JP2001196898A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明は、弾性表面波フィルタに関し、３
次エコーに起因するリップルを低減することを課題とす
る。 【解決手段】 圧電基板と、圧電基板上に形成され、か
つ弾性表面波を励振する励振電極と、その弾性表面波を
受信する受信電極とからなる弾性表面波フィルタであっ
て、前記励振電極と受信電極のどちらもが所定の周期ｐ
を持つ櫛形形状の電極指を備え、前記励振電極または受
信電極のいずれか一方が、櫛形形状の電極指の占有する
電極表面積がほぼ等しい複数個の櫛形電極部から構成さ
れ、前記複数個の櫛形電極部が、励振される弾性表面波
の伝搬方向に対して垂直な方向に配置され、かつ弾性表
面波の伝搬方向に対して平行な方向に互いに（ｎ±１／
４）ｐ（ここで、ｎは整数）だけずれた位置関係にある
ことを特徴とする。
次エコーに起因するリップルを低減することを課題とす
る。 【解決手段】 圧電基板と、圧電基板上に形成され、か
つ弾性表面波を励振する励振電極と、その弾性表面波を
受信する受信電極とからなる弾性表面波フィルタであっ
て、前記励振電極と受信電極のどちらもが所定の周期ｐ
を持つ櫛形形状の電極指を備え、前記励振電極または受
信電極のいずれか一方が、櫛形形状の電極指の占有する
電極表面積がほぼ等しい複数個の櫛形電極部から構成さ
れ、前記複数個の櫛形電極部が、励振される弾性表面波
の伝搬方向に対して垂直な方向に配置され、かつ弾性表
面波の伝搬方向に対して平行な方向に互いに（ｎ±１／
４）ｐ（ここで、ｎは整数）だけずれた位置関係にある
ことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、弾性表面波フィ
ルタに関する。弾性表面波（以下、ＳＡＷ（Surface Ac
oustic Wave)と呼ぶ）を利用したフィルタは急峻な特性
を持ち、また、小型化が可能なため、現在携帯電話等の
通信機器などに用いられている。
ルタに関する。弾性表面波（以下、ＳＡＷ（Surface Ac
oustic Wave)と呼ぶ）を利用したフィルタは急峻な特性
を持ち、また、小型化が可能なため、現在携帯電話等の
通信機器などに用いられている。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波フィルタ（ＳＡＷフィルタ）
の設計手法にはいろいろなものがあるが、トランスバー
サル型と呼ばれるＳＡＷフィルタがある。トランスバー
サル型のＳＡＷフィルタの構成図を図１１に示す。この
ＳＡＷフィルタは、圧電基板１０１に形成された一定の
周期ｐの複数本の櫛形形状の電極指をもつ励振電極１０
２と受信電極１０３とからなる。両電極は、一般的に通
常抵抗が小さくかつ比重の軽いアルミ合金で形成され
る。励振電極１０２に交流電圧１０４を印加すると、電
界が生じ、電極指の周期ｐと同じ歪みが圧電基板上に発
生しそれが弾性表面波（ＳＡＷ）となり、受信電極１０
３に伝わり受信される。
の設計手法にはいろいろなものがあるが、トランスバー
サル型と呼ばれるＳＡＷフィルタがある。トランスバー
サル型のＳＡＷフィルタの構成図を図１１に示す。この
ＳＡＷフィルタは、圧電基板１０１に形成された一定の
周期ｐの複数本の櫛形形状の電極指をもつ励振電極１０
２と受信電極１０３とからなる。両電極は、一般的に通
常抵抗が小さくかつ比重の軽いアルミ合金で形成され
る。励振電極１０２に交流電圧１０４を印加すると、電
界が生じ、電極指の周期ｐと同じ歪みが圧電基板上に発
生しそれが弾性表面波（ＳＡＷ）となり、受信電極１０
３に伝わり受信される。
【０００３】励振電極１０２で励振されるＳＡＷの中心
周波数ｆ０は、圧電基板の種類により決まるＳＡＷの音
速ｖ及び周期ｐと、次式のような関係がある。 ｖ＝ｆ０×ｐ 櫛形形状の電極をフィルタとして使用する場合、重要な
特性として、帯域幅、帯域内の平坦度、抑圧度、群遅延
時間等がある。トランスバーサル型のＳＡＷフィルタは
電極に重み付けを行うことで、前記の特性をコントロー
ルしやすいため、損失がある程度許容されるＩＦ（Inte
rmediate Frequency）フィルタに用いられることが多か
った。
周波数ｆ０は、圧電基板の種類により決まるＳＡＷの音
速ｖ及び周期ｐと、次式のような関係がある。 ｖ＝ｆ０×ｐ 櫛形形状の電極をフィルタとして使用する場合、重要な
特性として、帯域幅、帯域内の平坦度、抑圧度、群遅延
時間等がある。トランスバーサル型のＳＡＷフィルタは
電極に重み付けを行うことで、前記の特性をコントロー
ルしやすいため、損失がある程度許容されるＩＦ（Inte
rmediate Frequency）フィルタに用いられることが多か
った。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】トランスバーサル型フ
ィルタは、３次のエコーにより、パスバンドにリップル
ができることがあるという問題点がある。３次のエコー
の発生メカニズムを、図１２に示す。３次のエコーと
は、受信電極１０３で受信された主応答の一部が、受信
電極１０３で再励振により、反射したようにＳＡＷが左
方向へ励振され、さらに励振電極１０２でも繰り返し再
励起されて、時間後れで、受信電極１０３で再受信され
る波のことをいう。
ィルタは、３次のエコーにより、パスバンドにリップル
ができることがあるという問題点がある。３次のエコー
の発生メカニズムを、図１２に示す。３次のエコーと
は、受信電極１０３で受信された主応答の一部が、受信
電極１０３で再励振により、反射したようにＳＡＷが左
方向へ励振され、さらに励振電極１０２でも繰り返し再
励起されて、時間後れで、受信電極１０３で再受信され
る波のことをいう。
【０００５】再励振をここでは、単純に「反射」と呼ぶ
ことにする。３次のエコーは、ＴＴＥ（Triple Transit
Echo ）とも呼ばれる。反射を繰りかえすため、強度的
には主応答と比較すると小さいが、周波数特性上では帯
域内にリップルとして現われ、ＳＡＷフィルタの周波数
特性を劣化させる要因となっていた。この発明は、以上
のような事情を考慮してなされたものであり、ＴＴＥに
起因するリップルが少ないＳＡＷフィルタを実現するこ
とを課題とする。
ことにする。３次のエコーは、ＴＴＥ（Triple Transit
Echo ）とも呼ばれる。反射を繰りかえすため、強度的
