JP5093402B2 - 弾性境界波共振子及びラダー型フィルタ - Google Patents
弾性境界波共振子及びラダー型フィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5093402B2 JP5093402B2 JP2011508368A JP2011508368A JP5093402B2 JP 5093402 B2 JP5093402 B2 JP 5093402B2 JP 2011508368 A JP2011508368 A JP 2011508368A JP 2011508368 A JP2011508368 A JP 2011508368A JP 5093402 B2 JP5093402 B2 JP 5093402B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- acoustic wave
- boundary acoustic
- bus bar
- resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 25
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910016570 AlCu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
電極指の対数:130対
デューティ比=0.5
電極指交叉幅:42.0λ
開口幅:42.2λ
図10は、本発明の他の実施形態としてのラダー型フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。図10の各斜線のハッチングを付した部分に図1(b)に示す電極構造がそれぞれ形成されている。本実施形態のラダー型フィルタは、中心周波数897.5MHz、通過帯域が880〜915MHz帯であるGSM送信用フィルタとして用いられるものである。なお、図11では、前述した弾性境界波共振子において形成されていた第1,第2の誘電体層3,4の図示は省略されている。
なお、上述した実施形態の弾性境界波共振子1では、最大交叉幅部分から弾性境界波伝搬方向両側にいくに連れて交叉幅が減少する交叉幅重み付け部分が1つ形成されていたが、このような交叉幅重み付け部分が弾性境界波伝搬方向に複数配置されていてもよい。言い換えれば、弾性境界波共振子1における上記交叉幅重み付けが施こされている部分を1つの周期とすると、複数の周期を有するように交叉幅重み付け部分が設けられていてもよい。
2…圧電基板
3…第1の誘電体層
4…第2の誘電体層
5…IDT電極
6,7…反射器
11…第1のバスバー
12…第2のバスバー
11a,12a…辺
13…第1の電極指
14…第1のダミー電極
15…第2の電極指
16…第2のダミー電極
21…ラダー型フィルタ
22…圧電基板
B…包絡線
B1,B2…包絡線部分
S1〜S7…直列腕共振子
P1〜P3…並列腕共振子
L1,L2…インダクタンス
Claims (5)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に積層された第1の誘電体層と、
前記圧電基板と前記第1の誘電体層との界面に形成されたIDT電極と、
前記界面において、前記IDT電極の弾性境界波伝搬方向両側に設けられた一対の反射器とを備える弾性境界波共振子であって、
前記IDT電極が、第1,第2のバスバーと、
前記第1のバスバーから第2のバスバーに向って延ばされた複数本の第1の電極指と、
前記第2のバスバーから前記第1のバスバー側に向って延ばされた複数本の第2の電極指と、
前記第1の電極指の先端に対してギャップを介して対向されており、前記第2のバスバーに接続されている第1のダミー電極と、
前記第2の電極指の先端に対してギャップを介して対向されており、かつ前記第1のバスバーに接続されている第2のダミー電極とを備え、
前記IDT電極における電極指交叉幅が最大となる部分から前記弾性境界波伝搬方向両側にいくに連れて交叉幅が減少する交叉幅重み付け部分を有するように前記IDT電極に交叉幅重み付けが施こされており、
前記第1のバスバーの前記第1の電極指及び第2のダミー電極が接続されている辺が、前記交叉幅重み付けの包絡線と一定の距離を隔てて配置されるように、弾性境界波伝搬方向に対して傾斜された傾斜部分を有し、
前記第2のバスバーの前記第2の電極指及び前記第1のダミー電極が接続されている辺が、前記交叉幅重み付けの包絡線に一定の距離を隔てて配置されるように、弾性境界波伝搬方向に対して傾斜された傾斜部分を有し、
前記IDT電極の最外側電極指と、前記反射器のIDT電極側の電極指とが隣り合う部分において、反射器の電極指の長さが、IDT電極の該電極指の長さと、IDT電極の電極指先端に対向されているダミー電極の長さの和と略同等とされており、
前記IDT電極の少なくとも1つの電極指の先端から、弾性境界波伝搬方向に延びる直線が前記第1または第2のバスバーの前記辺に至るまでに交わる電極指及びダミー電極の数の総和をNとした場合に、Nが5以上であり、かつ前記一対の反射器の内の1つの反射器に含まれる電極指の数が略Nとされている、弾性境界波共振子。 - Nが10以上である、請求項1に記載の弾性境界波共振子。
- Nが50以下である、請求項1または2に記載の弾性境界波共振子。
- 前記誘電体層上に積層されており、該誘電体層よりも音速の速い誘電体からなる第2の誘電体層をさらに備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波共振子。
- 直列腕共振子と、並列腕共振子とを有するラダー型フィルタであって、前記直列腕共振子及び並列腕共振子の内、少なくとも2個の共振子が、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性境界波共振子からなるラダー型フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011508368A JP5093402B2 (ja) | 2009-04-07 | 2010-04-06 | 弾性境界波共振子及びラダー型フィルタ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009093116 | 2009-04-07 | ||
JP2009093116 | 2009-04-07 | ||
PCT/JP2010/056233 WO2010116995A1 (ja) | 2009-04-07 | 2010-04-06 | 弾性境界波共振子及びラダー型フィルタ |
JP2011508368A JP5093402B2 (ja) | 2009-04-07 | 2010-04-06 | 弾性境界波共振子及びラダー型フィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010116995A1 JPWO2010116995A1 (ja) | 2012-10-18 |
JP5093402B2 true JP5093402B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=42936278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011508368A Active JP5093402B2 (ja) | 2009-04-07 | 2010-04-06 | 弾性境界波共振子及びラダー型フィルタ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8421560B2 (ja) |
JP (1) | JP5093402B2 (ja) |
CN (1) | CN102365822B (ja) |
WO (1) | WO2010116995A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6124661B2 (ja) * | 2012-04-19 | 2017-05-10 | コーボ ユーエス、インコーポレイテッド | 高結合で低損失な圧電境界波デバイスおよび関連する方法 |
US9236849B2 (en) * | 2012-04-19 | 2016-01-12 | Triquint Semiconductor, Inc. | High coupling, low loss PBAW device and associated method |
JP2015032889A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 日本電波工業株式会社 | 弾性表面波素子、発振器及び電子部品 |
KR102083803B1 (ko) | 2014-06-23 | 2020-03-03 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
WO2016111315A1 (ja) * | 2015-01-07 | 2016-07-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN108292913B (zh) * | 2015-12-25 | 2021-08-31 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN109328431B (zh) * | 2016-06-27 | 2022-07-29 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器装置 |
WO2018225650A1 (ja) * | 2017-06-06 | 2018-12-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、マルチプレクサ及び複合フィルタ装置 |
DE102019204755A1 (de) | 2018-04-18 | 2019-10-24 | Skyworks Solutions, Inc. | Akustikwellenvorrichtung mit mehrschichtigem piezoelektrischem substrat |
JP7168066B2 (ja) * | 2019-03-11 | 2022-11-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2021085609A1 (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ |
US11621695B2 (en) | 2020-10-02 | 2023-04-04 | RF360 Europe GmbH | Cascaded surface acoustic wave devices with apodized interdigital transducers |
CN114726335A (zh) * | 2022-06-09 | 2022-07-08 | 深圳新声半导体有限公司 | 一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02170610A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-02 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
JP2000286663A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-10-13 | Hitachi Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2001298348A (ja) * | 2000-02-07 | 2001-10-26 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2002084162A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-22 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07240658A (ja) * | 1994-03-01 | 1995-09-12 | Kinseki Ltd | 弾性表面波デバイス |
US6346761B1 (en) | 1999-01-27 | 2002-02-12 | Hitachi Denshi Kabushiki Kaisha | Surface acoustic wave device capable of suppressing spurious response due to non-harmonic higher-order modes |
CN100452650C (zh) * | 2003-07-02 | 2009-01-14 | 京瓷株式会社 | 弹性表面波装置及使用该装置的通信装置 |
CN100508382C (zh) * | 2003-11-21 | 2009-07-01 | 松下电器产业株式会社 | 声表面波滤波器 |
CN1947334B (zh) * | 2004-04-28 | 2011-09-21 | 松下电器产业株式会社 | 弹性表面波谐振器及使用了该谐振器的弹性表面波滤波器 |
JP4917396B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2012-04-18 | 太陽誘電株式会社 | フィルタおよび分波器 |
JP5073355B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2012-11-14 | 太陽誘電株式会社 | アンテナ分波器 |
EP2109218A4 (en) * | 2007-05-25 | 2012-11-28 | Panasonic Corp | ELASTIC WAVE ELEMENT |
JP2009027689A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-02-05 | Panasonic Corp | 弾性表面波フィルタと、それを用いたアンテナ共用器 |
WO2009050932A1 (ja) * | 2007-10-18 | 2009-04-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波共振子及びラダー型フィルタ |
WO2009075088A1 (ja) * | 2007-12-11 | 2009-06-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 表面波装置及びデュプレクサ |
JP5146160B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2013-02-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ |
-
2010
- 2010-04-06 JP JP2011508368A patent/JP5093402B2/ja active Active
- 2010-04-06 CN CN201080013998.9A patent/CN102365822B/zh active Active
- 2010-04-06 WO PCT/JP2010/056233 patent/WO2010116995A1/ja active Application Filing
-
2011
- 2011-10-03 US US13/251,361 patent/US8421560B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02170610A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-02 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
JP2000286663A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-10-13 | Hitachi Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2001298348A (ja) * | 2000-02-07 | 2001-10-26 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2002084162A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-22 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6012028200; A.Isobe,M.Hikita,K.Asai,A.Sumioka: 'A miniature high-Q grating-mode-type SAWresonator and a wide-band 1-GHz SAW-VCO for mobile communica' MicrowaveSymposium Digest., 2000 IEEE MTT-S International vol.2, 20000616, p.917-920 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8421560B2 (en) | 2013-04-16 |
CN102365822B (zh) | 2014-07-09 |
WO2010116995A1 (ja) | 2010-10-14 |
CN102365822A (zh) | 2012-02-29 |
US20120025931A1 (en) | 2012-02-02 |
JPWO2010116995A1 (ja) | 2012-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5093402B2 (ja) | 弾性境界波共振子及びラダー型フィルタ | |
JP4831235B2 (ja) | 弾性表面波共振子及びラダー型フィルタ | |
JP6959819B2 (ja) | マルチプレクサ | |
JP6424962B2 (ja) | フィルタ装置 | |
US10009009B2 (en) | Elastic wave device including electrode fingers with elongated sections | |
JP5942740B2 (ja) | ラダー型フィルタ及び分波器 | |
JP4798319B1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP5024373B2 (ja) | 弾性波素子 | |
JP6103146B2 (ja) | ラダー型フィルタ | |
WO2018097201A1 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
JP6284800B2 (ja) | 弾性表面波デバイス及びフィルタ | |
WO2021002321A1 (ja) | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ | |
WO2022158470A1 (ja) | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ | |
KR20220044321A (ko) | 탄성파 필터 | |
WO2010125934A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP6798562B2 (ja) | ラダー型フィルタ、デュプレクサ及び弾性波フィルタ装置 | |
US8222973B2 (en) | Elastic wave resonator, ladder filter and duplexer | |
WO2024004862A1 (ja) | フィルタ装置および通信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120821 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120903 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5093402 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928 Year of fee payment: 3 |