JP4876658B2 - 弾性表面波フィルタ及びそれを用いた通信機器 - Google Patents

弾性表面波フィルタ及びそれを用いた通信機器 Download PDF

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Description

本発明は、弾性表面波フィルタ及びそれを用いた通信機器に関する。
近年、通信機器の発展に伴い、特に、携帯電話等に使用されるデバイスの高性能化、小型化が期待されている。携帯電話等では、フィルタとして、弾性表面波フィルタが広く用いられており、低ロス化、及び高減衰化に加え、小型化が期待されている。
以下、従来の弾性表面波フィルタについて説明する。図１４に、従来の弾性表面波フィルタの構成を示す。弾性表面波フィルタ１４００は、圧電基板１４０１上に、ＩＤＴ電極１４０２、１４０３、１４０４と反射器電極１４０５、１４０６とにより構成され、ＩＤＴ電極１４０２、１４０３、１４０４と反射器電極１４０５、１４０６は弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置される。ＩＤＴ電極１４０２、１４０３、１４０４の一方の電極指は、電極パッド１４０７、１４０８、１４０９に配線されてそれぞれ接地端子ＧＮＤ、入力端子ＩＮ、接地端子ＧＮＤに接続される。ＩＤＴ電極１４０２、１４０４の他方の電極指は、配線電極１４１０を介して電極パッド１４１１に接続されて出力端子ＯＵＴに接続される。ＩＤＴ電極１４０３の他方の電極指は、電極パッド１４１２に配線されて接地端子ＧＮＤに接続される。以上の構成とすることにより、弾性表面波フィルタ１４００は縦モード型の弾性表面波フィルタの構成となる。
また、弾性表面波フィルタの小型化のために、配線電極の一部を互いに、絶縁体を挟んで立体交差させる技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００４−２８２７０７号公報
しかしながら、従来では、電極パッドが配線電極に囲まれた構成となっており、弾性表面波フィルタのサイズが大きくなるという問題があった。また、配線電極を立体交差させた場合には、配線電極同士で容量結合が生じ、通過帯域特性が劣化するという問題があった。
本発明は、上記問題を解決するもので、小型で、減衰特性に優れる弾性表面波フィルタ及び通信機器を提供することを目的とする。
上記従来の問題を解決するために本発明は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成された複数のＩＤＴ電極と、前記複数のＩＤＴ電極にそれぞれ接続される第１、及び第２の配線電極とを備えた弾性表面波フィルタであって、前記第１の配線電極は入力側のＩＤＴ電極に接続され、前記第２の配線電極は出力側のＩＤＴ電極に接続され、前記第１、及び前記第２の配線電極とは絶縁層を介して立体交差する構成であると共に、前記第１の配線電極と前記第２の配線電極の少なくとも一方において、配線電極と圧電基板上に形成されたパッド電極若しくは前記ＩＤＴ電極との接触部の電極幅が前記接触部以外の電極幅よりも大きいことを特徴とする。
上記構成によって、小型で、優れた減衰特性を有するとともに、低ロスな弾性表面波フィルタを実現することができる。
上記弾性表面波フィルタにおいては、前記複数のＩＤＴ電極は弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置されることが好ましい。
上記構成によって、小型で、優れた減衰特性を有する縦モード型の弾性表面波フィルタを実現することができるものである。
また、上記弾性表面波フィルタにおいては、前記絶縁層が誘電体材料により構成されていることが好ましい。
上記構成によって、小型で、優れた減衰特性を有する弾性表面波フィルタを実現することができるものである。
また、従来の問題を解決するために本発明は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成された第１、第２、第３のＩＤＴ電極と、反射器電極とを備えた弾性表面波フィルタであって、前記の第１、第２、第３のＩＤＴ電極と反射器電極とは弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置される構成であって、前記の第１、第２、第３のＩＤＴ電極における一方の電極指は共通化されて接地され、前記の第１、第３のＩＤＴ電極における他方の電極指は第１の配線電極を介して入力端子あるいは出力端子の一方に接続され、前記の第２のＩＤＴ電極における他方の電極指は第２の配線電極を介して入力端子あるいは出力端子の他方に接続され、前記第１、及び前記第２の配線電極とは絶縁層を介して立体交差する構成であると共に、前記第１の配線電極と前記第２の配線電極の少なくとも一方において、配線電極と圧電基板上に形成されたパッド電極若しくは前記ＩＤＴ電極との接触部の電極幅が前記接触部以外の電極幅よりも大きいことを特徴とする。
上記構成によって、小型で、優れた減衰特性を有するとともに、低ロスな弾性表面波フィルタを実現することができる。
また、従来の問題を解決するために本発明は、複数のＩＤＴ電極を弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置される第１の弾性表面波フィルタと、複数のＩＤＴ電極を弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置される第２の弾性表面波フィルタとを備え、前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは第１の配線電極により縦続接続され、前記第２の弾性表面波フィルタにおけるＩＤＴ電極は第２の配線電極により入力端子あるいは出力端子に接続される構成であって、前記第１、及び前記第２の配線電極とは絶縁層を介して立体交差する構成であると共に、前記第１の配線電極と前記第２の配線電極の少なくとも一方において、配線電極と圧電基板上に形成されたパッド電極若しくは前記ＩＤＴ電極との接触部の電極幅が前記接触部以外の電極幅よりも大きいことを特徴とする。
上記構成によって、小型で、優れた減衰特性を有するとともに、低ロスな２段の縦続接続された弾性表面波フィルタを実現することができるものである。
また、上記弾性表面波フィルタにおいては、前記第１の配線電極は１対の配線電極から構成され、前記１対の配線電極のそれぞれに流れる信号の電気的な位相が逆相であることが好ましい。
上記構成によって、小型で、優れた減衰特性を有する弾性表面波フィルタを実現することができるものである。
また、上記弾性表面波フィルタにおいては、前記第２の弾性表面波フィルタにおけるＩＤＴ電極の少なくとも一つが、平衡型の入力端子あるいは出力端子に接続されることが好ましい。
上記構成によって、小型で、優れた減衰特性を有する平衡型の弾性表面波フィルタを実現することができるものである。
また、本発明の通信機器は、送信フィルタと受信フィルタとを備え、前記送信フィルタまたは受信フィルタの少なくとも一方が、請求項１、４、５のいずれかに記載の弾性表面波フィルタにより構成したものである。
上記構成によって、小型で、高性能な通信機器を実現することができるものである。
本発明によれば、小型で、減衰特性に優れる弾性表面波フィルタ及び通信機器を実現することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの構成図である。図１において、弾性表面波フィルタ１００は、ＩＤＴ電極１０２、１０３、１０４と反射器電極１０５、１０６とにより構成され、ＩＤＴ電極１０２、１０３、１０４と反射器電極１０５、１０６は弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置される。ＩＤＴ電極１０２、１０３、１０４の一方の電極指は、電極パッド１０７に配線され、共通化されて接地端子ＧＮＤに接続される。ＩＤＴ電極１０２、１０４の他方の電極指は、配線電極１０８により電極パッド１０９に配線されて出力端子ＯＵＴに接続される。ＩＤＴ電極１０３の他方の電極指は、配線電極１１０により電極パッド１１１に配線されて入力端子ＩＮに接続される。以上の構成とすることにより、弾性表面波フィルタ１００は縦モード型の弾性表面波フィルタの構成となる。ここで、配線電極１０８と配線電極１１０とは、図２にＡ−Ａ’の断面図を示すように、絶縁層１１２を介して立体交差する構成となる。図３に、本実施の形態における弾性表面波フィルタの等価回路図を示す。図３に示すように、入力端子と出力端子との間には立体交差部により形成される容量Ｃが付加された構成となる。図４に、図３で示した回路構成において容量Ｃを０．４ｐＦとしたときの弾性表面波フィルタの通過特性を示す。図４において、４０１は本発明における弾性表面波フィルタの通過特性であり、４０２は比較のための容量がない従来の構成の弾性表面波フィルタの通過特性である。本実施の形態に示す構成を適用することにより、通過帯域の高周波数側の減衰特性を改善することができる。
以上説明したように、本実施の形態の構成とすることにより、立体交差部における配線電極の容量を利用して、小型で減衰特性に優れる弾性表面波フィルタを実現することができる。また、本発明の弾性表面波フィルタにおいては、従来の構成のように、電極パッド１４１１が出力端子ＯＵＴの配線に囲まれるような構成にする必要がなく、配線電極を簡易化できるため小型化が実現できる。また、ＩＤＴ電極１０２、１０３、１０４を同一の側で共通の電極パッド１０７にて接地することができるため、接地までの寄生成分を小さくし、接地強度を強くすることができ、減衰特性の改善が実現できるものである。
なお、本実施の形態において、立体交差部はこれに限るものではなく、図５に示すように、配線電極５０１の幅を、立体交差部において他の部分と異ならせて調整することにより、容量の大きさを調整でき、減衰極周波数が調整できる弾性表面波フィルタ５００を実現することができる。図６に示すのは、立体交差部の面積と容量との関係を示す図である。図６において、絶縁層としては、厚みが約１０００ÅのＳｉＯ2薄膜を用いている。図６より、立体交差部の面積を変化させることにより容量を制御することが可能となる。図７に示すのは、図３における容量Ｃの値を０．２ｐＦ、０．３ｐＦ、０．５ｐＦと変えたときの通過特性７０１、７０２、７０３である。容量を大きくするにつれて、減衰極は通過帯域近傍に近づけることができる。このように、立体交差部の面積を変化させることにより、容量の大きさを制御し、減衰極周波数を調整することができる。なお、この容量の制御に関しては、絶縁層の厚みを変えることによっても可能である。
また、図８に示すように、配線電極８０１の幅を、他の電極部との接続部８０２、８０３において他の部分よりも広くすることにより、接触抵抗を低減することにより、低ロスな弾性表面波フィルタ８００を実現することができる。
また、配線電極１０８、１１０は上下逆に構成されていてもかまわない。
また、弾性表面波フィルタの構成に関してはこれに限るものではなく、弾性表面波共振器とを組み合わせた構成であってもかまわない。
また、絶縁層に関しては、ＳｉＯ2やＳｉＮ、樹脂系の材料など、絶縁性が確保でき、誘電体として機能する材料であればかまわない。特に、絶縁層としてＳｉＯ2など弾性表面波フィルタの温度補償に使用される材料を用いる場合には、絶縁層がＩＤＴ電極を覆うように構成すれば、温度特性に優れた弾性表面波フィルタを実現することができる。
また、弾性表面波フィルタの作製に関しては、パッケージへの実装のためパッド電極の厚みを厚くするプロセスを用いる場合があり、この場合には、配線電極の形成を、パッド電極を厚くする工程等と同時に行うことにより、プロセスの工程の数を増やすことなく本発明の弾性表面波フィルタが実現できるものである。
（実施の形態２）
以下、本発明の弾性表面波フィルタの構成について、図面を用いて説明する。
図９は、本発明の実施の形態２における弾性表面波フィルタの構成図である。図９において、弾性表面波フィルタ９００は、圧電基板９０１上に形成されるＩＤＴ電極９０２、９０３、９０４と反射器電極９０５、９０６とにより構成される第１の縦モード型の弾性表面波フィルタ９０７と、ＩＤＴ電極９０８、９０９、９１０と反射器電極９１１、９１２とにより構成される第２の縦モード型の弾性表面波フィルタ９１３とにより構成される。このとき、ＩＤＴ電極９０２、９０３、９０４と反射器電極９０５、９０６は弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置され、ＩＤＴ電極９０８、９０９、９１０と反射器電極９１１、９１２は弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置される。さらに、ＩＤＴ電極９０２、９０４の一方の電極指は、電極パッドに配線されてそれぞれ接地端子ＧＮＤに接続され、ＩＤＴ電極９０３の一方の電極指は、電極パッドに配線されて入力端子ＩＮに接続される。ＩＤＴ電極９０２、９０４の他方の電極指は、配線電極９１４、９１５を介して、ＩＤＴ電極９０８、９１０の一方の電極指に接続され、ＩＤＴ電極９０３の他方の電極指は、電極パッドに配線されて接地端子ＧＮＤに接続される。ＩＤＴ電極９０９は、２つに分割されて、それぞれ分割された電極指の一方は、配線電極９１６、９１７を介して電極パッドに配線されてそれぞれ出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２に接続される。このとき、配線電極９１４、９１５と配線電極９１６、９１７とは、絶縁層９１８、９１９を介して立体配線される構成となる。また、ＩＤＴ電極９０８、９０９、９１０の他方の電極指は、共通化されて接地端子ＧＮＤに接続される。以上の構成とすることによる、平衡型端子を有する２段に縦続接続された弾性表面波フィルタ９００を構成することができる。
図１０に、本実施の形態における弾性表面波フィルタの等価回路図を示す。弾性表面波フィルタ９００は、配線電極９１４、９１５と出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２との間に立体交差部により形成される容量Ｃが付加された構成となる。また、配線電極９１４、９１５が第２の弾性表面波フィルタ９１３における入力側に相当することになる。図１１に、図１０で示した回路構成において容量Ｃを０．２ｐＦとしたときの弾性表面波フィルタの通過特性を示す。図１１において、１１０１は本発明における弾性表面波フィルタの通過特性であり、１１０２は比較のための容量がない従来の構成の弾性表面波フィルタの通過特性である。本実施の形態に示す構成を適用することにより、通過帯域の高周波数側の減衰特性を改善することができる。
以上説明したように、本実施の形態の構成とすることにより、立体交差部における配線電極の容量を利用して、小型で減衰特性に優れる弾性表面波フィルタを実現することができる。また、ＩＤＴ電極９０８、９０９、９１０を同一の側で共通の電極パッドにて接地することができるため、接地までの寄生成分を小さくし、接地強度を強くすることができ、減衰特性の改善が実現できるものである。
なお、本実施の形態において、立体交差部はこれに限るものではなく、実施の形態１で示したように、配線電極９１６、９１７の幅を、立体交差部において他の部分と異ならせて調整することにより、容量の大きさを制御でき、減衰極周波数が調整できる弾性表面波フィルタ９００を実現することができる。
また、実施の形態１で示したように、配線電極９１６、９１７の幅を、他の電極部との接触部において他の部分よりも広くすることにより、接触抵抗を低減することにより、低ロスな弾性表面波フィルタを実現することができる。
また、配線電極９１４、９１５と配線電極９１６、９１７は上下逆に構成されていてもかまわない。
また、図１２に示すようにＩＤＴ電極９０３の他方の電極指が配線電極１２０１を介して接地端子ＧＮＤに接続される構成とすることも可能である。このとき、配線電極１２０１は絶縁層１２０２、１２０３を介して配線電極９１４、９１５と立体交差する構成となる。この場合には、弾性表面波フィルタ１２００において、第１と第２の弾性表面波フィルタ９０７、９１３の間に電極パッドを設ける必要がなく、さらに小型化が実現できるものである。また、配線電極１２０１は、立体交差部において、電極幅が他よりも小さい構成とすることにより、配線電極９１４、９１５の接地面への寄生容量を小さくすることができ、通過帯域特性を改善することができる。
また、弾性表面波フィルタの構成に関してはこれに限るものではなく、弾性表面波共振器とを組み合わせた構成であってもかまわない。
また、絶縁層に関しては、ＳｉＯ2やＳｉＮ、樹脂系の材料など、絶縁性が確保でき、誘電体として機能する材料であればかまわない。特に、絶縁層としてＳｉＯ2など弾性表面波フィルタの温度補償に使用される材料を用いる場合には、絶縁層がＩＤＴ電極を覆うように構成すれば、小型で、帯域内特性、及び温度特性に優れた弾性表面波フィルタを実現することができる。
また、弾性表面波フィルタの作製に関しては、パッケージへの実装のためパッド電極の厚みを厚くするプロセスを用いる場合があり、この場合には、配線電極の形成を、パッド電極を厚くする工程等と同時に行うことにより、プロセスの工程の数を増やすことなく本発明の弾性表面波フィルタが実現できるものである。
（実施の形態３）
以下、本発明のアンテナ共用器、高周波モジュール、通信機器の構成について、図面を用いて説明する。
図１３は、本発明の実施の形態３における通信機器の構成図である。図１３において、通信機器１３００は、第１、第２の無線回路１３０１、１３０２と切換スイッチ１３０３により構成される。第１の無線回路１３０１は、送信フィルタ１３０４と受信フィルタ１３０５とにより構成されるアンテナ共用器１３０６と、送信回路１と、送信回路１より出力された送信信号を増幅する送信増幅器１３０７と、受信信号を増幅する受信増幅器１３０８と、受信信号が入力される受信回路１とにより構成される。第２の無線回路１３０２は、送信フィルタ１３０９と受信フィルタ１３１０とにより構成されるアンテナ共用器１３１１と、送信回路２と、送信回路２より出力された送信信号を増幅する送信増幅器１３１２と、受信信号を増幅する受信増幅器１３１３と、受信信号が入力される受信回路２とにより構成される。切換スイッチの一方の端子はアンテナ端子ＡＮＴに接続され、他方の２つの端子は、それぞれ第１、第２の無線回路１３０１、１３０２を構成するアンテナ共用器１３０６、１３１１に接続される。以上の構成とすることにより、通信機器１３００は、第１と第２の無線回路１３０１、１３０２を有する複合機の構成となる。ここで、アンテナ共用器１３０６において、送信フィルタ１３０４または受信フィルタ１３０５のいずれかに、実施の形態１または２で示した弾性表面波フィルタを適用することにより、小型で通過帯域特性に優れたアンテナ共用器１３０６を実現することができる。また、アンテナ共用器１３１１において、送信フィルタ１３０９または受信フィルタ１３１０のいずれかに、実施の形態１または２で示した弾性表面波フィルタを適用することにより、小型で通過帯域特性に優れたアンテナ共用器１３１１を実現することができる。さらに、このようなアンテナ共用器１３０６または１３１１を用いて通信機器１３００を構成することにより、小型で高性能な通信機器を実現することができる。
なお、本実施の形態において、通信機器における無線回路の数や回路構成などはこれに限るものではない。
さらに、本実施の形態におけるアンテナ共用器を用いれば、アンテナ共用器１３０６と送信増幅器１３０７とから構成される高周波モジュール１３１４として実現することも可能でありアンテナ共用器１３０６、１３１１と切換スイッチ１３０３とから構成される高周波モジュール１３１５を実現することが可能であり、小型で高性能な高周波モジュールを実現することができる。
なお、高周波モジュールにおいて、アンテナ共用器と組み合わせるデバイスに関しては、これに限るものではなく、受信増幅器と組み合わせることも可能である。
また、本実施の形態においては、高周波モジュール、通信機器に関して、アンテナ共用器を用いた構成となっているが、これは、実施の形態１または２の弾性表面波フィルタを用いた構成の通信機器であってもかまわない。
本発明にかかる弾性表面波フィルタは、小型で通過帯域特性に優れ、各種電子機器に応用できる。
本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの構成図 図１におけるＡ−Ａ’の断面図 本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの等価回路図 本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの通過特性を示す図 本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの他の構成図 本発明の実施の形態１における立体交差部の容量特性を示す図 本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの通過特性を示す図 本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの他の構成図 本発明の実施の形態２における弾性表面波フィルタの構成図 本発明の実施の形態２における弾性表面波フィルタの等価回路図 本発明の実施の形態２における弾性表面波フィルタの通過特性を示す図 本発明の実施の形態２における弾性表面波フィルタの他の構成図 本発明の実施の形態３における通信機器の構成図 従来の弾性表面波フィルタの構成図
符号の説明
１００ 弾性表面波フィルタ
１０１ 圧電基板
１０２、１０３、１０４ ＩＤＴ電極
１０５、１０６ 反射器電極
１０７、１０９、１１１ 電極パッド
１０８、１１０ 配線電極
１１２ 絶縁層
４０１ 本実施の形態における弾性表面波フィルタの通過特性
４０２ 従来の弾性表面波フィルタの通過特性
５００ 弾性表面波フィルタ
５０１ 配線電極
７０１、７０２、７０３ 本実施の形態における弾性表面波フィルタの通過特性
８０１ 配線電極
８０２、８０３ 他の電極部との接続部
９００ 弾性表面波フィルタ
９０１ 圧電基板
９０２、９０３、９０４ ＩＤＴ電極
９０５、９０６ 反射器電極
９０７ 第１の縦モード型フィルタ
９０８、９０９、９１０ ＩＤＴ電極
９１１、９１２ 反射器電極
９１３ 第２の縦モード型フィルタ
９１４、９１５、９１６、９１７ 配線電極
９１８、９１９ 絶縁層
１１０１ 本実施の形態における弾性表面波フィルタの通過特性
１１０２ 従来の弾性表面波フィルタの通過特性
１２０１ 配線電極
１２０２、１２０３ 絶縁層
１３００ 通信機器
１３０１ 第１の無線回路
１３０２ 第２の無線回路
１３０３ 切換スイッチ
１３０４ 送信フィルタ
１３０５ 受信フィルタ
１３０６ アンテナ共用器
１３０７ 送信増幅器
１３０８ 受信増幅器
１３０９ 送信フィルタ
１３１０ 受信フィルタ
１３１１ アンテナ共用器
１３１２ 送信増幅器
１３１３ 受信増幅器
１３１４、１３１５ 高周波モジュール
１４００ 弾性表面波フィルタ
１４０１ 圧電基板
１４０２、１４０３、１４０４ ＩＤＴ電極
１４０５、１４０６ 反射器電極
１４０７、１４０８、１４０９、１４１１、１４１２ 電極パッド
１４１０ 配線電極

Claims (9)

  1. 圧電基板と、
    前記圧電基板上に形成された複数のＩＤＴ電極と、
    前記複数のＩＤＴ電極にそれぞれ接続される第１、及び第２の配線電極とを備えた弾性表面波フィルタであって、
    前記第１の配線電極は入力側のＩＤＴ電極に接続され、前記第２の配線電極は出力側のＩＤＴ電極に接続され、
    前記第１、及び前記第２の配線電極とは絶縁層を介して立体交差する構成であると共に、
    前記第１の配線電極と前記第２の配線電極の少なくとも一方において、配線電極と圧電基板上に形成されたパッド電極若しくは前記ＩＤＴ電極との接触部の電極幅が前記接触部以外の電極幅よりも大きいことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  2. 前記複数のＩＤＴ電極は弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置されることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
  3. 前記絶縁層が誘電体材料により構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性表面波フィルタ。
  4. 圧電基板と、
    前記圧電基板上に形成された第１、第２、第３のＩＤＴ電極と、
    反射器電極とを備えた弾性表面波フィルタであって、
    前記の第１、第２、第３のＩＤＴ電極と反射器電極とは弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置される構成であって、
    前記の第１、第２、第３のＩＤＴ電極における一方の電極指は共通化されて接地され、
    前記の第１、第３のＩＤＴ電極における他方の電極指は第１の配線電極を介して入力端子あるいは出力端子の一方に接続され、
    前記の第２のＩＤＴ電極における他方の電極指は第２の配線電極を介して入力端子あるいは出力端子の他方に接続され、
    前記第１、及び前記第２の配線電極とは絶縁層を介して立体交差する構成であると共に、
    前記第１の配線電極と前記第２の配線電極の少なくとも一方において、配線電極と圧電基板上に形成されたパッド電極若しくは前記ＩＤＴ電極との接触部の電極幅が前記接触部以外の電極幅よりも大きいことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  5. 複数のＩＤＴ電極を弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置される第１の弾性表面波フィルタと、
    複数のＩＤＴ電極を弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配置される第２の弾性表面波フィルタとを備え、
    前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは第１の配線電極により縦続接続され、
    前記第２の弾性表面波フィルタにおけるＩＤＴ電極は第２の配線電極により入力端子あるいは出力端子に接続される構成であって、
    前記第１、及び前記第２の配線電極とは絶縁層を介して立体交差する構成であると共に、
    前記第１の配線電極と前記第２の配線電極の少なくとも一方において、配線電極と圧電基板上に形成されたパッド電極若しくは前記ＩＤＴ電極との接触部の電極幅が前記接触部以外の電極幅よりも大きいことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  6. 前記第１の配線電極は１対の配線電極から構成され、
    前記１対の配線電極のそれぞれに流れる信号の電気的な位相が逆相であることを特徴とする請求項５に記載の弾性表面波フィルタ。
  7. 前記第２の弾性表面波フィルタにおけるＩＤＴ電極の少なくとも一つが、平衡型の入力端子あるいは出力端子に接続されることを特徴とする請求項６に記載の弾性表面波フィルタ。
  8. 前記第１の配線電極は前記圧電基板上に形成された接地端子に接続された請求項１、４、５のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
  9. 送信フィルタと受信フィルタとを備え、前記送信フィルタまたは受信フィルタの少なくとも一方が、請求項１、４、５のいずれかに記載の弾性表面波フィルタにより構成されていることを特徴とする通信機器。
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