KR102312724B1 - 탄성파 필터 장치 - Google Patents

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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

압전 기판(30) 상에 형성된 제1 탄성파 필터(10) 및 제2 탄성파 필터(20)를 갖는 탄성파 필터 장치(1)는, 압전 기판(30) 상에 형성되고, 유전율이 압전 기판(30)의 유전율보다 작은 절연층(40)과, 절연층(40) 상에 평면으로 보아 서로 대향하여 형성되고, 제1 탄성파 필터(10)의 전극에 접속된 제1 배선 도체(51) 및 제2 탄성파 필터(20)의 전극에 접속된 제2 배선 도체(52)와, 평면으로 보아 절연층(40) 상의 제1 배선 도체(51) 및 제2 배선 도체(52)에 외접하는 영역 A 내에 있어서, 절연층(40)과 압전 기판(30)의 사이에 형성된 접지 도체(60)를 구비한다.

Description

탄성파 필터 장치
본 발명은, 복수의 탄성파 필터를 구비하는 탄성파 필터 장치에 관한 것이다.
종래, 이동체 통신기의 프런트 엔드부에 배치되는 대역 통과 필터 등에, 탄성파를 사용한 탄성파 필터가 널리 사용되고 있다. 또한, 멀티 모드/멀티 밴드 등의 복합화에 대응하기 위해, 복수의 탄성파 필터를 구비한 탄성파 필터 장치가 실용화되고 있다.
단일의 압전 기판에 복수의 탄성파 필터를 형성한 탄성파 필터 장치에서는, 배선 도체가 고밀도로 배치되기 때문에, 다른 탄성파 필터의 신호를 전반하는 배선 도체끼리가 압전 기판을 통해 결합하고, 신호의 누설에 의한 삽입 손실 특성의 열화가 발생하기 쉬워진다.
이 문제에 대처하기 위해, 예를 들어 특허문헌 1에 개시되는 탄성파 디바이스에서는, 배선 도체와 압전 기판의 사이에, 유전율이 압전 기판의 유전율보다 작은 절연층을 배치함으로써, 근접하는 배선 도체 사이에서의 용량 결합을 억제하고 있다.
일본 특허 공개 제2013-153289호 공보
그러나, 장치의 가일층의 소형화가 진행되었을 경우, 종래 기술의 구성에서는, 삽입 손실 특성의 열화를 충분히 억제할 수 없을 우려가 있다.
그래서, 본 발명은, 복수의 탄성파 필터를 구비하고, 소형이고 또한 삽입 손실 특성이 우수한 탄성파 필터 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 일 양태에 관한 탄성파 필터 장치는, 압전 기판 상에 형성된 제1 탄성파 필터 및 제2 탄성파 필터를 갖고, 상기 압전 기판 상에 형성되고, 유전율이 상기 압전 기판의 유전율보다 작은 절연층과, 상기 절연층 상에 평면으로 보아 서로 대향하여 형성되고, 상기 제1 탄성파 필터의 전극에 접속된 제1 배선 도체 및 상기 제2 탄성파 필터의 전극에 접속된 제2 배선 도체와, 평면으로 보아 상기 절연층 상의 상기 제1 배선 도체 및 상기 제2 배선 도체에 외접하는 영역 내에 있어서, 상기 절연층과 상기 압전 기판의 사이에 형성된 접지 도체를 구비한다.
본 발명에 관한 탄성파 필터 장치에 의하면, 제1 탄성파 필터의 신호를 전반하는 제1 배선 도체와 제2 탄성파 필터의 신호를 전반하는 제2 배선 도체의 사이의 결합을 접지 도체에 의해 저해함으로써, 신호의 누설을 억제한다. 그 결과, 복수의 탄성파 필터를 구비하고, 소형이고 또한 삽입 손실 특성이 우수한 탄성파 필터 장치가 얻어진다.
도 1은, 실시 형태에 관한 탄성파 필터 장치의 구성의 일례를 나타내는 회로도이다.
도 2는, 실시 형태에 관한 탄성파 필터 장치의 칩 레이아웃의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 3은, 실시 형태에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 칩 레이아웃의 일례를 나타내는 확대 평면도이다.
도 4는, 실시 형태에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 5는, 비교예에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 6은, 실시 형태 및 비교예에 관한 탄성파 필터 장치의 삽입 손실 특성의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 7a는, 변형예에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 7b는, 변형예에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 8a는, 변형예에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 8b는, 변형예에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 8c는, 변형예에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 실시예 및 도면을 사용하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하에서 설명하는 실시 형태는, 모두 포괄적 또는 구체적인 예를 나타내는 것이다. 이하의 실시 형태에서 나타나는 수치, 형상, 재료, 구성 요소, 구성 요소의 배치 및 접속 형태 등은, 일례이며, 본 발명을 한정하는 주 요지는 아니다. 이하의 실시 형태에 있어서의 구성 요소 중, 독립 청구항에 기재되어 있지 않은 구성 요소에 대해서는, 임의의 구성 요소로서 설명된다.
(실시 형태)
실시 형태에 관한 탄성파 필터 장치에 대해서, 압전 기판 상에 형성된 제1 탄성파 필터 및 제2 탄성파 필터를 갖는 탄성파 필터 장치의 예를 들어서 설명한다.
도 1은, 실시 형태 1에 관한 탄성파 필터 장치(1)의 구성의 일례를 나타내는 회로도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 탄성파 필터 장치(1)는, 탄성파 필터(10, 20)를 구비한다. 탄성파 필터(10, 20)는, 통과 대역의 일부가 서로 중복되는 대역 통과 필터이다. 탄성파 필터 장치(1)는, 일례로서, LTE(Long Term Evolution) 규격의 Band 3 및 Band 39의 수신용 듀얼 필터여도 된다.
탄성파 필터(10)는, 입력 단자 IN1과 출력 단자 OUT1의 사이에 접속된 직렬 공진자(11, 14), 및 세로 결합형의 공진기(12, 13)를 갖는다. 직렬 공진자(11, 14)는, 탄성 표면파 공진자로 구성되어 있다. 공진기(12, 13)는, 반사기를 갖는 세로 결합형의 탄성 표면파 필터로 구성되어 있다.
탄성파 필터(10)는, 입력 단자 IN1에서 취득된 수신 신호를, Band 3의 수신 통과 대역에서 필터링하여 출력 단자 OUT1로 출력하는, 비평형 입력-비평형 출력형의 대역 통과 필터이다.
탄성파 필터(20)는, 입력 단자 IN2와 출력 단자 OUT2의 사이에 접속된 직렬 공진자(21), 및 세로 결합형의 공진기(22, 23), 그리고 공진기(22, 23)로부터 출력 단자 OUT2까지의 접속 경로와 접지 단자 GND의 사이에 접속된 병렬 공진자(24)를 갖는다. 직렬 공진자(21) 및 병렬 공진자(24)는, 탄성 표면파 공진자로 구성되어 있다. 공진기(22, 23)는, 반사기를 갖는 세로 결합형의 탄성 표면파 필터로 구성되어 있다.
탄성파 필터(20)는, 입력 단자 IN2에서 취득된 수신 신호를, Band 39의 수신 통과 대역에서 필터링하여 출력 단자 OUT2로 출력하는, 비평형 입력-비평형 출력형의 대역 통과 필터이다.
입력 단자 IN1, IN2는, 예를 들어 안테나 소자 또는 안테나 스위치에 접속되고, 출력 단자 OUT1, OUT2는, 예를 들어 LNA(Low Noise Amplifier)에 접속되어도 된다. 이에 의해, 탄성파 필터 장치(1)는, 안테나 소자에서 수신된 고주파 신호로부터 주파수 밴드별 수신 신호를 통과시켜서, 출력 단자 OUT1, OUT2에 선택적으로 출력한다.
도 2는, 탄성파 필터 장치(1)의 칩 레이아웃의 일례를 나타내는 평면도이다. 도 2에는, 압전 기판(30)의 한쪽 주면에 형성된 접지 도체, 절연층, 배선 도체, 및 공진자의 배치의 일례가 나타나 있다. 도 2의 접지 도체, 절연층, 배선 도체, 및 공진자는, 도 1의 회로를 구성하고 있다. 접지 도체, 절연층, 및 배선 도체는, 이 순으로, 압전 기판(30)의 한쪽 주면에 적층 배치되어 있다.
압전 기판(30)의 다른 쪽 주면에는, 입력 단자 IN1, IN2, 출력 단자 OUT1, OUT2, 및 접지 단자 GND에 대응하여, 실장용의 접속 단자가 형성되어 있다.
도 2에 모식적으로 표기하고 있는 바와 같이, 직렬 공진자(11, 14, 21), 및 병렬 공진자(24)는, 압전 기판(30) 상에 형성된 1쌍의 빗살형 전극으로 구성된 탄성 표면파 공진자이다. 공진기(12, 13, 22 및 23)는, 압전 기판(30) 상에 형성된, 3쌍의 빗살형 전극과 당해 3쌍의 빗살형 전극을 사이에 둔 1쌍의 반사기로 구성된, 세로 결합형의 탄성 표면파 필터이다. 빗살형 전극은, IDT(Inter Digital Transducer) 전극이라고도 칭해진다. 빗살형 전극은, 접지 도체 또는 배선 도체에 접속된다. 빗살형 전극은, 접지 도체 또는 배선 도체와 같은 재료로 구성되어도 되고, 접지 도체 또는 배선 도체의 일부여도 된다.
도 3은, 탄성파 필터 장치(1)의 주요부의 칩 레이아웃의 일례를 나타내는 확대 평면도이다.
도 4는, 탄성파 필터 장치(1)의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다. 도 4는, 도 3의 IV-IV선을 화살표의 방향으로 본 단면에 대응하고 있다.
도 3 및 도 4에 나타나는 주요부에 있어서, 탄성파 필터 장치(1)는, 압전 기판(30)과, 압전 기판(30) 상에 형성된 절연층(40)과, 절연층(40) 상에 서로 대향하여 형성된 배선 도체(51, 52)를 구비하고 있다. 배선 도체(51)는, 탄성파 필터(10)의 공진기(12, 13)의 빗살형 전극에 접속되고, 배선 도체(52)는, 탄성파 필터(20)의 공진기(22, 23)의 빗살형 전극에 접속되어 있다(도 1).
압전 기판(30)은, 예를 들어 탄탈산리튬의 단결정, 또는 세라믹스 등의 압전재료로 구성된다. 절연층(40)은, 예를 들어 폴리이미드 등의, 유전율이 압전 기판(30)의 유전율보다도 작은 유전체 재료로 구성된다. 배선 도체(51, 52)는, 예를 들어 구리, 알루미늄, 및 은 중 적어도 하나를 함유하는 금속 재료로 구성된다.
탄성파 필터 장치(1)는, 또한, 평면으로 보아 절연층(40) 상의 배선 도체(51, 52)에 외접하는 영역 A 내에 있어서, 절연층(40)과 압전 기판(30)의 사이에 형성된 접지 도체(60)를 구비하고 있다.
이와 같이, 탄성파 필터 장치(1)에 있어서도, 종래 기술과 마찬가지로, 배선 도체(51, 52)와 압전 기판(30)의 사이에, 유전율이 압전 기판(30)의 유전율보다 작은 절연층(40)을 배치함으로써, 근접하는 배선 도체(51, 52) 사이에서의 용량 결합을 억제하고 있다.
탄성파 필터 장치(1)에서는, 또한, 영역 A 내에 있어서, 절연층(40)과 압전 기판(30)의 사이에 형성된 접지 도체(60)에 의해, 배선 도체(51, 52) 사이의 결합을 저해하므로, 배선 도체(51, 52) 사이에서의 신호의 직접적인 누설이 억제된다.
특히, 접지 도체(60)는, 평면으로 보아 영역 A 내의 배선 도체(51)와 겹치는 부분으로부터 배선 도체(52)와 겹치는 부분에 걸쳐서, 일체로 형성되어 있다. 이에 의해, 접지 도체(60)의 임피던스가 작아지므로(소위, 접지가 강해짐), 신호의 누설이 보다 강하게 억제되어, 우수한 삽입 손실 특성이 얻어진다.
