JP6380558B2 - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6380558B2 JP6380558B2 JP2016568737A JP2016568737A JP6380558B2 JP 6380558 B2 JP6380558 B2 JP 6380558B2 JP 2016568737 A JP2016568737 A JP 2016568737A JP 2016568737 A JP2016568737 A JP 2016568737A JP 6380558 B2 JP6380558 B2 JP 6380558B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- wave device
- insulating film
- bus bar
- wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 66
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 37
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 13
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 25
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/09—Elastic or damping supports
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
Description
2…圧電基板
3…入力端子
4…出力端子
5…グラウンド端子
6…IDT電極
6a1,6b1…第1,第2の電極指
6a2,6b2…第1,第2のバスバー
7…反射器
8…容量電極
8a1,8b1…第3,第4の電極指
8a2,8b2…第3,第4のバスバー
9…絶縁膜
9a…上面
14…第1の配線
14b…第1の部分
15…第2の配線
16…第3の配線
17…接続配線
18…容量部
21…弾性波装置
24…第1の配線
28…容量部
39…絶縁膜
39a…上面
44…第1の配線
44a…上面
44b…第1の部分
48…容量電極
49…絶縁膜
49a…上面
58…容量部
69…絶縁膜
71…弾性波装置
72…圧電基板
74…第1の配線
81…弾性波装置
84…第1の配線
S1,S2…直列腕共振子
P1,P2…並列腕共振子
Claims (8)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられており、互いに間挿し合っている複数本の第1の電極指及び複数本の第2の電極指と、前記複数本の第1の電極指の一端が共通接続されている第1のバスバーと、前記複数本の第2の電極指の一端が共通接続されている第2のバスバーとを有するIDT電極と、
互いに間挿し合っている複数本の第3の電極指及び複数本の第4の電極指と、前記複数本の第3の電極指の一端が共通接続されている第3のバスバーと、前記複数本の第4の電極指の一端が共通接続されている第4のバスバーとを有する容量電極と、
前記容量電極に積層されている絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記容量電極と対向している部分を有する第1の配線と、
前記第1のバスバーと前記第3のバスバーとを接続している第2の配線と、
を備え、
前記容量電極が、弾性表面波の伝搬方向において前記IDT電極の側方に配置されており、前記第4のバスバーが、グラウンド電位に接続され、前記第1の配線が、前記第4のバスバーに接続されている、弾性波装置。 - 前記第2のバスバーと前記第4のバスバーとを接続している第3の配線をさらに備える、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第3,第4の電極指の交叉幅方向が前記第1,第2の電極指の交叉幅方向と平行にならないように、前記容量電極が配置されている、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第3,第4の電極指の交叉幅方向が前記第1,第2の電極指の交叉幅方向に直交するように、前記容量電極が配置されている、請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記第1の配線の前記容量電極と対向している部分が、前記圧電基板上に設けられている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記容量電極が前記圧電基板上に設けられている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁膜が、圧電性を有しない絶縁材料からなる、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 少なくとも1つの直列腕共振子及び少なくとも1つの並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、
前記直列腕共振子及び並列腕共振子のうちの少なくとも1つが前記IDT電極を有する、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015001574 | 2015-01-07 | ||
JP2015001574 | 2015-01-07 | ||
PCT/JP2016/050242 WO2016111315A1 (ja) | 2015-01-07 | 2016-01-06 | 弾性波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016111315A1 JPWO2016111315A1 (ja) | 2017-08-10 |
JP6380558B2 true JP6380558B2 (ja) | 2018-08-29 |
Family
ID=56356001
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016568737A Active JP6380558B2 (ja) | 2015-01-07 | 2016-01-06 | 弾性波装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10050601B2 (ja) |
JP (1) | JP6380558B2 (ja) |
KR (1) | KR101922825B1 (ja) |
CN (1) | CN107005227B (ja) |
WO (1) | WO2016111315A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6710161B2 (ja) * | 2014-12-26 | 2020-06-17 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置 |
US9608595B1 (en) | 2015-11-13 | 2017-03-28 | Resonant Inc. | Acoustic wave filter with enhanced rejection |
WO2018051846A1 (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
WO2018056224A1 (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路および通信装置 |
WO2018056056A1 (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路および通信装置 |
KR101953219B1 (ko) * | 2016-11-24 | 2019-02-28 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
WO2019111902A1 (ja) * | 2017-12-06 | 2019-06-13 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路および通信装置 |
KR102448306B1 (ko) * | 2018-01-11 | 2022-09-29 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
JP2020053876A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
WO2020121663A1 (ja) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022014496A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | フィルタ |
WO2022014497A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | フィルタ |
US20220247382A1 (en) * | 2021-02-03 | 2022-08-04 | Resonant Inc. | Bandpass filters using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6386912A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-18 | Toshiba Corp | 弾性表面波トランスデユ−サ |
JPH077369A (ja) * | 1993-06-16 | 1995-01-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
KR100892195B1 (ko) * | 2002-03-06 | 2009-04-07 | 파나소닉 주식회사 | 탄성표면파 필터, 평형형 회로 및 통신장치 |
JP2004289051A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Toppan Printing Co Ltd | 基板内蔵型コンデンサ構造及びその製造方法 |
US20040227585A1 (en) * | 2003-05-14 | 2004-11-18 | Norio Taniguchi | Surface acoustic wave branching filter |
JP2005260833A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
JP2006295434A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波フィルタ |
JPWO2007007476A1 (ja) * | 2005-07-13 | 2009-01-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波フィルタ装置 |
DE102005051852B4 (de) * | 2005-10-28 | 2021-05-20 | Snaptrack, Inc. | SAW Filter mit breitbandiger Bandsperre |
JP2008109413A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
DE102006057340B4 (de) | 2006-12-05 | 2014-05-22 | Epcos Ag | DMS-Filter mit verbesserter Anpassung |
JP5109731B2 (ja) * | 2008-03-10 | 2012-12-26 | パナソニック株式会社 | 弾性境界波デバイス |
WO2010029657A1 (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP5093402B2 (ja) * | 2009-04-07 | 2012-12-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波共振子及びラダー型フィルタ |
JP5105026B2 (ja) * | 2010-03-12 | 2012-12-19 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ |
CN204615783U (zh) * | 2012-08-29 | 2015-09-02 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置以及滤波器装置 |
-
2016
- 2016-01-06 CN CN201680004042.XA patent/CN107005227B/zh active Active
- 2016-01-06 KR KR1020177017725A patent/KR101922825B1/ko active IP Right Grant
- 2016-01-06 WO PCT/JP2016/050242 patent/WO2016111315A1/ja active Application Filing
- 2016-01-06 JP JP2016568737A patent/JP6380558B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-14 US US15/622,176 patent/US10050601B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2016111315A1 (ja) | 2017-08-10 |
CN107005227A (zh) | 2017-08-01 |
CN107005227B (zh) | 2021-10-26 |
KR20170087956A (ko) | 2017-07-31 |
WO2016111315A1 (ja) | 2016-07-14 |
KR101922825B1 (ko) | 2018-11-27 |
US10050601B2 (en) | 2018-08-14 |
US20170279432A1 (en) | 2017-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6380558B2 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2016103953A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4798319B1 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2014192755A1 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
JP6284800B2 (ja) | 弾性表面波デバイス及びフィルタ | |
JP5418645B2 (ja) | ラダー型フィルタ装置 | |
WO2018070273A1 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
JP6465047B2 (ja) | 弾性波共振子、帯域通過型フィルタ及びデュプレクサ | |
JP5146160B2 (ja) | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ | |
US10177740B2 (en) | Ladder filter and duplexer | |
JP2005260833A (ja) | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ | |
JP2017157944A (ja) | 弾性表面波装置およびそれを用いた送受信フィルタを有するデュプレクサ | |
KR101886531B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
US11309866B2 (en) | Acoustic wave device and method for manufacturing acoustic wave device | |
WO2017154260A1 (ja) | 弾性波装置及びデュプレクサ | |
WO2016039026A1 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP5842513B2 (ja) | ラダー型フィルタ | |
CN116508261A (zh) | 弹性波装置及梯型滤波器 | |
JP2015231147A (ja) | 弾性波デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180622 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180703 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180716 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6380558 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |