JPH09214284A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH09214284A JPH09214284A JP1451496A JP1451496A JPH09214284A JP H09214284 A JPH09214284 A JP H09214284A JP 1451496 A JP1451496 A JP 1451496A JP 1451496 A JP1451496 A JP 1451496A JP H09214284 A JPH09214284 A JP H09214284A
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Abstract
通過帯域内の振幅特性に歪みを生じることがない弾性表
面波装置の提供。 【解決手段】 圧電基板1上に二重モードの第1の2ポ
ート弾性表面波共振器2と二重モードの第2の2ポート
弾性表面波共振器3とを電気的に並列に接続すると共
に、第1の2ポート弾性表面波共振器2の共振周波数を
f1L、f1Uとし、第2の2ポート弾性表面波共振器3の
共振周波数をf2L、f2Uとしたとき、f2L<f1L<f1U
<f2Uで、これらの共振周波数における位相がこの順に
ほぼ逆相で、かつf2L〜f1L、f1L〜f1U、f1U〜f2U
の周波数差をほぼ同じくなるように構成したものであ
る。
Description
の移動体通信用フィルタに用いられる弾性表面波装置に
関する。
い通過帯域幅と急峻な肩特性をもつことが要求され、例
えば弾性表面波共振器が用いられる。
た弾性表面波装置は、二重モード(2つの共振点)を持
つ2ポート弾性表面波共振器を2つ用いて通過帯域幅が
広いフィルタを実現している。
る。同図において、1は圧電基板であり、この圧電基板
1上には、2つの2ポート弾性表面波共振器2、3が並
列的に形成され、これら2ポート弾性表面波共振器2、
3は電気的にも同相で並列に接続されている。2ポート
弾性表面波共振器2は、一対の櫛形電極を交叉してなる
入力電極4及び出力電極5と、これらの外側に設けられ
た櫛形の反射器6、6とからなる。2ポート弾性表面波
共振器3も同様に入力電極7及び出力電極8と、反射器
9、9とからなる。符号10は入力端子、11は出力端
子である。この弾性表面波装置では、入力電極4及び出
力電極5の電極指間の周期をλ1、入力電極7及び出力
電極8の電極指間の周期をλ2とし、入出力電極の交差
に寄与する最も内側の電極指の中心間距離(以下、入出
力電極間距離)をそれぞれL1、L2としたとき、 L1=(n+1.0)λ1 L2=(m+0.5)λ2 n,m:負でない整数 となるように配置することで、弾性表面波共振器2、3
の位相が互いに180゜異なるように構成されている。
面波共振器2の周波数特性101における二重モードの
低域側の共振モードの周波数f1lと、弾性表面波共振
器3の周波数特性102における二重モードの高域側の
共振モードの周波数f2uとが一致するようにλ1,λ
2を選択すると、弾性表面波共振器2、3を電気的に並
列に接続したときの周波数特性は103のようになる。
いては、図8に示す113のように、通過帯域内におい
て、周波数に対して単調減少関数になる。
弾性表面波装置12の入力側と出力側にそれぞれマッチ
ング回路13、14を接続し、入出力インピーダンスを
測定系のインピーダンス(例えば−般には50Ω)に合わ
せると、図10に示すような周波数特性が得られる。つ
まり通過帯域幅は、二重モード間の周波数差の約2倍と
なり、広い通過帯域幅を得ることができる。
波装置12においては、弾性表面波共振器2の二重モー
ドの低域側の共振モードの周波数f1Lと、弾性表面波共
振器3の二重モードの高域側の共振モードの周波数f2U
とを正確に一致させなければならない。さもなければ、
弾性表面波共振器2、3を電気的に並列に接続した場合
の周波数特性は、図11の153のようになり、f2U〜
f1Lの周波数領域において位相特性は単調減少とはなら
ず、振幅特性に歪が生じる。この歪は、図12に示すよ
うに、マッチング後においても通過帯域内に現れてお
り、所望の特性が得られない。なお、この周波数の合わ
せ精度は、数kHzオーダーで行う必要がある。
2では、通過帯域幅の拡大についても限界がある。例え
ば、通過帯域幅を広くするには、二重モード間の周波数
差を大きくする必要があるが、そのためには入出力電極
間距離を若干短くすればよい。例えば、弾性表面波共振
器2、3において、 L1=(n+0.95)λ1 L2=(m+0.45)λ2 n,m:負でない整数 となるように配置することで、図13に示すように、弾
性表面波共振器2の周波数特性201における二重モー
ド間の周波数差及び弾性表面波共振器3の周波数特性2
02における二重モード間の周波数差はそれぞれ大きく
なっている。しかしながら、弾性表面波共振器2の二重
モードの低域側にある第3の共振モード204が、弾性
表面波共振器3の二重モード間の周波数領域に入ってく
るため、弾性表面波共振器2、3を並列に接続した場合
の周波数特性は203のようになる。このとき、位相特
性は、図14に示す213のように、弾性表面波共振器
3の二重モード領域において、位相変化が単調減少とは
なっておらず、その周波数近傍において振幅特性に歪が
生じている。図15は、マッチング後の周波数特性を示
したものであるが、通過帯域内に第3の共振モードに起
因する歪が現れ、実質上、通過帯域幅を広げることはで
きない。
置では、通過帯域幅は比帯域0.17%程度が限界である。
るもう一つの問題点は、急峻な肩特性を得られないこと
である。すなわち図7において、弾性表面波共振器2の
二重モードの高域側の共振モードの周波数f1Uよりも高
い周波数領域では、弾性表面波共振器2と弾性表面波共
振器3は位相が180゜異なっている。従って、並列接
続したときの振幅特性は、両者の振幅レベルの差となる
ので、周波数f1Uよりも高い周波数領域で振幅レベルが
同じ大きさであれば、結果として大きな減衰量が得られ
る。しかしながら、従来例の場合、この周波数領域で両
者の振幅レベルの差が大きいので、減衰量はそれほど大
きくならず、急峻な肩特性を得ることができない。一
方、低域側の肩特性については、弾性表面波共振器3の
振幅レベルが、弾性表面波共振器2の振幅レベルよりも
圧倒的に大きいので、位相特性に関わらず、弾性表面波
共振器2の振幅特性が支配的となっており、このため、
並列接続後の周波数特性においても急峻な肩特性は得る
ことができない。
した従来の弾性表面波装置においては、 (1)2つの弾性表面波共振器間で共振周波数を精度よ
く調整する必要がある。別言すると、通過帯域内の振幅
特性に歪みが発生する可能性が高い。 (2)通過帯域内の振幅特性に歪を生じることなく十分
に広い通過帯域幅を得られない。 (3)急峻な肩特性は得ることができない。 という問題がある。
されたもので、広い通過帯域幅と急峻な肩特性を持ち、
かつ通過帯域内の振幅特性に歪みを生じることがない弾
性表面波装置を提供することを目的とする。
は、圧電基板上に二重モードの第1の2ポート弾性表面
波共振器と二重モードの第2の2ポート弾性表面波共振
器とを電気的に並列に接続すると共に、第1の2ポート
弾性表面波共振器の共振周波数をf1L、f1Uとし、第2
の2ポート弾性表面波共振器の共振周波数をf2L、f2U
としたとき、図16(a)に示すようにf2L<f1L<f
1U<f2Uで、これらの共振周波数における位相がこの順
にほぼ逆相で、かつf2L〜f1L、f1L〜f1U、f1U〜f
2Uの周波数差をほぼ同じくなるように構成したものであ
る。この点で、図16(b)に示すようにf1Uとf2Lと
を等しくさせるように構成した従来の弾性表面波装置と
は技術思想が相違する。つまり、本発明の弾性表面波装
置は、 (f2U−f2L)/3=f1U−f1L かつ(f1L+f1U)/2=(f2L+f2U)/2かつf2
L、f1L、f1U、f2Uにおける位相がこの順で互いに逆
相となるように構成したものである。
えば第1の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状
の入出力電極の電極指周期と入出力電極間の間隔との関
係及び第2の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯
状の入出力電極の電極指周期と入出力電極間の間隔との
関係を定めることで構成することができる。
2ポート弾性表面波共振器と第2の2ポート弾性表面波
共振器とが電気的に同相で並列に接続される構成におい
ては、 L1={n+(1.04±0.02)}λ1 L1:第1の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯
状の入出力電極の交差に寄与する最も内側の電極指の中
心間距離 n:負でない整数 λ1:第1の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯
状の入出力電極の電極指周期 L2={m+(0.37±0.02)}λ2 L2:第2の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯
状の入出力電極の交差に寄与する最も内側の電極指の中
心間距離 m:負でない整数 λ2:第2の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯
状の入出力電極の電極指周期 と定めればよい。
性表面波共振器と第2の2ポート弾性表面波共振器とが
電気的に逆相で並列に接続される構成においては、 L1={n+(1.04±0.02)}λ1 L2={m+(0.87±0.02)}λ2 と定めてもよい。
装置では、通過帯域内の位相特性を単調減少関数とする
ことができるので、通過帯域内の振幅特性に歪は生じ
ず、帯域幅を広くすることができる。また、肩特性につ
いても、従来よりも急峻な特性を得ることができる。こ
れらの点は、以下の説明で詳しく述べる。
一例を示した平面図である。
の交差に寄与する最も内側の電極指の中心間距離の点を
除けば図6に示した弾性表面波装置と同じ構成である。
すなわち、水晶、LiNbO3 、LiTaO3 等の圧電
基板1上には、2つの2ポート弾性表面波共振器2、3
が並列的に形成され、これら2ポート弾性表面波共振器
2、3は電気的にも同相で並列に接続されている。すな
わち、2つの2ポート弾性表面波共振器において、それ
ぞれの入出力電極の交差に寄与する最も内側の電極指4
本のうち、いずれか複数本(0本、2本または4本)が
接地端子に接続されている。
形電極を交叉してなる入力電極4及び出力電極5と、こ
れらの外側に設けられた櫛形の反射器6、6とからな
る。2ポート弾性表面波共振器3も同様に入力電極7及
び出力電極8と、反射器9、9とからなる。符号10は
入力端子、11は出力端子である。
指間の周期をλ1、入力電極7及び出力電極8の電極指
間の周期をλ2とし、入出力電極の最も内側の電極指の
中心間距離(以下、入出力電極間距離)をそれぞれL
1、L2としたとき、 L1={n+(1.04±0.02)}λ1 L2={m+(0.37±0.02)}λ2 n,m:負でない整数 となるように各電極を配置している。
装置によれば、弾性表面波共振器2の二重モード間の周
波数差は従来例のそれよりも約2/3程度小さく、弾性
表面波共振器3の二重モード間の周波数差は従来例のお
よそ2倍の大きさとなる。
2の二重モード301が、弾性表面波共振器3の二重モ
ード302の周波数領域のほぼ真ん中あたりにくるよう
になり、弾性表面波共振器2と弾性表面波共振器3とを
電気的に並列に接続した場合の周波数特性は303のよ
うになる。このとき、位相特性は、図3に示す313の
ように、高域側から4個の共振モード間の周波数領域に
おいて単調減少の変化を示している。従って、この周波
数領域において、振幅特性に歪は生じておらず、図9に
示したマッチング回路を通した後でも、図4に示すよう
に通過帯域内に歪はなく、広い通過帯域幅と急峻な肩特
性が得られる。
ためには、前述の4個の共振モードのモード間隔がほぼ
均等であることが望ましい。従って、弾性表面波共振器
2の二重モード間の周波数差は、弾性表面波共振器3の
二重モード間の周波数差の1/3程度になるように、入
出力間電極距離L1、L2を設定し、弾性表面波共振器
2の二重モードが、弾性表面波共振器3の二重モードの
周波数領域のほぼ真ん中あたりに来るように、λ1、λ
2を設定することが重要なポイントとなる。
性表面波共振器2の振幅レベルと弾性表面波共振器3の
振幅レベルとの差が小さくなるため、肩特性を急峻にす
ることができる。
る。
共振器2、3は、電気的に逆相で並列に接続されてい
る。すなわち、これらの2つの2ポート弾性表面波共振
器において、それぞれの入出力電極の交差に寄与する最
も内側の電極指4本のうち、いずれか奇数本(1本また
は2本)が接地端子に接続されている。
間距離L1、L2を L1={n+(1.04±0.02)}λ1 L2={m+(0.87±0.02)}λ2 n,m:負でない整数 または、 L1={n+(0.54±0.02)}λ1 L2={m+(0.37±0.02)}λ2 n,m:負でない整数 となるように各電極を配置している。この例でも、図1
に示した例と同様に、図2〜図4に示した特性が得られ
るので、広い通過帯域幅と急峻な肩特性が得られる。
2”の幅については、以下のような理由で設定してい
る。
を大きくするには、入出力電極間距離を0.5λ(λは
電極指周期)より小さくすればよい。本発明の場合、弾
性表面波共振器3の入出力電極間距離L2は“λ2の周
期性”を除いて、 0.35λ2≦L2≦0.39λ2 と設定している。L2>0.39λ2の場合は、二重モ
ード間の周波数差が従来例(L2=0.5λ2)の場合
のそれの2倍以上に広がらないので、結果として、通過
帯域幅の広帯域化には結びつかず効果がない。一方、L
2<0.35λ2の場合、二重モード間の周波数差は逆
に広くなりすぎて、弾性表面波共振器2の入出力電極間
距離L1をどのように設定しても、マッチング後に帯域
内に窪みが生じてしまい、通過帯域内の平坦性が劣化す
るので、通過帯域幅を広帯域化することはできない。
距離L1については、本発明の場合、“λ1の周期性”
を除いて、 1.02λ1≦L1≦1.06λ1 と設定している。前述したように、弾性表面波共振器2
の二重モード間の周波数差は、弾性表面波共振器3の二
重モード間の周波数差の1/3程度であることが望まし
いが、L1<1.02λ1の場合は、二重モード間の周
波数差が広すぎて、マッチング後での通過帯域内の平坦
性が劣化する。すなわち、この場合、通過帯域内の真ん
中に窪みが残る。一方、L1>1.06λ1の場合は、
二重モード間の周波数差は逆に狭すぎて、マッチング後
での通過帯域内の平坦性が劣化する。すなわち、この場
合、両端に窪みが残る。
電極間距離L1、L2は、 L1={n+(1.04±0.02)}λ1 L2={m+(0.37土0.02)}λ2 n,m:負でない整数 で表される範囲内の値を用いる必要がある。
る必要はなく、圧電基板材料、弾性表面波共振器の構成
方法等において、他にも変形実施が可能なことは明らか
である。
波装置によれば、通過帯域幅を広くでき、さらに2つの
弾性表面波共振器間で共振周波数の調整を精度よく行う
必要がなくなるので、通過帯域内の振幅特性に歪みが発
生する可能性が低くなる。また、高域側から4個の共振
モード間の周波数領域において単調減少の変化を示すの
で、この点からも通過帯域内の振幅特性に歪みを生じる
ことはない。さらに、2つの弾性表面波共振器間の振幅
レベル差が小さくなるため、肩特性を急峻にすることが
できる。
である。
数特性図である。
特性図である。
チング後の周波数特性図である。
図である。
特性図である。
性図である。
す図である。
波数特性図である。
相特性図である。
波数特性図である。
図である。
である。
後の周波数特性図である。
図である
Claims (6)
- 【請求項1】 圧電基板上に二重モードの第1の2ポー
ト弾性表面波共振器と二重モードの第2の2ポート弾性
表面波共振器とを電気的に並列に接続すると共に、第1
の2ポート弾性表面波共振器の共振周波数をf1L、f1U
とし、第2の2ポート弾性表面波共振器の共振周波数を
f2L、f2Uとしたとき、f2L<f1L<f1U<f2Uで、こ
れらの共振周波数における位相がこの順にほぼ逆相で、
かつf2L〜f1L、f1L〜f1U、f1U〜f2Uの周波数差を
ほぼ同じくなるように構成したことを特徴とする弾性表
面波装置。 - 【請求項2】 圧電基板と、 この圧電基板上に形成され、2つの共振周波数f1L、f
1Uを持つ第1の2ポート弾性表面波共振器と、 前記圧電基板上に形成されると共に前記第1の2ポート
弾性表面波共振器と電気的に並列に接続され、かつ式
(1)の関係をほぼ満足する2つの共振周波数f2L、f
2Uを持つ第2の2ポート弾性表面波共振器と 【数1】 を具備し、f2L、f1L、f1U、f2Uにおける位相がこの
