KR102579183B1 - Saw 필터 및 멀티플렉서 - Google Patents

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KR102579183B1
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토시히코 카와모토
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(주)와이솔
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Abstract

SAW 필터와, 멀티플렉서에서, 칩 사이즈를 확대하지 않고, 필터 특성에 영향을 주는 일 없이, 방열성의 향상에 의해 내전력성을 향상한다.
압전 기판(10)과, 상기 압전 기판(10) 상에 형성되고, 또한, 캐스케이드 접속된 공유 버스 바(22ab)를 포함하는 복수의 탄성 표면파 공진기(20a, 20b)와, 복수의 탄성 표면파 공진기(20a, 20b)를 덮도록 설치된 절연층(30)과, 압전 기판(10) 상에 형성되고, 그라운드 전위에 접속되는 그라운드 전극(50)을 가지는 SAW 필터(100)로서, 공유 버스 바(22ab) 상에 절연층(30)을 통해 형성된 방열 전극(60)을 가지며, 방열 전극(60)은 그라운드 전극(50)에 접속되어 있다.

Description

SAW 필터 및 멀티플렉서{SAW filter and multiplexer}
본 발명은 모바일 통신에 이용되는 송수신 신호를 분리하는 SAW(탄성 표면파) 필터, 및 이를 이용한 멀티플렉서에 관한 것이다.
종래로부터, 모바일 통신에 이용되는 송수신 신호를 분리하는 SAW 필터로 이루어지는 듀플렉서(duplexer) 등의 멀티플렉서로서 다양한 타입의 것이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1).
예를 들어, 듀플렉서는 송신 필터와 수신 필터가 하나의 안테나 단자를 공유하고, 송신되는 신호는 송신 필터를 통해서 안테나 단자에서 송신되고, 수신되는 신호는 안테나 단자에서 수신 필터를 통해서 수신되게 되어 있다. 이때, 송신 필터에서 송신되는 신호가 수신 필터를 통해서 수신되는 것을 차단(아이솔레이션)하기 위하여, 송신 필터와 수신 필터로서, 다른 투과 주파수대를 가지는 SAW 필터가 이용되고 있다.
이들 필터로서 이용하는 SAW 필터는 압전 기판 상에 박막의 1차 전극으로 형성된 한 쌍의 빗살형 전극(IDT 전극)을 포함하는 탄성 표면파 공진기를 가지지만, 이 빗살형 전극 사이의 신호 전달에는 탄성 표면파를 이용하므로, 발열하기 쉽고, 적절히 방열하지 않으면 온도 상승에 의해 손상될 수 있다는 문제가 있다. 특히 송신용 SAW 필터는 고출력의 신호를 필터링하므로, 내전력성(耐電力性)이 문제가 된다.
현재, SAW 필터의 내전력 강화책으로서, 복수의 공진기를 캐스케이드 접속(직렬로 다중화)하는 방법이 이용되고 있다. 또한, 캐스케이드 접속에서 서로 인접하는 공진기는 인접하는 측의 버스 바를 공유하고 있지만, 이 공유의 버스 바의 폭을 넓게 하거나, 이 폭을 넓게 한 버스 바 상에 알루미늄(Al)으로 이루어지는 2차 전극을 배치하여, 메탈 부피의 증가에 의해 소자 표면에서의 방열의 증가를 도모하고 있다.
국제 특허 공보 WO2014/167752A1
그러나, 상기와 같은 버스 바의 폭을 넓히는 방법에서는, 필연적으로 SAW 필터와, 이 SAW 필터를 포함하는 멀티플렉서의 칩 사이즈가 증대되고, 모바일 기기의 소형화의 요구에 응할 수 없다는 문제가 있었다. 또한, 방열용 전극을 추가하면 필터 특성에 영향을 준다는 우려도 있었다.
본 발명은 상기 과제를 해결하는 것으로, SAW 필터와, 이 SAW 필터를 포함하는 멀티플렉서에서, 칩 사이즈를 확대하지 않고, 필터 특성에 영향을 주는 일 없이, 방열성의 향상에 의해 내전력성을 향상하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 SAW 필터는 압전 기판과, 상기 압전 기판 상에 형성되고, 또한, 캐스케이드 접속된 공유 버스 바를 포함하는 복수의 탄성 표면파 공진기와, 상기 복수의 탄성 표면파 공진기를 덮도록 설치된 절연층과, 상기 압전 기판 상에 형성되고, 그라운드 전위에 접속되는 그라운드 전극을 가지는 SAW 필터로서, 상기 공유 버스 바 상에 상기 절연층을 통해 형성된 방열 전극을 가지며, 상기 방열 전극은 상기 그라운드 전극에 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 탄성 표면파 공진기는 상기 압전 기판 상에 형성된 1차 전극으로 구성되고,
상기 방열 전극 및 상기 그라운드 전극은 상기 압전 기판 상 및 상기 절연층 상에 형성된 2차 전극으로 구성되어 있는 구성을 바람직하게 채용할 수 있다.
상기 방열 전극은 직선 형상으로 형성되고, 일단이 상기 그라운드 전극에 접속되며, 타단이 상기 공유 버스 바 상에서 종단하는 구성을 바람직하게 채용할 수 있다.
상기 방열 전극은 상기 공유 버스 바의 길이 방향의 중도에서 종단할 수도 있다.
본 발명의 SAW 필터는 압전 기판과, 상기 압전 기판 상에 형성되고, 또한, 캐스케이드 접속된 공유 버스 바를 포함하는 복수의 탄성 표면파 공진기와, 상기 복수의 탄성 표면파 공진기를 덮도록 설치된 절연층과, 상기 압전 기판 상에 형성되고, 그라운드 전위에 접속되는 그라운드 전극을 가지는 SAW 필터로서, 상기 공유 버스 바에 접속되고, 또한, 상기 복수의 탄성 표면파 공진기의 외부에 배치된 방열용 1차 전극을 가지는 것일 수도 있다.
상기 복수의 탄성 표면파 공진기의 각각은 반사기를 각각 가지며, 상기 공유 버스 바와 상기 방열용 1차 전극은, 이웃하는 상기 반사기 사이를 통과하여 접속되어 있는 구성을 바람직하게 채용할 수 있다.
본 발명의 SAW 필터는 상기 방열용 1차 전극 상에 상기 절연층을 통해 형성되고, 또한, 상기 그라운드 전극에 접속되어 있는 제2의 방열 전극을 더욱 가지는 것일 수도 있다.
상기 복수의 탄성 표면파 공진기 및 상기 방열용 1차 전극은 상기 압전 기판 상에 형성된 1차 전극으로 구성되고, 상기 제2의 방열 전극 및 상기 그라운드 전극은 상기 압전 기판 상 및 상기 절연층 상에 형성된 2차 전극으로 구성되어 있는 구성을 바람직하게 채용할 수 있다.
본 발명의 멀티플렉서는 공통 단자, 제1 단자 및 제2 단자와,
상기 제1 단자와 상기 공통 단자 사이에 접속된 제1 필터와,
상기 제2 단자와 상기 공통 단자 사이에 접속된 제2 필터를 구비하고,
상기 제1 필터는 상기 어느 하나에 기재된 SAW 필터이고,
상기 제2 필터는 상기 제1 필터의 통과 대역과는 다른 통과 대역을 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 필터는 송신용의 필터이고, 상기 제2 필터는 수신용의 필터인 구성을 바람직하게 채용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 공유 버스 바 상에 절연층을 통해 방열 전극을 설치하고, 당해 방열 전극을 그라운드 전극에 접속하였으므로, 공진기에서 발생한 열은, 이 그라운드 전극에서 범프를 통해 패키지측에 방열되고, 뛰어난 방열 효과를 얻을 수 있다.
또는, 공유 버스 바에 접속되고, 또한, 복수의 탄성 표면파 공진기의 외부에 배치된 방열용 1차 전극을 설치하였으므로, 이 방열용 1차 전극에서 절연층을 통과하여, 칩 표면에서 방열되고, 뛰어난 방열 효과를 얻을 수 있다.
이로 인해, SAW 필터와 이 SAW 필터를 포함하는 멀티플렉서에서, 버스 바의 폭을 확대하는 일 없이, 필터 특성에 영향을 주는 일 없이, 방열성의 향상에 의해 내전력성을 향상할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1의 실시 형태의 SAW 필터의 회로 구성을 모식적으로 나타내는 회로도이다.
도 2는 도 1의 SAW 필터에 있어서의 캐스케이드 접속된 공진기를 모식적으로 나타내는 도면이고, (a)는 평면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도이다.
도 3은 도 2의 캐스케이드 접속된 공진기의 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1의 SAW 필터를 포함하는 듀플렉서의 회로 구성을 모식적으로 나타내는 회로도이다.
도 5는 도 4의 듀플렉서의 투과 특성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2의 실시 형태의 SAW 필터에 있어서의 캐스케이드 접속된 공진기를 모식적으로 나타내는 도면이고, (a)는 평면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도이다.
도 7은 도 6의 SAW 필터를 이용한 듀플렉서의 투과 특성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제3의 실시 형태의 SAW 필터에 있어서의 캐스케이드 접속된 공진기를 모식적으로 나타내는 도면이고, (a)는 평면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도이다.
도 9는 도 8의 SAW 필터를 이용한 듀플렉서의 투과 특성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은 종래의 SAW 필터에 있어서의 캐스케이드 접속된 공진기를 모식적으로 나타내는 도면이고, (a)는 평면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도이다.
도 11은 종래의 SAW 필터를 이용한 듀플렉서의 투과 특성의 일례를 나타내는 도면이다.
(제1의 실시 형태)
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 실시 형태의 SAW 필터(100)의 회로 구성을 모식적으로 나타내는 회로도이다. 이 SAW 필터(100)는 래더(ladder)형의 회로 구성을 가지며, 입력 단자(T1)와 출력 단자(T2)를 연결하는 신호 배선을 따라 직렬로 접속된 탄성 표면파 공진기(이하, 단순히 "공진기"라고도 함)(20a~20c)와, 신호 배선과 그라운드 전위(G) 사이에 병렬로 배치된 공진기(20d, 20e)를 포함한다. 이 중, 공진기(20a과 20b)가 캐스케이드 접속되어 있다.
도 2는 이 캐스케이드 접속된 공진기(20a과 20b)를 모식적으로 나타내는 도면이고, (a)는 평면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도이다. 또한, 단면도(b) 및(c)에서 단면을 나타내는 해칭은 생략하고 있다.
본 실시 형태의 SAW 필터(100)는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 압전 기판(10)과, 캐스케이드 접속된 복수의 탄성 표면파 공진기(20)와, 절연층(30)과, 신호 배선 전극(40)과, 그라운드 전극(50)과, 방열 전극(60)을 가진다.
압전 기판(10)은 압전 재료로 이루어지는 기판으로, 본 실시 형태에서는, LN 기판을 사용하고 있다. 다만, 이에 한정되지 않고, 수정이나 LiTiO3, LiNbO3 등으로 이루어지는 기판을 이용할 수도 있다.
탄성 표면파 공진기(20)는 압전 기판(10) 상에, 예를 들어 Cu로 이루어지는 박막의 1차 전극으로 형성되고, 한 쌍의 빗살형 전극(IDT)(21)을 포함한다. 이 한 쌍의 빗살형 전극(21)은 각각 버스 바(22)와 빗살무늬 부분(23)으로 이루어지고, 당해 빗살무늬 부분(23)이 서로 맞물리도록 대향 배치되어 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 한 쌍의 빗살형 전극(21)의 버스 바(22)의 길이 방향 양측에, 1차 전극으로 형성되고, 상자형 구조를 가지는 반사기(24, 25)가 배치되어 있다.
탄성 표면파 공진기(20) 중, 캐스케이드 접속에서 서로 인접하는 탄성 표면파 공진기(20a, 20b)는 버스 바(22ab)를 공유하고 있다(이후, 공유된 버스 바를 "공유 버스 바"라고도 함).
또한, 본 실시 형태에서는, 2개의 탄성 표면파 공진기(20a, 20b)만이 캐스케이드 접속된 형태를 나타내었지만, 3개 이상의 탄성 표면파 공진기를 캐스케이드 접속할 수도 있고, 그 경우에는, 2개 이상의 공유 버스 바(22)가 형성된다.
절연층(30)은 SiO2 등의 절연 재료로 이루어지고, 복수의 공진기(20)를 덮도록 설치되어 있다. 다만, 복수의 공진기(20)의 신호 배선 전극(40) 등과의 접속부(26, 27)는 절연층(30)에 덮여 있지 않다. 또한, 도 2(a)~도 2(c)에서, 절연층(30)은 투명한 요소로 표시하고, 거기에 덮인 각 요소도 실선으로 표시하고 있다.
신호 배선 전극(40)은 절연층(30)의 상측에, 예를 들어 Al로 이루어지는 두꺼운 2차 전극으로 형성되어 있다. 신호 배선 전극(40)은 탄성 표면파 공진기(20) 중 절연층(30)에 덮이지 않은 접속부(26, 27)에서는, 탄성 표면파 공진기를 형성하는 1차 전극 상에 직접 형성되고, 탄성 표면파 공진기(20)에 접속되어 신호를 전달하도록 되어 있다.
그라운드 전극(50)은 2차 전극으로 형성되고, 그라운드 전위에 접속되어 있다.
이 그라운드 전극(50)은 도 1에 나타내는 병렬로 배치된 공진기(20d, 20e)의 그라운드 전극(G)과 공통의 것일 수도 있고, 따로 설치하여도 된다.
여기서, 본 실시 형태의 SAW 필터(100)는 공유 버스 바(22ab) 상에, 절연층(30)을 통해 방열 전극(60)이 설치되고, 당해 방열 전극(60)은 그라운드 전극(50)에 접속되어 있는 것을 특징으로 한다. 본 실시 형태에서는, 방열 전극(60)은 2차 전극으로 직선 형상으로 형성되고, 일단이 상기 그라운드 전극(50)에 접속되고, 타단이 상기 공유 버스 바(22ab) 상에서 종단하고 있다.
방열 전극(60)의 설치 범위는, 공유 버스 바(22ab)의 폭의 범위 내로 한정하는 것이 바람직하다. 이것은, 방열 전극(60)을 빗살무늬 부분(23)의 상까지 넓히면, SAW 필터의 필터링 특성에 영향을 줄 우려가 있기 때문이다.
방열 전극(60)과 그라운드 전극(50)의 접속은, 이들 요소가 함께 2차 전극으로 형성되어 있으므로, 2차 전극 패턴으로 수행하는 것이 바람직하다. 본 실시 형태에서는, 방열 전극(60)은 탄성 표면파 공진기(20a, 20b)에 대응하여 이웃하는 반사기(24, 24) 사이를 통과하여, 그라운드 전극(50)과 접속되어 있다.
본 실시 형태의 구성에 의해, 공진기(22a, 22b)에서 발생한 열은, 방열 전극(60)에서 그라운드 전극(50)으로 전달되고, 또한 범프(미도시)를 통해 패키지(미도시)측으로 방열되므로, 뛰어난 방열 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 방열 전극(60)은 도 2(a)에 나타낸 바와 같이, 공유 버스 바(22ab)의 전체 길이에 걸쳐 설치되어 있지만, 도 3에 나타낸 바와 같이, 공유 버스 바(22ab)의 길이 방향의 중도에서 종단할 수도 있다. 방열 전극(60)의 길이는, 방열 효과와 필터링 특성을 고려하여 설정할 수도 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 2개의 탄성 표면파 공진기(20a, 20b)의 캐스케이드 접속에 의해 형성된 1개의 공유 버스 바(22ab) 상에 방열 전극(60)을 설치하였지만, 3개 이상의 탄성 표면파 공진기(20)의 캐스케이드 접속에 의해 형성되는 2개 이상의 공유 버스 바(22)의 전부 또는 일부의 공유 버스 바(22) 상에 방열 전극(60)을 설치할 수도 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 신호 배선 상에서 캐스케이드 접속된 탄성 표면파 공진기(20a, 20b)의 공유 버스 바(22ab) 상에 방열 전극(60)을 설치하였지만, 신호 배선과 그라운드 전위 사이의 공진기(20d)(도 1 참조) 또는 공진기(20e)(도 1 참조)가, 캐스케이드 접속된 복수의 공진기(20)로 이루어지는 경우, 그 공유 버스 바(22) 상에 방열 전극(60)을 설치할 수도 있다.
다음에, 이렇게 구성된 본 실시 형태의 SAW 필터(100)를 삽입한 듀플렉서(110)의 투과 특성에 대하여 설명한다.
듀플렉서(110)는 도 4에 나타낸 바와 같이, 공통의 압전 기판(10)에, 송신 필터로서 본 실시 형태의 SAW 필터(100)를 설치하는 동시에, SAW 필터(100)와 주파수 대역이 다른 SAW 필터로 이루어지는 수신 필터(120)를 설치하고, SAW 필터(100)의 입력 단자(T1)(도 1 참조)를 송신 단자(TX)로 이용하고, SAW 필터(100)의 출력 단자(T2)(도 1 참조)와 수신 필터(120)의 입력 단자를 통합하여 안테나 단자(ANT)로 하고, 수신 필터(120)의 출력 단자를 수신 단자(RX)로 한 것이다.
수신 필터(120)도, 래더형의 회로 구성을 가지며, 안테나 단자(ANT)와 수신 단자(RX)를 연결하는 신호 배선을 따라 직렬로 접속된 탄성 표면파 공진기(121a, 121b)와, 신호 배선과 그라운드 전위 사이에 병렬로 배치된 탄성 표면파 공진기(121c, 121d)를 포함한다. 다만, 수신 필터(120)에서는, 공진기(121)를 통과하는 신호가 약하고 발열도 작으므로, 본 실시 형태에서는, 방열 전극(60)을 설치하지 않았다.
도 5는 이렇게 구성된 듀플렉서(110)의 투과 특성의 일례를 나타내는 도면이다. 도 5에서, 곡선(S21)은 TX 특성(송신 단자(TX)에서 안테나 단자(ANT)로 통과하는 신호의 감쇠율)를 나타내고, 곡선(S31)은 RX 특성(안테나 단자(ANT)에서 수신 단자(RX)로 통과하는 신호의 감쇠율)를 나타내고, 곡선(S23)은 아이솔레이션 특성(송신 단자(TX)에서 수신 단자(RX)로 통과하는 신호의 감쇠율)를 나타낸다.
도 5의 곡선(S23)은 1700MHz에서 2400MHz의 주파수 대역에서, -50dB 이하의 양호한 아이솔레이션 특성을 나타내고 있다.
(비교예)
도 10은 종래의 SAW 필터(500)에 있어서의 캐스케이드 접속된 공진기(20a, 20b)를 모식적으로 나타내는 도면이고, (a)는 평면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도이다. 도 2에 나타내는 제1의 실시 형태와 같은 구성 요소에는 같은 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.
도 10에서 알 수 있듯이, 이 SAW 필터(500)의 제1의 실시 형태의 SAW 필터(100)와의 차이는, 방열 전극(60)을 설치하지 않은 것뿐이다.
도 11은 종래의 SAW 필터(500)를 이용한 종래의 듀플렉서(미도시)의 투과 특성의 일례를 나타내는 도면이다. 종래의 듀플렉서도, 송신 필터로서, 방열 전극(60)을 설치하지 않은 SAW 필터(500)를 이용한 것을 제외하고, 제1의 실시 형태의 듀플렉서(110)와 같은 구성이다.
도 11의 곡선(S23)은 1700MHz에서 2400MHz의 주파수 대역에서, -50dB 이하의 양호한 아이솔레이션 특성을 나타내고 있다.
따라서, 도 5에 나타내는 제1의 실시 형태의 듀플렉서(110)의 투과 특성은 도 11에 나타내는 종래의 듀플렉서의 통과 특성과 동일하다. 이 때문에, 제1의 실시 형태의 SAW 필터(100)에서, 방열성을 향상시키기 위하여 방열 전극(60)을 설치하여도, 투과 특성에 영향을 주지 않는 것을 알 수 있다.
(제2의 실시 형태)
도 6은 본 발명의 제2의 실시 형태의 SAW 필터(200)에 있어서의 캐스케이드 접속된 공진기를 모식적으로 나타내는 도면이고, (a)는 평면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도이다. 도 2에 나타내는 제1의 실시 형태와 같은 구성 요소에는 같은 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.
본 실시 형태의 SAW 필터(200)는 제1의 실시 형태의 SAW 필터(100)에서, 방열 전극(60) 대신, 공유 버스 바(22ab)에 접속되고, 또한, 복수의 탄성 표면파 공진기(20a, 20b)의 외부에 배치된 방열용 1차 전극(70)을 설치한 것이다.
이 방열용 1차 전극(70)은 공유 버스 바(22ab)과 연속적으로 Al 등으로 이루어지는 1차 전극으로 형성되고, 공유 버스 바(22ab)에서 2개의 반사기(24) 사이를 통과하고, 공진기(20)의 외측에서 면적이 큰 전극 영역을 형성하고 있다. 이 구성에 의해, 공진기(22a, 22b)에서 발생한 열은, 이 방열용 1차 전극(70)에서 절연층(30)을 통과하여, SAW 필터(200)의 칩 표면에서 방열되고, 뛰어난 방열 효과를 얻을 수 있다.
도 7은 본 실시 형태의 SAW 필터(200)를 이용한 듀플렉서(미도시)의 투과 특성의 일례를 나타내는 도면이다. 이 본 실시 형태의 듀플렉서도, 송신 필터로서, 제1의 실시 형태의 SAW 필터(100) 대신 본 실시 형태의 SAW 필터(200)를 이용한 것을 제외하고, 제1의 실시 형태의 듀플렉서(110)와 같은 구성이다.
도 7의 곡선(S23)은 1700MHz에서 2400MHz의 주파수 대역에서, -50dB 이하의 양호한 아이솔레이션 특성을 나타내고 있다.
따라서, 도 7에 나타내는 제2의 실시 형태의 듀플렉서의 투과 특성은 도 10에 나타내는 종래의 듀플렉서의 통과 특성과 동일하다. 따라서, 제2의 실시 형태의 SAW 필터(200)에서, 방열용 1차 전극(70)을 설치하여도, 투과 특성에 영향을 주지 않는 것을 알 수 있다.
(제3의 실시 형태)
도 8은 본 발명의 제3의 실시 형태의 SAW 필터(300)에 있어서의 캐스케이드 접속된 공진기를 모식적으로 나타내는 도면이고, (a)는 평면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도이다. 도 2에 나타내는 제1의 실시 형태와 같은 구성 요소에는 같은 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.
본 실시 형태의 SAW 필터(300)는 제2의 실시 형태의 SAW 필터(200)에서, 방열용 1차 전극(70) 상에 절연층(30)을 통해 형성되고, 또한, 그라운드 전극(50)에 접속되어 있는 제2의 방열 전극(80)을 더욱 가지는 것이다.
이 구성에 의해, 공진기(22a, 22b)에서 발생한 열은, 방열용 1차 전극(70)에서 절연층(30)을 통과하여 제2의 방열 전극(80)에 전달되고, 또한 그라운드 전극(50)에서 범프(미도시)를 통해 패키지(미도시)측에 방열되므로, 뛰어난 방열 효과를 얻을 수 있다.
도 9는 본 실시 형태의 SAW 필터(300)를 이용한 듀플렉서(미도시)의 투과 특성의 일례를 나타내는 도면이다. 이 본 실시 형태의 듀플렉서도, 송신 필터로서, 제1의 실시 형태의 SAW 필터(100) 대신 본 실시 형태의 SAW 필터(300)를 이용한 것을 제외하고, 제1의 실시 형태의 듀플렉서(110)와 같은 구성이다.
도 9의 곡선(S23)은 1700MHz에서 2400MHz의 주파수 대역에서, -50dB 이하의 양호한 아이솔레이션 특성을 나타내고 있다.
따라서, 도 9에 나타내는 제3의 실시 형태의 듀플렉서의 투과 특성은 도 10에 나타내는 종래의 듀플렉서의 통과 특성과 동일하다. 따라서, 제3의 실시 형태의 SAW 필터(300)에서, 방열용 1차 전극(70) 및 제2의 방열 전극(80)을 설치하여도, 투과 특성에 영향을 주지 않는 것을 알 수 있다.
또한, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않는다. 당업자라면, 본 발명의 범위 내에서, 다양한 추가나 변경 등을 수행할 수 있다.
예를 들어, 상기 각 실시 형태에서는, 본 발명의 SAW 필터를, 멀티플렉서의 예로서 2개의 다른 주파수대의 필터를 가지는 듀플렉서에 적용한 예에 대하여 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 3 이상의 다른 주파수대의 필터를 가지는 멀티플렉서에 적용할 수도 있다. 본 발명의 SAW 필터는 적어도, 공통 단자, 제1 단자 및 제2 단자와, 상기 제1 단자와 상기 공통 단자 사이에 접속된 제1 필터와, 상기 제2 단자와 상기 공통 단자 사이에 접속된 제2 필터를 구비하고, 상기 제1 및 제2의 필터의 통과 대역이 다른 멀티플렉서에 바람직하게 적용할 수 있다.
또한, 상기 각 실시 형태에서, 본 발명의 SAW 필터를, 듀플렉서의 송신 필터에 적용한 예에 대하여 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 수신 필터에 적용할 수도 있다.
또한, 상기 각 실시 형태에서는, 탄성 표면파 공진기 및 방열용 1차 전극은 압전 기판 상에 형성된 1차 전극으로 구성되고, 제2의 방열 전극 및 그라운드 전극은 압전 기판 상 및 절연층 상에 형성된 2차 전극으로 구성되어 있지만, 이들 요소를 실현할 수 있는 재료라면, 다른 재료로 구성할 수도 있다.
10 : 압전 기판
20, 20a~20e : 탄성 표면파 공진기(공진기)
21 : 빗살형 전극(IDT)
22 : 버스 바
22ab : 공유 버스 바
23 : 빗살무늬 부분
24, 25 : 반사기
26, 27 : 접속부
30 : 절연층
40 : 신호 배선 전극
50 : 그라운드 전극
60 : 방열 전극
70 : 방열용 1차 전극
80 : 제2의 방열 전극
100, 200, 300, 500 : SAW 필터
110 : 듀플렉서
120 : 수신 필터
121, 121a~121d : 탄성 표면파 공진기(공진기)
T1 : 입력 단자
TX : 송신 단자
T2 : 출력 단자
ANT : 안테나 단자
RX : 수신 단자

Claims (10)

  1. 압전 기판과,
    상기 압전 기판 상에 형성되고, 캐스케이드 접속된 공유 버스 바를 포함하는 복수의 탄성 표면파 공진기와,
    상기 복수의 탄성 표면파 공진기를 덮도록 설치된 절연층과,
    상기 압전 기판 상에 형성되고, 그라운드 전위에 접속되는 그라운드 전극을 가지는 SAW 필터로서,
    상기 공유 버스 바 상에 상기 절연층을 통해 형성된 방열 전극을 가지며,
    상기 방열 전극은 상기 그라운드 전극에 접속되되,
    상기 절연층은 상기 탄성 표면파 공진기를 덮되, 상기 탄성 표면파 공진기의 신호 배선 전극과 접속되는 접속부에 대해서는 덮지 않도록 형성되며,
    상기 방열 전극은 직선 형상으로 상기 절연층의 상부에 형성되되, 일단이 상기 그라운드 전극에 접속되고, 타단이 상기 공유 버스 바 상에서 종단하며, 상기 방열 전극에서 상기 직선 형상의 폭은 상기 공유 버스 바의 폭 범위 내인 것을 특징으로 하는 SAW 필터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 탄성 표면파 공진기는 상기 압전 기판 상에 형성된 1차 전극으로 구성되고,
    상기 방열 전극 및 상기 그라운드 전극은 상기 압전 기판 상 및 상기 절연층 상에 형성된 2차 전극으로 구성되어 있는, SAW 필터.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 방열 전극은 상기 공유 버스 바의 길이 방향의 중도에서 종단하는, SAW 필터.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
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