JPWO2016104598A1 - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2016104598A1 JPWO2016104598A1 JP2016566439A JP2016566439A JPWO2016104598A1 JP WO2016104598 A1 JPWO2016104598 A1 JP WO2016104598A1 JP 2016566439 A JP2016566439 A JP 2016566439A JP 2016566439 A JP2016566439 A JP 2016566439A JP WO2016104598 A1 JPWO2016104598 A1 JP WO2016104598A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- capacitive element
- electrode fingers
- saw
- elastic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1064—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
- H03H9/725—Duplexers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るSAW装置1の外観斜視図である。また、図2は、SAW装置1の一部を破断して示す斜視図である。
図5(a)は、第2実施形態のSAW装置のSAW共振子25および容量素子31を示す平面図である。
図5(b)は、第3実施形態のSAW装置のSAW共振子25および容量素子331を示す平面図である。
図6(a)は、第4実施形態のSAW装置のSAW共振子25および容量素子431を示す平面図である。
図6(b)は、第5実施形態のSAW装置のSAW共振子25および容量素子531を示す平面図である。
図7は、第5実施形態のSAW装置のSAW共振子25および容量素子631を示す平面図である。
図8(a)は、第7実施形態のSAW装置のSAW共振子25および容量素子731を示す平面図である。
図8(b)は、第8実施形態のSAW装置のSAW共振子25および容量素子831を示す平面図である。
図9(a)は、第9実施形態のSAW装置のSAW共振子25および容量素子931を示す平面図である。
図9(b)は、第10実施形態のSAW装置のSAW共振子25および容量素子1031(容量電極1033)を示す平面図である。
(分波器)
図13は、SAW装置1の利用例としての分波器101を示す模式図である。
図14は、分波器101を有する通信装置151の要部を示すブロック図である。通信装置151は、電波を利用した無線通信を行うものである。
図15は、容量素子31の接続に係る変形例を示す図13と同様の図である。
圧電基板と、
前記圧電基板の主面に位置する励振電極と、
前記主面に位置し、前記励振電極に接続された容量素子と、
を有し、
前記励振電極は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなり、
前記容量素子は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなり、
前記容量素子の複数の電極指の、前記励振電極の複数の電極指に対する角度は、0°以上90°未満であり、
前記容量素子の複数の電極指は、屈曲または湾曲している
弾性波装置。
圧電基板と、
前記圧電基板の主面に位置する励振電極と、
前記主面に位置し、前記励振電極に接続された容量素子と、
を有し、
前記励振電極は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなり、
前記容量素子は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなり、
前記容量素子の複数の電極指の、前記励振電極の複数の電極指に対する角度は、0°以上90°未満であり、
前記容量素子の複数の電極指の一部において、同一の櫛歯電極に属する2以上の電極指が互いに隣接している
弾性波装置。
圧電基板と、
前記圧電基板の主面に位置する励振電極と、
前記主面に位置し、前記励振電極に接続された容量素子と、
を有し、
前記励振電極は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなり、
前記容量素子は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなり、
前記容量素子の複数の電極指の、前記励振電極の複数の電極指に対する角度は、0°以上90°未満であり、
前記容量素子の複数の電極指は、ピッチが変化している
弾性波装置。
圧電基板と、
前記圧電基板の主面に位置する励振電極と、
前記主面に位置し、前記励振電極に接続された容量素子と、
を有し、
前記励振電極は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなり、
前記容量素子は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなり、
前記容量素子の複数の電極指の、前記励振電極の複数の電極指に対する角度は、0°以上90°未満であり、
前記容量素子の複数の電極指は、デューティー比が変化している
弾性波装置。
Claims (11)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の主面に位置する励振電極と、
前記主面に位置し、前記励振電極に接続された容量素子と、
前記励振電極および前記容量素子のうち前記容量素子のみに重なる絶縁体と、
を有した弾性波装置。 - 前記絶縁体は、
前記励振電極を囲むとともに前記容量素子に重なる枠部と、
前記枠部の開口を塞ぐ蓋部と、を有している
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記容量素子は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなる
請求項1または2に記載の弾性波装置。 - 前記励振電極は、並列に延びる複数の電極指を有し、当該複数の電極指が互いに交差するように配置された1対の櫛歯電極からなり、
前記容量素子の複数の電極指の、前記励振電極の複数の電極指に対する角度は、0°以上90°未満である
請求項3に記載の弾性波装置。 - 前記角度は、45°以下である
請求項4に記載の弾性波装置。 - 前記容量素子の複数の電極指は、互いに対向する1対のバスバーからその対向方向に傾斜する方向に延びている
請求項3〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記容量素子の複数の電極指は、屈曲または湾曲している
請求項3〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記容量素子の複数の電極指の一部において、同一の櫛歯電極に属する2以上の電極指が互いに隣接している
請求項3〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記容量素子の複数の電極指は、ピッチが変化している
請求項3〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記容量素子の複数の電極指は、デューティー比が変化している
請求項3〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記圧電基板に貼り合わされた支持基板をさらに有する
請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014265333 | 2014-12-26 | ||
JP2014265333 | 2014-12-26 | ||
PCT/JP2015/086020 WO2016104598A1 (ja) | 2014-12-26 | 2015-12-24 | 弾性波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016104598A1 true JPWO2016104598A1 (ja) | 2017-10-05 |
