JP4100249B2 - 弾性表面波装置、通信機 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、携帯電話などの小型通信機に好適な弾性表面波装置、特に平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置およびそれを有する通信機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話機といった通信機の小型化、軽量化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。これを実現するための手段として、各構成部品の削減、小型化はもとより、複数の機能を複合した部品の開発も進んできた。このような状況を背景に、携帯電話機などの通信機のＲＦ（Radio Frequency）段に使用する弾性表面波装置に平衡−不平衡変換機能、いわゆるバランの機能を持たせたものも近年盛んに研究され、ＧＳＭなどを中心に使用されるようになってきた。
【０００３】
入力インピーダンスと出力インピーダンスとを互いに異ならせ、平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波装置としては、例えば図２に示すような構成が知られている。図２に示す弾性表面波装置では、圧電基板は図示が省略されており、第１の弾性表面波フィルタ素子１０８と、第１の弾性表面波フィルタ素子１０８とは出力信号の位相が１８０度異なるように設定された第２の弾性表面波フィルタ素子１１９と、１端子対弾性表面波共振子１１２と、１端子対弾性表面波共振子１１６とが圧電基板上に設けられている。
【０００４】
第１の弾性表面波フィルタ素子１０８は、３つのくし型電極部（インターディジタルトランスデューサともいい、以下、ＩＤＴと記す）を有しており、ＩＤＴ１０３の左右にそれぞれ各ＩＤＴ１０４、１０５を配置し、これらの各ＩＤＴ１０４、１０３、１０５を挟み込むように、各リフレクタ１０６、１０７が配置された３ＩＤＴを有する縦結合共振子型のものである。
【０００５】
１端子対弾性表面波共振子１１２は、ＩＤＴ１０９を挟み込むように各リフレクタ１１０、１１１が配置されたものである。１端子対弾性表面波共振子１１６は、ＩＤＴ１１３を挟み込むように各リフレクタ１１４、１１５が配置されたものである。ＩＤＴ１０３とＩＤＴ１０９とが互いに直列に接続されている。また、各ＩＤＴ１０４、１０５とＩＤＴ１１３とが互いに直列に接続されている。
【０００６】
縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子１０８において、ＩＤＴ１０３とＩＤＴ１０４との間、およびＩＤＴ１０３とＩＤＴ１０５との間数本の電極指のピッチ（図２の１１７と１１８の箇所）をＩＤＴの他の部分より狭くして（以後、狭ピッチ電極指）おり、さらにＩＤＴ−ＩＤＴ間隔をその周りのＩＤＴの波長の約０．５倍とすることで、バルク波として放出する成分による損失を低減している。ちなみに図２では図を簡潔にするために電極指の本数を少なく示している。
【０００７】
第２の弾性表面波フィルタ素子１１９は、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子１０８で中央ＩＤＴの向きを反転させたものである。第２の弾性表面波フィルタ素子１１９には、１端子対弾性表面波共振子１１２と同一構造の１端子対弾性表面波共振子１２０と１端子対弾性表面波共振子１１６と同一構造の１端子対弾性表面波共振子１２１とが接続されている。
【０００８】
第１、第２の弾性表面波フィルタ素子１０８、１１９における、それぞれ一方の各端子１２２、１２３を電気的に並列に接続し、もう一方の各端子１２４、１２５を電気的に直列に接続して、並列に接続した端子で不平衡端子、直列に接続した各端子で平衡端子を構成している。
【０００９】
上記の平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置においては、不平衡信号端子と平衡信号端子のそれぞれの端子との間の通過帯域内での伝送特性において、振幅特性が等しく、かつ位相が１８０度反転していることが要求され、それぞれ振幅差および位相差と呼んでいる。
【００１０】
振幅差および位相差とは、前記平衡−不平衡変換機能を有するフィルタとしての弾性表面波装置を３ポートのデバイスと考え、例えば不平衡入力端子をポート１、平衡出力端子のそれぞれをポート２、ポート３としたときの、振幅差＝｜Ａ｜、Ａ＝｜２０ｌｏｇＳ２１｜−｜２０ｌｏｇＳ３１｜位相差＝｜Ｂ−１８０｜、Ｂ＝｜∠ｓ２１−∠ｓ３１｜で定義されるものである。このような振幅差、位相差は、理想的にはフィルタの通過帯域内で振幅差が０ｄＢ、位相差は０度とされている。
【００１１】
【特許文献１】
特開平１０−１１７１２３号公報（公開日：１９９８年５月６日）
【００１２】
【特許文献２】
特開２００１−３０８６７２号公報（公開日：２００１年１１月２日）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術では、図２の構成において振幅差、位相差のズレが存在し、その値は実際に使用する上で問題となるレベルであった。その理由は、図２における、各ＩＤＴ１０４、１０５にそれぞれ隣り合うＩＤＴ１０３の各電極指は、それぞれアース電極であるのに対し、各ＩＤＴ１２６、１２８にそれぞれ隣り合うＩＤＴ１２７の各電極指は、それぞれシグナル電極となる構成のためである。
【００１４】
このように．ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔部でシグナル電極とアース電極とが互いに隣り合っている場合は、ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔部に強度のピークを持つ共振モードの電流への変換効率が良くなるため、通過帯域内、特に高周波数側の挿入損失が、アース電極、またはシグナル電極同士が隣り合っている場合に比べて小さくなり、また、通過帯域幅が広くなると同時に、位相関係にずれが生じてくる。
【００１５】
この差が、第１の弾性表面波フィルタ素子１０８と、第２の弾性表面波フィルタ素子１１９とを使って平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を形成するときの振幅差、位相差の悪化につながるという問題を生じている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の弾性表面波装置は、上記問題を解決するため、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子は、それらにてそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定されていることを特徴としている。
【００１７】
上記構成によれば、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にてそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定したから、各平衡信号端子間での振幅差や位相差を互いに異なる各ＳＳＢＷにより調整できて、上記振幅差や位相差を改善できる。
【００１８】
上記弾性表面波装置では、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、電極指の先端とバスバーとの間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００１９】
上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２０】
上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、ＩＤＴにおける電極指とバスバーとの間に、バスバーと接続されて設けられたダミー電極指の長さを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２１】
上記弾性表面波装置では、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２２】
上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２３】
上記弾性表面波装置では、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、全てのＩＤＴが第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子で互いに異なる構造を有していてもよい。上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子で、何れか１つのＩＤＴのみが他のＩＤＴと異なる構造を有していてもよい。
【００２４】
本発明の他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも３つのＩＤＴを有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子を有し、一方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴと、他方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴとでそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴としている。
【００２５】
上記構成によれば、各平衡信号端子にそれぞれ接続された各ＩＤＴにてそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定したから、各平衡信号端子間での振幅差や位相差を互いに異なる各ＳＳＢＷにより調整できて、上記振幅差や位相差を改善できる。
【００２６】
上記弾性表面波装置では、さらに、弾性表面波フィルタ素子が、複数、互いに縦続接続されていてもよい。
【００２７】
上記弾性表面波装置においては、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、電極指の先端とバスバーとの間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２８】
上記弾性表面波装置では、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２９】
上記弾性表面波装置では、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、電極指とバスバーとの間に、バスバーと接続されて設けられたダミー電極指の長さを互いに異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００３０】
上記弾性表面波装置においては、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００３１】
上記弾性表面波装置では、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００３２】
上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子のそれぞれに弾性表面波共振子を直列接続してもよい。上記構成によれば、弾性表面波共振子を直列に接続したことにより、通過帯域外の減衰量を調整できて、上記減衰量を大きくできる。
【００３３】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、電極指の先端とバスバーとの間隔が互いに異なっていることを特徴としている。
【００３４】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔が互いに異なっていることを特徴としている。
【００３５】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、ＩＤＴにおける電極指とバスバーとの間に、バスバーと接続されて設けられたダミー電極指の長さが互いに異なっていることを特徴としている。
【００３６】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つが互いに異なっていることを特徴としている。
【００３７】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つが互いに異なっていることを特徴としている。
【００３８】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、電極指の先端とバスバーとの間隔が互いに異なっていてもよい。
【００３９】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔が互いに異なっていてもよい。
【００４０】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、ＩＤＴにおける電極指とバスバーとの間に、バスバーと接続されて設けられたダミー電極指の長さが互いに異なっていてもよい
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー部分の膜厚および膜構成の少なくとも一つが互いに異なっていてもよい。
【００４１】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料および厚みの少なくとも一つが互いに異なっていてもよい。
【００４２】
上記構成によれば、各平衡信号端子にそれぞれ直列接続されている各弾性表面波共振子にて、上記の各互いに異なる設定によって、それぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定できるから、各平衡信号端子間での振幅差や位相差を互いに異なる各ＳＳＢＷにより調整できて、上記振幅差や位相差を改善できる。
【００４３】
上記弾性表面波装置では、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されており、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、電極指の先端とバスバーとの間隔、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔、バスバーに接続されたダミー電極指の長さ、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つ、および、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つ、からなる群より選ばれた少なくとも１つを互いに異ならせてもよい。
【００４４】
上記弾性表面波装置においては、少なくとも３つのＩＤＴを有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、一方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴと、他方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴとで、電極指の先端とバスバーとの間隔、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔、バスバーに接続されたダミー電極指の長さ、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つ、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つ、からなる群から選ばれた少なくとも１つを互いに異ならせてもよい。
【００４５】
上記弾性表面波装置では、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、一方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴと該ＩＤＴに隣り合うＩＤＴとの対面部分の各電極指と、他方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴと該ＩＤＴに隣り合うＩＤＴとの対面部分の各電極指とで、隣り合う電極指の極性が互いに異なっていてもよい。
【００４６】
上記弾性表面波装置においては、電極指の先端とバスバーとの間隔を、弾性表面波の伝搬する波長（λ）の０．５５倍以下とし、かつ、電極指の先端とバスバーとの間隔が最も狭い箇所の、電極指の先端とバスバーとの間隔を０．１μｍ以上とすることが望ましい。
【００４７】
本発明に係る通信機は、前記の問題を解決するために、上記の何れかに記載の弾性表面波装置を有することを特徴としている。上記構成によれば、平衡信号端子間の振幅差、位相差を改善できて、通信機における伝送特性を向上できる。
【００４８】
【発明の実施の形態】
本発明に係る弾性表面波装置の実施の各形態について図１ないし図４４に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００４９】
（実施の第一形態）
図１に、本発明の実施の第一形態を示す。本発明に係る実施の第一形態の説明については、ＰＣＳ用の受信用フィルタを例にとって説明する。実施の第一形態では、図示しないが４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板（圧電基板）上に、ＩＤＴやリフレクタや弾性表面波共振子といった各弾性表面波素子がアルミニウム（Ａｌ）電極により形成されている。
【００５０】
ＩＤＴは、帯状のバスバー（基端部）と、そのバスバーの一方の長手方向側部から上記バスバーの長手方向に対して直交する方向に延びる複数の、互いに平行な帯状の電極指とを備えた電極指部を、２つ、圧電基板上に備えており、上記各電極指部の電極指の側部を互いに対面するように互いの電極指間に入り組んだ状態にて上記各電極指部を有するものである。
【００５１】
よって、ＩＤＴでは、２つの電極指部に対し各バスバーを介して入力電気信号に基づく電位差が生じると、その部分の圧電基板の表面上に弾性表面波が発生し、その弾性表面波は各電極指の幅方向（各電極指の長手方向に対し直交する方向）の双方向に圧電基板の表面上を伝搬する。一方、電気信号が入力されていないＩＤＴでは、伝搬してきた弾性表面波により圧電基板の表面上に発生した電位差を各電極指によって検出し、出力電気信号に変換して出力できる。
【００５２】
このようなＩＤＴでは、各電極指の長さや幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極指間での入り組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ設定することにより信号変換特性や、通過帯域の設定が可能となっている。
【００５３】
前記リフレクタは、伝搬してきた弾性表面波をその伝搬方向に反射するためのものであり、帯状の一対の基端部（バスバー）と、それら基端部の一方の側部から直交する方向にそれぞれ延びて、上記各基端部を電気的に接続する、複数の、互いに平行な帯状の電極指とを備えたものである。
【００５４】
本実施の第一形態の構成は、図２に示す従来例の構成と、下記の本発明の特徴部分を除いて基本的には同じである。本実施の第一形態は、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８と、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８に対し出力信号の位相が１８０度異なるように設定された第２の弾性表面波フィルタ素子２１９とを有している。第１の弾性表面波フィルタ素子２０８は、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型のものである。第１の弾性表面波フィルタ素子２０８には、１端子対弾性表面波共振子２１２と、１端子対弾性表面波共振子２１６とがそれぞれ接続されていることが好ましい。
【００５５】
縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子２０８では、中央のＩＤＴ２０３の左右に（弾性表面波の伝搬方向に沿って）各ＩＤＴ２０４、２０５を上記ＩＤＴ２０３を挟むようにそれぞれ配置し、さらに、これらＩＤＴ２０４、２０３、２０５を左右からそれぞれ挟み込むように、各リフレクタ２０６、２０７が配置されている。
【００５６】
１端子対弾性表面波共振子２１２においては、中央のＩＤＴ２０９を左右からそれぞれ挟み込むように各リフレクタ２１０、２１１が配置されている。１端子対弾性表面波共振子２１６では、中央のＩＤＴ２１３を左右からそれぞれ挟み込むように各リフレクタ２１４、２１５が配置されている。ＩＤＴ２０３とＩＤＴ２０９とが互いに直列に接続されている。また、各ＩＤＴ２０４、２０５とＩＤＴ２１３とが互いに直列に接続されている。
【００５７】
このような縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子２０８において、ＩＤＴ２０３とＩＤＴ２０４の間、およびＩＤＴ２０３とＩＤＴ２０５の間に近い数本の電極指のピッチ（図１の２１７と２１８の箇所）をＩＤＴの他の部分のピッチより狭くして（以後、狭ピッチ電極指）おり、さらにＩＤＴ−ＩＤＴ間隔をその周りのＩＤＴの波長の約０．５倍とすることで、バルク波として放出する成分による損失を低減している。ちなみに図１では図を簡潔にするために電極指の本数を少なく示している。
【００５８】
第２の弾性表面波フィルタ素子２１９は、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子２０８で中央のＩＤＴ２０３の向きを反転させた、中央のＩＤＴ２２９を有する縦結合共振子型のものである。第２の弾性表面波フィルタ素子２１９にも、１端子対弾性表面波共振子２１２と同一構造の１端子対弾性表面波共振子２２０と、１端子対弾性表面波共振子２１６と同一構造の１端子対弾性表面波共振子２２１とが接続されていることが好ましい。
【００５９】
第１および第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９におけるそれぞれ一方の各端子２２２、２２３を電気的に並列に接続し、もう一方の各端子２２４、２２５を電気的に直列に接続し、並列に接続した端子で不平衡端子、直列に接続した端子で平衡端子を構成している。
【００６０】
第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の詳細な設計は、通常のピッチで決まる波長をそれぞれλ１、狭ピッチ電極指の電極指のピッチで決まる波長をそれぞれλ２、リフレクタの波長をそれぞれλＲとすると、
交叉幅：２９．２λ１
ＩＤＴ本数（２０４、２０３、２０５の順）：２５（４）／（４）４７（４）／（４）２５本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数、２２８、２２９、２３０も同じ）
ＩＤＴ波長λ１：２．０４９μｍ、λ２：１．８６０μｍ（λ１はピッチを狭くしていない部分、λ２はピッチを狭くした部分）
リフレクタ波長λＲ：２．０５６μｍ
リフレクタ本数：１５０本
ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔：波長λ１とλ２の電極指に挟まれた箇所：０．２５λ１＋０．２５λ２
波長λ２の電極指に挟まれた箇所：０．５０λ２
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
ＩＤＴｄｕｔｙ：０．７０
リフレクタｄｕｔｙ：０．５７
電極膜厚：８．０３λ１
電極指先端−バスバー間距離
第１の弾性表面波フィルタ素子２０８：０．９μｍ
第２の弾性表面波フィルタ素子２１９：０．３μｍ
である。
【００６１】
各１端子対弾性表面波共振子２１２、２２０の詳細な設計は，
交叉幅：４９．１λ１
ＩＤＴ本数：２８１
ＩＤＴ波長およびリフレクタ波長：２．０３５μｍ
リフレクタ本数：２９本
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
である。
【００６２】
１端子対弾性表面波共振子２１６、２２１の詳細な設計は，
交叉幅：１７．７λ１
ＩＤＴ本数：２８１
ＩＤＴ波長およびリフレクタ波長：１．９８０μｍ
リフレクタ本数：２９本
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
である。
【００６３】
本実施の第一形態の特徴は、第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９において、電極指先端からバスバーまでの距離を第１の弾性表面波フィルタ素子２０８では０．９μｍ、第２の弾性表面波フィルタ素子２１９では０．３μｍと互いに異ならせている点である。
【００６４】
以下に、本実施の第一形態の効果について説明する、図３に、実施の第一形態の構成での各周波数に対する振幅差のグラフを示す。比較として、図２に示す従来例での振幅差の特性も図３に合わせて示す。ＰＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。この範囲で最大の振幅差は、従来例では１．５０ｄＢであるのに対し、実施の第一形態では１．２３ｄＢと、振幅差が０．２７ｄＢ改善されている。
【００６５】
まず、従来技術の説明にも記載したが、図２に示す従来例の構成において振幅差を悪くしている原因は、各ＩＤＴ１０４、１０５にそれぞれ隣り合うＩＤＴ１０３の各電極指はアース電極であるのに対し、各ＩＤＴ１２６、１２８にそれぞれ隣り合うＩＤＴ１２７の各電極指はシグナル電極であるためである。
【００６６】
これにより、従来例では、第１の弾性表面波フィルタ素子１０８と第２の弾性表面波フィルタ素子１１９との間にて周波数特性が互いにずれ、その影響で第１の弾性表面波フィルタ素子１０８と第２の弾性表面波フィルタ素子１１９との間の周波数特性および位相特性が互いにずれ、その結果、振幅差が悪くなる。
【００６７】
共振子型の弾性表面波フィルタ素子および弾性表面波共振子においては、ＩＤＴ電極指先端とバスバーとの間のギャップ部分にてＳＳＢＷ（Surface Skimming Bulk Wave）が発生し、共振モードのレベルが変化する。
【００６８】
実施の第一形態では、弾性表面波が励振される電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離（ギャップ）を、第２の弾性表面波フィルタ素子２１９において、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８よりも短く設定している。
【００６９】
これにより、本実施の第一形態では、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８と第２の弾性表面波フィルタ素子２１９とにおいて発生するＳＳＢＷの強度をそれぞれ調整して、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８と第２の弾性表面波フィルタ素子２１９との間の周波数特性のずれを補正できる。
【００７０】
その結果、本実施の第一形態は、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８と第２の弾性表面波フィルタ素子２１９との間の周波数特性のずれが補正されて、振幅差が改善されたものとなる。
【００７１】
次に、本発明の原理について説明する。まず、図１の構成において、電極指の先端とバスバーの間隔の大きさを順次異ならせた上で、その振幅特性をそれぞれ測定した。それらの結果を図４（ａ）および図４（ｂ）にそれぞれ示した。
【００７２】
一方の平衡信号端子２２４に接続された第１の弾性表面波フィルタ素子２０８のように、平衡信号端子２２４に接続された各ＩＤＴ２０４、２０５と該各ＩＤＴ２０４、２０５と隣接するＩＤＴ２０３との互いに隣り合う部分の各電極指の極性がアース：アースである側の挿入損失を図４（ａ）に示した。他方の平衡信号端子２２５に接続された第２の弾性表面波フィルタ素子２１９のように、平衡信号端子２２５に接続された各ＩＤＴ２２８、２３０と該ＩＤＴ２２８、２３０と隣り合うＩＤＴ２２９との互いに隣り合う部分の各電極指の極性がアース：シグナルである側の挿入損失を図４（ｂ）に示した。
【００７３】
図４（ａ）および図４（ｂ）より、電極指の先端とバスバーの間隔の大きさによって、励振されるＳＳＢＷの大きさが変化し、挿入損失が変化していることが分かる。
【００７４】
ＳＳＢＷと周波数特性との関係は、図５に示すように、ＳＳＢＷの励振によるリップル（約１９４８ＭＨｚ）が、縦０次モードと縦２次モードが縮退したモードによる共振点と、ＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振点との、ほぼ中央に位置しているために、リップルが大きくなり、そのリップルが発生した周波数域で挿入損失を増加させるものである。このように、ＳＳＢＷの励振は、通常、リップルの発生として影響するので、ＳＳＢＷの発生を抑制するのが一般的であるが、本発明では、このＳＳＢＷを平衡度改善のためにうまく利用することを技術的な思想としている。
【００７５】
続いて、電極指の先端とバスバーとの間隔を、弾性表面波の伝搬する波長（λ）の０．５５倍以下とし、かつ、電極指の先端とバスバーとの間隔が最も狭い箇所の、電極指の先端とバスバーとの間隔を０．１μｍ以上とすることが好ましいことの根拠を以下に説明する。
【００７６】
まず、電極指の先端とバスバーとの間の距離のみを変化させたときの、伝送特性の変化を図６に示す。図６によると、電極指の先端とバスバーとの間の距離を１．０μｍから０．３μｍに変化させた場合、１９４５ＭＨｚ付近の挿入損失が約０．２ｄＢ減少し、改善されていることがわかる。つまり、電極指の先端とバスバーとの距離を減少させることによって、バルク波（ＳＳＢＷ）の励振によるリップルが小さくなるとともに、リップルの周波数（ｆSSBW）が低域側に移動し、縦０次モードと縦２次モードが縮退したモードの共振周波数（ｆ1もしくはｆ2）と、ＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ2もしくはｆ1）との中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）付近よりも低域側に移動したことによって、挿入損失が改善したものと考えられる。この挿入損失の改善は、ＳＳＢＷのリップルが存在する１９４５ＭＨｚ付近だけではなく、全体的に挿入損失が小さくなっている。このことは、ＳＳＢＷによる励振は１９４５ＭＨｚ付近だけでなく、通過帯域内に広く影響し、ＳＳＢＷの励振を小さくすることは、全体的な挿入損失の改善に適している事を示している。
【００７７】
続いて、図７に電極指の先端とバスバーとの間の距離を、０．５μｍ、１．０μｍ、２．０μｍとしたときの伝送特性をそれぞれ示す。図７に示すように、電極指の先端とバスバーとの間の距離を広げるにしたがって、先の図６とは逆に、ＳＳＢＷの励振によるリップルは大きくなり、さらに高域側に移動していることがわかる。
【００７８】
次に、図８は、実施の第一形態において、電極指の先端とバスバーとの間の距離と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）と、縦０次モードと縦２次モードが縮退したモードの共振周波数（ｆ1もしくはｆ2）とＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ2もしくはｆ1）の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）との関係を示したものである。
【００７９】
図８の横軸は、電極指の先端とバスバーとの間の間隔を伝搬する表面波の波長で規格化し、図８の縦軸は、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）を、縦０次モードとＩＤＴ−ＩＤＴモードのそれぞれの共振周波数（ｆ1、ｆ2）の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）で規格化した値、つまり、２＊ｆSSBW／（ｆ1＋ｆ2）である。
【００８０】
図８より、特に電極指の先端とバスバーとの間の距離を、弾性表面波の波長の０．５５倍（図８の破線にて図示）以下にすることによって、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）が、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードの共振周波数（ｆ1もしくはｆ2）、およびＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ2もしくはｆ1）の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）よりも低くなることがわかる。
【００８１】
以上より、周波数軸上で隣り合った２つの共振モードの共振周波数をそれぞれｆ1、ｆ2としたときの、２つの共振周波数の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）とを互いに異ならせることによって、弾性表面波装置における通過帯域内の挿入損失を改善することができることがわかる。
【００８２】
そのように互いに異ならせる方法の一つとして、１つのＩＤＴにおいて、一方のＩＤＴ電極における電極指の先端と、他方のＩＤＴ電極のバスバーとの間の距離を変化させることが有効である。
【００８３】
特に、本実施の第一形態で示したように、１つのＩＤＴにおいて、一方のＩＤＴ電極における電極指の先端と、他方のＩＤＴ電極のバスバーとの間の距離を小さくすることで、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）が、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードの共振周波数（ｆ1もしくはｆ2）およびＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ2もしくはｆ1）の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）よりも低くした場合、つまり、ｆSSBW＜（ｆ1＋ｆ2）／２の場合には、リップルのレベルも小さくなることから、挿入損失の改善に有効であることがわかる。
【００８４】
しかしながら、逆にｆSSBW＞（ｆ1＋ｆ2）／２の場合には、リップルのレベルそのものが大きくなることから、両者の周波数がほぼ同じ場合よりも挿入損失が悪化することがわかる。
【００８５】
ここで、さらに、電極指の先端とバスバーとの間の距離と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）での挿入損失との関係を図９に示す。この図９により、電極指の先端とバスバーとの間の距離を狭くすることにより、ＳＳＢＷの励振によるリップルが挿入損失の改善に有効であることがわかる。
【００８６】
しかし、電極指の先端とバスバーとの間の距離を狭くすることにより、電極指の先端とバスバーとの間に入る寄生容量が大きくなる可能性がある。この寄生容量により挿入損失が悪化する可能性がある。そこで、図１０に、電極指の先端とバスバーとの間の距離を変化させることによる容量変化を有限要素法で求め、その容量変化による挿入損失の変化を示す。この図１０より、電極指の先端とバスバーとの間の距離が０．１μｍ未満となると、急激に電極指の先端とバスバーとの間の部分での寄生容量が増加し、結果として挿入損失が悪化することが明らかである。
【００８７】
また、図１１には、図９で示したＳＳＢＷの励振によるリップルによる挿入損失の変化と、図１０で示した寄生容量による挿入損失の両方を考慮したときの、挿入損失の変化を示す。電極指の先端とバスバーとの間の距離を狭く、特に伝搬する弾性表面波の波長の０．５５倍以下とすることで、ＳＳＢＷの励振によるリップルが小さくなるが、この図１１から明らかなように、電極指の先端とバスバーとの間の距離が０．１μｍ未満となると、ＳＳＢＷのリップルが小さくなることによる挿入損失の低下の効果よりも、寄生容量の増加による挿入損失の悪化の方が大きくなる。結果として、全体の挿入損失が悪化してしまう。
【００８８】
よって、電極指の先端とバスバーとの間の距離は、伝搬する弾性表面波の波長の０．５５倍以下であり、かつ、０．１μｍ以上に設定することがより好ましいことがわかる。これら設定は、後述する実施の各形態においても有効である。
【００８９】
このように、電極指の先端とバスバーとの間の距離が変化すると、ＳＳＢＷの励振や、寄生容量が変化する。このことから、実際に圧電基板上に金属薄膜からなるＩＤＴを形成する場合には、従来のように、ＩＤＴの膜厚や電極指の線幅を高精度に制御するだけでは弾性表面波装置における安定した電気特性が得られずに、電極指の先端とバスバーとの間の距離も、同様に高精度に制御する必要がある。
【００９０】
ここで、ＩＤＴの形成には、一般にフォトリソグラフィ法が用いられ、露光光源の波長は０．２μｍから０．４μｍ程度である。そのため、ＩＤＴ電極のギャップ部分の寸法が０．５μｍ程度以下となると、光の回折効果のために、ＩＤＴ電極のギャップ幅を高精度に制御することは難しくなる。
【００９１】
しかしながら、特性面でのメリットから、ＩＤＴ電極の微細化が進んでおり、本発明においても、電極指の先端とバスバーとの間の距離、電極指同士の最小ギャップ、いずれとも、露光光源の波長と同程度にすることで効果が得られている。よって、電極指の先端とバスバーとの間の距離と、電極指同士の最小ギャップとをほぼ等しくしておくことにより、電極指の先端とバスバーとの間の距離も、電極指同士の最小ギャップも、どちらも、高精度に制御することが可能となり、弾性表面波装置においてより安定した電気的特性が得られる。
【００９２】
また、電極指の先端と、バスバーとの間の距離も、電極指同士の最小ギャップもどちらも同一寸法となることから、ギャップの狭い部分が局在せず、結果的に耐サージ性や耐電力性が向上するという、さらなる効果も得られる。
【００９３】
また、本発明では、平衡信号端子が接続される弾性表面波フィルタおよびＩＤＴの一方はＳＳＢＷが強く励振される構造、他方は弱く励振される構造にすることが望ましい。また、ＩＤＴの隣り合う部分の極性により、特性面では、各ＩＤＴの互いに隣り合う部分の電極指の極性がアース：アースにおいては低周波側が盛り上がった特性、各ＩＤＴの互いに隣り合う部分の電極指の極性がアース：シグナルにおいては、高周波側が盛り上がった特性という特徴がある。
【００９４】
一方で、ＳＳＢＷによるレスポンスは通過帯域の低域側にくぼみとしてあらわれ、フィルタ部分のバスバーと電極指先端のギャップを小さくしていくと、このレスポンスが小さくなり、低周波側にシフトする（図６参照）。
【００９５】
弾性表面波フィルタ素子の弾性表面波素子部分にダミー電極を付加すると、このレスポンスが小さくなり、低周波側にシフトする。（図６参照）という傾向がある。そのため、下記のように設定することが望ましい。下記の各設定は、後述する実施の各形態においても有効である。
【００９６】
ＩＤＴ−ＩＤＴの互いに隣り合う部分の電極指の極性がアース：アース、アース：シグナルの場合において、
(1) ＩＤＴ−ＩＤＴの隣り合う部分の電極指の極性がアース：アースの弾性表面波フィルタにおいて、ＳＳＢＷの励振が強くなるように弾性表面波フィルタ素子部分のバスバーと電極指先端のギャップを広くする（もしくは、ＩＤＴ−ＩＤＴの隣り合う部分の電極指の極性がアース：シグナルのフィルタにおいて、ＳＳＢＷの励振が弱くなるようにバスバーと電極指先端のギャップを狭くする）
(2) ＩＤＴ−ＩＤＴの隣り合う部分の電極指の極性がアース：アースの弾性表面波フィルタにおいて、ＳＳＢＷの励振が強くなるようにダミー電極を小さくする（もしくは、ＩＤＴ−ＩＤＴの隣り合う部分の電極指の極性がアース：シグナルのフィルタにおいて、ＳＳＢＷの励振が弱くなるようにダミー電極を大きくする）。このときに、振幅バランス性のうねりが改善される。
【００９７】
なお、ＳＳＢＷは横モードと結合しやすいため、横モードを変化させることで、ＳＳＢＷとの結合も変化し、ＳＳＢＷの励振が変化する。つまり、横モードを変化させることでも、本願発明の効果が得られる。
【００９８】
なお、実施の第一形態では、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型である第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の入出力側にそれぞれ１つずつの１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成において説明したが、本発明は、上記構成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾性表面波装置においても、同様な効果が得られる。例えば、図１２に示すような３ＩＤＴ型の縦結合共振子型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の入力（不平衡信号端子）側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成や、図１３に示すような３ＩＤＴ型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の出力（平衡信号端子）側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成においても、同様の効果が得られる。
【００９９】
また、実施の第一形態では、３ＩＤＴ型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の中央のＩＤＴを入力（不平衡信号）端子、両端のＩＤＴを出力（平衡信号）端子とした構成において説明したが、例えば、図１４に示すような３ＩＤＴ型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の両側のＩＤＴを入力（不平衡）端子、中央のＩＤＴを出力（平衡）端子とした構成においても、同様の効果が得られる。
【０１００】
さらに、実施の第一形態では、２つの第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９を３ＩＤＴ縦結合共振子型で構成する場合について説明したが、例えば、図１５に示すように２ＩＤＴ型の縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子２０８ａ、２１９ａで構成する場合や、図１６に示すように５ＩＤＴ型の縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子２０８ｂ、２１９ｂで構成する場合においても、同様の効果が得られる。
【０１０１】
その上、実施の第一形態においては、図１７に示すように、２つ以上のＩＤＴを有する３つの各弾性表面波フィルタ素子９１、９２、９３を備え、１つの弾性表面波フィルタ素子９１を不平衡信号端子９４に接続し、残りの２つの各弾性表面波フィルタ素子９２、９３をそれぞれ１つの弾性表面波フィルタ素子に対して並列に接続すると共に各平衡信号端子９５、９６に接続した構成の場合においても、同様の効果が得られる。
【０１０２】
さらに、実施の第一形態では、２つの弾性表面波フィルタ素子を３ＩＤＴ型の縦結合共振子型で構成する場合において説明したが、例えば、図１８に示すように３ＩＤＴ縦結合共振子型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９を互いに縦続接続したような構成においても、同様の効果が得られる。
【０１０３】
また、図１９に示すように、図１８と同様の構成において、ＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を、各弾性表面波フィルタ素子２３１、２３２では互いに等しくして、各弾性表面波フィルタ素子２３３、２３４においては互いに異ならせた場合にも、同様の効果が得られる。
【０１０４】
さらに、図２０に示すように、少なくとも３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置１２００で、各平衡信号端子１２４、１２５はそれぞれ異なる各ＩＤＴ１２０２、１２０３に接続され、各ＩＤＴ１２０２、１２０３にて、それぞれ、電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、同様の効果が得られる。
【０１０５】
図２１に示すように、３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置１３００で、中央のＩＤＴ１３０１の両端の各ＩＤＴ１３０２、１３０３が不平衡信号端子にそれぞれ接続されていると共に、中央のＩＤＴ１３０１のうち、一つのくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に、二分割された各くし歯状電極がそれぞれ各平衡信号端子１２４、１２５にそれぞれ接続され、上記の二分割された各くし歯状電極にて、それぞれ、電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、同様の効果が得られる。
【０１０６】
図２２に示すように、３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置１４００で、両端の各ＩＤＴ１４０２、１４０３が不平衡信号端子に接続されていると共に、中央のＩＤＴ１４０１のうち、一つのくし歯状電極が交叉幅方向に二分割され、上記の二分割された各くし歯状電極にてそれぞれ電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、同様の効果が得られる。
【０１０７】
図２３に示すように、２つ以上のＩＤＴを有する２つの弾性表面波フィルタ素子１５１１、１５１２を互いに縦続接続し、一方の弾性表面波フィルタ素子１５１１の両端の各ＩＤＴ１５０２、１５０３を不平衡信号端子に接続し、他方の弾性表面波フィルタ素子１５１２の両端の各ＩＤＴ１５０７、１５０８をそれぞれ各平衡信号端子１２４、１２５に接続した弾性表面波装置１５００において、上記各ＩＤＴ１５０７、１５０８にて、それぞれ、電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、本発明と同様の効果が得られる。
【０１０８】
図２４に示すように、２つ以上のＩＤＴを有する２つの弾性表面波フィルタ素子１６１１、１６１２を互いに縦続接続し、一方の弾性表面波フィルタ素子１６１１の中央のＩＤＴ１６０１を不平衡信号端子に接続し、他方の弾性表面波フィルタ素子１６１２の中央のＩＤＴ１６０６が弾性表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に、二分割された各くし歯状電極がそれぞれ各平衡信号端子１２４、１２５に接続された弾性表面波装置１６００において、上記二分割された各くし歯状電極にて、それぞれ、電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、本発明と同様の効果が得られる。
【０１０９】
なお、図２３および図２４に示した構成は、２つの弾性表面波フィルタ素子を互いに縦続接続し、１つの弾性表面波フィルタ素子に各平衡信号端子１２４、１２５の両方とも接続されているので、図２０や図２１に示した構造と同様なものである。
【０１１０】
以上説明したように実施の第一形態では、２つ以上の各弾性表面波フィルタ素子を用いて平衡−不平衡変換を行う弾性表面波装置において、第１の縦結合弾性表面波フィルタ素子と、第２の縦結合弾性表面波フィルタ素子とにて、ＩＤＴの電極指先端からバスバーまでの距離をそれぞれ異ならせることで、各平衡信号端子間の振幅差を改善した弾性表面波装置が得られる。
【０１１１】
（実施の第二形態）
本発明に係る実施の第二形態では、ＰＣＳ用の受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。実施の第二形態では、図示しないが４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板上に弾性表面波素子がＡｌ電極により形成されている。実施の第二形態の構成は以下の特徴点を除いて図２に示す従来例の構成と基本的に同じである。従来例の構成と実施の第二形態の構成において、異なる部分について図２５に基づいて以下に示す。
【０１１２】
本実施の第二形態では、電極指の先端とバスバーとの距離（ギャップ）をダミー電極の設定により調整している。まず、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さが、従来例において０μｍ（第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子１０８、１１９ともにダミー電極なし）であり、実施の第二形態に係る、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子３０２においては、０．３μｍ（３０３で示す箇所）である。縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子３０１はダミー電極なしである。
【０１１３】
実施の第二形態の特徴は、各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２において、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを互いに異ならせて、上記距離（ギャップ）を相違させている点である。
【０１１４】
続いて、本実施の第二形態の効果について説明する。図２６に、実施の第二形態の構成での周波数に対する振幅差のグラフを示す。比較として、図２に示す従来例での振幅差の特性も図２６に合わせて示す。ＰＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。この範囲で最大の振幅差は、従来例では１．５０ｄＢであるのに対し、実施の第二形態では１．２９ｄＢと、振幅差が０．２１ｄＢ改善されている。
【０１１５】
実施の第二形態の効果が得られた理由を以下に説明する。実施の第二形態では、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを、弾性表面波フィルタ素子３０２において、弾性表面波フィルタ素子３０１よりも長く設定している。これにより、本実施の第二形態においては、弾性表面波フィルタ素子３０１と弾性表面波フィルタ素子３０２とにおいて発生するＳＳＢＷの強度をそれぞれ調整することによって、弾性表面波フィルタ素子３０１と弾性表面波フィルタ素子３０２との間の周波数特性および位相特性のずれが補正される。
【０１１６】
その結果、本実施の第二形態では、弾性表面波フィルタ素子３０１と、１端子対弾性表面波共振子３０４と１端子対弾性表面波共振子３０５とからなる弾性表面波装置、および、弾性表面波フィルタ素子と１端子対弾性表面波共振子３０７と１端子対弾性表面波共振子３０８とからなる弾性表面波装置の間の周波数特性および位相特性のずれを補正して、振幅差が改善されている。
【０１１７】
実施の第二形態では、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２の入出力側にそれぞれ１つずつの１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成において説明したが、本発明はこの構成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾性表面波装置においても、同様な効果が得られる。例えば、図２７に示すような各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２の入力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成や、図２８に示すような各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２の出力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成においても、同様の効果が得られる。
【０１１８】
また、実施の第二形態では、２つの各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２を３ＩＤＴ型で構成する場合について説明したが、例えば、図２９に示すように、２ＩＤＴ縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子３０１ａ、３０２ａで構成する場合や、図３０に示すように、５ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子３０１ｂ、３０２ｂにて構成する場合においても、同様の効果が得られる。
【０１１９】
さらに、実施の第二形態では、２つの３ＩＤＴ型の各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２を並列接続した場合について説明したが、例えば、図３１に示すように３ＩＤＴ型の各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２を互いに縦続接続したような構成においても、同様の効果が得られる。
【０１２０】
その上、図３２に示すように、図３１と同様の構成において、ＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を、縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子３１０、３１１では互いに等しくして、縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子３１２、３１３においては互いに異ならせた場合にも、同様の効果が得られる。
【０１２１】
以上説明したように実施の第二形態では、２つの弾性表面波フィルタ素子を用いて平衡−不平衡変換を行う弾性表面波装置において、第１の縦結合弾性表面波フィルタ素子と第２の縦結合弾性表面波フィルタ素子にて、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さをそれぞれ異ならせることで、各平衡信号端子間の振幅差を改善した弾性表面波装置が得られる。
【０１２２】
（実施の第三形態）
本発明に係る実施の第三形態では、ＰＣＳ用の受信用フィルタを例にとって説明し、図示しないが４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板上に弾性表面波素子がＡｌ電極により形成されている。実施の第三形態の構成は図２に示す従来例の構成と以下の特徴点を除いて基本的に同じである。従来例の構成と実施の第三形態の構成において、異なる部分について以下に示す。
【０１２３】
図３３に示すように、１端子対弾性表面波共振子のＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離は、従来例では、０．９μｍ（１端子対弾性表面波共振子１１２、１１６、１２０、１２１）に設定されており、実施の第三形態では、０．９μｍ（各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２）と、０．３μｍ（各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４）とにそれぞれ設定されている。
【０１２４】
本実施の第三形態の特徴は、各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２と、各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４とにおいて、ＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を互いに異ならせている点である。
【０１２５】
続いて、本実施の第三形態の効果について説明する。図３４に実施の第三形態の構成での周波数に対する振幅差のグラフを、図３５に実施の第三形態の構成での周波数に対する位相差のグラフを示す。比較として、図２に示す従来例での振幅差と位相差の特性をそれぞれ図３４および図３５に合わせて示す。
【０１２６】
ＰＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。この範囲で最大の振幅差は、従来例では１．５０ｄＢであるのに対し、実施の第三形態では１．３５ｄＢと、振幅差が０．１５ｄＢ改善されている。
【０１２７】
また、この範囲で最大の位相差は、従来例では４．８°であるのに対し、実施の第三形態では４．４°と、位相差が０．４°改善されている。
【０１２８】
実施の第三形態の効果が得られた理由を説明する。実施の第三形態では、ＩＤＴの電極指の先端とその電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの距離を、各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４において、各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２よりも短く設定している。これにより、各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４と、各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２において発生するＳＳＢＷの強度をそれぞれ調整している。
【０１２９】
この結果、本実施の第三形態においては、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子４０５と各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２とを有する弾性表面波装置、および、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子４０６と各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４とを有する弾性表面波装置の間の周波数特性および位相特性のずれを補正でき、各平衡信号端子間での振幅差、位相差が改善される。
【０１３０】
実施の第三形態では、３ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子４０５、４０６の入出力側にそれぞれ１つずつの１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成について説明したが、本発明はこの構成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾性表面波装置においても、同様な効果が得られる。
【０１３１】
例えば、図３６に示すような３ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子４０５、４０６の入力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成や、図３７に示すような３ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子４０５、４０６の出力側のみに弾性表面波共振子を直列接続した構成においても、同様の効果が得られる。
【０１３２】
また、図３８に示すように、図３３と同様の構成において、ＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を、一方の１端子対弾性表面波共振子におけるＩＤＴ５０１とＩＤＴ５０３とでは互いに等しくして、他方の１端子対弾性表面波共振子におけるＩＤＴ５０２とＩＤＴ５０４とでは互いに異ならせた場合にも、同様の効果が得られる。
【０１３３】
（実施の第四形態）
図３９に、本発明に係る実施の第四形態を、図４０に本実施の第四形態に対する比較例を示す。実施の第四形態の説明では、ＤＣＳ用の受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。実施の第四形態では、図示しないが４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板上に弾性表面波素子がＡｌ電極により形成されている。
【０１３４】
実施の第四形態の構成は、下記の特徴点を除けば比較例の構成と基本的に同じである。縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２において、ＩＤＴ６０３とＩＤＴ６１１の間、ＩＤＴ６１１とＩＤＴ６０４の間、ＩＤＴ６０５とＩＤＴ６１２の間およびＩＤＴ６１２とＩＤＴ６０６の間に近い数本の電極指のピッチ（図３９の６０７、６０８、６０９および６１０の箇所）をＩＤＴの他の部分より狭くして（以後、狭ピッチ電極指）おり、さらにＩＤＴ−ＩＤＴ間隔をその周りのＩＤＴの波長の約０．５倍とすることで、バルク波として放出する成分による損失を低減している。ちなみに図３９および図４０では図を簡潔にするために電極指の本数を少なく示している。
【０１３５】
各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２の詳細な設計は、狭ピッチ電極指のピッチで決まる波長をそれぞれλ２、その他の電極指のピッチで決まる波長をそれぞれλ１、リフレクタの波長をそれぞれλＲとすると、
交叉幅：５０．９λ１
ＩＤＴ本数（６０３、６１１、６０４の順）：１７（４）／（４）３７（４）／（４）１７本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数、６０５、６１２、６０６も同じ）
ＩＤＴ波長λ１：２．１６２μｍ、λ２：１．９５８μｍ（λ１はピッチを狭くしていない部分、λ２はピッチを狭くした部分）
リフレクタ波長λＲ：２．１７４μｍ
リフレクタ本数：１５０本
ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔：波長λ１とλ２の電極指に挟まれた箇所：０．２５λ１＋０．２５λ２
波長λ２の電極指に挟まれた箇所：０．５０λ２
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
ＩＤＴｄｕｔｙ：０．６３
リフレクタｄｕｔｙ：０．５７
電極膜厚：９．４８λ１
電極指先端−バスバー間距離：０．９μｍである。
【０１３６】
各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１４の詳細な設計は、
交叉幅：２１．５λ１
ＩＤＴ本数：２４１
ＩＤＴ波長およびリフレクタ波長：２．０９８μｍ
リフレクタ本数：３０本
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０，５０λＲ
ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さ
１端子対弾性表面波共振子６１３：０μｍ（ダミー電極なし）
１端子対弾性表面波共振子６１４（６１５で示す箇所）：２μｍである。
【０１３７】
各１端子対弾性表面波共振子６１６、６１７の詳細な設計は、
交叉幅：３６．８λ１
ＩＤＴ本数：２４１
ＩＤＴ波長およびリフレクタ波長：２．０４０μｍ
リフレクタ本数：３０本
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
ＩＤＴ部の電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さ
１端子対弾性表面波共振子６１６：０μｍ（ダミー電極なし）
１端子対弾性表面波共振子６１７（６１８で示す箇所）：２μｍである。
【０１３８】
実施の第四形態の特徴は、各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６と各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７とにおいて、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６では０μｍ（ダミー電極なし）、各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７では２μｍと互いに異ならせて、前記距離（ギャップ）を相違させている点である。
【０１３９】
続いて、本実施の第四形態の効果について説明する。図４１に、実施の第四形態の構成での周波数に対する位相差のグラフを示す。比較として、図４０に示す比較例での位相差の特性も図４１に合わせて示す。ＤＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１８０５ＭＨｚ〜１８８０ＭＨｚである。この範囲で最大の位相差は、比較例では８°であるのに対し、実施の第四形態では５°と、位相差が３°改善されている。
【０１４０】
実施の第四形態の効果が得られた理由を説明する。実施の第四形態では、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを、各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７において、各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６よりも長く設定している。これにより、各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６と各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７において発生するＳＳＢＷの強度をそれぞれ調整できる。
【０１４１】