접지 도체(60)는, 추가적인 설치 영역을 필요로 하지 않고, 배선 도체(51, 52)에 겹쳐 배치되므로, 탄성파 필터 장치(1)가 대형화되는 경우는 없다. 그 결과, 탄성파 필터(10, 20)를 구비하고, 소형이고 또한 삽입 손실 특성이 우수한 탄성파 필터 장치(1)가 얻어진다.
이 효과를 확인하기 위해서 행한 시뮬레이션의 결과에 대해서 설명한다.
도 5는, 비교예로서의 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다. 도 5의 구조는, 도 4의 구조와 비교하여, 접지 도체(60)가 생략되어 있다는 점에 있어서 상이하다. 도 4 및 도 5의 구조를 설정하여 전자계 시뮬레이션을 행함으로써, 접지 도체(60)가 있는 경우(실시예)와 없는 경우(비교예)에 대해서, 탄성파 필터(10, 20)의 삽입 손실을 구하였다.
도 6은, 실시예 및 비교예의 각각에 대해서 산출된 탄성파 필터(10, 20)의 삽입 손실의 주파수 특성의 일례를 나타내는 그래프이다. 도 6에 보이는 바와 같이, 접지 도체(60)에 의해, 탄성파 필터(10, 20) 모두, 삽입 손실 특성이 향상되는 것이 확인되었다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 관한 탄성파 필터 장치에 대해서 설명하였지만, 본 발명은, 개개의 실시 형태에 한정되지 않는다. 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한, 당업자가 생각해 내는 각종 변형을 본 실시 형태에 실시한 것이나, 다른 실시 형태에 있어서의 구성 요소를 조합하여 구축되는 형태도, 본 발명의 하나 또는 복수의 양태의 범위 내에 포함되어도 된다.
예를 들어, 배선 도체(51, 52) 사이의 결합을 저해하는 효과는, 평면으로 보아 영역 A 내의 배선 도체(51, 52)의 간극 부분에 형성되어 있는 접지 도체에 의해, 보다 강하게 발휘되어 있다고 생각된다. 그래서, 접지 도체의 적어도 일부가, 평면으로 보아 영역 A 내의 배선 도체(51, 52)의 간극 부분에 형성되어 있는 것을 한정해도 된다. 예를 들어, 도 4의 접지 도체(60)는 이 한정을 만족시키고 있으며, 또한 다음과 같은 변형예를 생각할 수 있다.
도 7a 및 도 7b는, 변형예에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다. 범위 B가 평면으로 본 영역 A 내의 배선 도체(51, 52)의 간극 부분에 대응한다.
도 7a의 탄성파 필터 장치(2)에서는, 접지 도체(61)는, 범위 B에만 형성되어 있다.
도 7b의 탄성파 필터 장치(3)에서는, 접지 도체(62)는, 평면으로 보아 배선 도체(51, 52)와 겹쳐치고 또한 일부가 범위 B에 진입하는 위치에 형성되어 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 접지 도체의 적어도 일부가, 평면으로 보아 영역 A 내의 배선 도체(51, 52)의 간극 부분에 형성되어 있으므로, 배선 도체(51, 52) 사이의 결합을 저해하여, 삽입 손실 특성의 향상을 도모할 수 있다.
또한, 절연층(40)의 구조에 대해서도, 몇 가지 변형예를 생각할 수 있다.
도 8a, 도 8b, 및 도 8c는, 변형예에 관한 탄성파 필터 장치의 주요부의 구조의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 8a의 탄성파 필터 장치(4)에서는, 절연층(41)은, 상면의 배선 도체(51, 52)의 사이에, 절결(41a)을 가지고 있다. 절결(41a)은, 접지 도체(60)에 도달하고, 절연층(41)은, 두 블록으로 분리되어 있다.
도 8b의 탄성파 필터 장치(5)에서는, 절연층(42)은, 상면의 배선 도체(51, 52)의 사이에, 절결(42a)을 가지고 있다. 절결(42a)은, 접지 도체(60)에는 도달하지 않고, 절연층(41)은, 하나의 블록으로 구성되어 있다.
도 8a 및 도 8b의 어느 구조에 의해서도, 배선 도체(51, 52)는, 절연층(41, 42)의 절결(41a, 42a)에 의한 에어 갭을 사이에 두고 대향하므로, 배선 도체(51, 52)의 결합이 보다 작아져, 더욱 우수한 삽입 손실 특성이 얻어진다.
도 8c의 탄성파 필터 장치(6)에서는, 배선 도체(51)의 하방에 있어서의 절연층(43)의 두께와 배선 도체(52)의 하방에 있어서의 절연층(43)의 두께가 상이하다.
도 8c의 구조에 의하면, 배선 도체(51, 52)가 높이가 다르게 배치되므로, 배선 도체(51, 52)의 결합이 보다 작아져, 더욱 우수한 삽입 손실 특성이 얻어진다.
또한, 실시 형태에서는, 탄성파 필터(10, 20)의 통과 대역의 일부가 서로 중복되는 예에 대해서 설명하였다. 탄성파 필터(10, 20)의 통과 대역의 일부가 서로 중복되는 경우에 배선 도체(51, 52)의 결합을 저감하는 것은, 서로 간섭하는 동일 주파수의 신호의 침입의 억제도 되므로, 삽입 손실 특성뿐만 아니라 신호 잡음비가 우수한 탄성파 필터 장치가 얻어진다.
단, 탄성파 필터(10, 20)의 통과 대역의 일부가 서로 중복되어 있는 것은 필수적이지 않다. 탄성파 필터(10, 20)의 통과 대역은 중복되어 있지 않아도 되고, 그 경우, 탄성파 필터(10)의 한쪽 단부와 탄성파 필터(20)의 한쪽 단부를 접속해도 된다.
이에 의해, 탄성파 필터(10, 20)의 각각의 한쪽 단부를 공통 단자로 하여, 접속 단자수를 삭감할 수 있다.
(정리)
본 발명의 일 양태에 관한 탄성파 필터 장치는, 압전 기판 상에 형성된 제1 탄성파 필터 및 제2 탄성파 필터를 갖고, 상기 압전 기판 상에 형성되고, 유전율이 상기 압전 기판의 유전율보다 작은 절연층과, 상기 절연층 상에 평면으로 보아 서로 대향하여 형성되고, 상기 제1 탄성파 필터의 전극에 접속된 제1 배선 도체 및 상기 제2 탄성파 필터의 전극에 접속된 제2 배선 도체와, 평면으로 보아 상기 절연층 상의 상기 제1 배선 도체 및 상기 제2 배선 도체에 외접하는 영역 내에 있어서, 상기 절연층과 상기 압전 기판의 사이에 형성된 접지 도체를 구비한다.
이와 같은 구성에 의하면, 접지 도체에 의해, 제1 배선 도체와 제2 배선 도체의 사이의 결합이 저해되므로, 제1 배선 도체와 제2 배선 도체의 사이에서의 신호의 직접적인 누설이 억제된다. 접지 도체는, 추가적인 설치 영역을 필요로 하지 않고, 제1 배선 도체와 제2 배선 도체에 겹쳐서 배치되므로, 탄성파 필터 장치가 대형화되는 경우는 없다. 그 결과, 복수의 탄성파 필터를 구비하고, 소형이고 또한 삽입 손실 특성이 우수한 탄성파 필터 장치가 얻어진다.
또한, 상기 접지 도체의 적어도 일부는, 평면으로 보아 상기 영역 내의 상기 제1 배선 도체와 상기 제2 배선 도체의 간극 부분에 형성되어 있어도 된다.
이와 같은 구성에 의하면, 접지 도체가, 제1 배선 도체와 제2 배선 도체의 결합을 보다 효과적으로 저해하는 위치에 마련되므로, 더욱 우수한 삽입 손실 특성이 얻어진다.
또한, 상기 접지 도체는, 평면으로 보아 상기 제1 배선 도체와 겹치는 부분으로부터 상기 제2 배선 도체와 겹치는 부분에 걸쳐서, 일체로 형성되어 있어도 된다.
이와 같은 구성에 의하면, 접지 도체의 임피던스가 작아지므로(소위, 접지가 강해짐), 신호의 누설이 보다 강하게 억제되어, 더욱 우수한 삽입 손실 특성이 얻어진다.
또한, 상기 절연층은, 상면의 상기 제1 배선 도체와 상기 제2 배선 도체의 사이에, 절결을 가지고 있어도 된다.
이와 같은 구성에 의하면, 제1 배선 도체와 제2 배선 도체가 절연층의 절결을 사이에 두고 대향하므로, 제1 배선 도체와 제2 배선 도체의 결합이 보다 작아져, 더욱 우수한 삽입 손실 특성이 얻어진다.
또한, 상기 절연층은, 평면으로 보아 상기 제1 배선 도체와 겹치는 부분의 두께와 상기 제2 배선 도체와 겹치는 부분의 두께가 상이해도 된다.
이와 같은 구성에 의하면, 제1 배선 도체와 제2 배선 도체가 높이가 다르게 배치되므로, 제1 배선 도체와 제2 배선 도체의 결합이 보다 작아져, 더욱 우수한 삽입 손실 특성이 얻어진다.
또한, 상기 제1 탄성파 필터의 통과 대역과 상기 제2 탄성파 필터의 통과 대역이 적어도 일부 중복되어 있어도 된다.
이와 같은 구성에 의하면, 제1 탄성파 필터와 제2 탄성파 필터에서 공통되는 통과 대역의 신호(즉, 서로 간섭하는 신호)의 침입을 억제할 수 있으므로, 삽입 손실 특성뿐만 아니라 신호 잡음비가 우수한 탄성파 필터 장치가 얻어진다.
또한, 상기 제1 탄성파 필터의 한쪽 단부와 상기 제2 탄성파 필터의 한쪽 단부가 접속되어 있어도 된다.
이와 같은 구성에 의하면, 통과 대역이 서로 다른 제1 탄성파 필터와 제2 탄성파 필터에서 한쪽 단부를 공통화하므로, 보다 소형이고 또한 삽입 손실 특성이 우수한 탄성파 필터 장치가 얻어진다.
본 발명은, 복수의 탄성파 필터를 구비하고, 소형이고 또한 삽입 손실 특성이 우수한 탄성파 필터 장치로서, 휴대 전화 등의 통신 기기에 널리 이용할 수 있다.
1 내지 6: 탄성파 필터 장치
10, 20: 탄성파 필터
11, 14, 21: 직렬 공진자
12, 13, 22, 23: 공진기
24: 병렬 공진자
30: 압전 기판
40 내지 43: 절연층
51, 52: 배선 도체
60 내지 62: 접지 도체

Claims (7)

  1. 압전 기판 상에 형성된 제1 탄성파 필터 및 제2 탄성파 필터를 갖고,
    상기 압전 기판 상에 형성되고, 유전율이 상기 압전 기판의 유전율보다도 작은 절연층과,
    상기 절연층 상에 평면으로 보아 서로 대향하여 형성되고, 상기 제1 탄성파 필터의 전극에 접속된 제1 배선 도체 및 상기 제2 탄성파 필터의 전극에 접속된 제2 배선 도체와,
    평면으로 보아 상기 절연층 상의 상기 제1 배선 도체 및 상기 제2 배선 도체에 외접하는 영역 내에 있어서, 상기 절연층과 상기 압전 기판의 사이에 형성된 접지 도체
    를 구비하고,
    상기 절연층은, 평면으로 보아 상기 제1 배선 도체와 겹치는 부분의 두께와 상기 제2 배선 도체와 겹치는 부분의 두께가 상이한, 탄성파 필터 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 접지 도체의 적어도 일부는, 평면으로 보아 상기 영역 내의 상기 제1 배선 도체와 상기 제2 배선 도체의 간극 부분에 형성되어 있는,
    탄성파 필터 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 접지 도체는, 평면으로 보아 상기 제1 배선 도체와 겹치는 부분으로부터 상기 제2 배선 도체와 겹치는 부분에 걸쳐서, 일체로 형성되어 있는,
    탄성파 필터 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 절연층은, 상면의 상기 제1 배선 도체와 상기 제2 배선 도체의 사이에, 절결을 가지고 있는,
    탄성파 필터 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 탄성파 필터의 통과 대역과 상기 제2 탄성파 필터의 통과 대역이 적어도 일부 중복되어 있는,
    탄성파 필터 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 탄성파 필터의 한쪽 단부와 상기 제2 탄성파 필터의 한쪽 단부가 접속되어 있는,
    탄성파 필터 장치.
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