JPH08307191A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH08307191A JPH08307191A JP10727495A JP10727495A JPH08307191A JP H08307191 A JPH08307191 A JP H08307191A JP 10727495 A JP10727495 A JP 10727495A JP 10727495 A JP10727495 A JP 10727495A JP H08307191 A JPH08307191 A JP H08307191A
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- Japan
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- comb
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave device
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 中心周波数が高くかつ通過帯域幅が広い弾性
表面波装置を形成することを可能にする。 【構成】 互いに隣接したすだれ状電極１６，２０の内
側に位置するくし歯状電極１５，１９のバスバー２２を
誘電体薄膜層２３を挟んで互いに重なり合うように構成
した。現在のフォトリソグラフィ技術で、隣接するすだ
れ状電極の外側のくし歯状電極１４，１８の間の隙間Ｇ
を従来よりも狭くすることができるようになる。これに
より、中心周波数が高くかつ通過帯域幅が広い弾性表面
波装置を形成することができるようになる。
表面波装置を形成することを可能にする。 【構成】 互いに隣接したすだれ状電極１６，２０の内
側に位置するくし歯状電極１５，１９のバスバー２２を
誘電体薄膜層２３を挟んで互いに重なり合うように構成
した。現在のフォトリソグラフィ技術で、隣接するすだ
れ状電極の外側のくし歯状電極１４，１８の間の隙間Ｇ
を従来よりも狭くすることができるようになる。これに
より、中心周波数が高くかつ通過帯域幅が広い弾性表面
波装置を形成することができるようになる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のＳＡＷ共振器を
圧電基板上に並設した弾性表面波装置に関するものであ
る。
圧電基板上に並設した弾性表面波装置に関するものであ
る。
【０００２】
参考文献１『田中昌喜ほか、「狭帯域二重モードＳＡＷ
フィルタ」、第１５回ＥＭシンポジウム、pp.5-10 、１
９８６年』 参考文献２『山田徹ほか、「横モード結合共振器を用い
たデジタル携帯電話用平衡型ＩＦＳＡＷフィルタ」、１
９９４年電子情報通信学会秋季大会予稿集SA-11-3,pp.2
99-300,1994』 図２は弾性表面波装置の一例としての横結合型２重モー
ド弾性表面波装置（以下「横結合型２重モードＳＡＷ装
置」という）の概略図であり、図２（ａ）はその平面
図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
なお、ＳＡＷはSurface Acoustic Waveの略である。
フィルタ」、第１５回ＥＭシンポジウム、pp.5-10 、１
９８６年』 参考文献２『山田徹ほか、「横モード結合共振器を用い
たデジタル携帯電話用平衡型ＩＦＳＡＷフィルタ」、１
９９４年電子情報通信学会秋季大会予稿集SA-11-3,pp.2
99-300,1994』 図２は弾性表面波装置の一例としての横結合型２重モー
ド弾性表面波装置（以下「横結合型２重モードＳＡＷ装
置」という）の概略図であり、図２（ａ）はその平面
図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
なお、ＳＡＷはSurface Acoustic Waveの略である。
【０００３】横結合型２重モードＳＡＷ装置（フィルタ
や発振器）は、図示するように、圧電基板１上に２つの
ＳＡＷ共振器２，２を、それらの内部でのＳＡＷの伝搬
方向が一致するように並べて構成されている。ＳＡＷ共
振器２は、２つのくし歯状電極３を所定間隔を隔てて互
いに噛合するように設けた電気信号-ＳＡＷ変換器（以
下「すだれ状電極」という）４の両側に、グレーティン
グ反射器５，５を配設したFabry-Perot型のＳＡＷ共振
器として構成されている。くし歯状電極３は、複数本並
列に設けた電極指３Ａと、各電極指３Ａの基端部を電気
的に接続するバスバー３Ｂとから構成されている。
や発振器）は、図示するように、圧電基板１上に２つの
ＳＡＷ共振器２，２を、それらの内部でのＳＡＷの伝搬
方向が一致するように並べて構成されている。ＳＡＷ共
振器２は、２つのくし歯状電極３を所定間隔を隔てて互
いに噛合するように設けた電気信号-ＳＡＷ変換器（以
下「すだれ状電極」という）４の両側に、グレーティン
グ反射器５，５を配設したFabry-Perot型のＳＡＷ共振
器として構成されている。くし歯状電極３は、複数本並
列に設けた電極指３Ａと、各電極指３Ａの基端部を電気
的に接続するバスバー３Ｂとから構成されている。
【０００４】ＳＡＷ共振器２を前述のように並べると、
それらの内部に生じるＳＡＷが互いに結合して、図３
（ｂ）に示すように、横方向（反射器５の開口方向）の
ＳＡＷ変位分布が異なる対称モードと反対称モードとが
生じる（参考文献１，６頁，図２(b)参照）。対称モー
ドは、２つのＳＡＷ共振器２の間の中心線を通り圧電基
板１の表面に垂直な平面に対して対称なＳＡＷ変位分布
を持つ。反対称モードは、２つのＳＡＷ共振器２の間の
中心線を回転軸として１８０゜回転したＳＡＷ変位分布
を持つ。このため、反対称モードの反共振周波数と対称
モードの共振周波数とが互いに一致するように、２つの
ＳＡＷ共振器２間の距離、各ＳＡＷ共振器２の開口長等
を適宜設定すれば、横結合型２重モードＳＡＷ装置を構
成することができる。
それらの内部に生じるＳＡＷが互いに結合して、図３
（ｂ）に示すように、横方向（反射器５の開口方向）の
ＳＡＷ変位分布が異なる対称モードと反対称モードとが
生じる（参考文献１，６頁，図２(b)参照）。対称モー
ドは、２つのＳＡＷ共振器２の間の中心線を通り圧電基
板１の表面に垂直な平面に対して対称なＳＡＷ変位分布
を持つ。反対称モードは、２つのＳＡＷ共振器２の間の
中心線を回転軸として１８０゜回転したＳＡＷ変位分布
を持つ。このため、反対称モードの反共振周波数と対称
モードの共振周波数とが互いに一致するように、２つの
ＳＡＷ共振器２間の距離、各ＳＡＷ共振器２の開口長等
を適宜設定すれば、横結合型２重モードＳＡＷ装置を構
成することができる。
【０００５】ところで、近年の装置の小型化に伴って、
接地やシールドの不足による部品間の結合、干渉が問題
になっている。この対策として、図４に示すように、近
接配置した２つのＳＡＷ共振器のすだれ状電極の共通の
バスバーを分割して、横結合型２重モードＳＡＷ装置を
平衡回路化したものがある（参考文献２，２９９頁，図
１参照）。
接地やシールドの不足による部品間の結合、干渉が問題
になっている。この対策として、図４に示すように、近
接配置した２つのＳＡＷ共振器のすだれ状電極の共通の
バスバーを分割して、横結合型２重モードＳＡＷ装置を
平衡回路化したものがある（参考文献２，２９９頁，図
１参照）。
【０００６】この横結合型２重モードＳＡＷ装置の具体
的な構成を図５及び図６に示す。図５は平衡入出力型の
横結合型２重モードＳＡＷ装置を示す概略図で、図５
（ａ）は平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ′断
面図、図６は図５（ａ）の要部拡大図である。
的な構成を図５及び図６に示す。図５は平衡入出力型の
横結合型２重モードＳＡＷ装置を示す概略図で、図５
（ａ）は平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ′断
面図、図６は図５（ａ）の要部拡大図である。
【０００７】この横結合型２重モードＳＡＷ装置の全体
構成は、前記図２に示した横結合型２重モードＳＡＷ装
置とほぼ同様である。各ＳＡＷ共振器７のくし歯状電極
８Ａ，８Ｂの構成のみを異ならせている。具体的には、
ＳＡＷ共振器７は２つのくし歯状電極８Ａ，８Ｂを所定
間隔を空けて互いに噛合させるように配置したすだれ状
電極７ａと、その両側に配置された反射器７ｂとで構成
されている。２つのＳＡＷ共振器７のすだれ状電極７ａ
が、その内側に位置するくし歯状電極８Ｂのバスバー９
Ａを互いに近接させた状態で、配設されている。これに
より、図６に示すように、バスバー９Ａと電極指９Ｂと
の隙間をａ、バスバー９Ａの幅をｂ、２つのバスバー９
Ａの間の隙間をｃとした場合、各ＳＡＷ共振器７のすだ
れ状電極７ａの外側のくし歯状電極８Ａ，８Ａの間の隙
間Ｇは（２ａ＋２ｂ＋ｃ）となる。なお、バスバー９Ａ
及び電極指９Ｂはフォトリソグラフィ技術により形成さ
れている。
構成は、前記図２に示した横結合型２重モードＳＡＷ装
置とほぼ同様である。各ＳＡＷ共振器７のくし歯状電極
８Ａ，８Ｂの構成のみを異ならせている。具体的には、
ＳＡＷ共振器７は２つのくし歯状電極８Ａ，８Ｂを所定
間隔を空けて互いに噛合させるように配置したすだれ状
電極７ａと、その両側に配置された反射器７ｂとで構成
されている。２つのＳＡＷ共振器７のすだれ状電極７ａ
が、その内側に位置するくし歯状電極８Ｂのバスバー９
Ａを互いに近接させた状態で、配設されている。これに
より、図６に示すように、バスバー９Ａと電極指９Ｂと
の隙間をａ、バスバー９Ａの幅をｂ、２つのバスバー９
Ａの間の隙間をｃとした場合、各ＳＡＷ共振器７のすだ
れ状電極７ａの外側のくし歯状電極８Ａ，８Ａの間の隙
間Ｇは（２ａ＋２ｂ＋ｃ）となる。なお、バスバー９Ａ
及び電極指９Ｂはフォトリソグラフィ技術により形成さ
れている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、３６゜回転
ＹカットＺ′軸伝搬水晶基板とＡl電極を用いて中心周
波数が2.5ＧＨｚの横結合型２重モードＳＡＷ装置を構
成するには、外側の２つのくし歯状電極８Ａ，８Ａの隙
間Ｇを２μｍ程度にする必要がある。また、通過帯域幅
を広げるには隙間Ｇをさらに狭くする必要がある。
ＹカットＺ′軸伝搬水晶基板とＡl電極を用いて中心周
波数が2.5ＧＨｚの横結合型２重モードＳＡＷ装置を構
成するには、外側の２つのくし歯状電極８Ａ，８Ａの隙
間Ｇを２μｍ程度にする必要がある。また、通過帯域幅
を広げるには隙間Ｇをさらに狭くする必要がある。
【０００９】しかし、現在のフォトリソグラフィ技術で
は、高い歩留り率を維持することができるバスバー９
Ａ、電極指９Ｂ等の幅ｂや隙間ａ，ｃの限界値は0.5μ
ｍ程度である。従って、図６に示す従来の構成では、各
くし歯状電極８Ａ，８Ａの隙間Ｇ（２ａ＋２ｂ＋ｃ）は
2.5μｍ以下にすることができない。
は、高い歩留り率を維持することができるバスバー９
Ａ、電極指９Ｂ等の幅ｂや隙間ａ，ｃの限界値は0.5μ
ｍ程度である。従って、図６に示す従来の構成では、各
くし歯状電極８Ａ，８Ａの隙間Ｇ（２ａ＋２ｂ＋ｃ）は
2.5μｍ以下にすることができない。
【００１０】このため、現在のフォトリソグラフィ技術
では、中心周波数が高く、かつ通過帯域幅が広い横結合
型２重モードＳＡＷ装置を形成することは不可能であっ
た。
では、中心周波数が高く、かつ通過帯域幅が広い横結合
型２重モードＳＡＷ装置を形成することは不可能であっ
た。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために本発明の弾性表面波装置は、互いに隣接したＳＡ
Ｗ共振器の各すだれ状電極のバスバーが誘電体薄膜層を
挟んで互いに重なり合うように構成したものである。
ために本発明の弾性表面波装置は、互いに隣接したＳＡ
Ｗ共振器の各すだれ状電極のバスバーが誘電体薄膜層を
挟んで互いに重なり合うように構成したものである。
【００１２】
【作用】前記発明では、すだれ状電極のバスバーを誘電
体薄膜層を挟んで互いに重なり合うようにしたので、現
在のフォトリソグラフィ技術で、隣接するすだれ状電極
の外側のくし歯状電極間の隙間を従来よりも狭くするこ
とができるようになる。これにより、中心周波数が高
く、かつ通過帯域幅が広い弾性表面波装置を形成するこ
とができるようになる。
体薄膜層を挟んで互いに重なり合うようにしたので、現
在のフォトリソグラフィ技術で、隣接するすだれ状電極
の外側のくし歯状電極間の隙間を従来よりも狭くするこ
とができるようになる。これにより、中心周波数が高
く、かつ通過帯域幅が広い弾性表面波装置を形成するこ
とができるようになる。
【００１３】
【実施例】次に本発明の好適な実施例を図面を参照しな
がら説明する。なおここでは、弾性表面波装置の一例と
して、前述した従来の技術と同様に、横結合型２重モー
ドＳＡＷ装置を例に説明する。
がら説明する。なおここでは、弾性表面波装置の一例と
して、前述した従来の技術と同様に、横結合型２重モー
ドＳＡＷ装置を例に説明する。
【００１４】［第１実施例］図１は本実施例に係る横結
合型２重モードＳＡＷ装置を示す概略図であり、図１
（ａ）はその平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−
Ａ′断面図である。
合型２重モードＳＡＷ装置を示す概略図であり、図１
（ａ）はその平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−
Ａ′断面図である。
【００１５】本実施例の横結合型２重モードＳＡＷ装置
はフィルタや発振器として用いられるものである。この
横結合型２重モードＳＡＷ装置の全体構成は、前記従来
の横結合型２重モードＳＡＷ装置とほぼ同様である。具
体的には、圧電基板１１と、この圧電基板１１の上にＳ
ＡＷの伝搬方向が一致するように所定間隔を隔てて並べ
て設けられた２つのＳＡＷ共振器１２，１３とから構成
されている。
はフィルタや発振器として用いられるものである。この
横結合型２重モードＳＡＷ装置の全体構成は、前記従来
の横結合型２重モードＳＡＷ装置とほぼ同様である。具
体的には、圧電基板１１と、この圧電基板１１の上にＳ
ＡＷの伝搬方向が一致するように所定間隔を隔てて並べ
て設けられた２つのＳＡＷ共振器１２，１３とから構成
されている。
【００１６】ＳＡＷ共振器１２は、２つのくし歯状電極
１４，１５を所定間隔を隔てて互いに噛合するように設
けたすだれ状電極１６の両側に、グレーティング反射器
１７，１７を配設したFabry-Perot型のＳＡＷ共振器と
して構成されている。ＳＡＷ共振器１３もＳＡＷ共振器
１２と同様に、２つのくし歯状電極１８，１９を所定間
隔を隔てて互いに噛合するように設けたすだれ状電極２
０の両側に、グレーティング反射器１７，１７を配設し
たFabry-Perot型のＳＡＷ共振器として構成されてい
る。
１４，１５を所定間隔を隔てて互いに噛合するように設
けたすだれ状電極１６の両側に、グレーティング反射器
１７，１７を配設したFabry-Perot型のＳＡＷ共振器と
して構成されている。ＳＡＷ共振器１３もＳＡＷ共振器
１２と同様に、２つのくし歯状電極１８，１９を所定間
隔を隔てて互いに噛合するように設けたすだれ状電極２
０の両側に、グレーティング反射器１７，１７を配設し
たFabry-Perot型のＳＡＷ共振器として構成されてい
る。
【００１７】各くし歯状電極１４，１５，１８，１９は
すべて同じ構成を有している。具体的には、複数本並列
に設けた電極指２１と、各電極指２１の基端部を電気的
に接続するバスバー２２とから構成されている。各反射
器１７，１７はすだれ状電極１６，２０のバスバー２２
から切り離されて形成されている。
すべて同じ構成を有している。具体的には、複数本並列
に設けた電極指２１と、各電極指２１の基端部を電気的
に接続するバスバー２２とから構成されている。各反射
器１７，１７はすだれ状電極１６，２０のバスバー２２
から切り離されて形成されている。
【００１８】各ＳＡＷ共振器１２，１３の各くし歯状電
極１４，１５，１８，１９のうち、内側に位置するくし
歯状電極１５，１９のバスバー２２は、誘電体薄膜層２
３を挟んで互いに重ね合わされている。この誘電体薄膜
層２３としては、ＳｉＯｘ，ＳｉＮｘ等が用いられる。
極１４，１５，１８，１９のうち、内側に位置するくし
歯状電極１５，１９のバスバー２２は、誘電体薄膜層２
３を挟んで互いに重ね合わされている。この誘電体薄膜
層２３としては、ＳｉＯｘ，ＳｉＮｘ等が用いられる。
【００１９】各ＳＡＷ共振器１２，１３の各くし歯状電
極１４，１５，１８，１９には入力端子２４Ａ，２４Ｂ
及び出力端子２５Ａ，２５Ｂがそれぞれ設けられてい
る。
極１４，１５，１８，１９には入力端子２４Ａ，２４Ｂ
及び出力端子２５Ａ，２５Ｂがそれぞれ設けられてい
る。
【００２０】以上のように構成された横結合型２重モー
ドＳＡＷ装置では、入力端子２４Ａ，２４Ｂに電気信号
を印加すると、静電誘導により、この入力端子２４Ａ，
２４Ｂがそれぞれ接続されたくし歯状電極１４，１５の
各電極指２１に正の電荷と負の電荷がそれぞれ発生す
る。これにより、各電極指２１の間に変位電流が流れ
る。この変位電流の大きさに比例して、各電極指２１の
間に位置する圧電基板１１が歪む。この歪みは主に、各
電極指２１に対して垂直な方向へＳＡＷとして伝搬す
る。
ドＳＡＷ装置では、入力端子２４Ａ，２４Ｂに電気信号
を印加すると、静電誘導により、この入力端子２４Ａ，
２４Ｂがそれぞれ接続されたくし歯状電極１４，１５の
各電極指２１に正の電荷と負の電荷がそれぞれ発生す
る。これにより、各電極指２１の間に変位電流が流れ
る。この変位電流の大きさに比例して、各電極指２１の
間に位置する圧電基板１１が歪む。この歪みは主に、各
電極指２１に対して垂直な方向へＳＡＷとして伝搬す
る。
【００２１】２つのＳＡＷ共振器１２，１３の間では、
内側のくし歯状電極１５，１９の各バスバー２２が誘電
体薄膜層２３を挟んで対向しているため、入力側のくし
歯状電極１５の電極指２１に例えば負の電荷が発生する
と、各バスバー２２を介して静電誘導により出力側のく
し歯状電極１９の電極指２１に正の電荷が発生する。そ
して、この電極指２１での正の電荷の発生に伴って、静
電誘導によりくし歯状電極１８の電極指２１に負の電荷
が発生する。これにより、出力側のくし歯状電極１８，
１９側の各電極指２１の間に変位電流が流れる。この変
位電流の大きさに比例して、各電極指２１の間に位置す
る圧電基板１１が歪み、各電極指２１に対して垂直な方
向へＳＡＷとして伝搬する。
内側のくし歯状電極１５，１９の各バスバー２２が誘電
体薄膜層２３を挟んで対向しているため、入力側のくし
歯状電極１５の電極指２１に例えば負の電荷が発生する
と、各バスバー２２を介して静電誘導により出力側のく
し歯状電極１９の電極指２１に正の電荷が発生する。そ
して、この電極指２１での正の電荷の発生に伴って、静
電誘導によりくし歯状電極１８の電極指２１に負の電荷
が発生する。これにより、出力側のくし歯状電極１８，
１９側の各電極指２１の間に変位電流が流れる。この変
位電流の大きさに比例して、各電極指２１の間に位置す
る圧電基板１１が歪み、各電極指２１に対して垂直な方
向へＳＡＷとして伝搬する。
【００２２】各すだれ状電極１６，２０でそれぞれ発生
したＳＡＷは各反射器１７，１７で反射されながら各Ｓ
ＡＷ共振器１２，１３内で定在波を形成する。これらの
定在波が互いに結合することで、横結合型２重モードＳ
ＡＷ装置が実現できる。
したＳＡＷは各反射器１７，１７で反射されながら各Ｓ
ＡＷ共振器１２，１３内で定在波を形成する。これらの
定在波が互いに結合することで、横結合型２重モードＳ
ＡＷ装置が実現できる。
【００２３】一方、各ＳＡＷ共振器１２，１３の内側の
くし歯状電極１５，１９の各バスバー２２は誘電体薄膜
層２３を介して互いに積層されるので、外側のくし歯状
電極１４，１８の間の隙間Ｇを従来よりも狭くすること
ができるようになる。この隙間Ｇは図６において（２ａ
＋ｂ）となり、現在のフォトリソグラフィ技術を使って
1.5μｍ程度にすることができるようになる。
くし歯状電極１５，１９の各バスバー２２は誘電体薄膜
層２３を介して互いに積層されるので、外側のくし歯状
電極１４，１８の間の隙間Ｇを従来よりも狭くすること
ができるようになる。この隙間Ｇは図６において（２ａ
＋ｂ）となり、現在のフォトリソグラフィ技術を使って
1.5μｍ程度にすることができるようになる。
【００２４】これにより、３６゜回転ＹカットＺ′軸伝
搬水晶基板とＡl電極を用いて中心周波数が2.5ＧＨｚの
横結合型２重モードＳＡＷ装置を構成することができる
ようになる。また、横結合型２重モードＳＡＷ装置の通
過帯域幅を広げることもできるようになる。
搬水晶基板とＡl電極を用いて中心周波数が2.5ＧＨｚの
横結合型２重モードＳＡＷ装置を構成することができる
ようになる。また、横結合型２重モードＳＡＷ装置の通
過帯域幅を広げることもできるようになる。
【００２５】以上のように、くし歯状電極１４，１８の
間の隙間Ｇを、現在のフォトリソグラフィ技術を使っ
て、従来よりも狭くすることができるようになる。
間の隙間Ｇを、現在のフォトリソグラフィ技術を使っ
て、従来よりも狭くすることができるようになる。
【００２６】この結果、中心周波数が高く、かつ通過帯
域幅が広い横結合型２重モードＳＡＷ装置を形成するこ
とは可能になる。
域幅が広い横結合型２重モードＳＡＷ装置を形成するこ
とは可能になる。
【００２７】［変形例］なお、前記実施例では、２つの
ＳＡＷ共振器１２，１３からなる横結合型２重モードＳ
ＡＷ装置について説明したが、本発明に係るＳＡＷ装置
はこれに限定されるものではなく、図７に示すように、
３つ以上のＳＡＷ共振器１２及びこれらの間に設けられ
た誘電体薄膜層２３を備えた多重モードＳＡＷ装置に対
しても適用することができる。この場合も、前記実施例
同様の作用、効果を奏することができる。
ＳＡＷ共振器１２，１３からなる横結合型２重モードＳ
ＡＷ装置について説明したが、本発明に係るＳＡＷ装置
はこれに限定されるものではなく、図７に示すように、
３つ以上のＳＡＷ共振器１２及びこれらの間に設けられ
た誘電体薄膜層２３を備えた多重モードＳＡＷ装置に対
しても適用することができる。この場合も、前記実施例
同様の作用、効果を奏することができる。
【００２８】また、ＳＡＷ共振器としては、Fabry-Pero
t型のＳＡＷ共振器１２，１３に限らず、図８に示すよ
うなＩＤＴ（inter-digital transducer）型ＳＡＷ共振
器を用いてもよい。この場合も前記実施例同様の作用、
効果を奏することができる。さらに、このＩＤＴ型ＳＡ
Ｗ共振器を３つ以上並設して多重モードＳＡＷ装置にし
てもよい。
t型のＳＡＷ共振器１２，１３に限らず、図８に示すよ
うなＩＤＴ（inter-digital transducer）型ＳＡＷ共振
器を用いてもよい。この場合も前記実施例同様の作用、
効果を奏することができる。さらに、このＩＤＴ型ＳＡ
Ｗ共振器を３つ以上並設して多重モードＳＡＷ装置にし
てもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上、詳述したように本発明の高周波誘
電体装置によれば、以下のような効果を奏することがで
きる。
電体装置によれば、以下のような効果を奏することがで
きる。
【００３０】隣接するすだれ状電極の外側のくし歯状電
極間の隙間を、現在のフォトリソグラフィ技術を使っ
て、さらに狭くすることができるようになる。この結
果、中心周波数が高く、かつ通過帯域幅が広い弾性表面
波装置を形成することは可能になる。
極間の隙間を、現在のフォトリソグラフィ技術を使っ
て、さらに狭くすることができるようになる。この結
果、中心周波数が高く、かつ通過帯域幅が広い弾性表面
波装置を形成することは可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る横結合型２重モードＳＡＷ装置を
示す概略図であり、図１（ａ）はその平面図、図１
（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
示す概略図であり、図１（ａ）はその平面図、図１
（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
【図２】従来の横結合型２重モードＳＡＷ装置の概略図
であり、図２（ａ）はその平面図、図２（ｂ）は図２
（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
であり、図２（ａ）はその平面図、図２（ｂ）は図２
（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
【図３】横結合ＤＭＳ共振器の電極構成と２つのモード
の変位分布を示す模式図である。
の変位分布を示す模式図である。
【図４】従来の平衡入出力用ＳＡＷフィルタの電極パタ
ーンを示す平面図である。
ーンを示す平面図である。
【図５】従来の平衡入出力型の横結合型２重モードＳＡ
Ｗ装置を示す概略図で、図５（ａ）は平面図、図５
（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
Ｗ装置を示す概略図で、図５（ａ）は平面図、図５
（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ′断面図である。
【図６】図５（ａ）の要部拡大図である。
【図７】変形例に係る横結合型多重モードＳＡＷ装置の
概略構成を示す平面図である。
概略構成を示す平面図である。
【図８】変形例に係るＩＤＴ型ＳＡＷ共振器を用いた横
結合型２重モードＳＡＷ装置の概略構成を示す平面図で
ある。
結合型２重モードＳＡＷ装置の概略構成を示す平面図で
ある。
１１…圧電基板、１２，１３…ＳＡＷ共振器、１４，１
５，１８，１９…くし歯状電極、１６，２０…すだれ状
電極、１７…グレーティング反射器、２１…電極指、２
２…バスバー、２３…誘電体薄膜層、２４Ａ，２４Ｂ…
入力端子、２５Ａ，２５Ｂ…出力端子、Ｇ…くし歯状電
極１４，１８の間の隙間。
５，１８，１９…くし歯状電極、１６，２０…すだれ状
電極、１７…グレーティング反射器、２１…電極指、２
２…バスバー、２３…誘電体薄膜層、２４Ａ，２４Ｂ…
入力端子、２５Ａ，２５Ｂ…出力端子、Ｇ…くし歯状電
極１４，１８の間の隙間。
Claims (1)
- 【請求項１】 並列の複数の電極指をバスバーで電気的
に接続してなるくし歯状電極を噛合して構成されたすだ
れ状電極を複数、それらの内部を伝搬するＳＡＷの伝搬
方向が互いに平行になるように、圧電基板上に前記伝搬
方向と直交方向に所定間隔を隔てて形成した弾性表面波
装置において、 前記各すだれ状電極が隣接した状態で前記くし歯状電極
のバスバーが誘電体薄膜層を挟んで互いに重なり合うよ
うに構成したことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10727495A JPH08307191A (ja) | 1995-05-01 | 1995-05-01 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10727495A JPH08307191A (ja) | 1995-05-01 | 1995-05-01 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08307191A true JPH08307191A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=14454917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10727495A Pending JPH08307191A (ja) | 1995-05-01 | 1995-05-01 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08307191A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012110377A1 (de) * | 2011-02-16 | 2012-08-23 | Epcos Ag | Mit akustischen wellen arbeitendes bauelement und verfahren zur herstellung |
| JP2016208413A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
| US10177740B2 (en) | 2014-10-06 | 2019-01-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder filter and duplexer |
-
1995
- 1995-05-01 JP JP10727495A patent/JPH08307191A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012110377A1 (de) * | 2011-02-16 | 2012-08-23 | Epcos Ag | Mit akustischen wellen arbeitendes bauelement und verfahren zur herstellung |
| US9455684B2 (en) | 2011-02-16 | 2016-09-27 | Epcos Ag | Component operating with acoustic waves and method for producing same |
| US10177740B2 (en) | 2014-10-06 | 2019-01-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder filter and duplexer |
| JP2016208413A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
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