順にほぼ逆相であることを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項3】 請求項2記載の弾性表面波装置におい
て、 (1)式をほぼ満足するように第1の2ポート弾性表面
波共振器におけるくし歯状の入出力電極の電極指周期と
入出力電極間の間隔との関係及び第2の2ポート弾性表
面波共振器におけるくし歯状の入出力電極の電極指周期
と入出力電極間の間隔との関係を定めたことを特徴とす
る弾性表面波装置。 - 【請求項4】 請求項1または2記載の弾性表面波装置
において、 式(2)の関係をほぼ満足する第1の2ポート弾性表面
波共振器と、 前記第1の2ポート弾性表面波共振器と電気的に同相で
並列に接続され、かつ式(3)の関係をほぼ満足する第
2の2ポート弾性表面波共振器と L1={n+(1.04±0.02)}λ1 L1:第1の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の交差に寄与する最も内側の電極指の中心間距離 n:負でない整数 λ1:第1の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の電極指周期 ……(2) L2={m+(0.37±0.02)}λ2 L2:第2の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の交差に寄与する最も内側の電極指の中心間距離 m:負でない整数 λ2:第2の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の電極指周期 ……(3) を具備することを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項5】 請求項1または2記載の弾性表面波装置
において、 式(4)の関係をほぼ満足する第1の2ポート弾性表面
波共振器と、 前記第1の2ポート弾性表面波共振器と電気的に逆相で
並列に接続され、かつ式(5)の関係をほぼ満足する第
2の2ポート弾性表面波共振器と L1={n+(1.04±0.02)}λ1 L1:第1の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の交差に寄与する最も内側の電極指の中心間距離 n:負でない整数 λ1:第1の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の電極指周期 ……(4) L2={m+(0.87±0.02)}λ2 L2:第2の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の交差に寄与する最も内側の電極指の中心間距離 m:負でない整数 λ2:第2の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の電極指周期 ……(5) を具備することを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項6】 請求項1または2記載の弾性表面波装置
において、 式(6)の関係をほぼ満足する第1の2ポート弾性表面
波共振器と、 前記第1の2ポート弾性表面波共振器と電気的に逆相で
並列に接続され、かつ式(7)の関係をほぼ満足する第
2の2ポート弾性表面波共振器と L1={n+(0.54±0.02)}λ1 L1:第1の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の交差に寄与する最も内側の電極指の中心間距離 n:負でない整数 λ1:第1の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の電極指周期 ……(6) L2={m+(0.37±0.02)}λ2 L2:第2の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の交差に寄与する最も内側の電極指の中心間距離 m:負でない整数 λ2:第2の2ポート弾性表面波共振器におけるくし歯状の入出 力電極の電極指周期 ……(7) を具備することを特徴とする弾性表面波装置。
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