この結果、本実施の第四形態においては、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子６０１と各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６とを有する弾性表面波装置、および、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子６０２と各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７とを有する弾性表面波装置の間の位相特性のずれを補正して、位相差が改善されている。
【０１４２】
実施の第四形態では、３ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２の入出力側にそれぞれ１つずつの１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成において説明したが、本発明はこの構成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾性表面波装置においても同様な効果が得られる。
【０１４３】
例えば、図４２に示すような各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２の入力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成や、図４３に示すような各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２の出力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成においても、同様の効果が得られる。
【０１４４】
また、図４４に示すように、図３９と同様の構成において、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを、一方の各１端子対弾性表面波共振子の各ＩＤＴ７０１、７０３では互いに異ならせ、他方に各１端子対弾性表面波共振子の各ＩＤＴ７０２、７０４では互いに等しくした場合にも、同様の効果が得られる。
【０１４５】
以上の様に本発明では、２つ以上のＩＤＴからなる縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子と１端子対弾性表面波共振子とを備え、前記弾性表面波フィルタ素子を２つ以上用いて平衡−不平衡変換可能な弾性表面波装置において、表面波が励振する電極指の先端とその電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を２つの弾性表面波フィルタ素子で、もしくは２つの１端子対弾性表面波共振子で異ならせる、もしくはＩＤＴ部の電極指とバスバーの間に設けるダミー電極の長さを２つの弾性表面波フィルタ素子で、もしくは２つの１端子対弾性表面波共振子で異ならせることにより、平衡端子間の位相差を改善した弾性表面波装置が得られる。
【０１４６】
なお、上記実施の各形態では４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を圧電基板として用いたが、効果が得られる原理からもわかるとおり、本発明はこの圧電基板に限らず、６４°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3、４７°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3などの圧電基板でも同様な効果が得られる。
【０１４７】
また、上記の実施の各形態では、各平衡信号端子にそれぞれ接続されている各ＩＤＴの電極指の先端と、それに対向するバスバーとの距離（ギャップ）をそれぞれ異ならせて、各ＳＳＢＷを互いに異なるように設定しているが、各ＳＳＢＷを互いに異なれば、上記構成に限定されない。
【０１４８】
例えば、上記各ＩＤＴの各バスバー部分の膜厚を互いに異ならせたり、上記バスバー部分の各膜構成を互いに異ならせたり、各平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタで、それらのＩＤＴのバスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つを異ならせたりしてもよい。上記吸音材としては、バスバーと接着できる弾性部材であればよいが、例えばシリコンゴムなどが挙げられる。
【０１４９】
上記のように膜厚や膜構成や吸音材の付加の場合に、変わるのはＳＳＢＷの励振強度ではなく、横モードである。ただし、ＳＳＢＷは横モードと結合しやすいため、横モードを変化させることで、ＳＳＢＷとの結合も変化し、ＳＳＢＷの励振を変化させることができる。よって、横モードを変化させることでも、本願発明の効果が得られる。
【０１５０】
続いて、本発明の対象となる各弾性表面波フィルタ素子について以下にまとめて説明する。
【０１５１】
▲１▼２つ以上のＩＤＴを有する２つの弾性表面波フィルタ素子を、一方の端子を共通化して不平衡信号端子に接続し、他方の端子をそれぞれ平衡信号端子に接続した構造（図１、図１２、図１３、図１４、図１５、図１６）。
【０１５２】
▲２▼２つ以上のＩＤＴを有する３つの弾性表面波フィルタ素子を、１つの弾性表面波フィルタ素子を不平衡信号端子に接続し、残りの２つの各弾性表面波フィルタ素子をそれぞれ１つの弾性表面波フィルタ素子に対して並列に接続すると共に平衡信号端子に接続した構造（図１７）。
【０１５３】
▲３▼２つ以上のＩＤＴを有する４つの弾性表面波フィルタ素子（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）からなり、２つの弾性表面波フィルタ素子（Ａ、Ｂ）を一方の端子を共通化して不平衡信号端子に接続し、上記各弾性表面波フィルタ素子のそれぞれに弾性表面波フィルタ素子を縦続接続する（Ａ−Ｃ、Ｂ−Ｄ）と共に、縦続接続された弾性表面波フィルタ素子（Ｃ、Ｄ）のそれぞれを平衡信号端子に接続した構造（図１８、図１９、図３１、図３２）。
【０１５４】
▲４▼少なくとも３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子で、平衡信号端子はそれぞれ異なるＩＤＴに接続されている構造（図２０）。
【０１５５】
▲５▼３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子で、両端のＩＤＴが平衡信号端子に接続されていると共に、中央のＩＤＴのうち、ひとつのくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向に二分割されていると共に、二分割された、各くし歯状電極のそれぞれが平衡信号端子に接続されている構造（図２１）。
【０１５６】
▲６▼３つのＩＤＴを有する平衡一不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子で、両端のＩＤＴが平衡信号端子に接続されていると共に、中央のＩＤＴのうち、ひとつのくし歯状電極が交叉幅方向に二分割されている構造（図２２）。
【０１５７】
▲７▼２つ以上のＩＤＴを有する２つの各弾性表面波フィルタ素子を互いに縦続接続し、一方の弾性表面波フィルタを不平衡信号端子に接続し、他方の弾性表面波フィルタ素子を不平衡信号端子に接続した構造（図２３、図２４）。
【０１５８】
上記の▲１▼ないし▲３▼は、平衡信号端子が接続された２つの弾性表面波フィルタ素子で、ＳＳＢＷの大きさを互いに異ならせる一方、上記の▲４▼ないし▲７▼においては、平衡信号端子が接続された弾性表面波フィルタ素子のＩＤＴでＳＳＢＷの大きさを互いに異ならせている。
【０１５９】
次に、上記実施の各形態の何れかに記載の弾性表面波装置を用いた通信装置について図４５に基づき説明する。上記通信装置８００は、受信を行うレシーバ側（Ｒｘ側）として、アンテナ８０１、アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ８０２、アンプ８０３、Ｒｘ段間フィルタ８０４、ミキサ８０５、１ｓｔＩＦフィルタ８０６、ミキサ８０７、２ｎｄＩＦフィルタ８０８、１ｓｔ＋２ｎｄローカルシンセサイザ８１１、ＴＣＸＯ（temperature compensated crystal oscillator（温度補償型水晶発振器））８１２、デバイダ８１３、ローカルフィルタ８１４を備えて構成されている。
【０１６０】
Ｒｘ段間フィルタ８０４からミキサ８０５へは、図４５に二本線で示したように、バランス性を確保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
【０１６１】
また、上記通信装置８００は、送信を行うトランシーバ側（Ｔｘ側）として、上記アンテナ８０１および上記アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ８０２を共用するとともに、ＴｘＩＦフィルタ８２１、ミキサ８２２、Ｔｘ段間フィルタ８２３、アンプ８２４、カプラ８２５、アイソレータ８２６、ＡＰＣ（automatic power control（自動出力制御））８２７を備えて構成されている。
【０１６２】
そして、上記のＲｘ段間フィルタ８０４、１ｓｔＩＦフィルタ８０６、ＴｘＩＦフィルタ８２１、Ｔｘ段間フィルタ８２３には、上述した本実施の形態に記載の弾性表面波装置が好適に利用できる。
【０１６３】
本発明にかかる弾性表面波装置は、振幅差や位相差が改善されているという優れた特性を有するものである。よって、上記弾性表面波装置を有する本発明の通信装置は、伝送特性を向上できるものとなっている。
【０１６４】
本発明は、上述した実施の各形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１６５】
【発明の効果】
本発明は、以上にように、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、各平衡信号端子にそれぞれ接続されている各弾性表面波励振部分にてそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定されている構成である。
【０１６６】
それゆえ、上記構成は、それぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定したから、各平衡信号端子間での振幅差や位相差を上記各ＳＳＢＷの違いにより調整できて、上記振幅差や位相差を改善できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の弾性表面波装置に係る実施の第一形態を示す構成図である。
【図２】従来例の弾性表面波装置を示す構成図である。
【図３】上記実施の第一形態と従来例とにおける、周波数と振幅差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図４】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの間隔（ギャップ）をそれぞれ変えたときの、周波数と挿入損失との関係をそれぞれ示すグラフであり、（ａ）は、アース−アースの関係のとき、（ｂ）は、アース−シグナルの関係のときを示す。
【図５】弾性表面波装置に生じるＳＳＢＷを説明するためのグラフである。
【図６】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの間隔（ギャップ）をそれぞれ変えたときの、周波数と挿入損失との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図７】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの間隔（ギャップ）をそれぞれさらに変えたときの、周波数と挿入損失との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図８】上記間隔（ギャップ）と、ＳＳＢＷの励振によるリップルと周波数との関係を示すグラフである。
【図９】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの距離を変えたときのＳＳＢＷのリップルによる挿入損失の変化を示すグラフである。
【図１０】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの距離を変えたときの挿入損失の変化を示すグラフである。
【図１１】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの距離を変えたときの挿入損失の変化を示す他のグラフである。
【図１２】上記実施の第一形態の一変形例を示す構成図である。
【図１３】上記実施の第一形態における他の変形例を示す構成図である。
【図１４】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１５】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１６】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１７】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１８】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１９】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２０】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２１】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２２】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２３】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２４】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２５】本発明の弾性表面波装置に係る実施の第二形態を示す構成図である。
【図２６】上記実施の第二形態と従来例とにおける、周波数と振幅差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図２７】上記実施の第二形態の一変形例を示す構成図である。
【図２８】上記実施の第二形態における他の変形例を示す構成図である。
【図２９】上記実施の第二形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３０】上記実施の第二形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３１】上記実施の第二形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３２】上記実施の第二形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３３】本発明の弾性表面波装置に係る実施の第三形態を示す構成図である。
【図３４】上記実施の第三形態と従来例とにおける、周波数と振幅差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図３５】上記実施の第三形態と従来例とにおける、周波数と位相差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図３６】上記実施の第三形態の一変形例を示す構成図である。
【図３７】上記実施の第三形態における他の変形例を示す構成図である。
【図３８】上記実施の第三形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３９】本発明の弾性表面波装置に係る実施の第四形態を示す構成図である。
【図４０】上記実施の第四形態の効果を示すための、比較例の弾性表面波装置の構成図である。
【図４１】上記実施の第四形態と比較例とにおける、周波数と位相差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図４２】上記実施の第四形態の一変形例を示す構成図である。
【図４３】上記実施の第四形態における、他の変形例を示す構成図である。
【図４４】上記実施の第四形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図４５】上記実施の各形態に記載の弾性表面波装置の何れかを用いた通信装置の要部ブロック図である。
【符号の説明】
２０１、２０２ 弾性表面波フィルタ素子
２０３、２０４、２０５、２２８、２２９、２３０ ＩＤＴ（くし型電極部）
【発明の属する技術分野】
本発明は、携帯電話などの小型通信機に好適な弾性表面波装置、特に平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置およびそれを有する通信機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話機といった通信機の小型化、軽量化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。これを実現するための手段として、各構成部品の削減、小型化はもとより、複数の機能を複合した部品の開発も進んできた。このような状況を背景に、携帯電話機などの通信機のＲＦ（Radio Frequency）段に使用する弾性表面波装置に平衡−不平衡変換機能、いわゆるバランの機能を持たせたものも近年盛んに研究され、ＧＳＭなどを中心に使用されるようになってきた。
【０００３】
入力インピーダンスと出力インピーダンスとを互いに異ならせ、平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波装置としては、例えば図２に示すような構成が知られている。図２に示す弾性表面波装置では、圧電基板は図示が省略されており、第１の弾性表面波フィルタ素子１０８と、第１の弾性表面波フィルタ素子１０８とは出力信号の位相が１８０度異なるように設定された第２の弾性表面波フィルタ素子１１９と、１端子対弾性表面波共振子１１２と、１端子対弾性表面波共振子１１６とが圧電基板上に設けられている。
【０００４】
第１の弾性表面波フィルタ素子１０８は、３つのくし型電極部（インターディジタルトランスデューサともいい、以下、ＩＤＴと記す）を有しており、ＩＤＴ１０３の左右にそれぞれ各ＩＤＴ１０４、１０５を配置し、これらの各ＩＤＴ１０４、１０３、１０５を挟み込むように、各リフレクタ１０６、１０７が配置された３ＩＤＴを有する縦結合共振子型のものである。
【０００５】
１端子対弾性表面波共振子１１２は、ＩＤＴ１０９を挟み込むように各リフレクタ１１０、１１１が配置されたものである。１端子対弾性表面波共振子１１６は、ＩＤＴ１１３を挟み込むように各リフレクタ１１４、１１５が配置されたものである。ＩＤＴ１０３とＩＤＴ１０９とが互いに直列に接続されている。また、各ＩＤＴ１０４、１０５とＩＤＴ１１３とが互いに直列に接続されている。
【０００６】
縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子１０８において、ＩＤＴ１０３とＩＤＴ１０４との間、およびＩＤＴ１０３とＩＤＴ１０５との間数本の電極指のピッチ（図２の１１７と１１８の箇所）をＩＤＴの他の部分より狭くして（以後、狭ピッチ電極指）おり、さらにＩＤＴ−ＩＤＴ間隔をその周りのＩＤＴの波長の約０．５倍とすることで、バルク波として放出する成分による損失を低減している。ちなみに図２では図を簡潔にするために電極指の本数を少なく示している。
【０００７】
第２の弾性表面波フィルタ素子１１９は、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子１０８で中央ＩＤＴの向きを反転させたものである。第２の弾性表面波フィルタ素子１１９には、１端子対弾性表面波共振子１１２と同一構造の１端子対弾性表面波共振子１２０と１端子対弾性表面波共振子１１６と同一構造の１端子対弾性表面波共振子１２１とが接続されている。
【０００８】
第１、第２の弾性表面波フィルタ素子１０８、１１９における、それぞれ一方の各端子１２２、１２３を電気的に並列に接続し、もう一方の各端子１２４、１２５を電気的に直列に接続して、並列に接続した端子で不平衡端子、直列に接続した各端子で平衡端子を構成している。
【０００９】
上記の平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置においては、不平衡信号端子と平衡信号端子のそれぞれの端子との間の通過帯域内での伝送特性において、振幅特性が等しく、かつ位相が１８０度反転していることが要求され、それぞれ振幅差および位相差と呼んでいる。
【００１０】
振幅差および位相差とは、前記平衡−不平衡変換機能を有するフィルタとしての弾性表面波装置を３ポートのデバイスと考え、例えば不平衡入力端子をポート１、平衡出力端子のそれぞれをポート２、ポート３としたときの、振幅差＝｜Ａ｜、Ａ＝｜２０ｌｏｇＳ２１｜−｜２０ｌｏｇＳ３１｜位相差＝｜Ｂ−１８０｜、Ｂ＝｜∠ｓ２１−∠ｓ３１｜で定義されるものである。このような振幅差、位相差は、理想的にはフィルタの通過帯域内で振幅差が０ｄＢ、位相差は０度とされている。
【００１１】
【特許文献１】
特開平１０−１１７１２３号公報（公開日：１９９８年５月６日）
【００１２】
【特許文献２】
特開２００１−３０８６７２号公報（公開日：２００１年１１月２日）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術では、図２の構成において振幅差、位相差のズレが存在し、その値は実際に使用する上で問題となるレベルであった。その理由は、図２における、各ＩＤＴ１０４、１０５にそれぞれ隣り合うＩＤＴ１０３の各電極指は、それぞれアース電極であるのに対し、各ＩＤＴ１２６、１２８にそれぞれ隣り合うＩＤＴ１２７の各電極指は、それぞれシグナル電極となる構成のためである。
【００１４】
このように．ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔部でシグナル電極とアース電極とが互いに隣り合っている場合は、ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔部に強度のピークを持つ共振モードの電流への変換効率が良くなるため、通過帯域内、特に高周波数側の挿入損失が、アース電極、またはシグナル電極同士が隣り合っている場合に比べて小さくなり、また、通過帯域幅が広くなると同時に、位相関係にずれが生じてくる。
【００１５】
この差が、第１の弾性表面波フィルタ素子１０８と、第２の弾性表面波フィルタ素子１１９とを使って平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を形成するときの振幅差、位相差の悪化につながるという問題を生じている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の弾性表面波装置は、上記問題を解決するため、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子は、それらにてそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定されていることを特徴としている。
【００１７】
上記構成によれば、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にてそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定したから、各平衡信号端子間での振幅差や位相差を互いに異なる各ＳＳＢＷにより調整できて、上記振幅差や位相差を改善できる。
【００１８】
上記弾性表面波装置では、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、電極指の先端とバスバーとの間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００１９】
上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２０】
上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、ＩＤＴにおける電極指とバスバーとの間に、バスバーと接続されて設けられたダミー電極指の長さを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２１】
上記弾性表面波装置では、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２２】
上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２３】
上記弾性表面波装置では、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、全てのＩＤＴが第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子で互いに異なる構造を有していてもよい。上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子で、何れか１つのＩＤＴのみが他のＩＤＴと異なる構造を有していてもよい。
【００２４】
本発明の他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも３つのＩＤＴを有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子を有し、一方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴと、他方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴとでそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴としている。
【００２５】
上記構成によれば、各平衡信号端子にそれぞれ接続された各ＩＤＴにてそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定したから、各平衡信号端子間での振幅差や位相差を互いに異なる各ＳＳＢＷにより調整できて、上記振幅差や位相差を改善できる。
【００２６】
上記弾性表面波装置では、さらに、弾性表面波フィルタ素子が、複数、互いに縦続接続されていてもよい。
【００２７】
上記弾性表面波装置においては、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、電極指の先端とバスバーとの間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２８】
上記弾性表面波装置では、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００２９】
上記弾性表面波装置では、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、電極指とバスバーとの間に、バスバーと接続されて設けられたダミー電極指の長さを互いに異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００３０】
上記弾性表面波装置においては、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００３１】
上記弾性表面波装置では、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせてもよい。
【００３２】
上記弾性表面波装置においては、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子のそれぞれに弾性表面波共振子を直列接続してもよい。上記構成によれば、弾性表面波共振子を直列に接続したことにより、通過帯域外の減衰量を調整できて、上記減衰量を大きくできる。
【００３３】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、電極指の先端とバスバーとの間隔が互いに異なっていることを特徴としている。
【００３４】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔が互いに異なっていることを特徴としている。
【００３５】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、ＩＤＴにおける電極指とバスバーとの間に、バスバーと接続されて設けられたダミー電極指の長さが互いに異なっていることを特徴としている。
【００３６】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つが互いに異なっていることを特徴としている。
【００３７】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つが互いに異なっていることを特徴としている。
【００３８】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、電極指の先端とバスバーとの間隔が互いに異なっていてもよい。
【００３９】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔が互いに異なっていてもよい。
【００４０】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、ＩＤＴにおける電極指とバスバーとの間に、バスバーと接続されて設けられたダミー電極指の長さが互いに異なっていてもよい
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー部分の膜厚および膜構成の少なくとも一つが互いに異なっていてもよい。
【００４１】
本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前記問題を解決するために、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料および厚みの少なくとも一つが互いに異なっていてもよい。
【００４２】
上記構成によれば、各平衡信号端子にそれぞれ直列接続されている各弾性表面波共振子にて、上記の各互いに異なる設定によって、それぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定できるから、各平衡信号端子間での振幅差や位相差を互いに異なる各ＳＳＢＷにより調整できて、上記振幅差や位相差を改善できる。
【００４３】
上記弾性表面波装置では、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、少なくとも２つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されており、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、電極指の先端とバスバーとの間隔、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔、バスバーに接続されたダミー電極指の長さ、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つ、および、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つ、からなる群より選ばれた少なくとも１つを互いに異ならせてもよい。
【００４４】
上記弾性表面波装置においては、少なくとも３つのＩＤＴを有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、一方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴと、他方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴとで、電極指の先端とバスバーとの間隔、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔、バスバーに接続されたダミー電極指の長さ、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つ、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つ、からなる群から選ばれた少なくとも１つを互いに異ならせてもよい。
【００４５】
上記弾性表面波装置では、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各ＩＤＴにて、一方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴと該ＩＤＴに隣り合うＩＤＴとの対面部分の各電極指と、他方の平衡信号端子が接続されているＩＤＴと該ＩＤＴに隣り合うＩＤＴとの対面部分の各電極指とで、隣り合う電極指の極性が互いに異なっていてもよい。
【００４６】
上記弾性表面波装置においては、電極指の先端とバスバーとの間隔を、弾性表面波の伝搬する波長（λ）の０．５５倍以下とし、かつ、電極指の先端とバスバーとの間隔が最も狭い箇所の、電極指の先端とバスバーとの間隔を０．１μｍ以上とすることが望ましい。
【００４７】
本発明に係る通信機は、前記の問題を解決するために、上記の何れかに記載の弾性表面波装置を有することを特徴としている。上記構成によれば、平衡信号端子間の振幅差、位相差を改善できて、通信機における伝送特性を向上できる。
【００４８】
【発明の実施の形態】
本発明に係る弾性表面波装置の実施の各形態について図１ないし図４４に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００４９】
（実施の第一形態）
図１に、本発明の実施の第一形態を示す。本発明に係る実施の第一形態の説明については、ＰＣＳ用の受信用フィルタを例にとって説明する。実施の第一形態では、図示しないが４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板（圧電基板）上に、ＩＤＴやリフレクタや弾性表面波共振子といった各弾性表面波素子がアルミニウム（Ａｌ）電極により形成されている。
【００５０】
ＩＤＴは、帯状のバスバー（基端部）と、そのバスバーの一方の長手方向側部から上記バスバーの長手方向に対して直交する方向に延びる複数の、互いに平行な帯状の電極指とを備えた電極指部を、２つ、圧電基板上に備えており、上記各電極指部の電極指の側部を互いに対面するように互いの電極指間に入り組んだ状態にて上記各電極指部を有するものである。
【００５１】
よって、ＩＤＴでは、２つの電極指部に対し各バスバーを介して入力電気信号に基づく電位差が生じると、その部分の圧電基板の表面上に弾性表面波が発生し、その弾性表面波は各電極指の幅方向（各電極指の長手方向に対し直交する方向）の双方向に圧電基板の表面上を伝搬する。一方、電気信号が入力されていないＩＤＴでは、伝搬してきた弾性表面波により圧電基板の表面上に発生した電位差を各電極指によって検出し、出力電気信号に変換して出力できる。
【００５２】
このようなＩＤＴでは、各電極指の長さや幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極指間での入り組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ設定することにより信号変換特性や、通過帯域の設定が可能となっている。
【００５３】
前記リフレクタは、伝搬してきた弾性表面波をその伝搬方向に反射するためのものであり、帯状の一対の基端部（バスバー）と、それら基端部の一方の側部から直交する方向にそれぞれ延びて、上記各基端部を電気的に接続する、複数の、互いに平行な帯状の電極指とを備えたものである。
【００５４】
本実施の第一形態の構成は、図２に示す従来例の構成と、下記の本発明の特徴部分を除いて基本的には同じである。本実施の第一形態は、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８と、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８に対し出力信号の位相が１８０度異なるように設定された第２の弾性表面波フィルタ素子２１９とを有している。第１の弾性表面波フィルタ素子２０８は、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型のものである。第１の弾性表面波フィルタ素子２０８には、１端子対弾性表面波共振子２１２と、１端子対弾性表面波共振子２１６とがそれぞれ接続されていることが好ましい。
【００５５】
縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子２０８では、中央のＩＤＴ２０３の左右に（弾性表面波の伝搬方向に沿って）各ＩＤＴ２０４、２０５を上記ＩＤＴ２０３を挟むようにそれぞれ配置し、さらに、これらＩＤＴ２０４、２０３、２０５を左右からそれぞれ挟み込むように、各リフレクタ２０６、２０７が配置されている。
【００５６】
１端子対弾性表面波共振子２１２においては、中央のＩＤＴ２０９を左右からそれぞれ挟み込むように各リフレクタ２１０、２１１が配置されている。１端子対弾性表面波共振子２１６では、中央のＩＤＴ２１３を左右からそれぞれ挟み込むように各リフレクタ２１４、２１５が配置されている。ＩＤＴ２０３とＩＤＴ２０９とが互いに直列に接続されている。また、各ＩＤＴ２０４、２０５とＩＤＴ２１３とが互いに直列に接続されている。
【００５７】
このような縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子２０８において、ＩＤＴ２０３とＩＤＴ２０４の間、およびＩＤＴ２０３とＩＤＴ２０５の間に近い数本の電極指のピッチ（図１の２１７と２１８の箇所）をＩＤＴの他の部分のピッチより狭くして（以後、狭ピッチ電極指）おり、さらにＩＤＴ−ＩＤＴ間隔をその周りのＩＤＴの波長の約０．５倍とすることで、バルク波として放出する成分による損失を低減している。ちなみに図１では図を簡潔にするために電極指の本数を少なく示している。
【００５８】
第２の弾性表面波フィルタ素子２１９は、３ＩＤＴタイプの縦結合共振子型の第１の弾性表面波フィルタ素子２０８で中央のＩＤＴ２０３の向きを反転させた、中央のＩＤＴ２２９を有する縦結合共振子型のものである。第２の弾性表面波フィルタ素子２１９にも、１端子対弾性表面波共振子２１２と同一構造の１端子対弾性表面波共振子２２０と、１端子対弾性表面波共振子２１６と同一構造の１端子対弾性表面波共振子２２１とが接続されていることが好ましい。
【００５９】
第１および第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９におけるそれぞれ一方の各端子２２２、２２３を電気的に並列に接続し、もう一方の各端子２２４、２２５を電気的に直列に接続し、並列に接続した端子で不平衡端子、直列に接続した端子で平衡端子を構成している。
【００６０】
第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の詳細な設計は、通常のピッチで決まる波長をそれぞれλ１、狭ピッチ電極指の電極指のピッチで決まる波長をそれぞれλ２、リフレクタの波長をそれぞれλＲとすると、
交叉幅：２９．２λ１
ＩＤＴ本数（２０４、２０３、２０５の順）：２５（４）／（４）４７（４）／（４）２５本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数、２２８、２２９、２３０も同じ）
ＩＤＴ波長λ１：２．０４９μｍ、λ２：１．８６０μｍ（λ１はピッチを狭くしていない部分、λ２はピッチを狭くした部分）
リフレクタ波長λＲ：２．０５６μｍ
リフレクタ本数：１５０本
ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔：波長λ１とλ２の電極指に挟まれた箇所：０．２５λ１＋０．２５λ２
波長λ２の電極指に挟まれた箇所：０．５０λ２
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
ＩＤＴｄｕｔｙ：０．７０
リフレクタｄｕｔｙ：０．５７
電極膜厚：８．０３λ１
電極指先端−バスバー間距離
第１の弾性表面波フィルタ素子２０８：０．９μｍ
第２の弾性表面波フィルタ素子２１９：０．３μｍ
である。
【００６１】
各１端子対弾性表面波共振子２１２、２２０の詳細な設計は，
交叉幅：４９．１λ１
ＩＤＴ本数：２８１
ＩＤＴ波長およびリフレクタ波長：２．０３５μｍ
リフレクタ本数：２９本
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
である。
【００６２】
１端子対弾性表面波共振子２１６、２２１の詳細な設計は，
交叉幅：１７．７λ１
ＩＤＴ本数：２８１
ＩＤＴ波長およびリフレクタ波長：１．９８０μｍ
リフレクタ本数：２９本
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
である。
【００６３】
本実施の第一形態の特徴は、第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９において、電極指先端からバスバーまでの距離を第１の弾性表面波フィルタ素子２０８では０．９μｍ、第２の弾性表面波フィルタ素子２１９では０．３μｍと互いに異ならせている点である。
【００６４】
以下に、本実施の第一形態の効果について説明する、図３に、実施の第一形態の構成での各周波数に対する振幅差のグラフを示す。比較として、図２に示す従来例での振幅差の特性も図３に合わせて示す。ＰＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。この範囲で最大の振幅差は、従来例では１．５０ｄＢであるのに対し、実施の第一形態では１．２３ｄＢと、振幅差が０．２７ｄＢ改善されている。
【００６５】
まず、従来技術の説明にも記載したが、図２に示す従来例の構成において振幅差を悪くしている原因は、各ＩＤＴ１０４、１０５にそれぞれ隣り合うＩＤＴ１０３の各電極指はアース電極であるのに対し、各ＩＤＴ１２６、１２８にそれぞれ隣り合うＩＤＴ１２７の各電極指はシグナル電極であるためである。
【００６６】
これにより、従来例では、第１の弾性表面波フィルタ素子１０８と第２の弾性表面波フィルタ素子１１９との間にて周波数特性が互いにずれ、その影響で第１の弾性表面波フィルタ素子１０８と第２の弾性表面波フィルタ素子１１９との間の周波数特性および位相特性が互いにずれ、その結果、振幅差が悪くなる。
【００６７】
共振子型の弾性表面波フィルタ素子および弾性表面波共振子においては、ＩＤＴ電極指先端とバスバーとの間のギャップ部分にてＳＳＢＷ（Surface Skimming Bulk Wave）が発生し、共振モードのレベルが変化する。
【００６８】
実施の第一形態では、弾性表面波が励振される電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離（ギャップ）を、第２の弾性表面波フィルタ素子２１９において、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８よりも短く設定している。
【００６９】
これにより、本実施の第一形態では、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８と第２の弾性表面波フィルタ素子２１９とにおいて発生するＳＳＢＷの強度をそれぞれ調整して、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８と第２の弾性表面波フィルタ素子２１９との間の周波数特性のずれを補正できる。
【００７０】
その結果、本実施の第一形態は、第１の弾性表面波フィルタ素子２０８と第２の弾性表面波フィルタ素子２１９との間の周波数特性のずれが補正されて、振幅差が改善されたものとなる。
【００７１】
次に、本発明の原理について説明する。まず、図１の構成において、電極指の先端とバスバーの間隔の大きさを順次異ならせた上で、その振幅特性をそれぞれ測定した。それらの結果を図４（ａ）および図４（ｂ）にそれぞれ示した。
【００７２】
一方の平衡信号端子２２４に接続された第１の弾性表面波フィルタ素子２０８のように、平衡信号端子２２４に接続された各ＩＤＴ２０４、２０５と該各ＩＤＴ２０４、２０５と隣接するＩＤＴ２０３との互いに隣り合う部分の各電極指の極性がアース：アースである側の挿入損失を図４（ａ）に示した。他方の平衡信号端子２２５に接続された第２の弾性表面波フィルタ素子２１９のように、平衡信号端子２２５に接続された各ＩＤＴ２２８、２３０と該ＩＤＴ２２８、２３０と隣り合うＩＤＴ２２９との互いに隣り合う部分の各電極指の極性がアース：シグナルである側の挿入損失を図４（ｂ）に示した。
【００７３】
図４（ａ）および図４（ｂ）より、電極指の先端とバスバーの間隔の大きさによって、励振されるＳＳＢＷの大きさが変化し、挿入損失が変化していることが分かる。
【００７４】
ＳＳＢＷと周波数特性との関係は、図５に示すように、ＳＳＢＷの励振によるリップル（約１９４８ＭＨｚ）が、縦０次モードと縦２次モードが縮退したモードによる共振点と、ＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振点との、ほぼ中央に位置しているために、リップルが大きくなり、そのリップルが発生した周波数域で挿入損失を増加させるものである。このように、ＳＳＢＷの励振は、通常、リップルの発生として影響するので、ＳＳＢＷの発生を抑制するのが一般的であるが、本発明では、このＳＳＢＷを平衡度改善のためにうまく利用することを技術的な思想としている。
【００７５】
続いて、電極指の先端とバスバーとの間隔を、弾性表面波の伝搬する波長（λ）の０．５５倍以下とし、かつ、電極指の先端とバスバーとの間隔が最も狭い箇所の、電極指の先端とバスバーとの間隔を０．１μｍ以上とすることが好ましいことの根拠を以下に説明する。
【００７６】
まず、電極指の先端とバスバーとの間の距離のみを変化させたときの、伝送特性の変化を図６に示す。図６によると、電極指の先端とバスバーとの間の距離を１．０μｍから０．３μｍに変化させた場合、１９４５ＭＨｚ付近の挿入損失が約０．２ｄＢ減少し、改善されていることがわかる。つまり、電極指の先端とバスバーとの距離を減少させることによって、バルク波（ＳＳＢＷ）の励振によるリップルが小さくなるとともに、リップルの周波数（ｆSSBW）が低域側に移動し、縦０次モードと縦２次モードが縮退したモードの共振周波数（ｆ1もしくはｆ2）と、ＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ2もしくはｆ1）との中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）付近よりも低域側に移動したことによって、挿入損失が改善したものと考えられる。この挿入損失の改善は、ＳＳＢＷのリップルが存在する１９４５ＭＨｚ付近だけではなく、全体的に挿入損失が小さくなっている。このことは、ＳＳＢＷによる励振は１９４５ＭＨｚ付近だけでなく、通過帯域内に広く影響し、ＳＳＢＷの励振を小さくすることは、全体的な挿入損失の改善に適している事を示している。
【００７７】
続いて、図７に電極指の先端とバスバーとの間の距離を、０．５μｍ、１．０μｍ、２．０μｍとしたときの伝送特性をそれぞれ示す。図７に示すように、電極指の先端とバスバーとの間の距離を広げるにしたがって、先の図６とは逆に、ＳＳＢＷの励振によるリップルは大きくなり、さらに高域側に移動していることがわかる。
【００７８】
次に、図８は、実施の第一形態において、電極指の先端とバスバーとの間の距離と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）と、縦０次モードと縦２次モードが縮退したモードの共振周波数（ｆ1もしくはｆ2）とＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ2もしくはｆ1）の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）との関係を示したものである。
【００７９】
図８の横軸は、電極指の先端とバスバーとの間の間隔を伝搬する表面波の波長で規格化し、図８の縦軸は、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）を、縦０次モードとＩＤＴ−ＩＤＴモードのそれぞれの共振周波数（ｆ1、ｆ2）の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）で規格化した値、つまり、２＊ｆSSBW／（ｆ1＋ｆ2）である。
【００８０】
図８より、特に電極指の先端とバスバーとの間の距離を、弾性表面波の波長の０．５５倍（図８の破線にて図示）以下にすることによって、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）が、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードの共振周波数（ｆ1もしくはｆ2）、およびＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ2もしくはｆ1）の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）よりも低くなることがわかる。
【００８１】
以上より、周波数軸上で隣り合った２つの共振モードの共振周波数をそれぞれｆ1、ｆ2としたときの、２つの共振周波数の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）とを互いに異ならせることによって、弾性表面波装置における通過帯域内の挿入損失を改善することができることがわかる。
【００８２】
そのように互いに異ならせる方法の一つとして、１つのＩＤＴにおいて、一方のＩＤＴ電極における電極指の先端と、他方のＩＤＴ電極のバスバーとの間の距離を変化させることが有効である。
【００８３】
特に、本実施の第一形態で示したように、１つのＩＤＴにおいて、一方のＩＤＴ電極における電極指の先端と、他方のＩＤＴ電極のバスバーとの間の距離を小さくすることで、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）が、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードの共振周波数（ｆ1もしくはｆ2）およびＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ2もしくはｆ1）の中心（（ｆ1＋ｆ2）／２）よりも低くした場合、つまり、ｆSSBW＜（ｆ1＋ｆ2）／２の場合には、リップルのレベルも小さくなることから、挿入損失の改善に有効であることがわかる。
【００８４】
しかしながら、逆にｆSSBW＞（ｆ1＋ｆ2）／２の場合には、リップルのレベルそのものが大きくなることから、両者の周波数がほぼ同じ場合よりも挿入損失が悪化することがわかる。
【００８５】
ここで、さらに、電極指の先端とバスバーとの間の距離と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆSSBW）での挿入損失との関係を図９に示す。この図９により、電極指の先端とバスバーとの間の距離を狭くすることにより、ＳＳＢＷの励振によるリップルが挿入損失の改善に有効であることがわかる。
【００８６】
しかし、電極指の先端とバスバーとの間の距離を狭くすることにより、電極指の先端とバスバーとの間に入る寄生容量が大きくなる可能性がある。この寄生容量により挿入損失が悪化する可能性がある。そこで、図１０に、電極指の先端とバスバーとの間の距離を変化させることによる容量変化を有限要素法で求め、その容量変化による挿入損失の変化を示す。この図１０より、電極指の先端とバスバーとの間の距離が０．１μｍ未満となると、急激に電極指の先端とバスバーとの間の部分での寄生容量が増加し、結果として挿入損失が悪化することが明らかである。
【００８７】
また、図１１には、図９で示したＳＳＢＷの励振によるリップルによる挿入損失の変化と、図１０で示した寄生容量による挿入損失の両方を考慮したときの、挿入損失の変化を示す。電極指の先端とバスバーとの間の距離を狭く、特に伝搬する弾性表面波の波長の０．５５倍以下とすることで、ＳＳＢＷの励振によるリップルが小さくなるが、この図１１から明らかなように、電極指の先端とバスバーとの間の距離が０．１μｍ未満となると、ＳＳＢＷのリップルが小さくなることによる挿入損失の低下の効果よりも、寄生容量の増加による挿入損失の悪化の方が大きくなる。結果として、全体の挿入損失が悪化してしまう。
【００８８】
よって、電極指の先端とバスバーとの間の距離は、伝搬する弾性表面波の波長の０．５５倍以下であり、かつ、０．１μｍ以上に設定することがより好ましいことがわかる。これら設定は、後述する実施の各形態においても有効である。
【００８９】
このように、電極指の先端とバスバーとの間の距離が変化すると、ＳＳＢＷの励振や、寄生容量が変化する。このことから、実際に圧電基板上に金属薄膜からなるＩＤＴを形成する場合には、従来のように、ＩＤＴの膜厚や電極指の線幅を高精度に制御するだけでは弾性表面波装置における安定した電気特性が得られずに、電極指の先端とバスバーとの間の距離も、同様に高精度に制御する必要がある。
【００９０】
ここで、ＩＤＴの形成には、一般にフォトリソグラフィ法が用いられ、露光光源の波長は０．２μｍから０．４μｍ程度である。そのため、ＩＤＴ電極のギャップ部分の寸法が０．５μｍ程度以下となると、光の回折効果のために、ＩＤＴ電極のギャップ幅を高精度に制御することは難しくなる。
【００９１】
しかしながら、特性面でのメリットから、ＩＤＴ電極の微細化が進んでおり、本発明においても、電極指の先端とバスバーとの間の距離、電極指同士の最小ギャップ、いずれとも、露光光源の波長と同程度にすることで効果が得られている。よって、電極指の先端とバスバーとの間の距離と、電極指同士の最小ギャップとをほぼ等しくしておくことにより、電極指の先端とバスバーとの間の距離も、電極指同士の最小ギャップも、どちらも、高精度に制御することが可能となり、弾性表面波装置においてより安定した電気的特性が得られる。
【００９２】
また、電極指の先端と、バスバーとの間の距離も、電極指同士の最小ギャップもどちらも同一寸法となることから、ギャップの狭い部分が局在せず、結果的に耐サージ性や耐電力性が向上するという、さらなる効果も得られる。
【００９３】
また、本発明では、平衡信号端子が接続される弾性表面波フィルタおよびＩＤＴの一方はＳＳＢＷが強く励振される構造、他方は弱く励振される構造にすることが望ましい。また、ＩＤＴの隣り合う部分の極性により、特性面では、各ＩＤＴの互いに隣り合う部分の電極指の極性がアース：アースにおいては低周波側が盛り上がった特性、各ＩＤＴの互いに隣り合う部分の電極指の極性がアース：シグナルにおいては、高周波側が盛り上がった特性という特徴がある。
【００９４】
一方で、ＳＳＢＷによるレスポンスは通過帯域の低域側にくぼみとしてあらわれ、フィルタ部分のバスバーと電極指先端のギャップを小さくしていくと、このレスポンスが小さくなり、低周波側にシフトする（図６参照）。
【００９５】
弾性表面波フィルタ素子の弾性表面波素子部分にダミー電極を付加すると、このレスポンスが小さくなり、低周波側にシフトする。（図６参照）という傾向がある。そのため、下記のように設定することが望ましい。下記の各設定は、後述する実施の各形態においても有効である。
【００９６】
ＩＤＴ−ＩＤＴの互いに隣り合う部分の電極指の極性がアース：アース、アース：シグナルの場合において、
(1) ＩＤＴ−ＩＤＴの隣り合う部分の電極指の極性がアース：アースの弾性表面波フィルタにおいて、ＳＳＢＷの励振が強くなるように弾性表面波フィルタ素子部分のバスバーと電極指先端のギャップを広くする（もしくは、ＩＤＴ−ＩＤＴの隣り合う部分の電極指の極性がアース：シグナルのフィルタにおいて、ＳＳＢＷの励振が弱くなるようにバスバーと電極指先端のギャップを狭くする）
(2) ＩＤＴ−ＩＤＴの隣り合う部分の電極指の極性がアース：アースの弾性表面波フィルタにおいて、ＳＳＢＷの励振が強くなるようにダミー電極を小さくする（もしくは、ＩＤＴ−ＩＤＴの隣り合う部分の電極指の極性がアース：シグナルのフィルタにおいて、ＳＳＢＷの励振が弱くなるようにダミー電極を大きくする）。このときに、振幅バランス性のうねりが改善される。
【００９７】
なお、ＳＳＢＷは横モードと結合しやすいため、横モードを変化させることで、ＳＳＢＷとの結合も変化し、ＳＳＢＷの励振が変化する。つまり、横モードを変化させることでも、本願発明の効果が得られる。
【００９８】
なお、実施の第一形態では、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型である第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の入出力側にそれぞれ１つずつの１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成において説明したが、本発明は、上記構成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾性表面波装置においても、同様な効果が得られる。例えば、図１２に示すような３ＩＤＴ型の縦結合共振子型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の入力（不平衡信号端子）側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成や、図１３に示すような３ＩＤＴ型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の出力（平衡信号端子）側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成においても、同様の効果が得られる。
【００９９】
また、実施の第一形態では、３ＩＤＴ型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の中央のＩＤＴを入力（不平衡信号）端子、両端のＩＤＴを出力（平衡信号）端子とした構成において説明したが、例えば、図１４に示すような３ＩＤＴ型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９の両側のＩＤＴを入力（不平衡）端子、中央のＩＤＴを出力（平衡）端子とした構成においても、同様の効果が得られる。
【０１００】
さらに、実施の第一形態では、２つの第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９を３ＩＤＴ縦結合共振子型で構成する場合について説明したが、例えば、図１５に示すように２ＩＤＴ型の縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子２０８ａ、２１９ａで構成する場合や、図１６に示すように５ＩＤＴ型の縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子２０８ｂ、２１９ｂで構成する場合においても、同様の効果が得られる。
【０１０１】
その上、実施の第一形態においては、図１７に示すように、２つ以上のＩＤＴを有する３つの各弾性表面波フィルタ素子９１、９２、９３を備え、１つの弾性表面波フィルタ素子９１を不平衡信号端子９４に接続し、残りの２つの各弾性表面波フィルタ素子９２、９３をそれぞれ１つの弾性表面波フィルタ素子に対して並列に接続すると共に各平衡信号端子９５、９６に接続した構成の場合においても、同様の効果が得られる。
【０１０２】
さらに、実施の第一形態では、２つの弾性表面波フィルタ素子を３ＩＤＴ型の縦結合共振子型で構成する場合において説明したが、例えば、図１８に示すように３ＩＤＴ縦結合共振子型の第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子２０８、２１９を互いに縦続接続したような構成においても、同様の効果が得られる。
【０１０３】
また、図１９に示すように、図１８と同様の構成において、ＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を、各弾性表面波フィルタ素子２３１、２３２では互いに等しくして、各弾性表面波フィルタ素子２３３、２３４においては互いに異ならせた場合にも、同様の効果が得られる。
【０１０４】
さらに、図２０に示すように、少なくとも３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置１２００で、各平衡信号端子１２４、１２５はそれぞれ異なる各ＩＤＴ１２０２、１２０３に接続され、各ＩＤＴ１２０２、１２０３にて、それぞれ、電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、同様の効果が得られる。
【０１０５】
図２１に示すように、３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置１３００で、中央のＩＤＴ１３０１の両端の各ＩＤＴ１３０２、１３０３が不平衡信号端子にそれぞれ接続されていると共に、中央のＩＤＴ１３０１のうち、一つのくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に、二分割された各くし歯状電極がそれぞれ各平衡信号端子１２４、１２５にそれぞれ接続され、上記の二分割された各くし歯状電極にて、それぞれ、電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、同様の効果が得られる。
【０１０６】
図２２に示すように、３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置１４００で、両端の各ＩＤＴ１４０２、１４０３が不平衡信号端子に接続されていると共に、中央のＩＤＴ１４０１のうち、一つのくし歯状電極が交叉幅方向に二分割され、上記の二分割された各くし歯状電極にてそれぞれ電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、同様の効果が得られる。
【０１０７】
図２３に示すように、２つ以上のＩＤＴを有する２つの弾性表面波フィルタ素子１５１１、１５１２を互いに縦続接続し、一方の弾性表面波フィルタ素子１５１１の両端の各ＩＤＴ１５０２、１５０３を不平衡信号端子に接続し、他方の弾性表面波フィルタ素子１５１２の両端の各ＩＤＴ１５０７、１５０８をそれぞれ各平衡信号端子１２４、１２５に接続した弾性表面波装置１５００において、上記各ＩＤＴ１５０７、１５０８にて、それぞれ、電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、本発明と同様の効果が得られる。
【０１０８】
図２４に示すように、２つ以上のＩＤＴを有する２つの弾性表面波フィルタ素子１６１１、１６１２を互いに縦続接続し、一方の弾性表面波フィルタ素子１６１１の中央のＩＤＴ１６０１を不平衡信号端子に接続し、他方の弾性表面波フィルタ素子１６１２の中央のＩＤＴ１６０６が弾性表面波の伝搬方向に沿って二分割されていると共に、二分割された各くし歯状電極がそれぞれ各平衡信号端子１２４、１２５に接続された弾性表面波装置１６００において、上記二分割された各くし歯状電極にて、それぞれ、電極指の先端とバスバーとの距離を相違させた構成でも、本発明と同様の効果が得られる。
【０１０９】
なお、図２３および図２４に示した構成は、２つの弾性表面波フィルタ素子を互いに縦続接続し、１つの弾性表面波フィルタ素子に各平衡信号端子１２４、１２５の両方とも接続されているので、図２０や図２１に示した構造と同様なものである。
【０１１０】
以上説明したように実施の第一形態では、２つ以上の各弾性表面波フィルタ素子を用いて平衡−不平衡変換を行う弾性表面波装置において、第１の縦結合弾性表面波フィルタ素子と、第２の縦結合弾性表面波フィルタ素子とにて、ＩＤＴの電極指先端からバスバーまでの距離をそれぞれ異ならせることで、各平衡信号端子間の振幅差を改善した弾性表面波装置が得られる。
【０１１１】
（実施の第二形態）
本発明に係る実施の第二形態では、ＰＣＳ用の受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。実施の第二形態では、図示しないが４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板上に弾性表面波素子がＡｌ電極により形成されている。実施の第二形態の構成は以下の特徴点を除いて図２に示す従来例の構成と基本的に同じである。従来例の構成と実施の第二形態の構成において、異なる部分について図２５に基づいて以下に示す。
【０１１２】
本実施の第二形態では、電極指の先端とバスバーとの距離（ギャップ）をダミー電極の設定により調整している。まず、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さが、従来例において０μｍ（第１、第２の各弾性表面波フィルタ素子１０８、１１９ともにダミー電極なし）であり、実施の第二形態に係る、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子３０２においては、０．３μｍ（３０３で示す箇所）である。縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子３０１はダミー電極なしである。
【０１１３】
実施の第二形態の特徴は、各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２において、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを互いに異ならせて、上記距離（ギャップ）を相違させている点である。
【０１１４】
続いて、本実施の第二形態の効果について説明する。図２６に、実施の第二形態の構成での周波数に対する振幅差のグラフを示す。比較として、図２に示す従来例での振幅差の特性も図２６に合わせて示す。ＰＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。この範囲で最大の振幅差は、従来例では１．５０ｄＢであるのに対し、実施の第二形態では１．２９ｄＢと、振幅差が０．２１ｄＢ改善されている。
【０１１５】
実施の第二形態の効果が得られた理由を以下に説明する。実施の第二形態では、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを、弾性表面波フィルタ素子３０２において、弾性表面波フィルタ素子３０１よりも長く設定している。これにより、本実施の第二形態においては、弾性表面波フィルタ素子３０１と弾性表面波フィルタ素子３０２とにおいて発生するＳＳＢＷの強度をそれぞれ調整することによって、弾性表面波フィルタ素子３０１と弾性表面波フィルタ素子３０２との間の周波数特性および位相特性のずれが補正される。
【０１１６】
その結果、本実施の第二形態では、弾性表面波フィルタ素子３０１と、１端子対弾性表面波共振子３０４と１端子対弾性表面波共振子３０５とからなる弾性表面波装置、および、弾性表面波フィルタ素子と１端子対弾性表面波共振子３０７と１端子対弾性表面波共振子３０８とからなる弾性表面波装置の間の周波数特性および位相特性のずれを補正して、振幅差が改善されている。
【０１１７】
実施の第二形態では、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２の入出力側にそれぞれ１つずつの１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成において説明したが、本発明はこの構成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾性表面波装置においても、同様な効果が得られる。例えば、図２７に示すような各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２の入力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成や、図２８に示すような各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２の出力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成においても、同様の効果が得られる。
【０１１８】
また、実施の第二形態では、２つの各弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２を３ＩＤＴ型で構成する場合について説明したが、例えば、図２９に示すように、２ＩＤＴ縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子３０１ａ、３０２ａで構成する場合や、図３０に示すように、５ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子３０１ｂ、３０２ｂにて構成する場合においても、同様の効果が得られる。
【０１１９】
さらに、実施の第二形態では、２つの３ＩＤＴ型の各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２を並列接続した場合について説明したが、例えば、図３１に示すように３ＩＤＴ型の各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ素子３０１、３０２を互いに縦続接続したような構成においても、同様の効果が得られる。
【０１２０】
その上、図３２に示すように、図３１と同様の構成において、ＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を、縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子３１０、３１１では互いに等しくして、縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子３１２、３１３においては互いに異ならせた場合にも、同様の効果が得られる。
【０１２１】
以上説明したように実施の第二形態では、２つの弾性表面波フィルタ素子を用いて平衡−不平衡変換を行う弾性表面波装置において、第１の縦結合弾性表面波フィルタ素子と第２の縦結合弾性表面波フィルタ素子にて、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さをそれぞれ異ならせることで、各平衡信号端子間の振幅差を改善した弾性表面波装置が得られる。
【０１２２】
（実施の第三形態）
本発明に係る実施の第三形態では、ＰＣＳ用の受信用フィルタを例にとって説明し、図示しないが４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板上に弾性表面波素子がＡｌ電極により形成されている。実施の第三形態の構成は図２に示す従来例の構成と以下の特徴点を除いて基本的に同じである。従来例の構成と実施の第三形態の構成において、異なる部分について以下に示す。
【０１２３】
図３３に示すように、１端子対弾性表面波共振子のＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離は、従来例では、０．９μｍ（１端子対弾性表面波共振子１１２、１１６、１２０、１２１）に設定されており、実施の第三形態では、０．９μｍ（各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２）と、０．３μｍ（各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４）とにそれぞれ設定されている。
【０１２４】
本実施の第三形態の特徴は、各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２と、各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４とにおいて、ＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を互いに異ならせている点である。
【０１２５】
続いて、本実施の第三形態の効果について説明する。図３４に実施の第三形態の構成での周波数に対する振幅差のグラフを、図３５に実施の第三形態の構成での周波数に対する位相差のグラフを示す。比較として、図２に示す従来例での振幅差と位相差の特性をそれぞれ図３４および図３５に合わせて示す。
【０１２６】
ＰＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。この範囲で最大の振幅差は、従来例では１．５０ｄＢであるのに対し、実施の第三形態では１．３５ｄＢと、振幅差が０．１５ｄＢ改善されている。
【０１２７】
また、この範囲で最大の位相差は、従来例では４．８°であるのに対し、実施の第三形態では４．４°と、位相差が０．４°改善されている。
【０１２８】
実施の第三形態の効果が得られた理由を説明する。実施の第三形態では、ＩＤＴの電極指の先端とその電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの距離を、各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４において、各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２よりも短く設定している。これにより、各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４と、各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２において発生するＳＳＢＷの強度をそれぞれ調整している。
【０１２９】
この結果、本実施の第三形態においては、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子４０５と各１端子対弾性表面波共振子４０１、４０２とを有する弾性表面波装置、および、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子４０６と各１端子対弾性表面波共振子４０３、４０４とを有する弾性表面波装置の間の周波数特性および位相特性のずれを補正でき、各平衡信号端子間での振幅差、位相差が改善される。
【０１３０】
実施の第三形態では、３ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子４０５、４０６の入出力側にそれぞれ１つずつの１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成について説明したが、本発明はこの構成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾性表面波装置においても、同様な効果が得られる。
【０１３１】
例えば、図３６に示すような３ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子４０５、４０６の入力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成や、図３７に示すような３ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子４０５、４０６の出力側のみに弾性表面波共振子を直列接続した構成においても、同様の効果が得られる。
【０１３２】
また、図３８に示すように、図３３と同様の構成において、ＩＤＴの電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を、一方の１端子対弾性表面波共振子におけるＩＤＴ５０１とＩＤＴ５０３とでは互いに等しくして、他方の１端子対弾性表面波共振子におけるＩＤＴ５０２とＩＤＴ５０４とでは互いに異ならせた場合にも、同様の効果が得られる。
【０１３３】
（実施の第四形態）
図３９に、本発明に係る実施の第四形態を、図４０に本実施の第四形態に対する比較例を示す。実施の第四形態の説明では、ＤＣＳ用の受信用フィルタを例にとって説明を行っていく。実施の第四形態では、図示しないが４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板上に弾性表面波素子がＡｌ電極により形成されている。
【０１３４】
実施の第四形態の構成は、下記の特徴点を除けば比較例の構成と基本的に同じである。縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２において、ＩＤＴ６０３とＩＤＴ６１１の間、ＩＤＴ６１１とＩＤＴ６０４の間、ＩＤＴ６０５とＩＤＴ６１２の間およびＩＤＴ６１２とＩＤＴ６０６の間に近い数本の電極指のピッチ（図３９の６０７、６０８、６０９および６１０の箇所）をＩＤＴの他の部分より狭くして（以後、狭ピッチ電極指）おり、さらにＩＤＴ−ＩＤＴ間隔をその周りのＩＤＴの波長の約０．５倍とすることで、バルク波として放出する成分による損失を低減している。ちなみに図３９および図４０では図を簡潔にするために電極指の本数を少なく示している。
【０１３５】
各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２の詳細な設計は、狭ピッチ電極指のピッチで決まる波長をそれぞれλ２、その他の電極指のピッチで決まる波長をそれぞれλ１、リフレクタの波長をそれぞれλＲとすると、
交叉幅：５０．９λ１
ＩＤＴ本数（６０３、６１１、６０４の順）：１７（４）／（４）３７（４）／（４）１７本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数、６０５、６１２、６０６も同じ）
ＩＤＴ波長λ１：２．１６２μｍ、λ２：１．９５８μｍ（λ１はピッチを狭くしていない部分、λ２はピッチを狭くした部分）
リフレクタ波長λＲ：２．１７４μｍ
リフレクタ本数：１５０本
ＩＤＴ−ＩＤＴ間隔：波長λ１とλ２の電極指に挟まれた箇所：０．２５λ１＋０．２５λ２
波長λ２の電極指に挟まれた箇所：０．５０λ２
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
ＩＤＴｄｕｔｙ：０．６３
リフレクタｄｕｔｙ：０．５７
電極膜厚：９．４８λ１
電極指先端−バスバー間距離：０．９μｍである。
【０１３６】
各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１４の詳細な設計は、
交叉幅：２１．５λ１
ＩＤＴ本数：２４１
ＩＤＴ波長およびリフレクタ波長：２．０９８μｍ
リフレクタ本数：３０本
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０，５０λＲ
ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さ
１端子対弾性表面波共振子６１３：０μｍ（ダミー電極なし）
１端子対弾性表面波共振子６１４（６１５で示す箇所）：２μｍである。
【０１３７】
各１端子対弾性表面波共振子６１６、６１７の詳細な設計は、
交叉幅：３６．８λ１
ＩＤＴ本数：２４１
ＩＤＴ波長およびリフレクタ波長：２．０４０μｍ
リフレクタ本数：３０本
ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λＲ
ＩＤＴ部の電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さ
１端子対弾性表面波共振子６１６：０μｍ（ダミー電極なし）
１端子対弾性表面波共振子６１７（６１８で示す箇所）：２μｍである。
【０１３８】
実施の第四形態の特徴は、各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６と各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７とにおいて、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６では０μｍ（ダミー電極なし）、各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７では２μｍと互いに異ならせて、前記距離（ギャップ）を相違させている点である。
【０１３９】
続いて、本実施の第四形態の効果について説明する。図４１に、実施の第四形態の構成での周波数に対する位相差のグラフを示す。比較として、図４０に示す比較例での位相差の特性も図４１に合わせて示す。ＤＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の周波数範囲は１８０５ＭＨｚ〜１８８０ＭＨｚである。この範囲で最大の位相差は、比較例では８°であるのに対し、実施の第四形態では５°と、位相差が３°改善されている。
【０１４０】
実施の第四形態の効果が得られた理由を説明する。実施の第四形態では、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを、各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７において、各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６よりも長く設定している。これにより、各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６と各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７において発生するＳＳＢＷの強度をそれぞれ調整できる。
【０１４１】
この結果、本実施の第四形態においては、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子６０１と各１端子対弾性表面波共振子６１３、６１６とを有する弾性表面波装置、および、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子６０２と各１端子対弾性表面波共振子６１４、６１７とを有する弾性表面波装置の間の位相特性のずれを補正して、位相差が改善されている。
【０１４２】
実施の第四形態では、３ＩＤＴ縦結合共振子型の各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２の入出力側にそれぞれ１つずつの１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成において説明したが、本発明はこの構成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾性表面波装置においても同様な効果が得られる。
【０１４３】
例えば、図４２に示すような各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２の入力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成や、図４３に示すような各弾性表面波フィルタ素子６０１、６０２の出力側のみに１端子対弾性表面波共振子を直列接続した構成においても、同様の効果が得られる。
【０１４４】
また、図４４に示すように、図３９と同様の構成において、ＩＤＴの電極指とバスバーの間に設けたダミー電極の長さを、一方の各１端子対弾性表面波共振子の各ＩＤＴ７０１、７０３では互いに異ならせ、他方に各１端子対弾性表面波共振子の各ＩＤＴ７０２、７０４では互いに等しくした場合にも、同様の効果が得られる。
【０１４５】
以上の様に本発明では、２つ以上のＩＤＴからなる縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ素子と１端子対弾性表面波共振子とを備え、前記弾性表面波フィルタ素子を２つ以上用いて平衡−不平衡変換可能な弾性表面波装置において、表面波が励振する電極指の先端とその電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を２つの弾性表面波フィルタ素子で、もしくは２つの１端子対弾性表面波共振子で異ならせる、もしくはＩＤＴ部の電極指とバスバーの間に設けるダミー電極の長さを２つの弾性表面波フィルタ素子で、もしくは２つの１端子対弾性表面波共振子で異ならせることにより、平衡端子間の位相差を改善した弾性表面波装置が得られる。
【０１４６】
なお、上記実施の各形態では４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を圧電基板として用いたが、効果が得られる原理からもわかるとおり、本発明はこの圧電基板に限らず、６４°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3、４７°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3などの圧電基板でも同様な効果が得られる。
【０１４７】
また、上記の実施の各形態では、各平衡信号端子にそれぞれ接続されている各ＩＤＴの電極指の先端と、それに対向するバスバーとの距離（ギャップ）をそれぞれ異ならせて、各ＳＳＢＷを互いに異なるように設定しているが、各ＳＳＢＷを互いに異なれば、上記構成に限定されない。
【０１４８】
例えば、上記各ＩＤＴの各バスバー部分の膜厚を互いに異ならせたり、上記バスバー部分の各膜構成を互いに異ならせたり、各平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタで、それらのＩＤＴのバスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つを異ならせたりしてもよい。上記吸音材としては、バスバーと接着できる弾性部材であればよいが、例えばシリコンゴムなどが挙げられる。
【０１４９】
上記のように膜厚や膜構成や吸音材の付加の場合に、変わるのはＳＳＢＷの励振強度ではなく、横モードである。ただし、ＳＳＢＷは横モードと結合しやすいため、横モードを変化させることで、ＳＳＢＷとの結合も変化し、ＳＳＢＷの励振を変化させることができる。よって、横モードを変化させることでも、本願発明の効果が得られる。
【０１５０】
続いて、本発明の対象となる各弾性表面波フィルタ素子について以下にまとめて説明する。
【０１５１】
▲１▼２つ以上のＩＤＴを有する２つの弾性表面波フィルタ素子を、一方の端子を共通化して不平衡信号端子に接続し、他方の端子をそれぞれ平衡信号端子に接続した構造（図１、図１２、図１３、図１４、図１５、図１６）。
【０１５２】
▲２▼２つ以上のＩＤＴを有する３つの弾性表面波フィルタ素子を、１つの弾性表面波フィルタ素子を不平衡信号端子に接続し、残りの２つの各弾性表面波フィルタ素子をそれぞれ１つの弾性表面波フィルタ素子に対して並列に接続すると共に平衡信号端子に接続した構造（図１７）。
【０１５３】
▲３▼２つ以上のＩＤＴを有する４つの弾性表面波フィルタ素子（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）からなり、２つの弾性表面波フィルタ素子（Ａ、Ｂ）を一方の端子を共通化して不平衡信号端子に接続し、上記各弾性表面波フィルタ素子のそれぞれに弾性表面波フィルタ素子を縦続接続する（Ａ−Ｃ、Ｂ−Ｄ）と共に、縦続接続された弾性表面波フィルタ素子（Ｃ、Ｄ）のそれぞれを平衡信号端子に接続した構造（図１８、図１９、図３１、図３２）。
【０１５４】
▲４▼少なくとも３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子で、平衡信号端子はそれぞれ異なるＩＤＴに接続されている構造（図２０）。
【０１５５】
▲５▼３つのＩＤＴを有する平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子で、両端のＩＤＴが平衡信号端子に接続されていると共に、中央のＩＤＴのうち、ひとつのくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向に二分割されていると共に、二分割された、各くし歯状電極のそれぞれが平衡信号端子に接続されている構造（図２１）。
【０１５６】
▲６▼３つのＩＤＴを有する平衡一不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子で、両端のＩＤＴが平衡信号端子に接続されていると共に、中央のＩＤＴのうち、ひとつのくし歯状電極が交叉幅方向に二分割されている構造（図２２）。
【０１５７】
▲７▼２つ以上のＩＤＴを有する２つの各弾性表面波フィルタ素子を互いに縦続接続し、一方の弾性表面波フィルタを不平衡信号端子に接続し、他方の弾性表面波フィルタ素子を不平衡信号端子に接続した構造（図２３、図２４）。
【０１５８】
上記の▲１▼ないし▲３▼は、平衡信号端子が接続された２つの弾性表面波フィルタ素子で、ＳＳＢＷの大きさを互いに異ならせる一方、上記の▲４▼ないし▲７▼においては、平衡信号端子が接続された弾性表面波フィルタ素子のＩＤＴでＳＳＢＷの大きさを互いに異ならせている。
【０１５９】
次に、上記実施の各形態の何れかに記載の弾性表面波装置を用いた通信装置について図４５に基づき説明する。上記通信装置８００は、受信を行うレシーバ側（Ｒｘ側）として、アンテナ８０１、アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ８０２、アンプ８０３、Ｒｘ段間フィルタ８０４、ミキサ８０５、１ｓｔＩＦフィルタ８０６、ミキサ８０７、２ｎｄＩＦフィルタ８０８、１ｓｔ＋２ｎｄローカルシンセサイザ８１１、ＴＣＸＯ（temperature compensated crystal oscillator（温度補償型水晶発振器））８１２、デバイダ８１３、ローカルフィルタ８１４を備えて構成されている。
【０１６０】
Ｒｘ段間フィルタ８０４からミキサ８０５へは、図４５に二本線で示したように、バランス性を確保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
【０１６１】
また、上記通信装置８００は、送信を行うトランシーバ側（Ｔｘ側）として、上記アンテナ８０１および上記アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ８０２を共用するとともに、ＴｘＩＦフィルタ８２１、ミキサ８２２、Ｔｘ段間フィルタ８２３、アンプ８２４、カプラ８２５、アイソレータ８２６、ＡＰＣ（automatic power control（自動出力制御））８２７を備えて構成されている。
【０１６２】
そして、上記のＲｘ段間フィルタ８０４、１ｓｔＩＦフィルタ８０６、ＴｘＩＦフィルタ８２１、Ｔｘ段間フィルタ８２３には、上述した本実施の形態に記載の弾性表面波装置が好適に利用できる。
【０１６３】
本発明にかかる弾性表面波装置は、振幅差や位相差が改善されているという優れた特性を有するものである。よって、上記弾性表面波装置を有する本発明の通信装置は、伝送特性を向上できるものとなっている。
【０１６４】
本発明は、上述した実施の各形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１６５】
【発明の効果】
本発明は、以上にように、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、各平衡信号端子にそれぞれ接続されている各弾性表面波励振部分にてそれぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定されている構成である。
【０１６６】
それゆえ、上記構成は、それぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度が互いに異なるように設定したから、各平衡信号端子間での振幅差や位相差を上記各ＳＳＢＷの違いにより調整できて、上記振幅差や位相差を改善できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の弾性表面波装置に係る実施の第一形態を示す構成図である。
【図２】従来例の弾性表面波装置を示す構成図である。
【図３】上記実施の第一形態と従来例とにおける、周波数と振幅差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図４】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの間隔（ギャップ）をそれぞれ変えたときの、周波数と挿入損失との関係をそれぞれ示すグラフであり、（ａ）は、アース−アースの関係のとき、（ｂ）は、アース−シグナルの関係のときを示す。
【図５】弾性表面波装置に生じるＳＳＢＷを説明するためのグラフである。
【図６】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの間隔（ギャップ）をそれぞれ変えたときの、周波数と挿入損失との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図７】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの間隔（ギャップ）をそれぞれさらに変えたときの、周波数と挿入損失との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図８】上記間隔（ギャップ）と、ＳＳＢＷの励振によるリップルと周波数との関係を示すグラフである。
【図９】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの距離を変えたときのＳＳＢＷのリップルによる挿入損失の変化を示すグラフである。
【図１０】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの距離を変えたときの挿入損失の変化を示すグラフである。
【図１１】上記実施の第一形態における、電極指の先端とバスバーとの距離を変えたときの挿入損失の変化を示す他のグラフである。
【図１２】上記実施の第一形態の一変形例を示す構成図である。
【図１３】上記実施の第一形態における他の変形例を示す構成図である。
【図１４】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１５】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１６】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１７】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１８】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図１９】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２０】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２１】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２２】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２３】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２４】上記実施の第一形態におけるさらに他の変形例を示す構成図である。
【図２５】本発明の弾性表面波装置に係る実施の第二形態を示す構成図である。
【図２６】上記実施の第二形態と従来例とにおける、周波数と振幅差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図２７】上記実施の第二形態の一変形例を示す構成図である。
【図２８】上記実施の第二形態における他の変形例を示す構成図である。
【図２９】上記実施の第二形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３０】上記実施の第二形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３１】上記実施の第二形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３２】上記実施の第二形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３３】本発明の弾性表面波装置に係る実施の第三形態を示す構成図である。
【図３４】上記実施の第三形態と従来例とにおける、周波数と振幅差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図３５】上記実施の第三形態と従来例とにおける、周波数と位相差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図３６】上記実施の第三形態の一変形例を示す構成図である。
【図３７】上記実施の第三形態における他の変形例を示す構成図である。
【図３８】上記実施の第三形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図３９】本発明の弾性表面波装置に係る実施の第四形態を示す構成図である。
【図４０】上記実施の第四形態の効果を示すための、比較例の弾性表面波装置の構成図である。
【図４１】上記実施の第四形態と比較例とにおける、周波数と位相差との関係をそれぞれ示すグラフである。
【図４２】上記実施の第四形態の一変形例を示す構成図である。
【図４３】上記実施の第四形態における、他の変形例を示す構成図である。
【図４４】上記実施の第四形態における、さらに他の変形例を示す構成図である。
【図４５】上記実施の各形態に記載の弾性表面波装置の何れかを用いた通信装置の要部ブロック図である。
【符号の説明】
２０１、２０２ 弾性表面波フィルタ素子
２０３、２０４、２０５、２２８、２２９、２３０ ＩＤＴ（くし型電極部）
Claims (28)
- 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
第一の弾性表面波フィルタ素子と第二の弾性表面波フィルタ素子にて、交叉幅は等しく、電極指の先端と対向するバスバーとの間隔とを異ならせて、第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子において励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、交叉幅は等しく、電極指の先端と対向するバスバーから電極指の先端に向けて延設されたダミー電極指との間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、くし型電極部における電極指とバスバーとの間、対向するバスバーから電極指の先端に向けてダミー電極指が延設され、該ダミー電極指の長さを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、全てのくし型電極部が第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子で異なる構造を有することを特徴とする、請求項１〜５の何れかに記載の弾性表面波装置。
- 第一および第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、何れか１つのくし型電極部のみが他のくし型電極部と異なる構造を有することを特徴とする、請求項１〜５の何れかに記載の弾性表面波装置。
- 少なくとも３つのくし型電極部を有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子を有し、一方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部と、他方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部とで、交叉幅は等しく、電極指の先端と対向するバスバーとの間隔を異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 少なくとも３つのくし型電極部を有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子を有し、一方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部と、他方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部とで、交叉幅は等しく、電極指の先端と対向するバスバーから電極指の先端に向けて延設されたダミー電極指との間隔を異ならせることで、それぞれ励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 少なくとも３つのくし型電極部を有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子を有し、一方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部と、他方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部とで、交叉幅は等しく、くし型電極部における電極指とバスバーとの間に、対向するバスバーから電極指の先端に向けてダミー電極指が延設され、該ダミー電極指の長さを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 少なくとも３つのくし型電極部を有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子を有し、一方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部と、他方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部とで、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各くし型電極部にて、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 少なくとも３つのくし型電極部を有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ素子を有し、一方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部と、他方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部とで、各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各くし型電極部にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つを異ならせることで、励振される各ＳＳＢＷの強度を互いに異ならせることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 第一、第二の各弾性表面波フィルタ素子のそれぞれに弾性表面波共振子を直列接続したことを特徴とする、請求項１〜１２の何れかに記載の弾性表面波装置。
- 少なくとも２つのくし型電極部を備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、交叉幅は等しく、電極指の先端とバスバーとの間隔が互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 少なくとも２つのくし型電極部を備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、交叉幅は等しく、電極指の先端と対向するバスバーから電極指の先端に向けて延設されたダミー電極指との間隔が互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 少なくとも２つのくし型電極部を備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、くし型電極部における電極指とバスバーとの間、対向するバスバーから電極指の先端に向けてダミー電極指が延設され、該ダミー電極指の長さが互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 少なくとも２つのくし型電極部を備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つが互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 少なくとも２つのくし型電極部を備え、平衡−不平衡変換機能を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタ素子と、平衡信号端子のそれぞれに直列接続されている弾性表面波共振子とを有し、２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つが互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、交叉幅は等しく、電極指の先端とバスバーとの間隔が互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、交叉幅は等しく、電極指の先端と対向するバスバーから該電極指の先端に向けて延設されたダミー電極指との間隔が互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、くし型電極部における電極指とバスバーとの間に、対向するバスバーから該電極指の先端に向けてダミー電極指が延設され、該ダミー電極指の長さが互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー部分の膜厚および膜構成の少なくとも一つが互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、不平衡信号端子が異なる２つの弾性表面波フィルタ素子に接続されていると共に、２つの平衡信号端子がそれぞれ異なる弾性表面波フィルタ素子に接続されている平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、
不平衡信号端子と該不平衡信号端子が接続されている２つの弾性表面波フィルタ素子との間にはそれぞれ弾性表面波共振子が直列接続されており、該２つの各弾性表面波共振子にて、バスバー上に塗布した吸音材の材料および厚みの少なくとも一つが互いに異なっていることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、少なくとも２つのくし型電極部を有する弾性表面波フィルタ素子を少なくとも２つ備え、一方の平衡信号端子が第一の弾性表面波フィルタ素子に、他方の平衡信号端子が第二の弾性表面波フィルタ素子に接続されており、第一、第二の各弾性表面波フィルタ素子にて、電極指の先端とバスバーとの間隔、電極指の先端とバスバーに接続されたダミー電極指との間隔、バスバーに接続されたダミー電極指の長さ、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つ、および、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つ、からなる群より選ばれた少なくとも１つを互いに異ならせることを特徴とする、請求項１４〜２３の何れかに記載の弾性表面波装置。
- 少なくとも３つのくし型電極部を有する、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置であって、一方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部と、他方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部とで、電極指の先端とバスバーとの間隔、電極指の先端と対向するバスバーから該電極指の先端に向けて延設されたダミー電極指との間隔、前記ダミー電極指の長さ、バスバーに接続されたダミー電極指の長さ、バスバー部分の膜厚と膜構成の少なくとも一つ、バスバー上に塗布した吸音材の材料と厚みの少なくとも一つ、からなる群から選ばれた少なくとも１つを互いに異ならせることを特徴とする、請求項１４〜２３の何れかに記載の弾性表面波装置。
- 各平衡信号端子がそれぞれ接続されている各くし型電極部にて、一方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部と該くし型電極部に隣り合うくし型電極部との対面部分の各電極指と、他方の平衡信号端子が接続されているくし型電極部と該くし型電極部に隣り合うくし型電極部との対面部分の各電極指とで、隣り合う電極指の極性が互いに異なっていることを特徴とする、請求項１〜２５の何れかに記載の弾性表面波装置。
- 電極指の先端とバスバーとの間隔を、弾性表面波の伝搬する波長（λ）の０．５５倍以下とし、かつ、電極指の先端とバスバーとの間隔が最も狭い箇所の、電極指の先端とバスバーとの間隔を０．１μｍ以上とすることを特徴とする、請求項１〜２６の何れかに記載の弾性表面波装置。
- 請求項１〜２７の何れかに記載の弾性表面波装置を有することを特徴とする、通信機。
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