には主応答と比較すると小さいが、周波数特性上では帯
域内にリップルとして現われ、ＳＡＷフィルタの周波数
特性を劣化させる要因となっていた。この発明は、以上
のような事情を考慮してなされたものであり、ＴＴＥに
起因するリップルが少ないＳＡＷフィルタを実現するこ
とを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、圧電基板
と、圧電基板上に形成され、かつ弾性表面波を励振する
励振電極と、その弾性表面波を受信する受信電極とから
なる弾性表面波フィルタであって、前記励振電極と受信
電極のどちらもが所定の周期ｐを持つ櫛形形状の電極指
を備え、前記励振電極または受信電極のいずれか一方
が、櫛形形状の電極指の占有する電極表面積がほぼ等し
い複数個の櫛形電極部から構成され、前記複数個の櫛形
電極部が、励振される弾性表面波の伝搬方向に対して垂
直な方向に配置され、かつ弾性表面波の伝搬方向に対し
て平行な方向に互いに（ｎ±１／４）ｐ（ここで、ｎは
整数）だけずれた位置関係にあることを特徴とする弾性
表面波フィルタを提供するものである。
と、圧電基板上に形成され、かつ弾性表面波を励振する
励振電極と、その弾性表面波を受信する受信電極とから
なる弾性表面波フィルタであって、前記励振電極と受信
電極のどちらもが所定の周期ｐを持つ櫛形形状の電極指
を備え、前記励振電極または受信電極のいずれか一方
が、櫛形形状の電極指の占有する電極表面積がほぼ等し
い複数個の櫛形電極部から構成され、前記複数個の櫛形
電極部が、励振される弾性表面波の伝搬方向に対して垂
直な方向に配置され、かつ弾性表面波の伝搬方向に対し
て平行な方向に互いに（ｎ±１／４）ｐ（ここで、ｎは
整数）だけずれた位置関係にあることを特徴とする弾性
表面波フィルタを提供するものである。
【０００７】ここで、前記複数個の櫛形電極部は、複数
の独立した電極として形成してもよい。また、前記複数
の櫛形電極部は、その電極指のそれぞれの端部が接続電
極指によって互いに接続された櫛形形状の１つの電極と
して形成してもよい。
の独立した電極として形成してもよい。また、前記複数
の櫛形電極部は、その電極指のそれぞれの端部が接続電
極指によって互いに接続された櫛形形状の１つの電極と
して形成してもよい。
【０００８】さらに、前記励振電極または受信電極のう
ち、複数個の櫛形電極部から構成されない電極を、一つ
の電極として構成してもよく、また、前記励振電極また
は受信電極のうち、複数個の櫛形電極部から構成されな
い電極を、前記櫛形電極部と同数であって、弾性表面波
の伝搬方向に垂直な方向に配置された電極から構成して
もよい。
ち、複数個の櫛形電極部から構成されない電極を、一つ
の電極として構成してもよく、また、前記励振電極また
は受信電極のうち、複数個の櫛形電極部から構成されな
い電極を、前記櫛形電極部と同数であって、弾性表面波
の伝搬方向に垂直な方向に配置された電極から構成して
もよい。
【０００９】この発明において、圧電基板としては、公
知のものを利用してもよいが、たとえば、温度係数の小
さなＡＴカット水晶，ランガサイト，ランガナイト，Ｌ
ＢＯ，Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7等を用いることができる。励振電極
及び受信電極は、Ｃｕ，Ａｌ，Ａｕ，Ｐｔなどの金属薄
膜材料を用いることができる。
知のものを利用してもよいが、たとえば、温度係数の小
さなＡＴカット水晶，ランガサイト，ランガナイト，Ｌ
ＢＯ，Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7等を用いることができる。励振電極
及び受信電極は、Ｃｕ，Ａｌ，Ａｕ，Ｐｔなどの金属薄
膜材料を用いることができる。
【００１０】また、励振電極及び受信電極は、どちらも
いわゆる櫛形形状の複数個の電極指を持つ櫛形電極が用
いられるが、電極指が１本ずつ交互に配置された櫛形電
極（シングル電極）や、２本ずつ交互に配置された形状
の櫛形電極（ダブル電極）等を用いることができ、さら
に櫛形電極は所定の間引きやアポタイズをしてもよい。
いわゆる櫛形形状の複数個の電極指を持つ櫛形電極が用
いられるが、電極指が１本ずつ交互に配置された櫛形電
極（シングル電極）や、２本ずつ交互に配置された形状
の櫛形電極（ダブル電極）等を用いることができ、さら
に櫛形電極は所定の間引きやアポタイズをしてもよい。
【００１１】図１０にこの発明の櫛形電極部の電極配置
の説明図を示す。ここで、符号１及び２はそれぞれ第１
及び第２の櫛形電極部であり、この説明図では、櫛形電
極部が２つで形成されたものを示しているが、３つ以上
で形成してもよい。また、紙面の左から右に向かう方向
を正の方向とし、この方向をＳＡＷの伝搬方向とする。
第１の櫛形電極部１と第２の櫛形電極部２とは、図に示
すその電極表面積Ｓ１，Ｓ２（電極指の占有する領域の
表面積）とがほぼ等しくなるように形成される。
の説明図を示す。ここで、符号１及び２はそれぞれ第１
及び第２の櫛形電極部であり、この説明図では、櫛形電
極部が２つで形成されたものを示しているが、３つ以上
で形成してもよい。また、紙面の左から右に向かう方向
を正の方向とし、この方向をＳＡＷの伝搬方向とする。
第１の櫛形電極部１と第２の櫛形電極部２とは、図に示
すその電極表面積Ｓ１，Ｓ２（電極指の占有する領域の
表面積）とがほぼ等しくなるように形成される。
【００１２】また、図に示すように、電極指の周期をｐ
とすると、第１及び第２の櫛形電極部の紙面の左右方向
の位置は、（ｎ＋１／４）ｐだけずれるように構成され
る。このような構造を有する櫛形電極部は、励振電極ま
たは受信電極のうち少なくともいずれか一方に形成され
ればよい。また、第１及び第２の櫛形電極部とは、（ｎ
−１／４）ｐだけずれるように構成してもよい。このよ
うに、２つの櫛形電極部をずらした配置とすることで、
以下に説明するように３次のエコーを低減できる。
とすると、第１及び第２の櫛形電極部の紙面の左右方向
の位置は、（ｎ＋１／４）ｐだけずれるように構成され
る。このような構造を有する櫛形電極部は、励振電極ま
たは受信電極のうち少なくともいずれか一方に形成され
ればよい。また、第１及び第２の櫛形電極部とは、（ｎ
−１／４）ｐだけずれるように構成してもよい。このよ
うに、２つの櫛形電極部をずらした配置とすることで、
以下に説明するように３次のエコーを低減できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態に基
づいてこの発明を詳述する。なお、これによってこの発
明が限定されるものではない。図１に、この発明のＳＡ
Ｗフィルタの実施例の電極配置の説明図を示す。図１に
おいて、ＳＡＷフィルタは、２つの励振電極１１，１２
と２つの受信電極２１，２２とから構成される。
づいてこの発明を詳述する。なお、これによってこの発
明が限定されるものではない。図１に、この発明のＳＡ
Ｗフィルタの実施例の電極配置の説明図を示す。図１に
おいて、ＳＡＷフィルタは、２つの励振電極１１，１２
と２つの受信電極２１，２２とから構成される。
【００１４】１組の励振電極１１と受信電極２１は、励
振電極１１から励振されるＳＡＷの伝搬方向（紙面の左
右方向）に平行に配置される。もう一方の１組の励振電
極１２と受信電極２２についても、同様に、ＳＡＷの伝
搬方向に平行に配置される。また、図１において、２つ
の受信電極２１，２２は、紙面の左右方向にはずれてい
ないが、２つの励振電極１１，１２は、紙面の左右方向
にｐ／４だけずれて配置される。
振電極１１から励振されるＳＡＷの伝搬方向（紙面の左
右方向）に平行に配置される。もう一方の１組の励振電
極１２と受信電極２２についても、同様に、ＳＡＷの伝
搬方向に平行に配置される。また、図１において、２つ
の受信電極２１，２２は、紙面の左右方向にはずれてい
ないが、２つの励振電極１１，１２は、紙面の左右方向
にｐ／４だけずれて配置される。
【００１５】言いかえれば、１組の励振電極１１と受信
電極２１についての電極の中心間距離ｄｃ１を電極周期
ｐの整数倍（ｎ×ｐ）とすると、もう１組の励振電極１
２と受信電極２２についての電極の中心間距離ｄｃ２を
ｄｃ１よりもｐ／４だけ短くする（ｄｃ２＝ｎｐ−ｐ／
４）。ここでｎは整数（０，１，２，……）である。
電極２１についての電極の中心間距離ｄｃ１を電極周期
ｐの整数倍（ｎ×ｐ）とすると、もう１組の励振電極１
２と受信電極２２についての電極の中心間距離ｄｃ２を
ｄｃ１よりもｐ／４だけ短くする（ｄｃ２＝ｎｐ−ｐ／
４）。ここでｎは整数（０，１，２，……）である。
【００１６】励振電極１１の励振中心ａ１から励振した
ＳＡＷ３１は、受信電極２１の反射中心ｂで反射され、
励振電極１１へ戻ってくるが、このとき、励振電極１１
の反射中心ｃ１（＝ａ１）まで戻ってくるのに、ＳＡＷ
３１は２×ｄｃ１＝２ｎｐの距離だけ進むことになる。
ＳＡＷ３１は、受信電極２１の反射中心ｂで反射され、
励振電極１１へ戻ってくるが、このとき、励振電極１１
の反射中心ｃ１（＝ａ１）まで戻ってくるのに、ＳＡＷ
３１は２×ｄｃ１＝２ｎｐの距離だけ進むことになる。
【００１７】また、励振電極１２の励起中心ａ２から励
振したＳＡＷ３２は、受信電極２２の反射中心ｂで反射
され、励振電極１２の反射中心ｃ２（＝ａ２）に戻って
くるまでに、２×ｄｃ２＝２（ｎｐ−ｐ／４）の距離だ
け進むことになる。したがって、上記２つのＳＡＷ３
１，３２について、反射中心ｃ１及びｃ２で見た場合、
互いに位相が２ｄｃ１と２ｄｃ１との差、ｐ／２だけず
れていることになる。
振したＳＡＷ３２は、受信電極２２の反射中心ｂで反射
され、励振電極１２の反射中心ｃ２（＝ａ２）に戻って
くるまでに、２×ｄｃ２＝２（ｎｐ−ｐ／４）の距離だ
け進むことになる。したがって、上記２つのＳＡＷ３
１，３２について、反射中心ｃ１及びｃ２で見た場合、
互いに位相が２ｄｃ１と２ｄｃ１との差、ｐ／２だけず
れていることになる。
【００１８】電極指の１周期ｐは２πの位相に相当する
が、ｐ／２の位相のずれはπだけ位相がずれていること
を意味し、上記２つのＳＡＷ３１，３２は、それぞれの
励振電極の反射中心ｃ１，ｃ２では、位相がπだけずれ
ているため互いに打ち消し合い、再励振による反射が起
きないことを意味する。すなわち、２つの励振電極のＳ
ＡＷ伝搬方向に平行な位置がｐ／４だけずれている場合
には、原理的には反射中心ｃ１及びｃ２では、ＳＡＷ３
１と３２とが打ち消し合うため、３次のエコーＴＴＥは
発生しない。また、このずれがｎｐ＋ｐ／４であっても
同様に３次のエコーＴＴＥは発生しない。
が、ｐ／２の位相のずれはπだけ位相がずれていること
を意味し、上記２つのＳＡＷ３１，３２は、それぞれの
励振電極の反射中心ｃ１，ｃ２では、位相がπだけずれ
ているため互いに打ち消し合い、再励振による反射が起
きないことを意味する。すなわち、２つの励振電極のＳ
ＡＷ伝搬方向に平行な位置がｐ／４だけずれている場合
には、原理的には反射中心ｃ１及びｃ２では、ＳＡＷ３
１と３２とが打ち消し合うため、３次のエコーＴＴＥは
発生しない。また、このずれがｎｐ＋ｐ／４であっても
同様に３次のエコーＴＴＥは発生しない。
【００１９】以下、このような原理に基づいて構成され
たこの発明のＳＡＷフィルタの実施例について説明す
る。励振電極と受信電極との距離は、一般に図２に示し
たように、励振電極全体の反射中心と受信電極全体の反
射中心の距離ｄｃ（図１の電極中心間距離ｄｃ１，ｄｃ
２）をさすことが多いが、以下の実施例では、電極指の
数に影響されない電極エッジ間距離ｄを基準として考え
ることにする。電極エッジ間の距離ｄの水平方向のずれ
（ｐ／４）と、電極中心間距離ｄｃの水平方向のずれ
（ｐ／４）とは一対一に対応するからである。
たこの発明のＳＡＷフィルタの実施例について説明す
る。励振電極と受信電極との距離は、一般に図２に示し
たように、励振電極全体の反射中心と受信電極全体の反
射中心の距離ｄｃ（図１の電極中心間距離ｄｃ１，ｄｃ
２）をさすことが多いが、以下の実施例では、電極指の
数に影響されない電極エッジ間距離ｄを基準として考え
ることにする。電極エッジ間の距離ｄの水平方向のずれ
（ｐ／４）と、電極中心間距離ｄｃの水平方向のずれ
（ｐ／４）とは一対一に対応するからである。
【００２０】まず、比較のために、図３に従来のＳＡＷ
フィルタの周波数特性例を示す。基板は、温度係数の小
さなＡＴカットの水晶基板を用いた。この基板の音速
は、電極膜厚３００ｎｍのとき、約３１２７ｍ／ｓであ
る。電極周期ｐを、１４．８６３６μｍにすると、図３
（ａ）のように、中心周波数がおおよそ２１０．３８Ｍ
ＨｚのＳＡＷフィルタの周波数特性が得られる。
フィルタの周波数特性例を示す。基板は、温度係数の小
さなＡＴカットの水晶基板を用いた。この基板の音速
は、電極膜厚３００ｎｍのとき、約３１２７ｍ／ｓであ
る。電極周期ｐを、１４．８６３６μｍにすると、図３
（ａ）のように、中心周波数がおおよそ２１０．３８Ｍ
ＨｚのＳＡＷフィルタの周波数特性が得られる。
【００２１】これは、励振電極１１の対数を１５０対の
スプリット電極、受信電極２１を２２５対のスプリット
電極としたときの周波数特性である。励振電極１１の開
口長（上下方向に互いに伸びた電極指の交差している
幅、図２参照）ａ１は８０ｐ、受信電極２１の開口長ｂ
１は８０ｐとし、電極エッジ間の距離ｄｃは２０ｐであ
る。インピーダンス整合を取ったとき、ＴＴＥは強調さ
れ、図３（ｂ）のようなリップルが現われる。図３
（ｂ）は図３（ａ）のうち帯域近傍の拡大図であるが、
このリップルの大きさは最大で、１．５ｄＢであり、か
なり大きいと言える。
スプリット電極、受信電極２１を２２５対のスプリット
電極としたときの周波数特性である。励振電極１１の開
口長（上下方向に互いに伸びた電極指の交差している
幅、図２参照）ａ１は８０ｐ、受信電極２１の開口長ｂ
１は８０ｐとし、電極エッジ間の距離ｄｃは２０ｐであ
る。インピーダンス整合を取ったとき、ＴＴＥは強調さ
れ、図３（ｂ）のようなリップルが現われる。図３
（ｂ）は図３（ａ）のうち帯域近傍の拡大図であるが、
このリップルの大きさは最大で、１．５ｄＢであり、か
なり大きいと言える。
【００２２】図４に、この発明のＳＡＷフィルタの第１
実施例の構成図を示す。この第１実施例は、励振電極を
２つ（１３，１４）に分割し、この２つの励振電極を互
いにｐ／４だけＳＡＷの伝搬方向にずれた位置に配置し
ている点を特徴とする。また、３次エコーを低減するた
めには、励振電極１３と１４とは、それぞれの櫛形電極
の部分が圧電基板上で占める領域の表面積をほぼ同じと
することが好ましい。２つの励振電極１３，１４の上下
方向にあるバスバー部分は、図４に示すように交流電極
Ｖに接続される。一方受信電極２３のバスバー部分に
は、抵抗Ｒが接続される。
実施例の構成図を示す。この第１実施例は、励振電極を
２つ（１３，１４）に分割し、この２つの励振電極を互
いにｐ／４だけＳＡＷの伝搬方向にずれた位置に配置し
ている点を特徴とする。また、３次エコーを低減するた
めには、励振電極１３と１４とは、それぞれの櫛形電極
の部分が圧電基板上で占める領域の表面積をほぼ同じと
することが好ましい。２つの励振電極１３，１４の上下
方向にあるバスバー部分は、図４に示すように交流電極
Ｖに接続される。一方受信電極２３のバスバー部分に
は、抵抗Ｒが接続される。
【００２３】図４において、励振電極１３と受信電極２
３の電極エッジ間距離は２０ｐであり、励振電極１４と
受信電極２３の電極エッジ間距離は１９．７５ｐであ
り、その差がｐ／４（＝０．２５ｐ）である。また、励
振電極１３，１４の電極指の対数を１５０対，受信電極
２３の電極指対数を２２５対とし、励振電極１３の上部
開口長ａ１＝３５ｐ，励振電極１４の下部開口長ａ３＝
３５ｐ，両電極の接続部分の長さａ２＝１０ｐ，受信電
極２３の開口長ｂ１＝８０ｐとする。
３の電極エッジ間距離は２０ｐであり、励振電極１４と
受信電極２３の電極エッジ間距離は１９．７５ｐであ
り、その差がｐ／４（＝０．２５ｐ）である。また、励
振電極１３，１４の電極指の対数を１５０対，受信電極
２３の電極指対数を２２５対とし、励振電極１３の上部
開口長ａ１＝３５ｐ，励振電極１４の下部開口長ａ３＝
３５ｐ，両電極の接続部分の長さａ２＝１０ｐ，受信電
極２３の開口長ｂ１＝８０ｐとする。
【００２４】図９に、この発明の第１実施例のＳＡＷフ
ィルタの周波数特性のグラフを示す。図９において、符
号５１が、上段の励振電極１３のみの特性図，符号５２
が下段の励振電極１４のみの特性図，符号５３が上段と
下段の励振電極を組み合わせたときの周波数特性のグラ
フである。この図の符号５３のグラフによれば、そのリ
ップルは０．１ｄＢ以下になることがわかる。このグラ
フによれば、この発明の第１実施例では、図３に示した
従来のものに比べて、リップルが１／１５程度になり、
大幅に低減されていると言える。
ィルタの周波数特性のグラフを示す。図９において、符
号５１が、上段の励振電極１３のみの特性図，符号５２
が下段の励振電極１４のみの特性図，符号５３が上段と
下段の励振電極を組み合わせたときの周波数特性のグラ
フである。この図の符号５３のグラフによれば、そのリ
ップルは０．１ｄＢ以下になることがわかる。このグラ
フによれば、この発明の第１実施例では、図３に示した
従来のものに比べて、リップルが１／１５程度になり、
大幅に低減されていると言える。
【００２５】図５に、この発明のＳＡＷフィルタの第２
実施例の構成図を示す。この第２実施例では、励振電極
及び受信電極をともに２つ（１５，１６），（２４，２
５）に分割し、この２つの励振電極１５，１６を互いに
ｐ／４だけＳＡＷの伝搬方向にずれた位置に配置してい
る点を特徴とする。
実施例の構成図を示す。この第２実施例では、励振電極
及び受信電極をともに２つ（１５，１６），（２４，２
５）に分割し、この２つの励振電極１５，１６を互いに
ｐ／４だけＳＡＷの伝搬方向にずれた位置に配置してい
る点を特徴とする。
【００２６】また、図４と同様に、励振電極１５と１６
のそれぞれの櫛形電極の部分が圧電基板上で占める表面
積はほぼ同じとすることが好ましい。図５に示すように
２つの励振電極１５，１６の上下方向にあるバスバー部
分は、交流電源Ｖに接続され、受信電極２４，２５のバ
スバー部分には、抵抗Ｒが接続される。
のそれぞれの櫛形電極の部分が圧電基板上で占める表面
積はほぼ同じとすることが好ましい。図５に示すように
２つの励振電極１５，１６の上下方向にあるバスバー部
分は、交流電源Ｖに接続され、受信電極２４，２５のバ
スバー部分には、抵抗Ｒが接続される。
【００２７】図５において、励振電極１５と受信電極２
４の電極エッジ間距離は２０ｐであり、励振電極１６と
受信電極２５の電極エッジ間距離は１９．７５ｐであ
り、その差がｐ／４（＝０．２５ｐ）である。
４の電極エッジ間距離は２０ｐであり、励振電極１６と
受信電極２５の電極エッジ間距離は１９．７５ｐであ
り、その差がｐ／４（＝０．２５ｐ）である。
【００２８】また、励振電極１５，１６の電極指の対数
を１５０対、受信電極２３の電極指対数を２２５対と
し、励振電極１５の上部開口長ａ１＝３０ｐ，励振電極