JP6710161B2 JP6710161B2 (ja) | 2020-06-17 |
Family
ID=56150611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016566439A Active JP6710161B2 (ja) | 2014-12-26 | 2015-12-24 | 弾性波装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10804881B2 (ja) |
JP (1) | JP6710161B2 (ja) |
CN (1) | CN107112976B (ja) |
WO (1) | WO2016104598A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6612529B2 (ja) * | 2015-05-28 | 2019-11-27 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置および通信装置 |
JP6530494B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2019-06-12 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子 |
JP6573851B2 (ja) | 2016-08-04 | 2019-09-11 | 太陽誘電株式会社 | マルチプレクサ |
JP6767201B2 (ja) * | 2016-08-22 | 2020-10-14 | 京セラ株式会社 | 容量素子、弾性波素子および弾性波モジュール |
KR102399689B1 (ko) * | 2016-10-13 | 2022-05-19 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 필터 장치 |
JP6589824B2 (ja) * | 2016-11-04 | 2019-10-16 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ |
WO2018135538A1 (ja) | 2017-01-19 | 2018-07-26 | 株式会社村田製作所 | 高周波フィルタ、高周波フロントエンド回路、および通信装置 |
WO2018139320A1 (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-02 | 株式会社村田製作所 | 高周波フィルタ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
CN111201709B (zh) * | 2017-10-16 | 2023-07-25 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器、多工器、高频前端电路以及通信装置 |
WO2019082806A1 (ja) * | 2017-10-23 | 2019-05-02 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
US20200287515A1 (en) * | 2017-10-24 | 2020-09-10 | Kyocera Corporation | Composite substrate and acoustic wave element using same |
JP7132944B2 (ja) * | 2017-12-01 | 2022-09-07 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 |
DE102018125498B4 (de) * | 2018-10-15 | 2020-04-23 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustisches HF-Filter mit verbesserter Leistung und Multiplexer-Komponente, die ein HF-Filter umfasst |
CN110067946A (zh) * | 2019-05-09 | 2019-07-30 | 上海工程技术大学 | 一种基于声表面波模式的天然气传感器及泄漏监测系统 |
CN114208035A (zh) | 2019-07-25 | 2022-03-18 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器 |
WO2021230315A1 (ja) * | 2020-05-14 | 2021-11-18 | 京セラ株式会社 | 容量素子および弾性波装置 |
JP7429612B2 (ja) | 2020-06-26 | 2024-02-08 | NDK SAW devices株式会社 | 弾性表面波フィルタ及び弾性表面波デバイス |
WO2022004190A1 (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-06 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波回路及び通信装置 |
US20220116014A1 (en) * | 2020-10-13 | 2022-04-14 | RF360 Europe GmbH | Surface acoustic wave (saw) device with high permittivity dielectric for intermodulation distortion improvement |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0522074A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-29 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振器と弾性表面波共振器複合形フイルタならびに無線送受信機 |
JPH05327399A (ja) * | 1992-05-21 | 1993-12-10 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置及びそれを用いて構成したフィルタ装置 |
JPH077369A (ja) * | 1993-06-16 | 1995-01-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2000077967A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
JP2005260833A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
JP2008109413A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
JP2011254354A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Ngk Insulators Ltd | 複合基板及びそれを用いた弾性表面波デバイス |
JP2013118444A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Kyocera Corp | 弾性波デバイスの製造方法及び弾性波デバイス |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05167384A (ja) | 1991-12-11 | 1993-07-02 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
JP3880150B2 (ja) * | 1997-06-02 | 2007-02-14 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波素子 |
WO2001005030A2 (en) * | 1999-06-11 | 2001-01-18 | Cts Corp. | Saw ladder filter with improved 'q' coupling capacitors |
JP2006332122A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Fujitsu Ltd | 電子回路装置、その製造方法、バリスタの製造方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP5039290B2 (ja) * | 2005-08-25 | 2012-10-03 | 太陽誘電株式会社 | フィルタおよびアンテナ分波器 |
EP1976118A4 (en) * | 2006-01-18 | 2011-12-14 | Murata Manufacturing Co | ACOUSTIC SURFACE WAVE DEVICE AND LIMIT ACOUSTIC WAVE DEVICE |
JP5654303B2 (ja) * | 2010-09-21 | 2015-01-14 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品およびその製造方法、並びに電子部品を備えた電子デバイス |
US8941974B2 (en) * | 2011-09-09 | 2015-01-27 | Xilinx, Inc. | Interdigitated capacitor having digits of varying width |
JP6380558B2 (ja) * | 2015-01-07 | 2018-08-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
2015
- 2015-12-24 CN CN201580070337.2A patent/CN107112976B/zh active Active
- 2015-12-24 US US15/539,561 patent/US10804881B2/en active Active
- 2015-12-24 JP JP2016566439A patent/JP6710161B2/ja active Active
- 2015-12-24 WO PCT/JP2015/086020 patent/WO2016104598A1/ja active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0522074A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-29 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振器と弾性表面波共振器複合形フイルタならびに無線送受信機 |
JPH05327399A (ja) * | 1992-05-21 | 1993-12-10 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置及びそれを用いて構成したフィルタ装置 |
JPH077369A (ja) * | 1993-06-16 | 1995-01-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2000077967A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
JP2005260833A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
JP2008109413A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
JP2011254354A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Ngk Insulators Ltd | 複合基板及びそれを用いた弾性表面波デバイス |
JP2013118444A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Kyocera Corp | 弾性波デバイスの製造方法及び弾性波デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107112976B (zh) | 2020-09-25 |
US10804881B2 (en) | 2020-10-13 |
JP6710161B2 (ja) | 2020-06-17 |
WO2016104598A1 (ja) | 2016-06-30 |
US20170359051A1 (en) | 2017-12-14 |
CN107112976A (zh) | 2017-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2016104598A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP6408592B2 (ja) | フィルタ,分波器および通信装置 | |
JP6352971B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JP6573668B2 (ja) | 弾性波装置および通信装置 | |
JP6453913B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
JP6651643B2 (ja) | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 | |
US11539342B2 (en) | Acoustic wave device and communication apparatus | |
JP6994855B2 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
JP7278305B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
JPWO2019107280A1 (ja) | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 | |
JP2018207045A (ja) | 電子部品 | |
JP2023134855A (ja) | 弾性波フィルタ及び通信装置 | |
JP3981590B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ素子、弾性表面波フィルタ素子用ベース基板及び弾性表面波フィルタ素子を備える弾性表面波装置 | |
WO2019124316A1 (ja) | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 | |
JP6585459B2 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
CN110089031B (zh) | 弹性波装置、分波器以及通信装置 | |
JP7132841B2 (ja) | 弾性表面波素子、分波器および通信装置 | |
JP7037439B2 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
CN116648855A (zh) | 滤波器装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20171221 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200428 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6710161 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |