが０度を中心に±９０°変化する同相
型を示したが、１８０°中心に±９０°変化する逆相型
も入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの接続の仕方により実現でき
ることも付け加える。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、２ポ
ートＳＡＷ共振子に於て、弾性表面波を励振する入力Ｉ
ＤＴが、多数一様に共振子の長手方向に分布して存在し
ているため、出力ＩＤＴの終端負荷条件の多少の変化に
対して、出力ＩＤＴの電極指が弾性表面波を反射する程
度が多少変化しても、大きく共振振幅が変化することが
ないため、安定な共振現象が維持できＵＨＦ帯の発振器
に使用して周波数の安定性が実現できる。
ートＳＡＷ共振子に於て、弾性表面波を励振する入力Ｉ
ＤＴが、多数一様に共振子の長手方向に分布して存在し
ているため、出力ＩＤＴの終端負荷条件の多少の変化に
対して、出力ＩＤＴの電極指が弾性表面波を反射する程
度が多少変化しても、大きく共振振幅が変化することが
ないため、安定な共振現象が維持できＵＨＦ帯の発振器
に使用して周波数の安定性が実現できる。
【図１】本発明の２ポートＳＡＷ共振子の一実施例を示
す平面図。
す平面図。
【図２】本発明の２ポートＳＡＷ共振子が示す伝送特性
を示す特性図。
を示す特性図。
１００ 圧電体平板 １０７、１０８ 反射器 １１３ 入力ＩＤＴ １１４ 出力ＩＤＴ １１２ 接続導体 １０１ 交流電源 １０６ 終端負荷抵抗
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/25
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電体平板上にくし歯状変換器とこのく
し歯状変換器を挟む一対の反射器を形成した２ポートＳ
ＡＷ共振子において、 前記反射器と前記くし歯状変換器は周期的に配置された
金属導体ストリップにより形成され、前記反射器と前記
くし歯状変換器の最も近接した前記金属導体ストリップ
の間隔を前記くし歯状変換器のスペース幅にほぼ等しく
し、前記くし歯状変換器の放射コンダクタンスの最大値
を与える周波数と前記反射器の反射中心周波数をほぼ一
致させ、前記くし歯状変換器のトータル反射係数を０．
８以上とし、前記くし歯状変換器を二つ以上の入力側く
し歯状変換器と二つ以上の出力側くし歯状変換器とに分
割するとともに、前記入力側くし歯状変換器と前記出力
側くし歯状変換器とを交互に配置したことを特徴とする
２ポートＳＡＷ共振子。 - 【請求項２】 前記反射器のライン幅対スペース幅比を
ほぼ１とし、前記くし歯状変換器のライン幅対スペース
幅比を１以上としたことを特徴とする請求項１記載の２
ポートＳＡＷ共振子。 - 【請求項３】 前記入力側くし歯状変換器の接地電位側
に属する電極指と前記出力側くし歯状変換器の接地電位
側に属する電極指とを弾性表面波の伝搬路を横断する接
続導体により接続し、この接続導体の幅を前記くし歯状
変換器のライン幅の整数倍とし、かつ、前記接続導体の
両側のスペース幅を前記くし歯状変換器のスペース幅の
整数倍としたことを特徴とする請求項１又は２記載の２
ポートＳＡＷ共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03324487A JP3132109B2 (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | ２ポートｓａｗ共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03324487A JP3132109B2 (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | ２ポートｓａｗ共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05160665A JPH05160665A (ja) | 1993-06-25 |
| JP3132109B2 true JP3132109B2 (ja) | 2001-02-05 |
Family
ID=18166358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03324487A Expired - Fee Related JP3132109B2 (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | ２ポートｓａｗ共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3132109B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996010293A1 (fr) * | 1994-09-29 | 1996-04-04 | Seiko Epson Corporation | Dispositif a ondes acoustiques de surface |
| US6160339A (en) * | 1997-07-17 | 2000-12-12 | Seiko Epson Corporation | Two-port saw resonator |
-
1991
- 1991-12-09 JP JP03324487A patent/JP3132109B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| １９８９年電子情報通信学会春季講演論文集［分冊１］，１９８９年３月、ｐ．１−２２３ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05160665A (ja) | 1993-06-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3139225B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3189508B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| EP0056690A2 (en) | Surface acoustic wave resonator device | |
| JP3233087B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| US7135805B2 (en) | Surface acoustic wave transducer | |
| JPH06260876A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH0969751A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPS62188512A (ja) | 表面弾性波共振器、表面弾性波共振器フイルタおよびこれらの製造方法 | |
| JP2002084162A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3341709B2 (ja) | 表面波装置及びそれを用いた通信装置 | |
| JP4014630B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3363937B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ装置 | |
| JP3379383B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3132109B2 (ja) | ２ポートｓａｗ共振子 | |
| JP3137064B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH053169B2 (ja) | ||
| JPH08204498A (ja) | 端面反射型表面波装置 | |
| JP3744479B2 (ja) | 表面波装置及び通信機 | |
| JPH09214284A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH10276062A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JPH05183378A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JP2000312125A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3307284B2 (ja) | ２ポートｓａｗ共振子 | |
| JPH04259109A (ja) | ２ポートｓａｗ共振子 | |
| JPS60140918A (ja) | 弾性表面波共振子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071124 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081124 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091124 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |