JP5035421B2 - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5035421B2 JP5035421B2 JP2010523728A JP2010523728A JP5035421B2 JP 5035421 B2 JP5035421 B2 JP 5035421B2 JP 2010523728 A JP2010523728 A JP 2010523728A JP 2010523728 A JP2010523728 A JP 2010523728A JP 5035421 B2 JP5035421 B2 JP 5035421B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wave device
- electrode
- electrode layer
- layer
- piezoelectric body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02834—Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14538—Formation
- H03H9/14541—Multilayer finger or busbar electrode
Description
Frequency)とは逆の符号のTCFを有することが好ましい。例えば、圧電体10が負のTCFを有し、誘電体層20が正のTCFを有することが好ましい。具体的には、例えば、圧電体10が負のTCFを有するLiTaO3やLiNbO3により実質的に形成されている場合、誘電体層20は、正のTCFを有するSiO2層、SIN層などの窒化ケイ素層、またはSiO2もしくは窒化ケイ素を主成分とする層であることが好ましい。
実施例1として、以下の条件にて、図1及び図2に示す弾性表面波装置1を作製し、各誘電体層20の厚さにおける弾性表面波装置1の反射係数及びTCFを測定した。反射係数の測定結果を図4に示すグラフにおいて実線で表す。また、TCFの測定結果を図5に示す。
圧電体10:オイラー角(0°,128°,0°)のLiTaO3基板
圧電体10の厚さ(mm):0.38
第1の電極層21:Pt膜
第1の電極層21の波長規格化厚さ(h/λ):0.03
第2の電極層22:Al膜
第2の電極層22の波長規格化厚さ(h/λ):0.04
誘電体層20:SiO2層
圧電体10:オイラー角(0°,216°,0°)のLiNbO3基板
圧電体10の厚さ(mm):0.38
第1の電極層21:Pt膜
第1の電極層21の波長規格化厚さ(h/λ):0.03
第2の電極層22:Al膜
第2の電極層22の波長規格化厚さ(h/λ):0.04
誘電体層20:SiO2層
実施例3,4として、以下の条件にて、図1及び図2に示す弾性表面波装置1を作製し、各第2の電極層22の波長規格化厚さ(h/λ)における弾性表面波装置1の反射係数及び位相速度を測定した。反射係数の測定結果を図8,図9に示す。位相速度の測定結果を図10,図11に示す。
圧電体10:オイラー角(0°,128°,0°)のLiTaO3基板
圧電体10の厚さ(mm):0.38
第1の電極層21:Pt膜
第2の電極層22:Al膜
誘電体層20:SiO2層
誘電体層20の波長規格化厚さ(h/λ):0.25
圧電体10:オイラー角(0°,216°,0°)のLiNbO3基板
圧電体10の厚さ(mm):0.38
第1の電極層21:Pt膜
第2の電極層22:Al膜
誘電体層20:SiO2層
誘電体層20の波長規格化厚さ(h/λ):0.25
比較例5として、図12に示すように、オイラー角(0°,128°,0°)のLiTaO3基板からなる圧電体10の溝10a内に、Pt膜により構成された第1の電極層21のみからなるIDT電極37が形成されると共に、IDT電極37を覆うようにSiO2からなる波長規格化厚さ(h/λ)0.25の誘電体層20が形成された弾性表面波装置を作製した。作製した弾性表面波装置について、各第1の電極層21の厚さにおける位相速度を測定した。結果を図13に示す。
実施例5として、実施例1と同様の条件にて弾性表面波装置1を作製し、各誘電体層20の厚さにおける弾性表面波装置1の電気機械結合係数(k2)を測定した。
図18に示すように、第1の電極層21を第1の金属膜21a及び第2の金属膜21bで構成し、第2の電極層22を第1の金属膜22a及び第2の金属膜22bで構成した弾性表面波装置を以下の条件で形成し、各誘電体層20の厚さにおいて電気機械結合係数(k2)及び反射係数を測定した。電気機械結合係数(k2)及び反射係数の測定結果を、それぞれ図19及び図20に示す。
圧電体10:オイラー角(0°,128°,0°)のLiTaO3基板
第1の金属膜21a:Ti膜
第1の金属膜21aの波長規格化膜厚(h/λ):0.01
第2の金属膜21b:Pt膜
第2の金属膜21bの波長規格化膜厚(h/λ):0.02
第1の金属膜22a:Ti膜
第1の金属膜22aの波長規格化膜厚(h/λ):0.02
第2の金属膜22b:Cu膜
第2の金属膜22bの波長規格化膜厚(h/λ):0.04
誘電体層20:SiO2層
第1の電極層21の平均密度(ρa):1.58×104kg/m3、
第1の電極層21の平均スティフネス(C44a):5.54×1010N/m2、
第1の電極層21の(ρa 3×C44a)1/2:4.66×1011、
第2の電極層22の平均密度(ρb):7.46×103kg/m3、
第2の電極層22の平均スティフネス(C44b):4.98×1010N/m2、
第2の電極層22の(ρb 3×C44b)1/2:1.44×1011、
となる。
実施例8として、図21に示すように、誘電体層20の圧電体10とは反対側の表面20aを電極指31b、32bの形状に対応した凹凸形状としたこと以外は、上記実施例1と同じ条件で弾性表面波装置を作製し、反射係数を測定した。反射係数の測定結果を、実施例1の結果と共に図22に示す。
上述した実施形態及び実施例1〜9では、弾性表面波を利用した弾性表面波装置について説明したが、本発明の弾性波装置は、弾性境界波を利用した弾性境界波装置であってもよい。図24は、本発明の第2の実施形態としての弾性境界波装置のIDT電極形成部分を模式的に示す正面断面図である。
以下の条件にて、図24に示した弾性境界波装置41を作製し、弾性境界波装置の反射係数及び電気機械結合係数を測定した。
第1の電極層61:Pt膜
第1の電極層61の波長規格化厚さ(h/λ)=0.02、0.04または0.06
第2の電極層62:Al膜
第2の電極層62の波長規格化厚さ(h/λ)=0.02〜0.16の間で変化させた
第1の誘電体層51:SiO2層
第1の誘電体層51の厚み:λとした。規格化厚さで1
第2の誘電体層:SiN膜
第2の誘電体層52の厚み:2λ、規格化厚さで2
圧電体50を42°YカットX伝搬のLiTaO3に変更したことを除いては、第1の実験例と同様にして、Alからなる第2の電極層の膜厚が種々異なる複数の弾性境界波装置を作製した。比較のために、圧電体の上面に深い溝を形成し、第1,第2の電極層からなる電極が溝内に充填されており、Al膜の上面が圧電体50の上面と面一とされていることを除いては実施形態と同一とされた構造を用意した。これらの実施形態及び比較例の弾性境界波装置の反射係数を測定した。結果を図27に示す。図27において、実線が実施形態の結果を、破線が比較例として用意した複数種の弾性境界波装置の結果を示す。
10…圧電体
10a…溝
20…誘電体層
20a…表面
21…第1の電極層
21a…第1の金属膜
21b…第2の金属膜
22…第2の電極層
22a…第1の金属膜
22b…第2の金属膜
30…電極
31…第1のくし歯電極
31a…第1のバスバー
31b…第1の電極指
32…第2のくし歯電極
32a…第2のバスバー
32b…第2の電極指
33,34…反射器
35…第1の端子
36…第2の端子
37…IDT電極
41…弾性境界波装置
50…圧電体
50a…溝
51…第1の誘電体層
52…第2の誘電体層
60…IDT電極
61…第1の電極層
62…第2の電極層
Claims (13)
- 複数本の溝が形成された圧電体と、
一部が前記複数本の溝内に位置する複数本の電極指を有するIDT電極と、
前記IDT電極を覆うように前記圧電体の上に形成されており、前記圧電体の周波数温度係数とは逆符号の周波数温度係数、または前記圧電体の周波数温度係数と同符号であって、前記圧電体の周波数温度係数の絶対値よりも小さな絶対値の周波数温度係数を有する誘電体層とを備え、
前記電極指は、前記溝の内部に位置する第1の電極層と、前記第1の電極層の上に形成されており、前記溝の上端面よりも上側に位置する第2の電極層とを有し、
前記第1の電極層の平均密度(ρa)の3乗と平均スティフネス(C44a)との積の1/2乗である(ρa 3×C44a)1/2が、第2の電極層の平均密度(ρb)の3乗と平均スティフネス(C44b)との積の1/2乗である(ρb 3×C44b)1/2よりも大きい弾性波装置。 - (ρa 3×C44a)1/2>1.95×1011>(ρb 3×C44b)1/2を満たす、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1の電極層は、実質的に、Mo,Ta,Pt,Au及びWからなる群から選ばれた金属または該群から選ばれた少なくとも1種の金属を主成分とする合金からなる、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第2の電極層は、実質的に、Al,Ti及びCuからなる群から選ばれた金属または該群から選ばれた少なくとも1種の金属を主成分とする合金からなる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記第1及び第2の電極層の少なくとも一方は、複数の金属膜からなる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記第2の電極層が複数の金属膜からなり、前記第2の電極層を構成する複数の金属膜のうちの少なくともひとつの金属膜は、実質的に、Cr、Ni、またはCr及びNiのうちの少なくとも一方の金属を主成分とする合金からなる、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記誘電体層は、SiO2層、窒化ケイ素層、またはSiO2もしくは窒化ケイ素を主成分とする層である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記誘電体層の前記圧電体とは反対側の表面が略平坦である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記誘電体層の前記圧電体とは反対側の表面は、前記複数本の電極指の形状に対応した凹凸形状に形成されている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記電極指が形成された部位における前記誘電体層の厚さ(h)の弾性波の波長(λ)で規格化した波長規格化厚さ(h/λ)が0.01以上、0.4以下である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電体がLiTaO3基板またはLiNbO3基板である、請求項1〜10のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 弾性表面波装置である、請求項1〜11のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 弾性境界波装置である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の弾性波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010523728A JP5035421B2 (ja) | 2008-08-08 | 2009-07-21 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008205781 | 2008-08-08 | ||
JP2008205781 | 2008-08-08 | ||
JP2008325356 | 2008-12-22 | ||
JP2008325356 | 2008-12-22 | ||
JP2010523728A JP5035421B2 (ja) | 2008-08-08 | 2009-07-21 | 弾性波装置 |
PCT/JP2009/003395 WO2010016192A1 (ja) | 2008-08-08 | 2009-07-21 | 弾性波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010016192A1 JPWO2010016192A1 (ja) | 2012-01-12 |
JP5035421B2 true JP5035421B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=41663421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010523728A Active JP5035421B2 (ja) | 2008-08-08 | 2009-07-21 | 弾性波装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8183737B2 (ja) |
JP (1) | JP5035421B2 (ja) |
CN (1) | CN102113214B (ja) |
DE (1) | DE112009001922B4 (ja) |
WO (1) | WO2010016192A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102257729B (zh) * | 2008-12-17 | 2014-03-12 | 株式会社村田制作所 | 弹性表面波装置 |
JP5581739B2 (ja) | 2009-04-14 | 2014-09-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
JP2011244065A (ja) * | 2010-05-14 | 2011-12-01 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置の製造方法 |
JPWO2011145449A1 (ja) * | 2010-05-19 | 2013-07-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
US20130026881A1 (en) * | 2010-06-17 | 2013-01-31 | Shoji Okamoto | Acoustic wave element |
JP5560998B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2014-07-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置の製造方法 |
WO2012036178A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP5617936B2 (ja) * | 2011-01-19 | 2014-11-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
TWI466442B (zh) * | 2011-12-07 | 2014-12-21 | Ind Tech Res Inst | 指叉型耦合共振器 |
US8901710B2 (en) * | 2013-02-27 | 2014-12-02 | International Business Machines Corporation | Interdigitated capacitors with a zero quadratic voltage coefficient of capacitance or zero linear temperature coefficient of capacitance |
WO2015137089A1 (ja) * | 2014-03-14 | 2015-09-17 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN106797207B (zh) * | 2014-12-17 | 2021-04-20 | 株式会社村田制作所 | 压电振子以及压电振动装置 |
DE112016003084B4 (de) * | 2015-07-06 | 2024-03-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
JP2018101849A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
JP2018110291A (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性波デバイス |
US11070193B2 (en) * | 2017-11-24 | 2021-07-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device, radio-frequency front-end circuit, and communication device |
CN108540105A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-09-14 | 武汉大学 | 射频谐振器结构 |
KR20210145804A (ko) * | 2019-04-03 | 2021-12-02 | 도호쿠 다이가쿠 | 고차 모드 표면 탄성파 디바이스 |
CN112653409B (zh) * | 2020-12-17 | 2024-04-12 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种用于制造金属电极的制造方法 |
CN112688650A (zh) * | 2020-12-17 | 2021-04-20 | 广东广纳芯科技有限公司 | 兰姆波谐振器及具备该兰姆波谐振器的滤波器和电子设备 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06112763A (ja) * | 1992-03-13 | 1994-04-22 | Japan Energy Corp | 弾性表面波装置 |
JPH08204493A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波装置 |
WO1998052279A1 (fr) * | 1997-05-12 | 1998-11-19 | Hitachi, Ltd. | Dispositif a onde elastique |
JP2004207998A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品およびこの電子部品を用いた電子機器 |
WO2006011417A1 (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波装置 |
JP2006270906A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Kazuhiko Yamanouchi | 温度高安定・高結合溝構造弾性表面波基板とその基板を用いた弾性表面波機能素子 |
WO2008035546A1 (en) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic boundary wave device |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5130257A (en) * | 1988-09-29 | 1992-07-14 | Hewlett-Packard Company | Chemical sensor utilizing a surface transverse wave device |
CN1223743A (zh) * | 1997-04-24 | 1999-07-21 | 三菱电机株式会社 | 薄膜压电元件和薄膜压电元件的制造方法以及电路元件 |
US7538636B2 (en) | 2002-12-25 | 2009-05-26 | Panasonic Corporation | Electronic part with a comb electrode and protective film and electronic equipment including same |
EP1696562A4 (en) * | 2003-12-16 | 2010-07-07 | Murata Manufacturing Co | ACOUSTIC LIMIT WAVE DEVICE |
JP2008067289A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
WO2008044411A1 (fr) * | 2006-10-12 | 2008-04-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif à ondes limites élastiques |
CN101682308B (zh) * | 2007-06-06 | 2013-07-17 | 株式会社村田制作所 | 弹性表面波装置 |
CN101911483A (zh) * | 2008-01-17 | 2010-12-08 | 株式会社村田制作所 | 声表面波装置 |
JP5206692B2 (ja) * | 2008-01-17 | 2013-06-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
-
2009
- 2009-07-21 JP JP2010523728A patent/JP5035421B2/ja active Active
- 2009-07-21 CN CN200980130108.XA patent/CN102113214B/zh active Active
- 2009-07-21 WO PCT/JP2009/003395 patent/WO2010016192A1/ja active Application Filing
- 2009-07-21 DE DE112009001922.6T patent/DE112009001922B4/de active Active
-
2011
- 2011-02-07 US US13/021,816 patent/US8183737B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06112763A (ja) * | 1992-03-13 | 1994-04-22 | Japan Energy Corp | 弾性表面波装置 |
JPH08204493A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波装置 |
WO1998052279A1 (fr) * | 1997-05-12 | 1998-11-19 | Hitachi, Ltd. | Dispositif a onde elastique |
JP2004207998A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品およびこの電子部品を用いた電子機器 |
WO2006011417A1 (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波装置 |
JP2006270906A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Kazuhiko Yamanouchi | 温度高安定・高結合溝構造弾性表面波基板とその基板を用いた弾性表面波機能素子 |
WO2008035546A1 (en) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic boundary wave device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102113214A (zh) | 2011-06-29 |
JPWO2010016192A1 (ja) | 2012-01-12 |
DE112009001922B4 (de) | 2015-12-24 |
WO2010016192A1 (ja) | 2010-02-11 |
US8183737B2 (en) | 2012-05-22 |
US20110133600A1 (en) | 2011-06-09 |
DE112009001922T5 (de) | 2011-07-21 |
CN102113214B (zh) | 2014-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5035421B2 (ja) | 弾性波装置 | |
US10171061B2 (en) | Elastic wave device | |
US9035725B2 (en) | Acoustic wave device | |
JP4178328B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP4968334B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP4715922B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
KR100839788B1 (ko) | 탄성 경계파 장치 | |
JP5617936B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP5141763B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP5187444B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP7231015B2 (ja) | 弾性波装置 | |
US7876020B2 (en) | Boundary acoustic wave device including idt electrodes including a plurality of conductive layers with different densities | |
KR102345524B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
JP2013240105A (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2006126327A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
US8143762B2 (en) | Elastic wave device using SH waves as the principal component | |
WO2009139108A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP5581739B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP4947055B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
US8169121B2 (en) | Surface acoustic wave device including electrode fingers partially disposed in grooves in a piezoelectric substrate | |
JP2010278830A (ja) | ラダー型フィルタ及びその製造方法並びにデュプレクサ | |
JP5110091B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JPWO2009090715A1 (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2023048256A1 (ja) | 弾性波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120605 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120618 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5035421 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |