CN107078720B - 梯型滤波器以及双工器 - Google Patents
梯型滤波器以及双工器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107078720B CN107078720B CN201580052487.0A CN201580052487A CN107078720B CN 107078720 B CN107078720 B CN 107078720B CN 201580052487 A CN201580052487 A CN 201580052487A CN 107078720 B CN107078720 B CN 107078720B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electrode
- wiring electrode
- wiring
- parallel arm
- ladder filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 229910016570 AlCu Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003069 TeO2 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 1
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
- H03H9/175—Acoustic mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
- H03H9/58—Multiple crystal filters
- H03H9/60—Electric coupling means therefor
- H03H9/605—Electric coupling means therefor consisting of a ladder configuration
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
- H03H9/725—Duplexers
Abstract
本发明提供能谋求小型化且能成为低损耗的梯型滤波器。梯型滤波器具备：压电基板(2)；绝缘膜(10)，配置在压电基板(2)上；第1、第2IDT电极(3A、3B)，设置在压电基板(2)上，且具有一对汇流条和多根电极指；第1布线电极(4)，至少一部分被设置为第1IDT电极(3A)的一侧的汇流条；第2布线电极(5)，至少一部分被设置为第2IDT电极(3B)的一侧的汇流条；和第3布线电极(6)，层叠在第2布线电极(5)上，第1布线电极(4)和第2布线电极(5)分别与不同的电位连接，第1布线电极(4)和第2布线电极(5)被分隔开，在层叠方向上第3布线电极(6)的至少一部分隔着绝缘膜(10)而与第1布线电极(4)的至少一部分重合。
Description
技术领域
本发明涉及使用多个弹性波谐振器而构成的梯型滤波器以及具有该梯型滤波器作为发送滤波器的双工器。
背景技术
以往，梯型声表面波滤波器广泛用于便携电话机的双工器的发送滤波器等。
在下述的专利文献1、专利文献2中公开了具有由IDT电极构成的多个谐振器的梯型滤波器。在专利文献1中，包含某IDT电极的汇流条的布线和包含其他IDT电极的汇流条的布线被配置为在俯视下不重合。另一方面，在专利文献2中，某IDT电极的汇流条和其他IDT电极的汇流条被配置为在俯视下隔着电介质薄膜而重合。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2000-196412号公报
专利文献2：JP特开平8-307191号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，在专利文献1的梯型滤波器中，由于被配置为布线彼此不重叠，因此难以谋求小型化。
另一方面，在专利文献2中，由于与电极指部分同样地膜厚较薄的汇流条彼此隔着电介质薄膜而重叠，因此有时电阻成分会变大。因而，有时损耗会变大。
本发明的目的在于，提供能谋求小型化且能成为低损耗的梯型滤波器以及双工器。
用于解决课题的手段
