JPH077369A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
- Publication number
- JPH077369A JPH077369A JP14459493A JP14459493A JPH077369A JP H077369 A JPH077369 A JP H077369A JP 14459493 A JP14459493 A JP 14459493A JP 14459493 A JP14459493 A JP 14459493A JP H077369 A JPH077369 A JP H077369A
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- Japan
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- acoustic wave
- surface acoustic
- wave filter
- capacitance electrode
- electrode portion
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Abstract
(57)【要約】
【目的】小型化できるうえ特性の向上も図れる弾性表面
波フィルタの提供。 【構成】圧電基板2上に、IDT電極部4を備えた複数
の多重モードフィルタ3,3を形成するとともに、これ
ら多重モードフィルタ3,3を入出力間に多段接続し、
圧電基板2上に、入出力間、または入出力信号ラインと
アース電位との間に静電容量を形成する容量電極部9を
設け、容量電極部9を互い違いに交差し合う少なくとも
一対の櫛歯状電極10a,10bから構成するとともに
容量電極部10a,10bを隣接する多重モードフィル
タ3,3の間に配設し、かつ、容量電極部9上に誘電体
部11を設けた弾性表面波フィルタ。
波フィルタの提供。 【構成】圧電基板2上に、IDT電極部4を備えた複数
の多重モードフィルタ3,3を形成するとともに、これ
ら多重モードフィルタ3,3を入出力間に多段接続し、
圧電基板2上に、入出力間、または入出力信号ラインと
アース電位との間に静電容量を形成する容量電極部9を
設け、容量電極部9を互い違いに交差し合う少なくとも
一対の櫛歯状電極10a,10bから構成するとともに
容量電極部10a,10bを隣接する多重モードフィル
タ3,3の間に配設し、かつ、容量電極部9上に誘電体
部11を設けた弾性表面波フィルタ。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、バンドパスフ
ィルタとして用いられる弾性表面波フィルタに関する。
ィルタとして用いられる弾性表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】バンドパスフィルタ等に用いられる弾性
表面波フィルタとして、複数の多重モードフィルタを多
段接続して構成されたものがある。従来から、このよう
な弾性表面波フィルタにおいては、Q値の劣化の防止
や、多重モードフィルタを多段接続することによって起
こる通過帯域幅の狭幅化の緩和といった目的から、橋絡
容量や結合容量を付与することが行われている。
表面波フィルタとして、複数の多重モードフィルタを多
段接続して構成されたものがある。従来から、このよう
な弾性表面波フィルタにおいては、Q値の劣化の防止
や、多重モードフィルタを多段接続することによって起
こる通過帯域幅の狭幅化の緩和といった目的から、橋絡
容量や結合容量を付与することが行われている。
【0003】図4に結合容量が付与された弾性表面波フ
ィルタの従来例を示す。この弾性表面波フィルタ50は
水晶基板51上に多重モードフィルタ52を複数(この
例では2重モードフィルタを一対)形成して構成されて
いる。これら多重モードフィルタ52は、IDT電極部
53と、IDT電極部53の外側に配設されたリフレク
タ54,54とを備えており、これら多重モードフィル
タ52,52は配線ライン55によって多段(2段)接
続されている。また、この弾性表面波フィルタ50は結
合容量電極部56を備えている。結合容量電極部56は
互い違いに交差し合う一対の櫛歯状電極57a,57b
から構成されており、一方の櫛歯状電極57aは配線ラ
イン55に、また、他方の櫛歯状電極57bはリフレク
タ54を介してアース電位に接続されている。
ィルタの従来例を示す。この弾性表面波フィルタ50は
水晶基板51上に多重モードフィルタ52を複数(この
例では2重モードフィルタを一対)形成して構成されて
いる。これら多重モードフィルタ52は、IDT電極部
53と、IDT電極部53の外側に配設されたリフレク
タ54,54とを備えており、これら多重モードフィル
タ52,52は配線ライン55によって多段(2段)接
続されている。また、この弾性表面波フィルタ50は結
合容量電極部56を備えている。結合容量電極部56は
互い違いに交差し合う一対の櫛歯状電極57a,57b
から構成されており、一方の櫛歯状電極57aは配線ラ
イン55に、また、他方の櫛歯状電極57bはリフレク
タ54を介してアース電位に接続されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
