CN204615783U

CN204615783U - 弹性波装置以及滤波器装置

Info

Publication number: CN204615783U
Application number: CN201390000709.0U
Authority: CN
Inventors: 三宅高志
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2012-08-29
Filing date: 2013-08-21
Publication date: 2015-09-02
Anticipated expiration: 2023-08-21
Also published as: WO2014034492A1

Abstract

本实用新型提供一种弹性波装置，在压电基板上电容电极与IDT电极连接的构成中，能够提高基于电容电极的电容元件的Q值。弹性波装置(1)在压电基板(2)上配置有IDT电极(3)、和与IDT电极(3)电连接的电容电极(6)，电容电极(6)具有第1梳齿电极(6a)和第2梳齿电极(6b)，第1、第2梳齿电极(6a、6b)被构成为：在至少一部分的频带，使电容电极(6)的至少一部分被激励的弹性波与其他部分的至少一部分被激励的弹性波相抵消。

Description

弹性波装置以及滤波器装置

技术领域

本实用新型涉及电容电极与IDT电极电连接的弹性波装置以及具有该弹性波装置的梯型滤波器。

背景技术

以往，已知各种利用了弹性表面波、弹性边界波的各式各样的弹性波装置。例如在下述的专利文献1中，公开了一种在压电基板上构成有弹性表面波谐振器以及电容电极的弹性表面波装置。在该弹性表面波装置中，在压电基板上形成有包括比Al重的金属的IDT电极。在IDT电极的两侧设置有反射器，由此来构成弹性表面波谐振器。此外，按照与该弹性表面波谐振器并联连接的方式设置有电容电极。这里，电容电极构成为包括具有相互插合的多根电极指的第1、第2梳齿电极。也就是说，第1梳齿电极的电极指与第2梳齿电极的电极指在与这些电极指延伸的方向正交的方向上被交替地配置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-260833号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

在专利文献1所记载的弹性表面波装置中，由电容电极构成的电容元件的电导大。也就是Q值低。因此，若使用这种弹性表面波装置来构成带通滤波器，则有可能导致插入损耗恶化、或者滤波器特性的陡峭性恶化。

本实用新型的目的在于提供一种弹性波装置，该弹性波装置在压电基板上构成有与IDT电极电连接的电容电极，且能够提高由电容电极构成的电容元件的Q值。

用于解决课题的手段

本实用新型所涉及的弹性波装置具备：压电基板；IDT电极，其被配置在所述压电基板上，且具有多个电极指；和电容电极，其被配置在所述压电基板上，且与所述IDT电极电连接。

在本实用新型中，所述电容电极包括：具有多根电极指的第1梳齿电极、和具有多根电极指的第2梳齿电极，第1梳齿电极的多根电极指与第2梳齿电极的多根电极指插合。在本实用新型中，第1梳齿电极和第2梳齿电极被构成为：在至少一部分的频带，使所述电容电极的至少一部分被激励的弹性波与该电容电极的其他部分中的至少一部分被激励的弹性波相抵消。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的某一特定的方面，在与所述电容电极的电极指延伸的方向正交的方向的至少一部分，在所述第1梳齿电极以及第2梳齿电极当中的至少一个梳齿电极中被配置为至少两根电极指在弹性波传播方向上连续。在该情况下，能够更有效地抑制内部反射所引起的谐振。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的另一特定的方面，在与所述电容电极的多根电极指延伸的方向正交的方向上，所述第1梳齿电极的两根电极指与所述第2梳齿电极的两根电极指被交替地配置。在该情况下，由所谓的双电极来构成电容电极。因此，能够更有效地相抵弹性波的内部反射。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，在所述第1梳齿电极以及第2梳齿电极的两根电极指中，该两根电极指的各自的宽度为λ/8，该两根电极指之间的间隙为λ/8。因此，能够更有效地相抵弹性波的内部反射。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述IDT电极中的所述电极指延伸的方向与构成所述电容电极的所述第1梳齿电极以及第2梳齿电极的所述电极指延伸的方向被设为不同的方向。在该情况下，若增大设有IDT电极的部分中的机电耦合系数，则能够减小电容电极中的机电耦合系数。因此，能够减小在电容电极产生的弹性波的能量。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述IDT电极的电极指延伸的方向与所述电容电极中的第1梳齿电极和第2梳齿电极的电极指延伸的方向相正交。在该情况下，能够进一步减小电容电极中的机电耦合系数。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述第1梳齿电极和第2梳齿电极的电极指的宽度以及被连接在不同电位的电极指之间的间隙当中的至少一方，与所述IDT电极中的电极指的宽度以及被连接在不同电位的电极指之间的间隙当中的至少一方不同。在该情况下，通频带内的不必要的谐振的波峰更加难以产生。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，在所述电容电极内的多根电极指中，至少一部分的电极指的线宽以及相邻的电极指之间的间隙当中的至少一方，与其他的电极指的线宽以及其他的相邻的电极指之间的间隙当中的至少一方不同。在该情况下，不必要的谐振的频率分离为多个，能够减小不必要的谐振的波峰强度。

在本实用新型所涉及的滤波器装置的某一特定的方面，提供一种具有包括多个弹性波装置的多个谐振器的梯型滤波器，这里，至少一个谐振器包括根据本实用新型而构成的弹性波装置。

在本实用新型所涉及的滤波器装置的又一特定的方面，所述弹性波装置的IDT电极构成了所述梯型滤波器的并联臂谐振器，所述电容电极与该并联臂谐振器并联电连接。在该情况下，能够减小并联臂谐振器的相对频带，并且能够提高通频带低频侧的陡峭性。

在本实用新型所涉及的滤波器装置的又一特定的方面，所述弹性波装置的IDT电极构成了所述梯型滤波器的串联臂谐振器，所述电容电极与该串联臂谐振器并联电连接。在该情况下，能够减小串联臂谐振器的相对频带，并且能够提高通频带低频侧的陡峭性。

根据本实用新型所涉及的滤波器装置的另一方面，提供一种滤波器装置，具有：纵耦合谐振器型弹性波滤波器；和弹性波谐振器，其与该纵耦合谐振器型弹性波滤波器连接，所述弹性波谐振器由根据本实用新型而构成的弹性波装置的所述IDT电极来构成。在该情况下，能够容易地调整纵耦合谐振器型弹性波滤波器的特性。特别地，在所述电容电极与所述弹性波谐振器并联连接的情况下，能够减小弹性波谐振器的相对频带，并且能够有效地提高滤波器装置整体的通频带低频侧的陡峭性。

本实用新型的另一方面所涉及的弹性波装置，具备：压电基板；IDT电极，其被配置在所述压电基板上，且具有多个电极指；和电容电极，其被配置在所述压电基板上，且与所述IDT电极电连接，所述电容电极包括：具有多根电极指的第1梳齿电极、和具有多根电极指的第2梳齿电极，第1梳齿电极的多根电极指与第2梳齿电极的多根电极指插合，第1梳齿电极和第2梳齿电极被构成为：在至少一部分的频带，使所述电容电极的至少一部分被激励的弹性波与该电容电极的其他部分中的至少一部分被激励的弹性波相抵消，所述电容电极被形成为使电极指之间的间隙以及电极指对之间的间隙在弹性波传播方向上不一样。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述电容电极被形成为取决于所述电极指对之间的间隙而产生的弹性波的频率分布被分散。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述电容电极是所述电极指对之间的间隙被随机设定的随机电极型的电容电极。

实用新型效果

根据本实用新型所涉及的弹性波装置，在与IDT电极电连接的电容电极中，由于第1、第2梳齿电极如上所述那样构成，因此能够有效地抑制在向电容电极施加电压的情况下产生的弹性波在电容电极内的内部反射。因而，能够提高由电容电极构成的电容元件的Q值。

附图说明

图1(a)是本实用新型的一实施方式所涉及的弹性波装置的示意性俯视图，图1(b)是表示在一实施方式中使用的电容电极的俯视图。

图2是具备本实用新型的一实施方式的弹性波装置的滤波器装置的电路图。

图3是表示在实施方式中使用的电容电极与比较例的电容电极的Q值和频率的关系的图。

图4是表示在实施方式中使用的电容电极与比较例的电容电极的反射损耗S和频率的关系的图。

图5是表示实施方式中的弹性表面波谐振器与电容电极被并联连接的构成以及比较例的构成中的反射损耗和频率的关系的图。

图6是表示在第1实施方式中使用的电容电极的变形例的图。

图7是表示在第1实施方式中使用的电容电极的另一变形例的图。

图8是用于对单电极型的梳齿电极中的弹性波的反射状态进行说明的示意性俯视图。

图9是用于对双电极型的梳齿电极中的弹性波的反射状态进行说明的示意性俯视图。

图10是本实用新型的滤波器装置的其他例子的电路图。

图11是本实用新型的滤波器装置的又一其他例子的电路图。

图12是本实用新型的滤波器装置的其他例子的电路图。

图13是本实用新型的滤波器装置的又一其他例子的电路图。

具体实施方式

下面，参照附图，来对本实用新型的具体实施方式进行说明，从而使本实用新型清楚明了。

图1(a)是本实用新型的一实施方式所涉及的弹性波装置的示意性俯视图。本实施方式的弹性波装置1是利用了弹性表面波的弹性表面波谐振装置。

弹性波装置1具有压电基板2。压电基板2能够由LiTaO₃、LiNbO₃或者水晶等压电单晶、压电陶瓷构成。

在压电基板2的上表面，形成有IDT电极3。IDT电极3具有第1、第2梳齿电极3a、3b。第1梳齿电极3a的多根电极指3a1与第2梳齿电极3b的多根电极指3b1插合。上述电极指3a1与电极指3b1在由IDT电极3激励的弹性表面波的传播方向上被交替地配置。也就是说，IDT电极3是所谓的单电极型的IDT电极。

在IDT电极3的弹性表面波传播方向两侧，配置有反射器4、5。在构成有上述IDT电极3以及反射器4、5的区域中，构成了弹性表面波谐振器。

按照与上述IDT电极3并联电连接的方式，电容电极6被形成在压电基板2上。该电容电极6具有第1梳齿电极6a和第2梳齿电极6b。在图 1(b)中将电容电极6放大，但是以与图1(a)旋转了90°的状态来表示。在电容电极6中，第1梳齿电极6a具有母线6a1。在母线6a1连接着多根电极6a2、6a3的一端。在本实施方式中，两根电极指6a2、6a3作为一组电极指对，在与电极指6a2、6a3延伸的方向正交的方向即母线6a1延伸的方向上被配置多组。同样地，第2梳齿电极6b也具有母线6b1，在母线6b1连接着多根电极指6b2、6b3的一端。在第2梳齿电极6b中，也将两根电极指6b2、6b3设为一组的电极指对，在与电极指6b2、6b3延伸的方向正交的方向上被配置多组。

并且，由电极指6a2、6a3构成的两根一组的电极指对与由电极指6b2、6b3构成的两根一组的电极指对，在母线6a1、6b1延伸的方向即与电极指延伸的方向正交的方向上被交替地配置。因此，电容电极6具有所谓的双电极型的结构。

上述IDT电极3、反射器4、5以及电容电极6能够使用Ag、Cu、Al等适当的金属或者合金来形成。

在弹性波装置1中，通过向IDT电极3施加交流电场，从而能够得到谐振特性。并且，由于上述电容电极6与IDT电极3并联电连接，因此能够通过电容电极6的电容来调整谐振特性。

但是，电容电极6被形成在压电基板2上。因此，在电容电极6中，若被施加电压，则也会激励一些弹性表面波。不过，在设计弹性波装置1时，由于利用的是基于IDT电极3的谐振特性，因此按照提高IDT电极3中的机电耦合系数的方式来设定IDT电极3的电极指延伸的方向。

上述电容电极6的电极指6a2、6a3、6b2、6b3延伸的方向被设为与IDT电极3中的电极指3a1、3b1延伸的方向正交的方向。因此，基于电容电极6的电容元件中的机电耦合系数被设得较小。也就是说，能够减小电容电极6中的弹性波的能量，如后面所述那样作为电容元件来发挥作用。不过，电容电极6中的电极指延伸的方向并不限定于与IDT电极3中的电极指3a1、3b1延伸的方向正交的方向。即使两者延伸的方向为平行，也能够通过电容电极6的构成来抑制内部反射。不过，优选使电容电极6中的电极指6a2、6a3、6b2、6b3延伸的方向与IDT电极3中的电极指3a1、3b1延伸的方向交叉，更优选如上所述那样相正交。

本实施方式的弹性波装置1的特征在于，电容电极6被构成为，在施加电压时，在电容电极6的至少一部分被激励的弹性波与在剩下部分中的至少一部分被激励的弹性波，在一部分的频率上相互抵消。更具体而言，在本实施方式中，如上所述，由双电极来构成电容电极6。换言之，若以第1梳齿电极6a为例，被连接在相同电位的电极指6a2、6a3在弹性波传播方向上相邻。因此，根据后述的实验例可知，能够提高由电容电极6构成的电容元件的Q值，能够改善弹性波装置1中的谐振特性上的反谐振频率附近的反射损耗。基于具体的实验例来对此进行说明。

作为上述压电基板2，使用42°Y切割X传播的LiTaO₃基板。将IDT电极3中的电极指的周期设为1.6μm，设计了谐振频率为2.45GHz的弹性表面波谐振器。IDT电极3以及反射器4、5由厚度为120nm的Al来形成。

电容电极6中的电极指的周期设为5.0μm。另外，所谓电极指的周期，是指由电极指6a2、6a3构成的电极指对与由电极指6b2、6b3构成的电极指对被交替地配置的部分的周期。也就是说，是指电极指6a2、6a3之间的中心与电极指6b2、6b3之间的中心的沿着弹性波传播方向的距离。

电容电极6中的电极指6a2、6a3、6b2、6b3的宽度设为0.875μm。电极指的根数设为48根，交叉宽度设为30μm。此外，使电极指6a2、6a3、6b2、6b3延伸的方向与IDT电极3中的电极指3a1、3b1延伸的方向相正交。

求出仅由不与IDT电极3连接的电容电极6构成的电容元件的Q值和频率的关系、以及反射损耗S和频率的关系。为了比较，在相同的压电基板上形成单电极型的电容电极，同样地测量了Q值和频率的关系以及反射损耗S和频率的关系。在图3以及图4中示出结果。图3的实线表示上述实施方式的电容电极的结果，虚线表示比较例的结果。

另外，在比较例的单电极型的电容电极中，将波长λ设为5.0μm，将电极指的宽度设为1.75μm，将占空比设为0.7，将电极指的根数设为35根，将交叉宽度设为30μm。所谓电极指的宽度，是指沿着与电极指延伸的方向正交的方向的电极指的尺寸。所谓占空比，是指电极指的宽度尺寸除以电极指的宽度尺寸和沿着与电极指延伸的方向正交的方向的相邻的电极指之间的间隙尺寸之和所得的比。所谓相对频带，是指谐振器中的反谐振频率相对于谐振频率的比。

根据图3可知，与比较例的电容电极相比，在双电极型的电容电极6中，在1.2GHz～3.2GHz频带中，能够有效地提高Q值。同样地，在反射损耗特性方面也根据图4可知，在同一频带中，能够有效地改善反射损耗。进一步地，可知1.2GHz以及1.9GHz附近的谐振峰值也被抑制。认为这是由于在电容电极6中，在与电极指6a2、6a3、6b2、6b3延伸的方向正交的弹性波传播方向上，被连接在相同电位的两根电极指相邻，由此在一部分被激励的弹性波与在其他的至少一部分被激励的弹性波相互抵消，即内部反射被抑制。

图5表示根据上述实施方式而电容电极6与IDT电极3并联连接的构成、和上述比较例的电容电极6与IDT电极3连接的构成的反射损耗特性。图5的实线表示上述实施方式的结果，虚线表示比较例的结果。在比较例中，在与实施例同样构成的IDT电极3上并联电连接了上述单电极型的上述比较例的电容电极。根据图5可知，与比较例相比，根据实施例，能够有效地改善反谐振频率附近的反射损耗。

图6是表示上述电容电极6的变形例的俯视图。在本变形例的电容电极6A中，电极指6a2、6a3、6b2、6b3之间的间隙以及电极指对之间的间隙在弹性波传播方向上被设为随机。也就是说，由于是电容电极的电极指对之间的间隙被随机设置的随机电极型的电容电极，因此取决于电极指对之间的间隙而产生的弹性波的频率分布被分散。因而，随机电极型的电容电极与单电极型的电容电极相比，能够抑制电容电极内的弹性波的增强。由此，能够有效地抑制弹性波在电容电极内的内部反射，因此优选将电容电极6A形成为使电极指之间的间隙以及电极指对之间的间隙在弹性波传播方向上不同。

在图6中，电极指6a2、6a3、6b2、6b3的电极指的宽度W相等。另一方面，例如，电极指6b2与电极指6a2之间的间隙R1、和电极指6a2与电极指6b3之间的间隙R2不同。也就是说，在图6中，在电容电极6内的多个电极指中，相邻的电极指之间的间隙与其他相邻的电极指之间的间隙不同。

图7是表示电容电极6的又一其他变形例的俯视图。在该变形例的电容电极6B中，电极指6a4～6a6的宽度以及电极指6b4、6b5的宽度随机地不同。如此，也可以使电极指6a4～6a6、6b4、6b5的宽度随机地不同。

如上所述，在图7中，至少一部分的电极指的宽度W1与其他电极指的宽度W2不同。不过，相邻的电极指的宽度R被设为相等。

如上所述，如电容电极6A、6B那样，通过使电极指之间的间隙、电极指对之间的间隙、电极指的宽度有一部分与其他部分不同，从而与上述实施方式的电容电极6的情况同样地，能够有效地抑制施加电压时的弹性波的内部反射。也就是说，在本实用新型中的电容电极之中，在一部分被激励的弹性波与在剩下的其他部分中的至少一部分被激励的弹性波于至少一部分的频带相互抵消的构成并不限定于双电极型的构成。也可以使间隙的宽度部分地变化、或使电极指的宽度部分地变更，或者也可以组合这两者。换言之，构成为在电容电极中具有第1梳齿电极以及第2梳齿电极的多根电极指在与电极指延伸的方向正交的方向上不一样的部分即可。

如上所述，在电容电极内，在至少一部分的电极指中，电极指的宽度以及相邻的电极指的间隙也可以与其他电极指的宽度以及其他的相邻的电极指的间隙当中的至少一方不同。由此，在单电极型的情况下，也能够有效地抑制电容电极内的弹性波的内部反射。参照图8来对此进行说明。

图8是用于对单电极型的电容电极41中的弹性波的内部反射进行说明的示意性俯视图。该电容电极41不是本实用新型的实施方式中的电容电极。也就是说，在电容电极41中，多根电极指41a、41b的线宽被设为相等。此外，相邻的电极指41a、41b之间的间隙被设为全都相等。

在电容电极41中，弹性波如箭头A1、A3、A11、A13所示那样被反射。也就是说，取决于电极指的构成而产生的具有波长λ的弹性波在与电极指41a、41b正交的方向上传播，但在电极指与压电体的边界部分被反射。在该情况下，将电极指41a、41b的宽度设为λ/4，将电极指之间的间隙设为λ/4。也就是说，若所有的电极指的宽度以及电极指之间的间隙设为相等，则反射波A1与反射波A3的相位偏移λ。这是由于，在反射波A1与反射波A3中，边界的反射条件不同，因此相位相差(λ/2)，进一步地，与反射波A3的传播距离相比，反射波A1的传播距离增长了(λ/4) ×2。也就是说，与反射波A3的相位相比，反射波A1的相位偏移了(λ/2)+(λ/4)×2＝λ。其他相邻的反射波也是同样的。因此，在单型的电容电极41中，弹性波的反射波相互增强。

与此相对地，在图6以及图7所示的电容电极6A、6B中，如上所述那样，在电容电极的多根电极指中，由于至少一部分的电极指的宽度以及相邻的电极指之间的间隙当中的至少一方与其他电极指的宽度以及其他相邻的电极指之间的间隙当中的至少一方不同，因此反射波减弱。由此，能够抑制内部反射所带来的影响。

此外，在上述第1实施方式的电容电极6中，由于是双电极型的电容电极，因此能够有效地抑制反射波的影响。参照图9来对此进行说明。

图9是示意性地表示电容电极6、即双电极型的电容电极6的俯视图。在电容电极6中，电极指6a2、6a3与电极指6b2、6b3在弹性波传播方向上被交替地配置。电极指6a2、6a3、6b2、6b3的电极指宽度为λ/8。此外，电极指6a2与电极指6a3之间的间隙、电极指6b3与电极指6a2之间的间隙、以及电极指6b2与电极指6b3的间隙全都为λ/8。

在该情况下，图9所示的反射波B1的相位与反射波B3的相位偏移了(λ/8)×2+(λ/8)×2＝λ/2。也就是说，反射波B1与反射波B3相抵。同样地，反射波B2的相位与反射波B4的相位也偏移了λ/2。由此，反射波B2与反射波B4也相抵。反射波B11的相位相比于反射波B3以及反射波B13的相位偏移了λ/2。同样地，反射波B12的相位相比于反射波B4以及反射波B14的相位偏移了λ/2。如此，在双电极型的电容电极6中，在电极指的宽度以及电极指之间的间隙全都相等的情况下，上述反射波B1～B4、B11～B14相抵，能够有效地抑制内部反射所带来的影响。

另外，在单电极型以及双电极型的任何类型的梳齿电极所构成的电容电极中，均可以部分地变更电极指交叉宽度。由此，能够调整通过电容电极而得到的静电电容。

图2是表示作为使用了第1实施方式的弹性波装置的滤波器装置的一个例子的梯型滤波器的电路图。

在本实施方式的梯型滤波器11中，串联臂谐振器S1～S4在串联臂中相互被串联连接。并联臂谐振器P1～P3分别被连接在串联臂与接地电位之间。电容电极6与并联臂谐振器P1并联连接。上述实施方式的弹性波装置1能够被用于该并联臂谐振器P1与电容电极6被并联连接的部分。

在梯型滤波器11中，由于在滤波器电路内具备上述电容电极6，因此能够调整梯型滤波器11的特性。特别地，由于电容电极6与并联臂谐振器P1并联连接，因此能够减小并联臂谐振器P1中的相对频带，也就是说能够使谐振频率与反谐振频率接近。因此，能够提高梯型滤波器11的通频带低频侧的陡峭性。

图10以及图11是图2所示的梯型滤波器11的变形例所涉及的梯型滤波器的各电路图。在图10所示的梯型滤波器41中，除了由电容电极6构成的电容元件不与并联臂谐振器P1而与串联臂谐振器S1并联连接以外，具有与图2所示的梯型滤波器11同样的电路构成。在本变形例中，串联谐振器的反谐振点的阻抗增加，能够提高相当于反谐振频率的高频侧衰减频带的衰减量。因此，能够提高通频带高频侧的陡峭性。

在图11所示的梯型滤波器51中，除了由电容电极6构成的电容元件与并联臂谐振器P1以及串联臂谐振器S1双方并联连接以外，具有与图2所示的梯型滤波器11同样的电路构成。在图11所示的另一变形例中，能够减小并联臂谐振器中的相对频带，并且能够增大串联臂谐振器的反谐振点的阻抗。因此，能够提高通频带低频侧以及通频带高频侧的陡峭性。

本实用新型的弹性波装置所被适用的滤波器装置并不限定于上述梯型滤波器11。图12是表示作为适用了本实用新型的弹性波装置的滤波器装置的另一个例子的纵耦合谐振器型的滤波器装置的电路图。

滤波器装置21具有纵耦合谐振器型的3IDT型的弹性波滤波器32。在该弹性波滤波器32与输入端33之间，连接有一端口型串联臂弹性波谐振器34。在弹性波滤波器32的输入侧与接地电位之间，连接有一端口型并联臂弹性波谐振器35。由电容电极6构成的电容器与一端口型并联臂弹性波谐振器35并联连接。该一端口型并联臂弹性波谐振器35相当于具有前述的IDT电极3的弹性波谐振器。

也就是说，能够将具有上述IDT电极3的一端口型并联臂弹性波谐振器35和由电容电极6构成的电容元件被并联连接的上述弹性波装置1，与纵耦合谐振器型的弹性波滤波器32组合来使用。

这里，由电容电极6构成的电容元件与一端口型并联臂弹性波谐振器35并联连接。因此，能够减小具有IDT电极3的一端口型并联臂弹性波谐振器35的相对频带，能够提高滤波器装置21整体的通频带低频侧的陡峭性。

图13表示纵耦合谐振器型的弹性波滤波器装置的变形例。在本变形例的滤波器装置61中，由电容电极6构成的电容元件与一端口型串联臂弹性波谐振器34并联连接来代替一端口型并联臂弹性波谐振器35。

在该情况下，一端口型串联臂弹性波谐振器34的反谐振点的阻抗增加，能够提高相当于反谐振频率的高频侧衰减频带的衰减量。因此，能够提高通频带高频侧的陡峭性。

另外，虽然在上述实施方式中对利用了弹性表面波的弹性表面波装置进行了说明，但本实用新型也能够适用于利用了弹性边界波的弹性边界波装置。

符号说明

1…弹性波装置

2…压电基板

3…IDT电极

3a、3b…第1、第2梳齿电极

3a1、3b1…电极指

4、5…反射器

6、6A、6B…电容电极

6a、6b…第1、第2梳齿电极

6a1、6b1…母线

6a2～6a6、6b2～6b5…电极指

11、40、51…梯型滤波器

21、61…滤波器装置

32…弹性波滤波器

33…输入端

34…一端口型串联臂弹性波谐振器

35…一端口型并联臂弹性波谐振器

P1～P3…并联臂谐振器

S1～S4…串联臂谐振器

Claims

1.一种弹性波装置，其中，具备：

压电基板；

IDT电极，其被配置在所述压电基板上，且具有多个电极指；和

电容电极，其被配置在所述压电基板上，且与所述IDT电极电连接，

所述电容电极包括：具有多根电极指的第1梳齿电极、和具有多根电极指的第2梳齿电极，第1梳齿电极的多根电极指与第2梳齿电极的多根电极指插合，

第1梳齿电极和第2梳齿电极被构成为：在至少一部分的频带，使所述电容电极的至少一部分被激励的弹性波与该电容电极的其他部分中的至少一部分被激励的弹性波相抵消，

在与所述电容电极的电极指延伸的方向正交的方向的至少一部分，在所述第1梳齿电极以及第2梳齿电极当中的至少一个梳齿电极中被配置为至少两根电极指在弹性波传播方向上连续，

在与所述电容电极的多根电极指延伸的方向正交的方向上，所述第1梳齿电极的两根电极指与所述第2梳齿电极的两根电极指被交替地配置，

在所述第1梳齿电极以及第2梳齿电极的两根电极指中，该两根电极指的各自的宽度为λ/8，该两根电极指之间的间隙为λ/8，

所述IDT电极中的所述电极指延伸的方向与构成所述电容电极的所述第1梳齿电极以及第2梳齿电极的所述电极指延伸的方向被设为不同的方向。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极的电极指延伸的方向与所述电容电极中的第1梳齿电极和第2梳齿电极的电极指延伸的方向相正交。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

所述第1梳齿电极和第2梳齿电极的电极指的宽度以及被连接在不同电位的电极指之间的间隙当中的至少一方，与所述IDT电极中的电极指的宽度以及被连接在不同电位的电极指之间的间隙当中的至少一方不同。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述电容电极内的多根电极指中，至少一部分的电极指的线宽以及相邻的电极指之间的间隙当中的至少一方，与其他的电极指的线宽以及其他的相邻的电极指之间的间隙当中的至少一方不同。

5.一种滤波器装置，其是具有包括多个弹性波装置的多个谐振器的梯型滤波器，其中，

至少一个谐振器包括权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置。

6.根据权利要求5所述的滤波器装置，其中，

所述弹性波装置的IDT电极构成了所述梯型滤波器的并联臂谐振器，所述电容电极与该并联臂谐振器并联电连接。

7.根据权利要求6所述的滤波器装置，其中，

所述弹性波装置的IDT电极构成了所述梯型滤波器的串联臂谐振器，所述电容电极与该串联臂谐振器并联电连接。

8.一种滤波器装置，其中，具有：

纵耦合谐振器型弹性波滤波器；和

弹性波谐振器，其与该纵耦合谐振器型弹性波滤波器连接，

所述弹性波谐振器由权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置的所述IDT电极来构成。

9.根据权利要求8所述的滤波器装置，其中，

所述电容电极与所述弹性波谐振器并联连接。

10.一种弹性波装置，其中，具备：

压电基板；

所述电容电极被形成为使电极指之间的间隙以及电极指对之间的间隙在弹性波传播方向上不一样。

11.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，

所述电容电极被形成为取决于所述电极指对之间的间隙而产生的弹性波的频率分布被分散。

12.根据权利要求10或11所述的弹性波装置，其中，

所述电容电极是所述电极指对之间的间隙被随机设定的随机电极型的电容电极。