JP6494470B2 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Description
12、22 弾性波共振器
14、16、24、26 配線
20 支柱
Claims (9)
- 単一の基板と、
前記単一の基板上に形成された弾性波共振器と、
前記単一の基板上に形成され前記弾性波共振器に電気的に接続された第1配線と、
めっき層を含み、前記第1配線と電気的に接続され、少なくとも一部が前記弾性波共振器の直上に空隙を介しかつ前記空隙と接して形成された第2配線と、
を具備し、
前記単一の基板以外の基板は前記第2配線を支持せず、前記第2配線は平面視において前記弾性波共振器の少なくとも一部と重ならず、
前記第2配線は、コイル状またはミアンダ状であることを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記単一の基板上に形成され、前記第2配線の両端で前記第2配線を支持する第1支柱と、前記第2配線の両端以外で前記第2配線を支持する第2支柱と、を具備することを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 単一の基板と、
前記単一の基板上に形成された弾性波共振器と、
前記単一の基板上に形成され前記弾性波共振器に電気的に接続された第1配線と、
めっき層を含み、前記第1配線と電気的に接続され、少なくとも一部が前記弾性波共振器の直上に空隙を介しかつ前記空隙と接して形成された第2配線と、
を具備し、
前記単一の基板以外の基板は前記第2配線を支持せず、前記第2配線は平面視において前記弾性波共振器の少なくとも一部と重ならず、
前記弾性波共振器は、前記単一の基板上の一方向に配列した複数の弾性波共振器であり、
前記第1配線は、前記複数の弾性波共振器の間に形成され、前記複数の弾性波共振器のうち隣接する弾性波共振器を電気的に接続し、
前記第2配線は、前記複数の弾性波共振器のうち少なくとも1つの弾性波共振器の直上に空隙を介しかつ前記空隙と接して形成されていることを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記第2配線の一端は、前記一方向に交差する方向の前記第1配線の中間に接続されていることを特徴とする請求項3記載の弾性波デバイス。
- 前記第2配線の他端は前記複数の弾性波共振器の前記一方向に交差する方向の外側に形成された弾性波共振器に接続されていることを特徴とする請求項3または4記載の弾性波デバイス。
- 入力電極と出力電極との間に並列に接続され、前記単一の基板上の前記複数の弾性波共振器の前記一方向に交差する方向に形成された1または複数の並列弾性波共振器を具備し、
前記複数の弾性波共振器は、前記入力電極と前記出力電極との間に直列に接続された複数の直列弾性波共振器であり、
前記第2配線は、前記第1配線と前記1または複数の並列弾性波共振器の少なくとも1つとを接続することを特徴とする請求項3から5のいずれか一項記載の弾性波デバイス。 - 単一の基板と、
前記単一の基板上の一方向に配列して形成された複数の弾性波共振器と、
前記単一の基板上の前記複数の弾性波共振器の間に形成され、前記複数の弾性波共振器のうち隣接する弾性波共振器を接続する第1配線と、
めっき層を含み、前記複数の弾性波共振器の前記一方向に交差する方向の両外側間を接続するように、前記複数の弾性波共振器の少なくとも1つと前記第1配線との少なくとも一方の直上に空隙を介しかつ前記空隙と接して形成された第2配線と、
を具備し、
前記単一の基板以外の基板は前記第2配線を支持せず、前記第2配線は平面視において前記複数の弾性波共振器の少なくとも一部と重ならないことを特徴とする弾性波デバイス。 - 単一の基板と、
入力電極と出力電極との間に直列に接続され、前記単一の基板上の一方向に配列して形成された複数の直列弾性波共振器と、
前記入力電極と前記出力電極との間に並列に接続され、前記単一の基板上の前記一方向に交差する方向に形成された1または複数の並列弾性波共振器と、
前記単一の基板上の前記複数の直列弾性波共振器の間に形成され、前記複数の直列弾性波共振器のうち隣接する直列弾性波共振器を接続する第1配線と、
めっき層を含み、少なくとも一部が前記複数の直列弾性波共振器の少なくとも1つの直上に空隙を介しかつ前記空隙と接して形成され、前記1または複数の並列弾性波共振器の少なくとも1つとグランド電極とを接続する第2配線と、
を具備し、
前記単一の基板以外の基板は前記第2配線を支持せず、前記第2配線は平面視において前記複数の直列弾性波共振器の少なくとも一部と重ならない弾性波デバイス。 - 単一の基板と、
前記単一の基板上に形成された弾性波共振器と、
前記単一の基板上に形成され前記弾性波共振器に電気的に接続された第1配線と、
めっき層を含み、前記第1配線と電気的に接続され、少なくとも一部が前記弾性波共振器の直上に空隙を介しかつ前記空隙と接して形成された第2配線と、
を具備し、
前記単一の基板以外の基板は前記第2配線を支持せず、前記第2配線は平面視において前記弾性波共振器の少なくとも一部と重ならず、
前記第2配線の底面の少なくとも一部は平面であり、
前記第2配線は、前記第2配線の両端に設けられた第1支柱のみで前記単一の基板に支持される、または前記第1支柱と前記第2配線の中間に設けられた第2支柱とのみで前記単一の基板に支持される弾性波デバイス。
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