弾性表面波フィルタ50には、次のような問題があっ
た。すなわち、フィルタ性能を向上させるために結合容
量電極部56で得られる容量値を大きくする場合がある
が、容量値を大きくするためには櫛歯状電極57a,5
7bの交差幅を広くするか、交差する電極対数を多くし
なればならない。しかしながら、このような構造にする
と、デバイスサイズが大型化し、昨今のチップ小型化の
要求に応えることができなくなる。
弾性表面波フィルタ50には、次のような問題があっ
た。すなわち、フィルタ性能を向上させるために結合容
量電極部56で得られる容量値を大きくする場合がある
が、容量値を大きくするためには櫛歯状電極57a,5
7bの交差幅を広くするか、交差する電極対数を多くし
なればならない。しかしながら、このような構造にする
と、デバイスサイズが大型化し、昨今のチップ小型化の
要求に応えることができなくなる。
【0005】また、フィルタ性能を向上させるために
は、多重モードフィルタ52,52間に発生する不要な
相互干渉を抑える必要がある。従来の弾性表面波フィル
タ50はこのような相互干渉を抑えるために多重モード
フィルタ52,52間の間隔を十分に広く取っており、
その分でもデバイスサイズの小型化が困難である。
は、多重モードフィルタ52,52間に発生する不要な
相互干渉を抑える必要がある。従来の弾性表面波フィル
タ50はこのような相互干渉を抑えるために多重モード
フィルタ52,52間の間隔を十分に広く取っており、
その分でもデバイスサイズの小型化が困難である。
【0006】なお、上記した相互干渉を防止したうえに
小型化を達成するには、多重モードフィルタ52,52
間の水晶基板51上に、多重モードフィルタ52,52
に沿って干渉吸収用の溝(図示省略)を形成することが
考えられる。しかしながら、水晶基板51にこのような
溝を形成するのは作業に手間を要するうえ、このような
溝を形成すると各多重モードフィルタ52,52間を配
線ライン55で接続することができなくなる。そのた
め、ボンディングワイヤ(図示省略)で多重モードフィ
ルタ52,52間を接続しなければならず、このような
ワイヤボンディング工程にさらなる手間が必要になるう
え、ボンディングされたワイヤは弾性表面波フィルタ5
0の電気特性を悪化させる原因となるといったような新
たな問題を引き起こすので都合が悪かった。
小型化を達成するには、多重モードフィルタ52,52
間の水晶基板51上に、多重モードフィルタ52,52
に沿って干渉吸収用の溝(図示省略)を形成することが
考えられる。しかしながら、水晶基板51にこのような
溝を形成するのは作業に手間を要するうえ、このような
溝を形成すると各多重モードフィルタ52,52間を配
線ライン55で接続することができなくなる。そのた
め、ボンディングワイヤ(図示省略)で多重モードフィ
ルタ52,52間を接続しなければならず、このような
ワイヤボンディング工程にさらなる手間が必要になるう
え、ボンディングされたワイヤは弾性表面波フィルタ5
0の電気特性を悪化させる原因となるといったような新
たな問題を引き起こすので都合が悪かった。
【0007】したがって、本発明においては、小型化で
きるうえ特性向上も図れる弾性表面波フィルタの提供を
目的としている。
きるうえ特性向上も図れる弾性表面波フィルタの提供を
目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明においては、圧電基板上に、入出力
間、または入出力信号ラインとアース電位との間に静電
容量を形成する容量電極部を設けており、該容量電極部
を互い違いに交差し合う少なくとも一対の櫛歯状電極か
ら構成するとともに該容量電極部を隣接する多重モード
フィルタの間に配設し、かつ、該容量電極部上に誘電体
部を設けており、以上のものから弾性表面波フィルタを
構成した。
るために、本発明においては、圧電基板上に、入出力
間、または入出力信号ラインとアース電位との間に静電
容量を形成する容量電極部を設けており、該容量電極部
を互い違いに交差し合う少なくとも一対の櫛歯状電極か
ら構成するとともに該容量電極部を隣接する多重モード
フィルタの間に配設し、かつ、該容量電極部上に誘電体
部を設けており、以上のものから弾性表面波フィルタを
構成した。
【0009】
【作用】上記構成によれば、誘電体部で容量電極部を覆
うので容量電極部を構成する櫛歯状電極部の間に誘電体
部が介在することになり、容量電極部の容量値は大きく
なる。また、隣接する多重モードフィルタの間に誘電体
部が介在することになるので、この誘電体部が吸音材と
なって多重モードフィルタ間に生じる相互干渉を吸収す
ることになる。
うので容量電極部を構成する櫛歯状電極部の間に誘電体
部が介在することになり、容量電極部の容量値は大きく
なる。また、隣接する多重モードフィルタの間に誘電体
部が介在することになるので、この誘電体部が吸音材と
なって多重モードフィルタ間に生じる相互干渉を吸収す
ることになる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図1は本発明の一実施例の弾性表面波フィ
ルタの平面図である。この弾性表面波フィルタ1は従来
例と同様、結合容量が付与された弾性表面波フィルタで
あって、水晶基板2上に多重モードフィルタ3を複数
(本実施例では従来例と同様2重モードフィルタを一
対)並設して構成されている。これら多重モードフィル
タ3は、IDT電極部4と、IDT電極部4の外側に配
設されたリフレクタ5,5とを備えている。これら多重
モードフィルタ3,3は配線ライン6によって多段に接
続(横結合)されている一方、IDT電極部4,4には
信号線パッド7が、また、リフレクタ5にはアースパッ
ド8が接続されている。
に説明する。図1は本発明の一実施例の弾性表面波フィ
ルタの平面図である。この弾性表面波フィルタ1は従来
例と同様、結合容量が付与された弾性表面波フィルタで
あって、水晶基板2上に多重モードフィルタ3を複数
(本実施例では従来例と同様2重モードフィルタを一
対)並設して構成されている。これら多重モードフィル
タ3は、IDT電極部4と、IDT電極部4の外側に配
設されたリフレクタ5,5とを備えている。これら多重
モードフィルタ3,3は配線ライン6によって多段に接
続(横結合)されている一方、IDT電極部4,4には
信号線パッド7が、また、リフレクタ5にはアースパッ
ド8が接続されている。
【0011】また、この弾性表面波フィルタ1は結合容
量電極部9を備えている。結合容量電極部7は互い違い
に交差し合う一対の櫛歯状電極10a,10bから構成
されており、一方の櫛歯状電極10aは配線ライン6
に、他方の櫛歯状電極10bはリフレクタ5を介してア
ース電位に接続されている。このように構成された結合
容量電極部9が多重モードフィルタ3,3の間に、その
長手方向が多重モードフィルタ3の長手方向と同一にな
るようにして配設されている。
量電極部9を備えている。結合容量電極部7は互い違い
に交差し合う一対の櫛歯状電極10a,10bから構成
されており、一方の櫛歯状電極10aは配線ライン6
に、他方の櫛歯状電極10bはリフレクタ5を介してア
ース電位に接続されている。このように構成された結合
容量電極部9が多重モードフィルタ3,3の間に、その
長手方向が多重モードフィルタ3の長手方向と同一にな
るようにして配設されている。
【0012】この弾性表面波フィルタ1は結合容量電極
部9の構造に特徴がある。すなわち、この結合容量電極
部9上には誘電体部11が設けられている。誘電体部1
1は例えば膜状のシリコン樹脂からなっており、結合容
量電極部9の表面全面を覆って配設されている。また、
誘電体部11は結合容量電極部9上だけではなく、多重
モードフィルタ3の端から端まで帯状に配設されてお
り、そのため、多重モードフィルタ3,3間にはほぼ全
幅にわたって誘電体部11が介在している。
部9の構造に特徴がある。すなわち、この結合容量電極
部9上には誘電体部11が設けられている。誘電体部1
1は例えば膜状のシリコン樹脂からなっており、結合容
量電極部9の表面全面を覆って配設されている。また、
誘電体部11は結合容量電極部9上だけではなく、多重
モードフィルタ3の端から端まで帯状に配設されてお
り、そのため、多重モードフィルタ3,3間にはほぼ全
幅にわたって誘電体部11が介在している。
【0013】このようにして配設された誘電体部11は
それ自身、所定の誘電率を有しており、そのため、結合
容量電極部9に発生する容量値を高める働きをする。し
たがって、面積の小さい結合容量電極部9でもって大き
な容量を得ることができ、その分、弾性表面波フィルタ
1全体が小型化している。
それ自身、所定の誘電率を有しており、そのため、結合
容量電極部9に発生する容量値を高める働きをする。し
たがって、面積の小さい結合容量電極部9でもって大き
な容量を得ることができ、その分、弾性表面波フィルタ
1全体が小型化している。
【0014】また、誘電体部11は多重モードフィルタ
3,3の間に設けられ、さらには誘電体部11は多重モ
ードフィルタ3,3間全幅にわたって配設されている。
そして、シリコン樹脂等で構成された誘電体部11は水
晶基板2上に発生する不要波にとって吸音材としての働
きする。そのため、多重モードフィルタ3,3の間は全
幅、吸音材である誘電体部11によって遮られることに
なり、多重モードフィルタ3,3間に発生する相互干渉
は誘電体部11によって吸収されて確実に抑えられるこ
とになる。
3,3の間に設けられ、さらには誘電体部11は多重モ
ードフィルタ3,3間全幅にわたって配設されている。
そして、シリコン樹脂等で構成された誘電体部11は水
晶基板2上に発生する不要波にとって吸音材としての働
きする。そのため、多重モードフィルタ3,3の間は全
幅、吸音材である誘電体部11によって遮られることに
なり、多重モードフィルタ3,3間に発生する相互干渉
は誘電体部11によって吸収されて確実に抑えられるこ
とになる。
【0015】次に上記実施例の弾性表面波フィルタであ
るCT−2(デジタルコードレス電話の一システム)の
1stIF用に用いられる150MHz帯水晶SAW2
重モードフィルタと、同様の従来例品とを周波数特性、
スプリアスレスポンス(帯域外減衰量)、チップサイ
ズ、およびパッケージサイズのうえで比較した結果を図
2、図3、および表1に基づいて説明する。なお、図2
は本実施例品の周波数特性を示し、図3は従来例品の周
波数特性を示し、表1は実施例品、および従来例品にお
けるスプリアスレスポンス、チップサイズ、およびパッ
ケージサイズの各値を示している。
るCT−2(デジタルコードレス電話の一システム)の
1stIF用に用いられる150MHz帯水晶SAW2
重モードフィルタと、同様の従来例品とを周波数特性、
スプリアスレスポンス(帯域外減衰量)、チップサイ
ズ、およびパッケージサイズのうえで比較した結果を図
2、図3、および表1に基づいて説明する。なお、図2
は本実施例品の周波数特性を示し、図3は従来例品の周
波数特性を示し、表1は実施例品、および従来例品にお
けるスプリアスレスポンス、チップサイズ、およびパッ
ケージサイズの各値を示している。
【0016】これら図より明らかなように、実施例品で
は、151.000MHz〜152.000MHz付近
における周波数特性が従来例品に比べて向上し、急峻な
選択度特性が得られていることがわかる。これは、結合
容量として適切な容量を付与したことが主因となってい
る。また、表1より明らかなように、従来例品では49
dBであったスプリアスレスポンスが実施例品では55
dBと向上している。これは誘電体部11による吸音作
用によって不要な干渉が抑えられたことが主因となって
いる。さらには、このような良好な特性を有する実施例
品を、従来例品に比べて、チップサイズ、パッケージサ
イズとも小型化したうえで作成していることがわかる。
は、151.000MHz〜152.000MHz付近
における周波数特性が従来例品に比べて向上し、急峻な
選択度特性が得られていることがわかる。これは、結合
容量として適切な容量を付与したことが主因となってい
る。また、表1より明らかなように、従来例品では49
dBであったスプリアスレスポンスが実施例品では55
dBと向上している。これは誘電体部11による吸音作
用によって不要な干渉が抑えられたことが主因となって
いる。さらには、このような良好な特性を有する実施例
品を、従来例品に比べて、チップサイズ、パッケージサ
イズとも小型化したうえで作成していることがわかる。
【0017】
【表1】
【0018】上記実施例では、誘電体部11を結合容量
電極部9上だけではなく多重モードフィルタ3,3の間
の全幅にわたって配設したが、本発明は、これに限るわ
けではなく、図4に示すように、誘電体部20を結合容
量電極部9上にだけ形成してもよいのはいうまでもな
い。この場合、誘電体部11による吸音効果は前記実施
例に比べて若干低下するものの誘電体部11形成による
高容量化は達成できる。なお、図4に示した弾性表面波
フィルタは基本的には図1のものと同様であり、同一な
いし同様の部分には同一の符号を付している。
電極部9上だけではなく多重モードフィルタ3,3の間
の全幅にわたって配設したが、本発明は、これに限るわ
けではなく、図4に示すように、誘電体部20を結合容
量電極部9上にだけ形成してもよいのはいうまでもな
い。この場合、誘電体部11による吸音効果は前記実施
例に比べて若干低下するものの誘電体部11形成による
高容量化は達成できる。なお、図4に示した弾性表面波
フィルタは基本的には図1のものと同様であり、同一な
いし同様の部分には同一の符号を付している。
【0019】上記実施例では、水晶基板2を有する弾性
表面波フィルタ1において、本発明を実施していたが、
本発明は、水晶基板2に限らず、タンタル酸リチウム、
ニオブ酸リチウムといったような他の圧電基板において
も実施できるのはいうまでもない。また、上記実施例の
ような横結合型の多重モードフィルタだけではなく、縦
結合型の多重モードフィルタにおいても実施でき、さら
には、上記実施例のような2段接続以外の多段接続型の
弾性表面波フィルタにおいても実施できるのもいうまで
もない。さらにまた、上記実施例は、入出力信号ライン
とアース電位の間に結合容量を形成する結合容量電極部
9を備えた弾性表面波フィルタ1において本発明を実施
していたが、例えば入出力間に橋絡容量を形成する橋絡
容量電極部といったように、他の部位に容量を配設した
弾性表面波フィルタにおいても本発明を実施できるのも
いうまでもない。
表面波フィルタ1において、本発明を実施していたが、
本発明は、水晶基板2に限らず、タンタル酸リチウム、
ニオブ酸リチウムといったような他の圧電基板において
も実施できるのはいうまでもない。また、上記実施例の
ような横結合型の多重モードフィルタだけではなく、縦
結合型の多重モードフィルタにおいても実施でき、さら
には、上記実施例のような2段接続以外の多段接続型の
弾性表面波フィルタにおいても実施できるのもいうまで
もない。さらにまた、上記実施例は、入出力信号ライン
とアース電位の間に結合容量を形成する結合容量電極部
9を備えた弾性表面波フィルタ1において本発明を実施
していたが、例えば入出力間に橋絡容量を形成する橋絡
容量電極部といったように、他の部位に容量を配設した
弾性表面波フィルタにおいても本発明を実施できるのも
いうまでもない。
【0020】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、誘電体部
を配設することにより容量電極部の容量値を大きくする
ことができるようになった。そのため、誘電体部で容量
値を大きくできる分、容量電極部の大きさを小さくする
ことができ、その分、弾性表面波フィルタを小型化する
ことが可能になった。
を配設することにより容量電極部の容量値を大きくする
ことができるようになった。そのため、誘電体部で容量
値を大きくできる分、容量電極部の大きさを小さくする
ことができ、その分、弾性表面波フィルタを小型化する
ことが可能になった。
【0021】また、誘電体部が吸音材となって多重モー
ドフィルタ間に生じる相互干渉を吸収するので、良好な
帯域外減衰量が得られるようになった。さらには、多重
モードフィルタ間に相互干渉が生じにくくなったので、
その分、多重モードフィルタを近接配置することが可能
になり、その分で小型化が可能になった。
ドフィルタ間に生じる相互干渉を吸収するので、良好な
帯域外減衰量が得られるようになった。さらには、多重
モードフィルタ間に相互干渉が生じにくくなったので、
その分、多重モードフィルタを近接配置することが可能
になり、その分で小型化が可能になった。
【図1】本発明の一実施例に係る弾性表面波フィルタの
構成を示す平面図である。
構成を示す平面図である。
【図2】実施例の弾性表面波フィルタの周波数特性を示
す線図である。
す線図である。
【図3】従来例の弾性表面波フィルタの周波数特性を示
す線図である。
す線図である。
【図4】他の実施例の弾性表面波フィルタの構成を示す
平面図である。
平面図である。
【図5】従来例の弾性表面波フィルタの構成を示す平面
図である。
図である。
2 水晶基板 3 多重モードフィルタ 4 IDT電極部 9 結合容量電極部 10a 櫛歯状電極 10b 櫛歯状電極 11 誘電体部
Claims (1)
- 【請求項1】圧電基板(2)上に、IDT電極部(4)
を備えた複数の多重モードフィルタ(3,3)を形成す
るとともに、これら多重モードフィルタ(3,3)を入
出力間に多段接続した弾性表面波フィルタであって、 前記圧電基板(2)上に、入出力間、または入出力信号
ラインとアース電位との間に静電容量を形成する容量電
極部(9)を設けており、該容量電極部(9)を互い違
いに交差し合う少なくとも一対の櫛歯状電極(10a,
10b)から構成するとともに該容量電極部(10a,
10b)を隣接する多重モードフィルタ(3,3)の間
に配設し、かつ、該容量電極部(9)上に誘電体部(1
1)を設けたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14459493A JPH077369A (ja) | 1993-06-16 | 1993-06-16 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14459493A JPH077369A (ja) | 1993-06-16 | 1993-06-16 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH077369A true JPH077369A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15365700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14459493A Pending JPH077369A (ja) | 1993-06-16 | 1993-06-16 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH077369A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5999068A (en) * | 1997-08-29 | 1999-12-07 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave filter of multi-stage connection type |
WO2007066608A1 (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 複合フィルタ |
KR100735484B1 (ko) * | 2005-11-25 | 2007-07-03 | 삼성전기주식회사 | 직렬 2-트랙 dms 필터 |
WO2016104598A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置 |
WO2016111315A1 (ja) * | 2015-01-07 | 2016-07-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022158370A1 (ja) * | 2021-01-22 | 2022-07-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
1993
- 1993-06-16 JP JP14459493A patent/JPH077369A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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