本发明所涉及的梯型滤波器具有：多个串联臂谐振器，设置在连结输入端子和输出端子的串联臂；和多个并联臂谐振器，分别设置在连结上述串联臂和接地电位的多个并联臂，其中，上述梯型滤波器具备：压电基板；绝缘膜，配置在上述压电基板上；第1IDT电极以及第2IDT电极，设置在上述压电基板上，且具有一对汇流条和分别与该一对汇流条连接的多根电极指；第1布线电极，设置在上述压电基板上，且至少一部分被设置为上述第1IDT电极的一侧的汇流条；第2布线电极，设置在上述压电基板上，且至少一部分被设置为上述第2IDT电极的一侧的汇流条；和第3布线电极，层叠在上述第2布线电极上，上述第1IDT电极以及第2IDT电极被设置为上述多个串联臂谐振器或者上述多个并联臂谐振器，上述第1布线电极和上述第2布线电极分别与不同的电位连接，上述第1布线电极和上述第2布线电极被分隔开，在层叠方向上，上述第3布线电极的至少一部分隔着上述绝缘膜而与上述第1布线电极的至少一部分重合。
在本发明所涉及的梯型滤波器的某特定的方面，上述第2布线电极的作为沿着上述多根电极指延伸的方向的尺寸的宽度小于上述第1布线电极的作为沿着上述多根电极指延伸的方向的尺寸的宽度。
在本发明所涉及的梯型滤波器的其他特定的方面，上述第1布线电极的厚度是与上述第2布线电极的厚度相同的厚度。
在本发明所涉及的梯型滤波器的另一特定的方面，上述第3布线电极的厚度大于上述第1布线电极以及第2布线电极的厚度。
在本发明所涉及的梯型滤波器的再另一特定的方面，上述多个并联臂谐振器具有：第1并联臂谐振器，设置在上述多个并联臂之中的一个并联臂，且由上述第1IDT电极形成；和第2并联臂谐振器，设置在上述多个并联臂之中的与设置有上述第1并联臂谐振器的并联臂不同的并联臂，且由上述第2IDT电极形成。
在本发明所涉及的梯型滤波器的再其他特定的方面，在上述多个电极指延伸的方向上，上述第1并联臂谐振器的至少一部分与上述第2并联臂谐振器的至少一部分重叠。
在本发明所涉及的梯型滤波器的再其他特定的方面，上述第1布线电极的一端与上述第1并联臂谐振器连接，上述第1布线电极的另一端与上述多个串联臂谐振器之中的至少一个串联臂谐振器连接，上述第2布线电极的一端与上述第2并联臂谐振器连接，上述第2布线电极的另一端与接地电位连接。
在本发明所涉及的梯型滤波器的再其他特定的方面，设置有上述第1并联臂谐振器的并联臂和设置有上述第2并联臂谐振器的并联臂相邻。
本发明所涉及的双工器具备发送滤波器和接收滤波器，上述发送滤波器具有遵循本发明得到的上述梯型滤波器。
发明的效果
在本发明中，如上述那样在第2布线电极上层叠有第3布线电极，且该第3布线电极的至少一部分具有在层叠方向上隔着绝缘膜而与第1布线电极的至少一部分重合的部分。因此，根据本发明，能提供能谋求小型化且能成为低损耗的梯型滤波器以及双工器。
附图说明
图1是本发明的一实施方式所涉及的梯型滤波器的电路图。
图2(a)是表示从本发明的一实施方式所涉及的梯型滤波器之中除去绝缘膜以及第3布线电极之后的结构的示意性俯视图，图2(b)是将其设置有并联臂谐振器P2以及并联臂谐振器P3的部分进行了放大的示意性俯视图，图2(c)是1端口型弹性波谐振器的电极结构的示意性俯视图。
图3是用于说明在图2(b)所示的梯型滤波器的设置有并联臂谐振器P2以及并联臂谐振器P3的部分应用了第3布线电极以及绝缘膜的结构的示意性俯视图。
图4是图3所示的梯型滤波器的沿着A-A线的示意性剖视图。
图5是用于比较在梯型滤波器的串联臂附加了电阻成分(阻值)1Ω的情况下的衰减量频率特性和在并联臂附加了电阻成分1Ω的情况下的衰减量频率特性的图。
图6是用于说明在本发明的一实施方式所涉及的梯型滤波器中并联臂谐振器并联地连接有静电电容的电路图。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的具体的实施方式，由此使本发明变得明了。
(梯型滤波器)
图1是本发明的一实施方式所涉及的梯型滤波器的电路图。图2(a)是表示从本发明的一实施方式所涉及的梯型滤波器之中除去绝缘膜以及第3布线电极之后的结构的示意性俯视图，图2(b)是将其设置有并联臂谐振器P2以及并联臂谐振器P3的部分进行了放大的示意性俯视图，图2(c)是1端口型弹性波谐振器的电极结构的示意性俯视图。
在图1所示的梯型滤波器1中，在将输入端子7和输出端子8连结的串联臂，设置有串联臂谐振器S1～S4。串联臂谐振器S2被串联分割。即，串联臂谐振器S2被分割为2个分割谐振器S2a、S2b。同样地，串联臂谐振器S3被分割为2个分割谐振器S3a、S3b，串联臂谐振器S4被分割为2个分割谐振器S4a、S4b。
在将串联臂谐振器S1与串联臂谐振器S2之间的连接点、和接地电位连结的并联臂，设置有并联臂谐振器P1。同样地，在将串联臂谐振器S2与串联臂谐振器S3之间的连接点、和接地电位连结的并联臂，设置有并联臂谐振器P2。此外，在将串联臂谐振器S3与串联臂谐振器S4之间的连接点、和接地电位连结的并联臂，设置有并联臂谐振器P3。串联臂谐振器S1、S2(分割谐振器S2a、S2b)、S3(分割谐振器S3a、S3b)、S4(分割谐振器S4a、S4b)以及并联臂谐振器P1～P3由1端口型弹性波谐振器构成。
1端口型弹性波谐振器具有图2(c)所示的电极结构。即，IDT电极3以及IDT电极3的弹性波传播方向两侧所配置的反射器11、12形成在压电基板的主面上。由此构成了1端口型弹性波谐振器。
IDT电极3能由Al、Cu、Pt、Au、Ag、Ti、Ni、Cr、Mo、W或以这些金属的任一者为主体的合金等的适宜的金属材料来形成。IDT电极3既可以是单层，也可以是层叠2种以上的金属层而成的层叠体。
IDT电极3具有多根第1电极指和多根第2电极指。多根第1电极指以及多根第2电极指在与弹性波传播方向正交的方向上延伸。多根第1电极指和多根第2电极指相互交替插入。多根第1、第2电极指的各一端分别与第1、第2汇流条连接。
如图2(a)所示，梯型滤波器1具有矩形板状的压电基板2。压电基板2由如LiTaO3、LiNbO3那样的压电单晶基板构成。压电基板2也可以由压电陶瓷形成。另外，在本实施方式中，压电基板2由LiNbO3形成。
在图2(a)中，通过将矩形框状的对角线彼此连结而成的块以略图的方式表示串联臂谐振器S1、S2(分割谐振器S2a、S2b)、S3(分割谐振器S3a、S3b)、S4(分割谐振器S4a、S4b)以及并联臂谐振器P1～P3中的IDT电极3的多根第1电极指和多根第2电极指相互交替插入的部分。IDT电极3的第1、第2汇流条分别位于块的电极指延伸的方向的两端。
另外，并联臂谐振器P2的IDT电极3的第1汇流条3a被设置为第1布线电极4的至少一部分。并联臂谐振器P3的IDT电极3的第2汇流条3b被设置为第2布线电极5的至少一部分。
如图2(a)以及图2(b)所示，并联臂谐振器P2经由第1布线电极4连接到与接地电位连接的电极连接盘9。第1布线电极4的一端连接到与接地电位连接的电极连接盘9，另一端连接到并联臂谐振器P2。
另一方面，并联臂谐振器P3经由第2布线电极5而与串联臂谐振器S3、S4连接。第2布线电极5的一端与并联臂谐振器P3连接，另一端与串联臂谐振器S3、S4连接。因此，第2布线电极5与不同于第1布线电极4的电位连接。
在本实施方式中，在IDT电极3的电极指延伸的方向上，并联臂谐振器P2的至少一部分与并联臂谐振器P3的至少一部分重叠。因此，能容易地应用后述的本发明的特征性结构。
图3是用于说明在图2(b)所示的梯型滤波器的设置有并联臂谐振器P2以及并联臂谐振器P3的部分应用了第3布线电极6以及绝缘膜的结构的示意性俯视图。另外，关于绝缘膜，图3中并未图示，仅示出了设置的区域。在图3中，在图2(b)中的第2布线电极5上形成有第3布线电极6。绝缘膜覆盖除了图示的单点划线10A的外侧的角部的区域和单点划线10B所包围的区域以外的剩余区域。第3布线电极6的一部分隔着绝缘膜而与第1布线电极4的一部分重合。不过，在本发明中，关于第3布线电极6和第1布线电极4，在朝向压电基板2的主面侧进行俯视时，只要隔着绝缘膜而至少一部分重合即可，也可以在朝向压电基板2的主面侧进行俯视时，构成与电极指连接的汇流条的第1布线电极4全部与第3布线电极6重合。
图4是也包含上述绝缘膜的、图3所示的梯型滤波器的沿着A-A线的示意性剖视图。以下，参照图4的示意性剖视图，来更详细地说明压电基板2上的第1～第3布线电极4～6与绝缘膜10的位置关系。
如图4所示，在压电基板2的主面上设置有第1、第2IDT电极3A、3B。第1IDT电极3A形成了并联臂谐振器P2。另一方面，第2IDT电极3B形成了并联臂谐振器P3。
通过由多根第1、第2电极指构成的第1IDT电极3A的电极指部分3c、和省略图示的第1、第2汇流条而形成了第1IDT电极3A。通过由多根第1、第2电极指构成的第2IDT电极3B的电极指部分3d、和省略图示的第1、第2汇流条而形成了第2IDT电极3B。在第1IDT电极3A的电极指部分3c以及第2IDT电极3B的电极指部分3d上设置有绝缘膜10。
绝缘膜10由作为电介质的SiO2形成。不过，作为构成绝缘膜10的材料，并没有特别限定，能通过单层结构或层叠结构来形成SiO2、SiN、聚酰亚胺等树脂材料、或SiO2、Si3N4、SiON、SiC、Ta2O5、TiO2、TiN、Al2O3、TeO2等一般的电介质膜。另外，也可以是不在第1IDT电极3A的电极指部分3c以及第2IDT电极3B的电极指部分3d上设置绝缘膜10的构成。
第1IDT电极3A的第1汇流条被设置为第1布线电极4的至少一部分。另一方面，第2IDT电极3B的第2汇流条被设置为第2布线电极5的至少一部分。
第1、第2布线电极4、5设置在压电基板2上，使得沿着弹性波传播方向延伸。第1布线电极4以及第2布线电极5的形成汇流条的部分隔着给定的距离相互分隔开。特别是，在本实施方式中，具有隔着绝缘膜10而分隔开的部分。不过，也可以通过在彼此相邻的第1、第2布线电极4、5的间隙填充绝缘膜10而使得第1、第2布线电极4、5完全分隔开。第1布线电极4和第2布线电极5经由绝缘膜10而相互电绝缘。沿着弹性波传播方向延伸的第2布线电极5的作为沿电极指方向的尺寸的宽度W2比沿着弹性波传播方向延伸的第1布线电极4的作为沿电极指方向的尺寸的宽度W1要小。
从压电基板2的主面向上方延伸的第1布线电极4的厚度D1是与第2布线电极5的厚度D2相同的厚度。在如本实施方式那样第1布线电极4的厚度D1是与第2布线电极5的厚度D2相同的厚度的情况下，由于能通过相同的工艺来制造第1、第2布线电极4、5，因而优选。不过，在本发明中，第1布线电极4的厚度D1和第2布线电极5的厚度D2可以不同。第1、第2布线电极4、5的厚度D1、D2并没有特别限定，但优选分别为几十nm～几百nm。
第1、第2布线电极4、5通过依次层叠NiCr合金、Pt、Ti、AlCu合金以及Ti而形成。不过，作为构成第1、第2布线电极4、5的材料，并没有特别限定，能通过Al、Cu、Pt、Au、Ag、Ti、Ni、Cr、Mo、W或以这些金属的任一者为主体的合金等的适宜的金属材料来形成。第1、第2布线电极4、5既可以是单层，也可以是如本实施方式那样层叠2种以上的金属层而成的层叠体。第1、第2布线电极4、5既可以由相同材料构成，也可以由不同的材料构成。另外，关于本实施方式中的各层的厚度，依次是NiCr合金：10nm、Pt：70nm、Ti：60nm、AlCu合金：130nm以及Ti：10nm。
在第2布线电极5上层叠有第3布线电极6。在层叠方向上，第3布线电极6的一部分隔着绝缘膜10还与第1布线电极4的一部分重叠。配置在绝缘膜10上的第3布线电极6的厚度D3比第1布线电极4的厚度D1以及第2布线电极5的厚度D2要厚。在第3布线电极6的厚度D3比第1布线电极4的厚度D1以及第2布线电极5的厚度D2要厚的情况下，能进一步成为低损耗，因而优选。
第3布线电极6通过层叠Ti、AlCu合金、Ti以及Pt而形成。作为构成第3布线电极6的材料，并没有特别限定，能通过Al、Cu、Pt、Au、Ag、Ti、Ni、Cr、Mo、W或以这些金属的任一者为主体的合金等的适宜的金属材料来形成。第3布线电极6既可以是单层，也可以是如本实施方式那样层叠2种以上的金属层而成的层叠体。第3布线电极6既可以由与第1、第2布线电极4、5相同的材料构成，也可以由与第1、第2布线电极4、5不同的材料构成。第3布线电极6的膜厚并没有特别限定，但出于能进一步成为低损耗，优选是1000nm～3000nm。
在如本实施方式那样第1、第2布线电极4、5与不同的电位连接的情况下，出于防止短路的观点，需要将第1布线电极4和第2布线电极5分隔开给定的距离以上来配置。因此，滤波器的尺寸有变大的趋势。此外，在缩短第1、第2布线电极4、5的宽度W1、W2的情况下，由于布线宽度的减少而电阻值增加，从而电阻损耗变大，因此以往难以谋求小型化。
关于这一点，在梯型滤波器1中，第2布线电极5所层叠的第3布线电极6的一部分具备：使第2IDT电极3B的汇流条露出的绝缘膜10的开口部的内部所设置的第3布线电极6的第1部分6a；和被设置为沿着绝缘膜10的上方的表面从该第1部分6a朝向第1布线电极4侧延伸的第3布线电极6的第2部分6b。在本实施方式中，开口部是图3的单点划线10B所包围的部分。在朝向压电基板2的主面侧进行俯视时，具有包含长方形的形状，该长方形在第2IDT电极3B的汇流条延伸的方向上有长边方向。
即，在朝向压电基板2的主面侧进行俯视时，第3布线电极6的第2部分6b隔着绝缘膜10而与第1布线电极4的一部分重合。因此，能够在不扩大第2布线电极5的宽度W2的情况下保持构成彼此相邻的第1、第2IDT电极3A、3B的汇流条的彼此相邻的第1、第2布线电极4、5间的距离，并且谋求小型化。
不过，在采用这种结构的情况下，担心基于电阻值的增大而损耗变大。然而，在梯型滤波器1中，在第2布线电极5上层叠并接合有第3布线电极6的一部分，使得与第2布线电极5电连接。由此，能成为低损耗。此外，由于能使电气上的电阻为低损耗，因此还能减小接合第3布线电极6的第2布线电极5的宽度W2。因此，能进一步谋求梯型滤波器1的小型化，并且成为低损耗。
此外，在本实施方式中，未直接层叠第3布线电极6的第1布线电极4与并联臂谐振器P2连接，不与串联臂谐振器S1～S4连接。由此能进一步成为低损耗。以下参照图5对其进行更详细说明。
图5是用于比较在梯型滤波器的串联臂附加了电阻成分(电感)1Ω的情况下的衰减量频率特性和在并联臂附加了电阻成分1Ω的情况下的衰减量频率特性的图。在图5中，实线表示在并联臂附加了电阻成分1Ω的情况下的衰减量频率特性，虚线表示在串联臂附加了电阻成分1Ω的情况下的衰减量频率特性。此外，在图5中，单点划线表示不论在串联臂还是在并联臂均未附加电阻成分的情况下的衰减量频率特性。并联臂附加了电阻成分1Ω的情况、与不管在串联臂还是在并联臂均未附加电阻成分的情况下的衰减量频率特性之差较小。由此，在图5中，在880MHz附近以外的频带实线和单点划线重叠显示。
图5所示可知，在串联臂附加了电阻成分的情况下，由于谐振频率附近的Q劣化，因此较之于在串联臂以及并联臂均未附加电阻成分的情况，在890～910MHz附近的大范围内损耗变大0.2dB程度。另一方面，在并联臂附加了电阻成分的情况下，仅在低频侧的880MHz附近损耗变大0.2dB程度。由此可知，在并联臂附加了电阻成分的情况较之于在串联臂附加了电阻成分的情况，能够减小损耗。
因此，优选的是，未直接层叠第3布线电极6且易于产生电阻值增大的第1布线电极4不与串联臂谐振器S1～S4连接，而与并联臂谐振器P1～P3连接。由此，能进一步抑制损耗的增加。
返回图3，在梯型滤波器1中，在朝向压电基板2的主面侧进行俯视时，第3布线电极6的一部分隔着绝缘膜10而与连接到并联臂谐振器P2的第1布线电极4的一部分重合，其中，该第3布线电极6的一部分构成了并联臂谐振器P3的连接到接地电位的电极连接盘9所连接的第2IDT电极的汇流条。因此，在梯型滤波器1中，准确地如图6中电路图所示那样并联臂谐振器P3并联地连接有静电电容。在形成有该静电电容的情况下，并联臂谐振器P3的反谐振频率向低频侧移动。由此，并联臂谐振器P3的阻抗特性中的谐振频率与反谐振频率之间的陡峭性变高。对于该陡峭性的指标，能够利用相对频带的值，其是谐振频率与反谐振频率的频率之差除以谐振频率的比率。若反谐振频率向低频侧移动而谐振器的陡峭性变高，则相对频带的值变小。在使用了并联臂谐振器P3并联地连接有静电电容的构成时，相对频带小的并联臂谐振器P3由于谐振频率与反谐振频率之间的阻抗的陡峭性变高，因此能提高梯型滤波器的通频带外的低频侧的陡峭性。
另外，在梯型滤波器1中，虽然在设置有并联臂谐振器P2以及并联臂谐振器P3的部位应用了本发明，但本发明能应用于多个并联臂谐振器之中的任意2个并联臂谐振器。不过，在如本实施方式那样用于相邻的2个并联臂谐振器的情况下，能容易地应用本发明，因而优选。
(双工器)
本发明所涉及的双工器具备发送滤波器和接收滤波器。上述发送滤波器具有上述的本发明所涉及的梯型滤波器。因此，本发明所涉及的双工器能谋求小型化且能成为低损耗。
特别是，在如梯型滤波器1那样为了提高耐电力性而设置有被串联分割的谐振器的情况下，尺寸变大。因此，本发明能适合用于具备如梯型滤波器1那样的发送滤波器的双工器。
符号说明
1 梯型滤波器
2 压电基板
3 IDT电极
3A、3B 第1、第2IDT电极
3a、3b 第1、第2汇流条
3c 第1IDT电极的电极指部分
3d 第2IDT电极的电极指部分
4～6 第1～第3布线电极
6a、6b 第1、第2部分
7 输入端子
8 输出端子
9 电极连接盘
10 绝缘膜
11、12 反射器
D1～D3 第1～第3布线电极的厚度
P1～P3 并联臂谐振器
S1～S4 串联臂谐振器
S2a、S2b、S3a、S3b、S4a、S4b 分割谐振器
W1、W2 第1、第2布线电极的宽度
Claims (9)
1.一种梯型滤波器，具有：多个串联臂谐振器，设置在连结输入端子和输出端子的串联臂；和多个并联臂谐振器，分别设置在连结所述串联臂和接地电位的多个并联臂，其中，
所述梯型滤波器具备：
压电基板；
绝缘膜，配置在所述压电基板上；
第1IDT电极以及第2IDT电极，设置在所述压电基板上，且具有一对汇流条和分别与该一对汇流条连接的多根电极指；
第1布线电极，设置在所述压电基板上，且至少一部分被设置为所述第1IDT电极的一侧的汇流条；
第2布线电极，设置在所述压电基板上，且至少一部分被设置为所述第2IDT电极的一侧的汇流条；和
第3布线电极，层叠在所述第2布线电极上，
所述第1IDT电极以及第2IDT电极被设置为所述多个串联臂谐振器或者所述多个并联臂谐振器，
所述第1布线电极和所述第2布线电极分别与不同的电位连接，
所述第1布线电极和所述第2布线电极被分隔开，
在层叠方向上，所述第3布线电极的至少一部分隔着所述绝缘膜而与所述第1布线电极的至少一部分重合，该第3布线电极的至少一部分构成了所述第2IDT电极的汇流条。
2.根据权利要求1所述的梯型滤波器，其中，
所述第2布线电极的作为沿着所述多根电极指延伸的方向的尺寸的宽度小于所述第1布线电极的作为沿着所述多根电极指延伸的方向的尺寸的宽度。
3.根据权利要求1或2所述的梯型滤波器，其中，
所述第1布线电极的厚度是与所述第2布线电极的厚度相同的厚度。
4.根据权利要求1或2所述的梯型滤波器，其中，
所述第3布线电极的厚度大于所述第1布线电极以及第2布线电极的厚度。
5.根据权利要求1或2所述的梯型滤波器，其中，
所述多个并联臂谐振器具有：
第1并联臂谐振器，设置在所述多个并联臂之中的一个并联臂，且由所述第1IDT电极形成；和
第2并联臂谐振器，设置在所述多个并联臂之中的与设置有所述第1并联臂谐振器的并联臂不同的并联臂，且由所述第2IDT电极形成。
6.根据权利要求5所述的梯型滤波器，其中，
在所述多根电极指延伸的方向上，所述第1并联臂谐振器的至少一部分与所述第2并联臂谐振器的至少一部分重叠。
7.根据权利要求5所述的梯型滤波器，其中，
所述第1布线电极的一端与所述第1并联臂谐振器连接，所述第1布线电极的另一端与接地电位连接，
所述第2布线电极的一端与所述第2并联臂谐振器连接，所述第2布线电极的另一端与所述多个串联臂谐振器之中的至少一个串联臂谐振器连接。
8.根据权利要求5所述的梯型滤波器，其中，
设置有所述第1并联臂谐振器的并联臂和设置有所述第2并联臂谐振器的并联臂相邻。
9.一种双工器，具备发送滤波器和接收滤波器，
所述发送滤波器具有权利要求1～8中任一项所述的梯型滤波器。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014-205547 | 2014-10-06 | ||
| JP2014205547 | 2014-10-06 | ||
| PCT/JP2015/076759 WO2016056384A1 (ja) | 2014-10-06 | 2015-09-18 | ラダー型フィルタ及びデュプレクサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107078720A CN107078720A (zh) | 2017-08-18 |
| CN107078720B true CN107078720B (zh) | 2021-12-24 |
Family
ID=55653002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201580052487.0A Active CN107078720B (zh) | 2014-10-06 | 2015-09-18 | 梯型滤波器以及双工器 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10177740B2 (zh) |
| JP (1) | JP6233527B2 (zh) |
| KR (1) | KR101931679B1 (zh) |
| CN (1) | CN107078720B (zh) |
| DE (1) | DE112015004570B4 (zh) |
| WO (1) | WO2016056384A1 (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6351539B2 (ja) * | 2015-04-27 | 2018-07-04 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
| JP2016136687A (ja) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | 株式会社村田製作所 | ラダー型フィルタ |
| KR102557957B1 (ko) * | 2021-01-20 | 2023-07-20 | (주)와이솔 | 필터 및 멀티플렉서 |
| KR102579183B1 (ko) * | 2021-02-08 | 2023-09-15 | (주)와이솔 | Saw 필터 및 멀티플렉서 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5110611B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2012-12-26 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波装置及び通信装置 |
| CN103765775A (zh) * | 2011-09-01 | 2014-04-30 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05167387A (ja) * | 1991-12-12 | 1993-07-02 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波デバイス |
| JP3390537B2 (ja) * | 1994-08-22 | 2003-03-24 | 富士通株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| JPH08307191A (ja) | 1995-05-01 | 1996-11-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波装置 |
| JP2000196412A (ja) | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
| JP4222197B2 (ja) * | 2003-02-24 | 2009-02-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ、通信機 |
| JP4738164B2 (ja) * | 2005-12-22 | 2011-08-03 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波装置及び通信装置 |
| JP4876658B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2012-02-15 | パナソニック株式会社 | 弾性表面波フィルタ及びそれを用いた通信機器 |
| JP2008172711A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 薄膜バルク弾性波共振器およびフィルタおよびそれを用いた高周波モジュール |
| JP5166053B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2013-03-21 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス及びその製造方法 |
| WO2010029657A1 (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| JP5420564B2 (ja) | 2008-11-18 | 2014-02-19 | 株式会社村田製作所 | チューナブルフィルタ |
| JP5100849B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2012-12-19 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、およびその製造方法 |
| JP5713027B2 (ja) * | 2011-01-18 | 2015-05-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ装置 |
| JP5877043B2 (ja) * | 2011-11-22 | 2016-03-02 | 太陽誘電株式会社 | デュプレクサ |
| DE102012111889B9 (de) * | 2012-12-06 | 2014-09-04 | Epcos Ag | Elektroakustischer Wandler |
| CN104995836B (zh) | 2013-02-27 | 2018-01-19 | 京瓷株式会社 | 弹性波元件、分波器以及通信模块 |
-
2015
- 2015-09-18 DE DE112015004570.8T patent/DE112015004570B4/de active Active
- 2015-09-18 WO PCT/JP2015/076759 patent/WO2016056384A1/ja active Application Filing
- 2015-09-18 CN CN201580052487.0A patent/CN107078720B/zh active Active
- 2015-09-18 KR KR1020177008236A patent/KR101931679B1/ko active IP Right Grant
- 2015-09-18 JP JP2016552882A patent/JP6233527B2/ja active Active
-
2017
- 2017-03-24 US US15/468,143 patent/US10177740B2/en active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5110611B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2012-12-26 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波装置及び通信装置 |
| CN103765775A (zh) * | 2011-09-01 | 2014-04-30 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE112015004570T5 (de) | 2017-06-22 |
| CN107078720A (zh) | 2017-08-18 |
| KR20170046737A (ko) | 2017-05-02 |
| JPWO2016056384A1 (ja) | 2017-04-27 |
| KR101931679B1 (ko) | 2018-12-21 |
| WO2016056384A1 (ja) | 2016-04-14 |
| DE112015004570B4 (de) | 2022-07-28 |
| JP6233527B2 (ja) | 2017-11-22 |
| US10177740B2 (en) | 2019-01-08 |
| US20170194938A1 (en) | 2017-07-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109792239B (zh) | 弹性波滤波器、弹性波器件、分波器以及通信装置 | |
| CN103959647B (zh) | 梯型弹性波滤波器和利用该梯型弹性波滤波器的天线共用器 | |
| US9712139B2 (en) | Elastic wave filter device | |
| JP5182459B2 (ja) | ラダー型弾性波フィルタ及びこれを用いたアンテナ共用器 | |
| JP6380558B2 (ja) | 弾性波装置 | |
| JP6573668B2 (ja) | 弾性波装置および通信装置 | |
| JP6337867B2 (ja) | 帯域通過型フィルタ及びデュプレクサ | |
| WO2015033892A1 (ja) | 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ | |
| US9847770B2 (en) | Elastic wave resonator, elastic wave filter apparatus, and duplexer | |
| JP5765501B1 (ja) | デュプレクサ | |
| JP7132944B2 (ja) | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 | |
| CN107078712B (zh) | 弹性波谐振器、弹性波滤波器、双工器以及弹性波装置 | |
| CN107078720B (zh) | 梯型滤波器以及双工器 | |
| US11309868B2 (en) | Multiplexer | |
| CN109217837B (zh) | 多工器 | |
| CN106788314B (zh) | 弹性波装置、双工器以及多工器 | |
| CN211830723U (zh) | 弹性波滤波器装置以及复合滤波器装置 | |
| KR102374795B1 (ko) | 탄성파 장치 및 탄성파 장치의 제조 방법 | |
| JP6798562B2 (ja) | ラダー型フィルタ、デュプレクサ及び弾性波フィルタ装置 | |
| WO2017154260A1 (ja) | 弾性波装置及びデュプレクサ | |
| JP7132841B2 (ja) | 弾性表面波素子、分波器および通信装置 | |
| CN110809858A (zh) | 多工器 | |
| CN110089031B (zh) | 弹性波装置、分波器以及通信装置 | |
| WO2012132093A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| JP2022183461A (ja) | ラダー型フィルタおよびマルチプレクサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |