JPH05167387A - 弾性表面波デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は弾性表面波デバイスに関し、縦続接
続された多電極型弾性表面波フィルタの接地電極数を減
少させた弾性表面波デバイスを実現することを目的とす
る。 【構成】 圧電結晶基板上に櫛歯状の入力トランスジュ
ーサと出力トランスジューサを複数個交互に配置した多
電極型弾性表面波フィルタを素子内で２段に縦続接続し
た弾性表面波フィルタにおいて、１段目の入力トランス
ジューサ２_-1〜２ _-3の複数の接地パッド１０と、１段目
の接続トランスジューサ３_-1，３_-2の複数の接地パッド
１１と、２段目の接続トランスジューサ４_-1，４_-2の複
数の接地パッド１２と、２段目の出力トランスジューサ
５_-1〜５_-3の複数の接地パッド１３を、それぞれ別個に
連結手段１４により連結して成るように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波デバイスに関
する。詳しくは、縦続接続された多電極型弾性表面波フ
ィルタの複数の接地電極を二層配線により接続して接地
電極数を減少した弾性表面波デバイスに関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波デバイスは携帯電話等の移動
無線電話に用いられる高周波フィルタ等に利用されてい
る。図３に従来の多電極フィルタを同一素子内で二段に
縦続接続した弾性表面波フィルタの１例を示す。これは
LiTaO₃ 又は LiNbO₃ 等の圧電単結晶基板１の上にＡl
等の金属をスパッタ又は蒸着し、それをホトリソグラフ
ィ技術でパターン形成した入力トランスジューサ２_-1〜
２_-3と接続トランスジューサ３_-1，３_-2とよりなる一段
目のフィルタと、接続トランスジューサ４_-1，４_-2と出
力トランスジューサ５_-1〜５_-3とよりなる二段目のフィ
ルタとが縦続接続されているものである。

【０００３】そして、入力パッド６に高周波電圧が印加
されると、基板１の圧電作用により、入力トランスジュ
ーサ２_-1〜２_-3から弾性表面波７が励振される。入力ト
ランスジューサ２_-1〜２_-3の間に配置された接続トラン
スジューサ３_-1，３_-2は弾性表面波７を受けて電気信号
に変換し、これを２段目の接続トランスジューサ４_-1，
４_-2に送る。入力信号を受けた２段目の接続トランスジ
ューサ４_-1，４_-2は弾性表面波８を放射する。その弾性
表面波８を出力トランスジューサ５_-1〜５_-3が受けて電
気信号に変換して信号出力パッド９から出力する。

【０００４】一般に表面波の速度ｖは基板結晶方位によ
り一定であるため、櫛歯形の入・出力トランスジューサ
の櫛歯のピッチＰを決めれば、フィルタの周波数ｆは、
ｆ＝ｖ／２Ｐにより決まる。また櫛歯の開口幅や対数等
は所望のフィルタ特性を得る様に決められる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の弾性表面波
フィルタにおいては、所望のフィルタ特性を得るために
入・出力トランスジューサの個数を７又はそれ以上配置
する場合がある。その場合、接地パッド１０〜１３の数
もそれだけ増えることになり、ワイヤボンディング数が
増大し、良好な接地が得られず、生産性も低下するとい
う問題がある。

【０００６】本発明は、縦続接続された多電極型弾性表
面波フィルタの接地電極数を減少させた弾性表面波デバ
イスを実現しようとする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波デバ
イスに於いては、圧電結晶基板上に櫛歯状の入力トラン
スジューサと出力トランスジューサを複数個交互に配置
した多電極型弾性表面波フィルタを素子内で２段に縦続
接続した弾性表面波フィルタにおいて、１段目の入力ト
ランスジューサ２_-1〜２_-3の複数の接地パッド１０と、
１段目の接続トランスジューサ３_-1，３_-2の複数の接地
パッド１１と、２段目の接続トランスジューサ４_-1，４
_-2の複数の接地パッド１２と、２段目の出力トランスジ
ューサ５ _-1〜５_-3の複数の接地パッド１３を、それぞれ
別個に連結手段１４により連結して成ることを特徴とす
る。

【０００８】また、それに加えて上記連結手段１４は連
結すべき複数の接地パッドを連続した絶縁膜１５で覆
い、その接地パッド部分に窓１５ａをあけ、該窓１５ａ
を通して金属膜１６で各接地パッドを連結したことを特
徴とする。この構成を採ることにより、接地電極数を減
らした弾性表面波デバイスが得られる。

【０００９】

【作用】図１に示すように、多電極型表面波フィルタの
１段目の入力トランスジューサ２_-1〜２_-3と接続トラン
スジューサ３_-1，３_-2、及び２段目の接続トランスジュ
ーサ４_-1，４_-2と出力トランスジューサ５_-1〜５_-3の各
複数の接地パッドをそれぞれ連結手段１４で連結するこ
とにより接地パッド数を減少させることができる。

【００１０】

【実施例】図１は本発明の実施例を示す図であり、(a)
は平面図、(b) は (a)図のｂ−ｂ線における断面図であ
る。同図において図３と同一部分は同一符号を付して示
した。本実施例は、入力トランスジューサ２_-1〜２_-3と
接続トランスジューサ３_-1，３_-2とよりなる１段目のフ
ィルタと、接続トランスジューサ４_-1，４_-2と出力トラ
ンスジューサ５_-1〜５_-3とよりなる２段目のフィルタと
が縦続接続されて LiTaO₃ 又は LiNbO₃ 等の単結晶基板
１の上に形成されていることは図３で説明した従来の多
電極型弾性表面波フィルタと同様である。本実施例が従
来例と異なるところは、１段目の入力トランスジューサ
２_-1〜２_-3の複数の接地パッド１０と、１段目の接続ト
ランスジューサ３_-1，３_-2の複数の接地パッド１１と、
２段目の接続トランスジューサ４_-1，４_-2の複数の接地
パッド１２と、２段目の出力トランスジューサ５_-1〜５
_-3の複数の接地パッド１３をそれぞれ別々に２層構造の
連結手段１４で連結したことである。

【００１１】連結手段は接地パッド部分を窓あけした絶
縁膜１５と接地パッドを電気的に接続する金属膜１６と
よりなり、その連結方法は図２の如くにして行われる。
まず (a)図の如く基板１の上に形成された接地パッド１
０〜１３の上に、(b)図の如く絶縁膜（SiO₂、ポリイミ
ド等）を５μm 程度の厚さに形成する。次いで(c) 図の
如く接地パッド部分にフォトリソグラフィ技術により窓
１５ａを窓あけする。その上に (d)図の如く NiCr 等の
金属を蒸着又はスパッタリングし、所要部以外の金属膜
１６と絶縁膜をエッチングして除去する。このようにし
て接地パッド間を接続することができる。

【００１２】なお連結された接地パッドは、入力トラン
スジューサの接地パッド１０、１段目の接続トランスジ
ューサの接地パッド１１、２段目の接続トランスジュー
サの接地パッド１２、出力トランスジューサの接地パッ
ド１３の各金属膜１６をワイヤボンディングによりパッ
ケージに接地する。

【００１３】通常、縦続接続したフィルタの場合、大き
な帯域減衰量が可能であるが、一段目と二段目の電気的
結合が起こりやすく充分な帯域外減衰量がとれないこと
があるが、本実施例では接地用ワイヤボンディングが少
なくてすむため、電気的結合を防止することができる。
また入・出力トランスジューサの数が増えても接地部は
４箇所ですみ生産性が向上する。

【００１４】

【発明の効果】本発明に依れば、縦続接続した多電極フ
ィルタの接地用ワイヤボンディングを減少させて最少４
本で満足される。また素子内の電気的結合を引き起こし
帯域外減衰量を悪化させることもなく、品質向上と生産
性の向上に寄与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す図で、(a) は平面図、
(b) は(a)図のｂ−ｂ線における断面図である。

【図２】本発明の実施例における接地パッドの連結方法
を説明するための図である。

【図３】従来の弾性表面波フィルタの１例を示す図で、
(a) は平面図、(b) は (a)図のｂ−ｂ線における断面図
である。

【符号の説明】

１…基板 ２_-1〜２_-3…入力トランスジューサ ３_-1，３_-2，４_-1，４_-2…接続トランスジューサ ５_-1〜５_-3…出力トランスジューサ ６…入力パッド ７，８…弾性表面波 ９…出力パッド １０〜１３…接地パッド １４…連結手段 １５…絶縁膜 １６…金属膜

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電結晶基板上に櫛歯状の入力トランス
   ジューサと出力トランスジューサを複数個交互に配置し
   た多電極型弾性表面波フィルタを素子内で２段に縦続接
   続した弾性表面波フィルタにおいて、 １段目の入力トランスジューサ（２_-1〜２_-3）の複数の
   接地パッド（１０）と、１段目の接続トランスジューサ
   （３_-1，３_-2) の複数の接地パッド（１１）と、２段目
   の接続トランスジューサ（４_-1，４_-2) の複数の接地パ
   ッド（１２）と、２段目の出力トランスジューサ（５_-1
   〜５_-3）の複数の接地パッド（１３）を、それぞれ別個
   に連結手段（１４）により連結して成ることを特徴とす
   る弾性表面波デバイス。
2. 【請求項２】 上記連結手段（１４）は、連結すべき複
   数の接地パッドを連続した絶縁膜（１５）で覆い、その
   接地パッド部分に窓（１５ａ）をあけ、該窓（１５ａ）
   を通して金属膜（１６）で各接地パッドを連結したこと
   を特徴とする請求項１の弾性表面波デバイス。