JP6351539B2 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Description
12 金属膜
14 保護膜
16 シード層
22 めっき層
30、32 配線
40 弾性波共振器
42 多重モード弾性波フィルタ
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1弾性波共振器および第2弾性波共振器と、
前記第1弾性波共振器と電気的に接続し、前記基板上であって前記第1弾性波共振器と前記第2弾性波共振器との間に設けられた第1配線と、
前記第2弾性波共振器と電気的に接続し、前記基板上であって前記第1弾性波共振器と前記第2弾性波共振器との間に設けられ、前記第1配線と異なる電位であり、前記第1配線より厚い第2配線と、
を具備し、
平面視において、前記第1配線と前記第2配線とは重ならないことを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記第2配線は、バンプが設けられたパッドに直接接続し、前記第1配線は、バンプが設けられたパッドに直接接続されていないことを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記第2配線は前記第1配線より信号が入力する入力パッドに近いことを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 前記第1配線および前記第2配線の延伸方向は平行であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1弾性波共振器および前記第2弾性波共振器はそれぞれ第1バスバーおよび第2バスバーを含み、
前記第1配線は前記第1バスバーに電気的に接続され、前記第2配線は前記第2バスバーに電気的に接続され、
前記第1配線および前記第2配線の延伸方向は、前記第1バスバーおよび前記第2バスバーの延伸方向と平行であることを特徴とする請求項4記載の弾性波デバイス。 - 入力端子と出力端子との間に直列に接続された1または複数の直列共振器と、
前記入力端子と前記出力端子との間に並列に接続された複数の並列共振器と、
を具備し、
前記複数の並列共振器は前記第1弾性波共振器および前記第2弾性波共振器を含むことを特徴とする請求項5記載の弾性波デバイス。 - 前記基板上に形成された多重モード弾性波フィルタを具備し、
前記第1配線は、前記多重モード弾性波フィルタの信号端子に電気的に接続され、
前記第2配線は、前記多重モード弾性波フィルタのグランド端子に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。 - 前記第1配線と前記第2配線との間には他の配線および他の弾性波共振器は設けられていないことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1配線と前記第2配線とは空隙を挟み設けられていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
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