JP2011244065A - 弾性表面波装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電基板10の上に第1の導電膜18を形成する。第1の導電膜18を覆うように圧電基板10の上に誘電体層20をバイアススパッタリング法により形成する。誘電体層20の上に犠牲層22を形成する。犠牲層22と、誘電体層20の一部とを除去する、エッチバック工程を行う。第1の導電膜18の一部分の上に形成されている誘電体層20を除去する除去工程を行う。第1の導電膜18のうちの、除去工程において上部に位置していた誘電体層20が除去された部分の上に、第2の導電膜19を形成する。
【選択図】図2
Description
10…圧電基板
11…IDT電極
12…第1のくし歯状電極
13…第2のくし歯状電極
12a,13a…電極指
12b,13b…バスバー
14,15…配線
16,17…パッド
18…第1の導電膜
19…第2の導電膜
20…誘電体層
20a…誘電体層の表面
20a1…誘電体層の表面に形成された凸部
21…保護層
22…犠牲層
22a…犠牲層の表面
Claims (4)
- 圧電基板と、前記圧電基板の上に形成されているIDT電極と、前記圧電基板の上に形成されているパッドと、前記圧電基板の上に形成されており、前記IDT電極と前記パッドとを接続している配線と、前記圧電基板の上において、前記IDT電極の少なくとも一部を覆うように形成されている誘電体層とを備え、前記IDT電極の少なくとも一部が第1の導電膜からなり、前記配線及び前記パッドのうちの少なくとも一方が、前記第1の導電膜と、前記第1の導電膜の上に積層されている第2の導電膜とを有する積層体からなる弾性表面波装置の製造方法であって、
前記圧電基板の上に第1の導電膜を形成する工程と、
前記第1の導電膜を覆うように前記圧電基板の上に前記誘電体層をバイアススパッタリング法により形成する工程と、
前記誘電体層の上に犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層と、前記誘電体層の一部とを除去する、エッチバック工程と、
前記第1の導電膜の一部分の上に形成されている誘電体層を除去する除去工程と、
前記第1の導電膜のうちの、前記除去工程において上部に位置していた誘電体層が除去された部分の上に、前記第2の導電膜を形成する工程とを備える、弾性表面波装置の製造方法。 - 前記IDT電極は、それぞれ複数の電極指と、前記複数の電極指が接続されているバスバーとを有し、互いに間挿し合っている第1及び第2のくし歯状電極を備え、
前記バスバーの少なくとも一部が、前記第1の導電膜と前記第2の導電膜との積層体からなるように、前記第2の導電膜を形成する、請求項1に記載の弾性表面波装置の製造方法。 - 前記エッチバック工程の後に、前記誘電体層の上に保護層を形成する工程をさらに備える、請求項1または2に記載の弾性表面波装置の製造方法。
- 前記犠牲層をフォトレジストにより形成する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性表面波装置の製造方法。
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