JP5105026B2 - 弾性波共振子及びラダー型フィルタ - Google Patents

Description

本発明は、弾性表面波共振子や弾性境界波共振子などの弾性波共振子に関する。より詳細には、本発明は、弾性波伝搬方向において交叉幅の極大値が複数現れるように交叉幅重み付けが施されているＩＤＴ電極を有する弾性波共振子及び該弾性波共振子を用いたラダー型フィルタに関する。

従来、弾性表面波や弾性境界波を利用した様々な弾性波共振子が提案されている。例えば、下記の特許文献１には、ＩＤＴ電極において、弾性表面波伝搬方向中央部で交叉幅が大きく、弾性表面波伝搬方向の端部に向かって交叉幅が小さくなるように交叉幅重み付けが施されている構成が開示されている。この構成により、横モードによるスプリアスが抑圧される、とされている。しかしながら、ＩＤＴ電極の中央部において交叉幅が大きくなるため、最大交叉幅が大きくなってしまう。すなわち、当該ＩＤＴ電極中央部に消費電力が集中し、耐電力性が劣化する、という問題があった。加えて、最大交叉幅が大きいので、弾性表面波共振子のサイズが大きくなってしまう、という問題もあった。

そこで、下記の特許文献２には、弾性波伝搬方向に極大値が２つ以上存在するように、交叉幅重み付けが施された弾性波共振子が開示されている。図９は、特許文献２に記載の弾性波共振子の電極構造を示す模式的平面図である。

弾性波共振子１００１では、圧電基板上に図示の電極構造が形成されている。この電極構造は、ＩＤＴ電極１００２と、ＩＤＴ電極１００２の弾性波伝搬方向両側に配置された反射器１００３，１００４とを有する。ＩＤＴ電極１００２は交叉幅重み付けされている。すなわち、弾性波伝搬方向において交叉幅が変化している。ここでは、弾性波伝搬方向に沿って交叉幅極大値が２つ存在するように交叉幅重み付けが施されている。異なる電位に接続されている電極同士が弾性波伝搬方向において重なり合っている領域は、図１の包絡線Ａ及びＢに囲まれた領域である。図９から明らかなように、弾性波伝搬方向において、交叉幅が極大となる部分が２つ存在する。そのため、交叉幅が極大となる２つの部分Ｅ，Ｆの間に、交叉幅が極小となる部分Ｇが存在する。

特許第２６４５６７４号 ＷＯ２００７／１０８２６９

特許文献２に記載の弾性波共振子では、ＩＤＴ電極が上記のように交叉幅重み付けされているため、横モードに起因するスプリアスの影響を抑制することが可能であり、かつ、ＩＤＴ電極の最大交叉幅を小さくすることができる。その結果、耐電力性を改善することが可能となる。また、弾性波共振子のサイズを小さくすることも可能である。

しかしながら、放熱性が充分でないという問題のあることがわかった。すなわち、弾性波共振子１００１に高周波電力を印加すると、発熱量が最も大きくなるのは、交叉幅が極大となる部分Ｅ，Ｆである。もっとも、この部分で発生した熱はグラウンド電位に接続されるＩＤＴ電極１００２の一方のバスバー１００２ａを、反射器１００３，１００４のバスバーと共通化することにより放散させることができる。すなわち、交叉幅が極大値となる部分Ｅ及びＦは、反射器１００３，１００４に比較的近いため、反射器１００３，１００４側に熱を逃がすことができる。

これに対して、交叉幅が極小値部分Ｇは、反射器１００３，１００４から遠い位置にある。従って、交叉幅が極小である部分Ｇでは、部分Ｅ及びＦに比べて発熱量が少ないものの、熱がこもりやすくなる。よって、弾性波共振子の十分な放熱を図ることができないという問題があった。

また、ＩＤＴ電極１００２における放熱性が十分でない場合には、温度変化により共振特性が本来の共振特性からずれるおそれがあった。

本発明の目的は、横モードに起因するスプリアスの影響を低減するための交叉幅重み付けが施されたＩＤＴ電極を有する弾性波共振子であって、ＩＤＴ電極の放熱性を高めることができ、それによって安定な共振特性を得ることを可能とする弾性波共振子を提供することにある。また、本発明の他の目的は、弾性波共振子のＩＤＴ電極の放熱性を高め、それによって放熱性に優れかつフィルタ特性の安定なラダー型フィルタを提供することある。

本発明に係る弾性波共振子は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成されたＩＤＴ電極とを備える。ＩＤＴ電極は弾性波伝搬方向において交叉幅の極大値が複数現れるように交叉幅重み付けされている。本発明においては、前記ＩＤＴ電極において、前記複数現れる交叉幅極大値の部分に挟まれた、弾性波伝搬方向に沿って現れる１以上の交叉幅極小値の部分のうち、少なくとも一つの交叉幅極小値部分に設けられた放熱用電極がさらに備えられ、前記放熱用電極の弾性波伝搬方向に沿う方向寸法幅をＡとし、伝搬する弾性波の波長の１／２の寸法をＢとしたときに、Ｂ＜Ａとされている。より好ましくは、２．５Ｂ≦Ａであり、それによって放熱性をさらに高めることができる。

本発明に係る弾性波共振子では、上記放熱用電極が、１以上の交叉幅極小値部分の全てに設けられていることが好ましい。それによって、放熱性をより一層高めることができる。

本発明に係る弾性波共振子の他の特定の局面では、前記放熱用電極が、弾性波伝搬方向と直交する方向に延び、かつ弾性波伝搬方向と直交する方向において、ギャップを隔てて対向されている第１，第２の放熱用電極を有する。この場合、第１，第２の放熱用電極の長さは等しくともよい。第１，第２の放熱用電極の長さが等しい場合には、第１の放熱用電極と第２の放熱用電極を経由して熱を第１，第２の放熱用電極に均一に放散させることができる。

また、上記第１，第２の放熱用電極の長さは異なっていてもよい。その場合には熱の放散する方向に方向性を持たせることができる。

本発明に係る弾性波共振子では、好ましくは、前記放熱用電極の面積が、残りの電極指の面積よりも大きくされている。この場合には、放熱性をより一層高めることができる。

本発明に係る弾性波共振子では、好ましくは前記ＩＤＴ電極が一対のバスバーを有し、前記ＩＤＴ電極の一方のバスバーと、前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に配置されている反射器とが共通化されている。

本発明に係るラダー型フィルタは、弾性波共振子からなる直列腕共振子及び並列腕共振子を有し、直列腕共振子及び並列腕共振子を構成している弾性波共振子の少なくとも１つの弾性波共振子が、本発明に従って構成された弾性波共振子からなる。従って、弾性波共振子のＩＤＴ電極における放熱性が高められるので、ラダー型フィルタの放熱性を高めることができる。それによって、安定なフィルタ特性を得ることができる。

本発明に係る弾性波共振子では、弾性波伝搬方向に沿って複数の交叉幅極大値が現れるように交叉幅重み付けされているので、横モードによる影響を抑制することができる。しかも、交叉幅極小値部分において発生した熱を、放熱用電極により速やかに放散させることができる。従って、例えば高周波電力の印加によりＩＤＴ電極が発熱したとしても、放熱性を高めることができる。よって、共振特性の安定な弾性波共振子を提供することができる。

図１（ａ）は本発明の第１の実施形態に係る弾性波共振子の電極構造を示す模式的平面図であり、（ｂ）は、該弾性波共振子の模式的正面断面図であり、（ｃ）は変形例を説明するための拡大平面図である。 図２は、第１の実施形態の弾性波共振子に高周波電力を印加した場合の発熱の状態を模式的に示す平面図である。 図３は、第１の実施形態及び比較例の弾性波共振子のインピーダンス周波数特性を示す図である。 図４は、第１の実施形態及び比較例の弾性波共振子の位相特性を示す図である。 図５は、第１の実施形態及び比較例の弾性波共振子のインピーダンス特性を示すスミスチャートである。 図６は、第１の実施形態及び比較例の弾性波共振子のＳ１１リターンロス特性を示す図である。 図７は、本発明の他の実施形態としてのラダー型フィルタの回路構成を模式的に示す回路図である。 図８（ａ）は比較例として用意した弾性波共振子の模式的平面図であり、（ｂ）は該比較例の弾性波共振子における発熱分布を模式的に示す平面図である。 図９は、従来の弾性波共振子の電極構造を示す模式的平面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

図１（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る弾性波共振子の電極構造を示す模式的平面図及び該弾性波共振子の模式的正面断面図である。

弾性波共振子１は、弾性表面波を利用した弾性表面波共振子である。本実施形態の弾性波共振子１は、レイリー波を利用して共振特性を得ている。もっとも、本発明においては、漏洩弾性波以外の弾性波を用いることができ、レイリー波に限らず、ラブ波を用いてもよい。弾性波共振子１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、本実施形態では、ニオブ酸リチウムからなる。もっとも、圧電基板２は、ニオブ酸カリウム、タンタル酸リチウム、水晶、ダイヤモンド、ランガサイト、４ホウ酸リチウムなどの他の圧電単結晶により構成されていてもよい。また、圧電基板２は、圧電セラミックスからなるものであってもよい。また、圧電基板２は、絶縁体に圧電薄膜を積層した構造を有していてもよい。

圧電基板２上にＩＤＴ電極３が形成されている。ＩＤＴ電極３の弾性表面波伝搬方向両側に反射器４，５が配置されている。

図１（ｂ）に示すように、本実施形態では、周波数温度特性を改善するために、絶縁膜６が形成されている。絶縁膜６は、ＩＤＴ電極３及び反射器４，５を被覆するように形成されている。絶縁膜６は、本実施形態では、酸化ケイ素からなる。もっとも、酸化ケイ素に限らず絶縁膜６は窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化チタン、窒化チタンまたは酸化タンタルなどの様々な誘電体材料により形成することができる。また、これらの絶縁材料からなる複数の層を積層することにより絶縁膜６を形成してもよい。

ＩＤＴ電極３及び反射器４，５は、適宜の金属もしくは合金により形成することができる。本実施形態では、ＩＤＴ電極３は、Ｐｔ膜とＡｌ膜とを積層した構造を有する。また、ＩＤＴ電極３のバスバー３ａ，３ｂと図示しない引き回し配線では、上記Ｐｔ膜及びＡｌ膜を積層してなる積層金属膜上にさらに抵抗補助膜を積層してもよい。抵抗補助膜としては、Ａｌ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｐｔ、Ｃｕ、ＷまたはＡｇなどの金属を用いることができる。抵抗補助膜はこれらの金属からなる金属膜を複数層積層したものであってもよい。また、これらの金属を主体とする合金により抵抗補助膜が形成されてもよい。

ＩＤＴ電極３は、図１（ａ）に示すように、一対の櫛形電極を有し、かつ弾性表面波伝搬方向において交叉幅の極大値が複数現れるように交叉幅重み付けされている。言い換えれば、ＩＤＴ電極３は、交叉幅重み付けされており、弾性表面波伝搬方向と直交する方向の外側に、第１の包絡線Ａと、第２の包絡線Ｂとを有する。包絡線とは、一方の電位に接続される複数本の電極指の先端を結ぶことにより形成される仮想線である。

第１の実施形態の弾性波共振子１では、包絡線Ａ，Ｂに囲まれた領域は、２個の菱形の領域を有するように形成されている。２個の菱形の領域は、弾性表面波伝搬方向に連なっている。もっとも、図１（ａ）に示されているように、２個の菱形の領域は頂点同士で連結されてはいない。より具体的には、図１（ａ）の矢印で示す部分、すなわち菱形の領域において、弾性表面波伝搬方向両側の端部Ｈ，Ｉ，Ｊにおける交叉幅は０とはならず、最大交叉幅の２０％の交叉幅を有するように交叉幅重み付けが施されている。この端部での交叉幅は横モードスプリアスを低減できる程度小さくすればよく、好ましくは最大交叉幅の５０％以下であり、より好ましくは最大交叉幅の２５％以下である。

なお、反射器４，５は、弾性表面波伝搬方向と直交する方向に延びる複数本の電極指を両端のバスバー４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂで短絡した構造を有する。

ＷＯ２００７／１０８２６９に記載されているように、上記のようにＩＤＴ電極３が交叉幅重み付けされているので、横モードによる影響を抑制することができる。それによって、反共振周波数のＱ値を高めることができる。また、耐電力性を高めることができる。

本実施形態の弾性波共振子１の特徴は、上記のように交叉幅重み付けが施されたＩＤＴ電極３において、交叉幅極大値を示す部分Ｅ，Ｆ間に存在する交叉幅極小値部分Ｉにおいて、第１，第２の放熱用電極８，９が形成されていることにある。第１の放熱用電極８は、ＩＤＴ電極３の一方のバスバー３ａに接続されている。第２の放熱用電極９は、他方のバスバー３ｂに接続されている。なお、一方のバスバー３ａは、反射器４，５の一方のバスバー４ａ，５ａと共通化されている。従って、バスバー３ａがグラウンド電位に接続される。バスバー３ｂはホット側のバスバーであり、第２の放熱用電極９はホット側のバスバー３ｂに接続されている。なお、バスバー３ａは、必ずしもグラウンド電位に接続されていなくてもよい。

本実施形態では、第１，第２の放熱用電極８，９の弾性波伝搬方向に沿う寸法を幅Ａとした場合、この幅ＡがＩＤＴ電極の他の電極指に比べて相対的に太くされている。すなわち、伝搬する弾性波の波長の１／２をＢとしたときに、放熱用電極の幅ＡはＢ＜Ａである。ここで、伝搬する弾性波の波長の１／２の寸法は、ＩＤＴ電極指の周期の半分、すなわち間挿しあうＩＤＴ電極の隣り合う電極指の間隔となる。したがって、Ｂ＜Ａとされている場合、放熱用電極の幅Ａが他の電極指の幅よりも相対的に大きくなる。それによって、第１，第２の放熱用電極からなる放熱用電極の面積が、他の電極指の面積よりも大きくされている。従って、交叉幅極小値部分Ｇで発生した熱をバスバー３ａまたはバスバー３ｂに速やかに放散させることができる。

なお、本実施形態では、第１，第２の放熱用電極８，９が形成されているが、第１の放熱用電極８または第２の放熱用電極９のみが形成されていてもよい。

なお、本実施形態では、放熱用電極が第１，第２の放熱用電極８，９により構成されている。この場合、放熱用電極の面積とは、第１，第２の放熱用電極の面積の合計をいうものとする。また、放熱用電極に対比される残りの電極指の面積における電極指とは、バスバー３ａまたは３ｂに接続されている任意の電極指をいうものとする。

より好ましくは、２．５Ｂ≦Ａであり、その場合には、放熱性をより一層高めることができる。

図１（ｃ）に拡大して示すように第１の放熱用電極８の長さと第２の放熱用電極９の長さは異なっている。従って、相対的に長い第１の放熱用電極８側に熱を効果的に放散させることができる。よって、放熱方向に方向性を持たせることができる。また、放熱用電極８が接続されているバスバー３ａが反射器４，５のバスバーに連ねられているので、ＩＤＴ電極３で発生した熱をより効果的に放散させることができる。

なお、本実施形態では、第１の放熱用電極８と第２の放熱用電極９の長さが等しくともよい。その場合には、発生した熱を、第１の放熱用電極８と第２の放熱用電極９に均等に放散させることができる。それによって、ＩＤＴ電極３における発熱分布の偏りを小さくすることができる。

なお、放熱性を改善するための放熱経路を確保するためには、バスバーのような金属体に当該放熱用電極が連なっていればよい。例えば、外部接続端子などの金属パッドやランドのような金属パターンに放熱用電極が接続されていても、本発明の効果は得られる。また、前述したとおり、当該放熱用電極がグラウンドに接続されていれば、より一層放熱性が改善される。

次に具体的な実験例に基づき本発明の効果を明らかにする。

ニオブ酸リチウムからなる圧電基板２上に、Ｐｔ膜及びＡｌ膜をこの順序で積層してなる積層金属膜からなるＩＤＴ電極３及び反射器４，５を形成した。なお、ＩＤＴ電極３において、電極指を除く部分、すなわちバスバー３ａ，３ｂには、さらに、抵抗補助膜材料としてＡｌ膜を積層した。しかる後、絶縁膜６として、ＳｉＯ_２膜を積層した。各金属膜及び絶縁膜６の厚みは以下の通りである。

ＩＤＴ電極３及び反射器４，５：Ａｌ膜の厚み＝１３０ｎｍ、Ｐｔ膜の厚み＝３０ｎｍ
抵抗補助膜：Ａｌ膜の厚み＝２０００ｎｍ
絶縁膜６：ＳｉＯ_２膜の厚み＝６００ｎｍ

ＩＤＴ電極３については電極指ピッチを９５０ｎｍとし、図１（ａ）に示すように、２つの交叉幅極大値が弾性波伝搬方向に存在するように交叉幅重み付けを施した。ＩＤＴ電極３における放熱用電極８，９以外の電極指の幅は４７５ｎｍとした。

放熱用電極８，９はＩＤＴ電極３と同時に同じ材料で形成した。放熱用電極８，９の幅Ａ＝２３７５ｎｍとした。また、第１の放熱用電極８の長さは１２５００ｎｍ、第２の放熱用電極９の長さは６２００ｎｍとした。

従って、第１，第２の放熱用電極８，９の面積の合計Ｓは４４．４１２５μｍ^２となる。他方、残りの電極指の内、最も面積の大きい電極指の面積は、交叉幅極大値分布における電極指の面積であり、幅４７５ｎｍ×長さ５４０００ｎｍ＝２５．６５μｍ^２である。従って、放熱用電極８，９の面積の合計Ｓは、最も長い電極指の面積よりも大きい。

比較のために、第１，第２の放熱用電極８，９が設けられず、第１，第２の放熱用電極８，９が設けられている部分に、残りの電極指と同じ幅の電極指が形成されている、すなわち、第１，第２の放熱用電極８，９の幅を残りの電極指の幅と同一としたことを除いては、上記実施例と同様にして比較例の弾性波共振子を形成した。

図８（ａ）は、このようにして用意した比較例の弾性波共振子１１１の電極構造を示す模式的平面図である。図８（ａ）に示すように、第１，第２の放熱用電極８，９に代えて、残りの電極指と同じ幅の電極指１１２ａ，１１２ｂが形成されている。

上記のようにして用意した実施例及び比較例の弾性波共振子１１１に０．８Ｗの高周波電力を印加し、赤外線サーモグラフィを用いて発熱分布を測定した。実施例の弾性波共振子における発熱分布を図２に略図的平面図で示す。図２において、クロスのハッチングで付す領域が、特に温度が高い領域を示す。この領域Ｋは、交叉幅が極大値部分の周囲に広がっており、交叉幅極小値部分Ｉでは、温度がさほど高くなっていないことがわかる。

これに対して、図８（ｂ）に示すように、比較例の弾性表面波共振子の発熱分布では、矢印Ｌで示す高温部分が交叉幅極大値部分Ｅ，Ｆだけでなく、交叉幅極小値部分Ｉにまで至っていることがわかる。

従って、図２と図８（ｂ）の対比から明らかなように、上記実施例によれば、第１，第２の放熱用電極８，９を設けたことにより、交叉幅極小値部分において発生した熱を効果的に放散させ得ることがわかる。

図２及び図８（ｂ）から明らかなように、反射器４，５に近い部分では、ＩＤＴ電極３において発生した熱が反射器４，５側に放散され、高温部分がＩＤＴ電極３の反射器４，５側に近接している部分に至っていないことがわかる。

また、上記弾性表面波共振子の実施例と比較例の共振特性を測定した。結果を図３〜図６に示す。図３はインピーダンス周波数特性を、図４は位相特性を、図５はインピーダンススミスチャートを、図６はＳ１１リターンロス特性を示す。図３〜図６において、実線は実施例の結果を、破線は比較例の結果を示す。

図３〜図６から明らかなように、実施例と比較例において、共振−反共振特性に変化は見られない。これより、本実施形態では、共振子の設計を変更することなく、放熱性を改善することが可能であることがわかる。

よって、本実施形態によれば、上記実施例及び比較例の対比から明らかなように、第１，第２の放熱用電極８，９を設けたことにより、放熱性を効果的に高めることができる。従って、実施用時の共振特性の変化を抑制することができる。よって、安定な共振特性を有する弾性表面波共振子を提供することができる。

なお、図１（ａ）では、交叉幅極大値が現れる部分が２箇所であったが、３以上の交叉幅極大値が現れるようにＩＤＴ電極が重み付けされていてもよい。その場合、交叉幅極小値部分が複数現れるが、好ましくは、複数の交叉幅極小値部分の全てにおいて、上記実施形態と同様の放熱用電極が設けられていることが望ましい。もっとも、複数の交叉幅極小値部分の少なくとも１箇所において、上記放熱用電極が設けられていればよく、全ての交叉幅極小値部分に放熱用電極が必ずしも設けられずともよい。

また、上記実施形態では、弾性波共振子として弾性表面波を利用した弾性波共振子につき説明したが、本発明は、弾性境界波を利用した弾性境界波共振子にも適用することができる。

図７は、本発明が適用されるラダー型フィルタの一例を示す回路図である。ラダー型フィルタ５１では、入力端子５２と出力端子５３との間において互いに直列に直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２が接続されている。直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２により直列腕が構成されている。直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２の間の接続点Ｘとグラウンド電位との間に並列腕共振子Ｐ１が接続されている。並列腕共振子Ｐ１により並列腕が構成されている。

直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ１の少なくとも１つに、上記実施形態の弾性波共振子１を用いることにより、本実施形態のラダー型フィルタ５１を構成することができる。この場合、上記実施形態の弾性波共振子１では、放熱性が高められており、共振特性が安定化するため、ラダー型フィルタ５１のフィルタ特性の安定化を図ることができる。

なお、本発明のラダー型フィルタは、図７に示した回路構成を有するものに限定されない。すなわち、任意の数の直列腕共振子及び並列腕共振子を有するラダー型フィルタに本発明を適用することができる。

１…弾性表面波共振子
２…圧電基板
３…ＩＤＴ電極
３ａ，３ｂ…バスバー
４，５…反射器
４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ…バスバー
６…絶縁膜
８，９…第１，第２の放熱用電極
５１…ラダー型フィルタ
５２…入力端子
５３…出力端子
Ｐ１…並列腕共振子
Ｓ１，Ｓ２…直列腕共振子
１１１…弾性波共振子
１１２ａ，１１２ｂ…電極指

Claims (8)

1. 圧電基板と、
   前記圧電基板上に形成されたＩＤＴ電極とを備え、
   前記ＩＤＴ電極が弾性波伝搬方向において交叉幅の極大値が複数現れるように交叉幅重み付けされており、
   前記ＩＤＴ電極において、前記複数現れる交叉幅極大値の部分に挟まれた、弾性波伝搬方向に沿って現れる１以上の交叉幅極小値の部分のうち、少なくとも一つの交叉幅極小値の部分に設けられた放熱用電極をさらに備え、
   前記放熱用電極の弾性波伝搬方向に沿う方向寸法幅をＡとし、伝搬する弾性波の波長の１／２の寸法をＢとしたときに、Ｂ＜Ａである、弾性波共振子。
2. 前記放熱用電極が、前記１以上の交叉幅極小値部分のすべてに設けられている、請求項１に記載の弾性波共振子。
3. 前記放熱用電極が、弾性波伝搬方向と直交する方向に延び、かつ弾性波伝搬方向と直交する方向において、ギャップを隔てて対向されている第１，第２の放熱用電極を有する、請求項１または２に記載の弾性波共振子。
4. 前記第１，第２の放熱用電極の長さが等しい、請求項３に記載の弾性波共振子。
5. 前記第１，第２の放熱用電極の長さが異なっている、請求項３に記載の弾性波共振子。
6. 前記放熱用電極の面積が、残りの電極指の面積よりも大きい、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波共振子。
7. 前記ＩＤＴ電極が一対のバスバーを有し、前記ＩＤＴ電極の一方のバスバーと、前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に配置されている反射器が共通化されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波共振子。
8. 弾性波共振子からなる直列腕共振子及び並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、
   前記直列腕共振子及び並列腕共振子を構成している弾性波共振子の少なくとも一つの弾性波共振子が、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性波共振子からなる、ラダー型フィルタ。

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