１６の下部開口長ａ３＝３０ｐ，両電極１５，１６の接
続部分の長さａ２＝２０ｐ，受信電極２４の上部開口長
ｂ１＝３０ｐ，受信電極２５の下部開口長ｂ３＝３０
ｐ，両電極２４，２５の接続部分の長さｂ２＝２０ｐと
する。この第２実施例の場合も、図９と同様に、リップ
ルの低減された周波数特性が得られることが確認され
た。
を１５０対、受信電極２３の電極指対数を２２５対と
し、励振電極１５の上部開口長ａ１＝３０ｐ，励振電極
１６の下部開口長ａ３＝３０ｐ，両電極１５，１６の接
続部分の長さａ２＝２０ｐ，受信電極２４の上部開口長
ｂ１＝３０ｐ，受信電極２５の下部開口長ｂ３＝３０
ｐ，両電極２４，２５の接続部分の長さｂ２＝２０ｐと
する。この第２実施例の場合も、図９と同様に、リップ
ルの低減された周波数特性が得られることが確認され
た。
【００２９】図６に、この発明のＳＡＷフィルタの第３
実施例の構成図を示す。この第３実施例では、励振電極
１７の電極指をほぼ中央部分でＳＡＷの伝搬方向にｐ／
４だけずらすように折り曲げた構成としている点を特徴
とする。また、励振電極１７において、中央付近の折れ
曲がった部分よりも上方の電極指の領域面積と、下方の
電極指の領域面積とがほぼ同じとなるようにすることが
好ましい。この上方の電極指の端部と下方の電極指の端
部とは、励振電極１７の中央部分ａ２の接続電極指によ
って接続される。このとき、励振電極１７の上下方向に
あるバスバー部分は、図６に示すように交流電源Ｖに接
続され、受信電極２６のバスバー部分には、抵抗Ｒが接
続される。
実施例の構成図を示す。この第３実施例では、励振電極
１７の電極指をほぼ中央部分でＳＡＷの伝搬方向にｐ／
４だけずらすように折り曲げた構成としている点を特徴
とする。また、励振電極１７において、中央付近の折れ
曲がった部分よりも上方の電極指の領域面積と、下方の
電極指の領域面積とがほぼ同じとなるようにすることが
好ましい。この上方の電極指の端部と下方の電極指の端
部とは、励振電極１７の中央部分ａ２の接続電極指によ
って接続される。このとき、励振電極１７の上下方向に
あるバスバー部分は、図６に示すように交流電源Ｖに接
続され、受信電極２６のバスバー部分には、抵抗Ｒが接
続される。
【００３０】図６において、励振電極１７の上部バスバ
ーと受信電極２６の電極エッジ間距離は２０ｐであり、
励振電極１７の下部バスバーと受信電極２６の電極エッ
ジ間距離は１９．７５ｐであり、その差がｐ／４（＝
０．２５ｐ）である。また、励振電極１７の電極指の対
数を１５０対，受信電極２６の電極指対数を２２５対と
し、励振電極１７の上部領域の開口長ａ１＝３５ｐ，下
部領域の開口長ａ３＝３５ｐ，上部領域と下部領域の接
続部分の電極指の長さａ２＝１０ｐ，受信電極２６の開
口長ｂ１＝８０ｐとする。この第３実施例の場合も、図
９と同様にリップルの低減された周波数特性が得られ
た。
ーと受信電極２６の電極エッジ間距離は２０ｐであり、
励振電極１７の下部バスバーと受信電極２６の電極エッ
ジ間距離は１９．７５ｐであり、その差がｐ／４（＝
０．２５ｐ）である。また、励振電極１７の電極指の対
数を１５０対，受信電極２６の電極指対数を２２５対と
し、励振電極１７の上部領域の開口長ａ１＝３５ｐ，下
部領域の開口長ａ３＝３５ｐ，上部領域と下部領域の接
続部分の電極指の長さａ２＝１０ｐ，受信電極２６の開
口長ｂ１＝８０ｐとする。この第３実施例の場合も、図
９と同様にリップルの低減された周波数特性が得られ
た。
【００３１】図７に、この発明のＳＡＷフィルタの第４
実施例の構成図を示す。この第４実施例では、励振電極
１８の電極指を２つの屈曲点で折れ曲がるように形成
し、上部の電極指部分と下部の電極指部分とが互いにｐ
／４だけＳＡＷの伝搬方向にずれた位置に配置している
点を特徴とする。
実施例の構成図を示す。この第４実施例では、励振電極
１８の電極指を２つの屈曲点で折れ曲がるように形成
し、上部の電極指部分と下部の電極指部分とが互いにｐ
／４だけＳＡＷの伝搬方向にずれた位置に配置している
点を特徴とする。
【００３２】また、励振電極１８の上部電極指部分と下
部電極指部分との圧電基板上で占める領域の表面積をほ
ぼ同じとすることが、３次エコーを低減する上で好まし
い。励振電極１８の上下方向にあるバスバー部分は、図
４に示すように交流電源Ｖに接続され、受信電極２３の
バスバー部分には、抵抗Ｒが接続される。
部電極指部分との圧電基板上で占める領域の表面積をほ
ぼ同じとすることが、３次エコーを低減する上で好まし
い。励振電極１８の上下方向にあるバスバー部分は、図
４に示すように交流電源Ｖに接続され、受信電極２３の
バスバー部分には、抵抗Ｒが接続される。
【００３３】この第４実施例では、図７の励振電極１８
の上方のａ１部分の電極指と下方のａ３部分の電極指と
が、ＳＡＷ伝搬方向にｐ／４ずれている。励振電極１８
の中央部分ａ２の電極指は、ａ１及びａ３部分の電極指
のそれぞれの端部を物理的に接続する接続電極指に相当
する。
の上方のａ１部分の電極指と下方のａ３部分の電極指と
が、ＳＡＷ伝搬方向にｐ／４ずれている。励振電極１８
の中央部分ａ２の電極指は、ａ１及びａ３部分の電極指
のそれぞれの端部を物理的に接続する接続電極指に相当
する。
【００３４】また、図７に示すように、この第４実施例
では、励振電極１８の電極指のうち互いに位相のずれた
２つの電極指部分（ａ１とａ３）のそれぞれに対応し
て、受信電極は２つの受信電極２７，２８から構成す
る。図７において、励振電極１８の上部バスバーと受信
電極２７の電極エッジ間距離は２０ｐであり、励振電極
１８の下部バスバーと受信電極２８の電極エッジ間距離
は１９．７５ｐであり、その差がｐ／４（＝０．２５
ｐ）である。
では、励振電極１８の電極指のうち互いに位相のずれた
２つの電極指部分（ａ１とａ３）のそれぞれに対応し
て、受信電極は２つの受信電極２７，２８から構成す
る。図７において、励振電極１８の上部バスバーと受信
電極２７の電極エッジ間距離は２０ｐであり、励振電極
１８の下部バスバーと受信電極２８の電極エッジ間距離
は１９．７５ｐであり、その差がｐ／４（＝０．２５
ｐ）である。
【００３５】また、励振電極１８の電極指の対数を１５
０対，受信電極２７，２８の電極指対数を２２５対と
し、励振電極１８の上部開口長ａ１＝３５ｐ，下部開口
長ａ３＝３５ｐ，励振電極１８の接続部分の長さａ２＝
１０ｐ，受信電極２７の開口長ｂ１＝３５ｐ，受信電極
２８の開口長ｂ３＝３５ｐ，接続部分の長さｂ２＝１０
ｐとする。
０対，受信電極２７，２８の電極指対数を２２５対と
し、励振電極１８の上部開口長ａ１＝３５ｐ，下部開口
長ａ３＝３５ｐ，励振電極１８の接続部分の長さａ２＝
１０ｐ，受信電極２７の開口長ｂ１＝３５ｐ，受信電極
２８の開口長ｂ３＝３５ｐ，接続部分の長さｂ２＝１０
ｐとする。
【００３６】この第４実施例の場合も、図９と同様にリ
ップルの低減された周波数特性が得られた。なお、第１
実施例から第４実施例では、励振電極のみについて位置
をずらす構成を示したが、この励振電極を受信電極に置
きかえて、受信電極のみの位置をずらす構成としてもよ
い。
ップルの低減された周波数特性が得られた。なお、第１
実施例から第４実施例では、励振電極のみについて位置
をずらす構成を示したが、この励振電極を受信電極に置
きかえて、受信電極のみの位置をずらす構成としてもよ
い。
【００３７】図８に、この発明の第５実施例のＳＡＷフ
ィルタの構成図を示す。これは、励振電極１９及び受信
電極２９のどちらも、図６の励振電極１７と同様に、電
極指の位置をずらした構成を示している。
ィルタの構成図を示す。これは、励振電極１９及び受信
電極２９のどちらも、図６の励振電極１７と同様に、電
極指の位置をずらした構成を示している。
【００３８】ここで、励振電極１９の上部バスバーと受
信電極２９の上部バスバーとの距離が２０ｐであり、励
振電極１９の下部バスバーと受信電極２９の下部バスバ
ーとの距離が１９．７５ｐとする。また、励振電極１９
の上部開口長ａ１＝３５ｐ，下部開口長ａ３＝３５ｐ，
接続部分のａ２＝１０ｐ，受信電極２９の上部開口長ｂ
１＝３５ｐ，下部開口長ｂ３＝３５ｐ，接続部分の長さ
ｂ２＝１０ｐである。
信電極２９の上部バスバーとの距離が２０ｐであり、励
振電極１９の下部バスバーと受信電極２９の下部バスバ
ーとの距離が１９．７５ｐとする。また、励振電極１９
の上部開口長ａ１＝３５ｐ，下部開口長ａ３＝３５ｐ，
接続部分のａ２＝１０ｐ，受信電極２９の上部開口長ｂ
１＝３５ｐ，下部開口長ｂ３＝３５ｐ，接続部分の長さ
ｂ２＝１０ｐである。
【００３９】このようにすれば、上方の電極指間で励振
されたＳＡＷと下方の電極指間で励振されたＳＡＷとの
位相のずれはｐ／４となるので、この第５実施例の場合
も図９と同様の周波数特性が得られる。
されたＳＡＷと下方の電極指間で励振されたＳＡＷとの
位相のずれはｐ／４となるので、この第５実施例の場合
も図９と同様の周波数特性が得られる。
【００４０】
【発明の効果】この発明によれば、励振電極、あるい
は、受信電極のどちらか一方の電極指が占有する表面積
のおおよそ半分の領域を、互いに電極周期の１／４だけ
ＳＡＷの伝搬方向にずらすことで、ＴＴＥによるリップ
ルが少ないＳＡＷフィルタを実現することができる。
は、受信電極のどちらか一方の電極指が占有する表面積
のおおよそ半分の領域を、互いに電極周期の１／４だけ
ＳＡＷの伝搬方向にずらすことで、ＴＴＥによるリップ
ルが少ないＳＡＷフィルタを実現することができる。
【図１】この発明のＳＡＷフィルタの一実施例の電極配
置の説明図である。
置の説明図である。
【図２】この発明の励振電極と受信電極の配置について
の説明図である。
の説明図である。
【図３】従来のＳＡＷフィルタの周波数特性のグラフで
ある。
ある。
【図４】この発明のＳＡＷフィルタの第１実施例の構成
図である。
図である。
【図５】この発明のＳＡＷフィルタの第２実施例の構成
図である。
図である。
【図６】この発明のＳＡＷフィルタの第３実施例の構成
図である。
図である。
【図７】この発明のＳＡＷフィルタの第４実施例の構成
図である。
図である。
【図８】この発明のＳＡＷフィルタの第５実施例の構成
図である。
図である。
【図９】この発明の第１実施例のＳＡＷフィルタの周波
数特性のグラフである。
数特性のグラフである。
【図１０】この発明の櫛形電極部の電極配置の説明図で
ある。
ある。
【図１１】従来のトランスバーサル型のＳＡＷフィルタ
の構成図である。
の構成図である。
【図１２】ＳＡＷフィルタにおける３次エコーの発生の
メカニズムの説明図である。
メカニズムの説明図である。
１ 第１の櫛形電極部 ２ 第２の櫛形電極部 １１〜１９ 励振電極 ２１〜２９ 受信電極 ３１ 弾性表面波（ＳＡＷ） ３２ 弾性表面波（ＳＡＷ） ｄ 電極エッジ間距離 ｐ周期
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堤 潤 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 伊形 理 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 佐藤 良夫 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 5J097 AA03 AA15 BB11 CC01 CC08 DD02 DD08 DD13 FF01 KK04
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電基板と、圧電基板上に形成されかつ
弾性表面波を励振する励振電極と、その弾性表面波を受
信する受信電極とからなる弾性表面波フィルタであっ
て、前記励振電極と受信電極のどちらもが所定の周期ｐ
を持つ櫛形形状の電極指を備え、前記励振電極または受
信電極のいずれか一方が、櫛形形状の電極指の占有する
電極表面積がほぼ等しい複数個の櫛形電極部から構成さ
れ、前記複数個の櫛形電極部が、励振される弾性表面波
の伝搬方向に対して垂直な方向に配置され、かつ弾性表
面波の伝搬方向に対して平行な方向に互いに（ｎ±１／
４）ｐ（ここで、ｎは整数）だけずれた位置関係にある
ことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 前記複数個の櫛形電極部が、複数の独立
した電極として形成されたことを特徴とする請求項１記
載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】 前記励振電極または受信電極のうち、複
数個の櫛形電極部から構成されない電極が、一つの電極
として構成されたことを特徴とする請求項２記載の弾性
表面波フィルタ。 - 【請求項４】 前記励振電極または受信電極のうち、複
数個の櫛形電極部から構成されない電極が、前記櫛形電
極部と同数であって、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方
向に配置された電極から構成されたことを特徴とする請
求項２記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項５】 前記複数の櫛形電極部が、その電極指の
それぞれの端部が接続電極指によって互いに接続された
櫛形形状の１つの電極として形成されたことを特徴とす
る請求項１記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項６】 前記励振電極または受信電極のうち、複
数個の櫛形電極部から構成されない電極が、一つの電極
として構成されたことを特徴とする請求項５記載の弾性
表面波フィルタ。 - 【請求項７】 前記励振電極または受信電極のうち、複
数個の櫛形電極部から構成されない電極が、前記櫛形電
極部と同数であって、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方
向に配置された電極から構成されたことを特徴とする請
求項５記載の弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000005280A JP2001196898A (ja) | 2000-01-05 | 2000-01-05 | 弾性表面波フィルタ |
| US09/725,140 US6525629B2 (en) | 2000-01-05 | 2000-11-29 | Surface acoustic wave filter |
| EP00403365A EP1115200A3 (en) | 2000-01-05 | 2000-11-30 | Surface acoustic wave filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000005280A JP2001196898A (ja) | 2000-01-05 | 2000-01-05 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001196898A true JP2001196898A (ja) | 2001-07-19 |
Family
ID=18533962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000005280A Pending JP2001196898A (ja) | 2000-01-05 | 2000-01-05 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6525629B2 (ja) |
| EP (1) | EP1115200A3 (ja) |
| JP (1) | JP2001196898A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006203680A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波フィルタ |
| JP2007013459A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 |
| US7340229B2 (en) | 2004-08-20 | 2008-03-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | High frequency amplification circuit and mobile communication terminal using the same |
| WO2014034215A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置及びデュプレクサ |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10026074B4 (de) * | 2000-05-25 | 2010-02-18 | Epcos Ag | Rekursives OFW-Filter mit geringer Chiplänge |
| JP3863712B2 (ja) * | 2000-09-06 | 2006-12-27 | 株式会社日立製作所 | 弾性表面波共振器 |
| JP4085895B2 (ja) * | 2003-06-19 | 2008-05-14 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振器 |
| DE10331323B4 (de) * | 2003-07-10 | 2013-09-05 | Epcos Ag | Mit akustischen Wellen arbeitender Wandler mit Unterdrückung transversaler Moden |
| JP2006340195A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
| DE102007028291B4 (de) * | 2007-06-20 | 2013-04-25 | Epcos Ag | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Transversalfilter |
| EP2104229B1 (en) * | 2008-03-17 | 2011-09-14 | Epcos AG | SAW transversal filter |
| DE102012107049B4 (de) * | 2012-08-01 | 2017-10-05 | Snaptrack, Inc. | Elektroakustischer Wandler |
| CN116131803B (zh) * | 2023-01-18 | 2024-04-26 | 武汉敏声新技术有限公司 | 谐振器、谐振器制备方法以及滤波器 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3550045A (en) * | 1969-06-25 | 1970-12-22 | Zenith Radio Corp | Acoustic surface wave filter devices |
| CA1047615A (en) * | 1974-12-25 | 1979-01-30 | Yasutoshi Komatsu | Surface acoustic wave filter |
| US4081769A (en) * | 1976-09-13 | 1978-03-28 | Texas Instruments Incorporated | Acoustic surface wave resonator with suppressed direct coupled response |
| JPS54132185A (en) * | 1978-04-06 | 1979-10-13 | Hitachi Ltd | Elastic surface wave device |
| JPS5574230A (en) * | 1978-11-29 | 1980-06-04 | Japan Radio Co Ltd | Surface acoustic wave device |
| JPS5678224A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-27 | Hitachi Ltd | Elastic surface wave device |
| US4609891A (en) * | 1985-10-16 | 1986-09-02 | Sperry Corporation | Staggered SAW resonator for differential detection |
| FR2682833B1 (fr) * | 1991-10-18 | 1993-12-03 | Thomson Csf | Filtre a ondes de surface et a trajet acoustique replie. |
| DE4214122C2 (de) * | 1992-04-29 | 2001-02-22 | Siemens Ag | Zweispur-Oberflächenwellenanordnung mit verbesserter Selektionseigenschaft |
| JPH05315886A (ja) * | 1992-05-14 | 1993-11-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| US5471499A (en) * | 1993-03-19 | 1995-11-28 | Brown; Roy B. | Minimum shift keyed saw device and method |
| US5426339A (en) * | 1994-04-01 | 1995-06-20 | Rf Monolithics, Inc. | Surface acoustic wave devices with mode changing characteristics |
| US5646584A (en) * | 1994-04-25 | 1997-07-08 | Advanced Saw Products Sa | Saw filter including electrodes of opposing polarity |
| GB2289181B (en) * | 1994-04-25 | 1998-08-12 | Advanced Saw Prod Sa | Saw filter |
| DE4419722C1 (de) * | 1994-06-06 | 1996-02-22 | Siemens Ag | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Filter |
-
2000
- 2000-01-05 JP JP2000005280A patent/JP2001196898A/ja active Pending
- 2000-11-29 US US09/725,140 patent/US6525629B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-30 EP EP00403365A patent/EP1115200A3/en not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7340229B2 (en) | 2004-08-20 | 2008-03-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | High frequency amplification circuit and mobile communication terminal using the same |
| JP2006203680A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波フィルタ |
| JP2007013459A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 |
| JP4761192B2 (ja) * | 2005-06-29 | 2011-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器 |
| WO2014034215A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置及びデュプレクサ |
| JPWO2014034215A1 (ja) * | 2012-08-30 | 2016-08-08 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置及びデュプレクサ |
| US9628049B2 (en) | 2012-08-30 | 2017-04-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filter device and duplexer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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