WO2023063254A1 - 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents

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WO2023063254A1
WO2023063254A1 PCT/JP2022/037605 JP2022037605W WO2023063254A1 WO 2023063254 A1 WO2023063254 A1 WO 2023063254A1 JP 2022037605 W JP2022037605 W JP 2022037605W WO 2023063254 A1 WO2023063254 A1 WO 2023063254A1
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electrode fingers
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ground
electrode
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明 野口
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株式会社村田製作所
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    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves

Definitions

  • the present invention relates to acoustic wave filters and multiplexers.
  • Acoustic wave filters are conventionally known which include a filter circuit and an additional circuit connected in parallel to the filter circuit.
  • Patent Document 1 discloses an additional circuit (phase shift circuit) having an IDT electrode composed of a plurality of inclined electrode fingers. According to the elastic wave filter provided with this additional circuit, it is possible to improve the attenuation characteristic in the stopband outside the passband of the filter circuit.
  • the additional circuit may cause strong excitation, and unnecessary ripple may occur in the passband. Therefore, there is a problem that loss occurs in the pass band of the elastic wave filter.
  • the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an elastic wave filter or the like that suppresses loss in the passband.
  • an elastic wave filter includes: a plurality of input/output terminals; a filter circuit provided on a first path connecting the plurality of input/output terminals; an additional circuit provided on a second path connected in parallel with at least part of the At least one of the plurality of IDTs includes an excitation unit that excites at a frequency in the passband of the filter circuit, and is arranged next to the excitation unit in the elastic wave propagation direction to suppress excitation of the excitation unit. and an excitation suppression unit.
  • an elastic wave filter includes: a plurality of input/output terminals; a filter circuit provided on a first path connecting the plurality of input/output terminals; and an additional circuit provided on a second path connected in parallel with at least part of the A pair of electrode fingers extending in a direction intersecting the acoustic wave propagation direction and arranged parallel to each other and a busbar electrode connecting one ends of the electrode fingers forming the plurality of electrode fingers.
  • a floating electrode finger is defined as an electrode finger which has a comb-shaped electrode, is arranged between two electrode fingers among the plurality of electrode fingers, and is not connected to any of the busbar electrodes constituting the pair of comb-shaped electrodes.
  • an electrode finger connected to the same busbar electrode as the busbar electrode to which the adjacent electrode finger is connected is defined as a polarity-reversed electrode finger
  • the plurality of electrodes Among the fingers, the electrode finger having the largest electrode finger width and having a width of at least twice the average electrode finger width of the electrode fingers other than the electrode finger is defined as the filled electrode finger
  • the IDT has at least one electrode finger structure of the floating electrode finger, the polarity reversal electrode finger and the filled electrode finger.
  • an elastic wave filter includes: a plurality of input/output terminals; a filter circuit provided on a first path connecting the plurality of input/output terminals; an additional circuit provided on a second path connected in parallel with at least part of the additional circuit, the additional circuit having a plurality of IDTs (InterDigital Transducers) arranged along the first direction, the plurality of at least one of the IDTs has a first excitation section and a second excitation section, and each of the first excitation section and the second excitation section is connected to a signal wiring on the second path and a ground-side busbar electrode arranged parallel to the signal-side busbar electrode and connected to the ground, and the first excitation section is further connected to the signal-side busbar electrode.
  • IDTs InterDigital Transducers
  • first signal-side electrode fingers extending in a second direction perpendicular to the first direction; and a plurality of first ground-side electrode fingers connected to the ground-side busbar electrodes and extending in the second direction. and, the first signal-side electrode fingers and the first ground-side electrode fingers are alternately arranged along the first direction, and the second excitation section further includes the signal-side bus bar.
  • the second signal-side electrode fingers closest to one excitation section are arranged adjacent to each other at a distance S in the first direction, or the first ground-side electrode fingers among the plurality of first ground-side electrode fingers are arranged adjacent to each other in the first direction. 2.
  • the first ground-side electrode finger closest to the excitation section and the second ground-side electrode finger closest to the first excitation section among the one or more second ground-side electrode fingers are aligned in the first direction. 2, the first excitation section and the second When the average pitch of the excitation parts is Pa, the distance S is Pa/2 or more and 3 Pa/2 or less.
  • a multiplexer includes the above elastic wave filter.
  • the elastic wave filter and the like according to the present invention it is possible to suppress the occurrence of loss in the passband.
  • FIG. 1 is a diagram showing an acoustic wave filter according to an embodiment and a longitudinally coupled acoustic wave resonator as an additional circuit included in the acoustic wave filter.
  • FIG. 2 is a diagram showing an excitation section and an excitation suppression section of an IDT included in a longitudinally coupled acoustic wave resonator.
  • FIG. 3 is a circuit configuration diagram of a multiplexer including elastic wave filters according to the embodiment.
  • FIG. 4 is a diagram showing a longitudinally coupled acoustic wave resonator as an additional circuit included in the acoustic wave filter of the example, which is an example of the embodiment.
  • FIG. 1 is a diagram showing an acoustic wave filter according to an embodiment and a longitudinally coupled acoustic wave resonator as an additional circuit included in the acoustic wave filter.
  • FIG. 2 is a diagram showing an excitation section and an excitation suppression section of an IDT included in a longitudinally coupled
  • FIG. 5 is a diagram showing electrode parameters of elastic wave resonators of a filter circuit included in the elastic wave filter of the embodiment.
  • FIG. 6 is a diagram showing electrode parameters of the longitudinally coupled acoustic wave resonator of the example.
  • FIG. 7 is a diagram showing a longitudinally coupled elastic wave resonator as an additional circuit included in the elastic wave filter of the comparative example.
  • FIG. 8 is a diagram showing electrode parameters of a longitudinally coupled acoustic wave resonator of a comparative example.
  • FIG. 9 is a diagram showing insertion loss of a longitudinally coupled acoustic wave resonator and an acoustic wave filter of a comparative example.
  • FIG. 10 is a diagram showing the insertion loss of the longitudinally coupled acoustic wave resonator and the acoustic wave filter of the example.
  • FIG. 11 is a diagram showing an IDT of a longitudinally coupled acoustic wave resonator according to Modification 1 of the embodiment.
  • FIG. 12 is a diagram showing an elastic wave filter according to Modification 2 of the embodiment.
  • FIG. 13 is a diagram showing an IDT of a longitudinally coupled acoustic wave resonator according to Modification 3 of the embodiment.
  • FIG. 14 is a diagram showing an IDT of a longitudinally coupled acoustic wave resonator according to Modification 4 of the embodiment.
  • FIG. 11 is a diagram showing an IDT of a longitudinally coupled acoustic wave resonator according to Modification 1 of the embodiment.
  • FIG. 12 is a diagram showing an elastic wave filter according to Modification 2 of the embodiment.
  • FIG. 13 is a diagram showing an IDT of a
  • FIG. 15 is a diagram showing an IDT of a longitudinally coupled acoustic wave resonator according to Modification 5 of the embodiment.
  • FIG. 16 is a diagram showing a first excitation section and a second excitation section of an IDT included in a longitudinally coupled acoustic wave resonator of an additional circuit of an acoustic wave filter according to another example of the embodiment.
  • 17 is a diagram showing a longitudinally coupled acoustic wave resonator of an additional circuit included in the acoustic wave filter according to the embodiment of FIG. 16.
  • FIG. 1 Summary of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
  • FIG. 1 is a diagram showing an acoustic wave filter 1 according to an embodiment and a longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of an additional circuit 20 included in the acoustic wave filter 1.
  • FIG. FIG. 1(a) shows the acoustic wave filter 1
  • FIG. 1(b) shows the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of the additional circuit 20. As shown in FIG.
  • the acoustic wave filter 1 includes a filter circuit 10 provided on a first path r1 connecting an input/output terminal T1 and an input/output terminal T2, and a filter circuit 10 connected in parallel to the first path r1. and an additional circuit 20 provided on the second route r2.
  • the additional circuit 20 has a longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 .
  • the additional circuit 20 may have a transversal elastic wave resonator instead of the longitudinally coupled elastic wave resonator.
  • the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 has multiple IDTs (InterDigital Transducers) 31 and 32 and multiple reflectors 41 and 42 .
  • the plurality of reflectors 41 and 42 are arranged on both outer sides of the IDTs 31 and 32 so as to sandwich the plurality of IDTs 31 and 32 in the elastic wave propagation direction d1.
  • the IDT 31 has a first comb electrode 31a and a second comb electrode 31b
  • the IDT 32 has a first comb electrode 32a and a second comb electrode 32b.
  • Each of the first comb electrodes 31a and 32a includes a busbar electrode 36a extending in the acoustic wave propagation direction d1, and a plurality of electrode fingers 35a connected to the busbar electrode 36a and extending in the orthogonal direction d2 orthogonal to the elastic wave propagation direction d1. ,have.
  • the busbar electrode 36a connects ends of the plurality of electrode fingers 35a.
  • Each of the second comb electrodes 31b and 32b has a busbar electrode 36b extending in the acoustic wave propagation direction d1 and a plurality of electrode fingers 35b connected to the busbar electrode 36b and extending in the orthogonal direction d2.
  • the busbar electrode 36b connects one ends of the plurality of electrode fingers 35b.
  • the busbar electrodes 36b of the second comb electrodes 31b and the second comb electrodes 32b are shared.
  • the plurality of electrode fingers 35a and 35b are arranged parallel to each other and are interposed in the orthogon
  • the first comb-shaped electrodes 31a, 32a are connected to the signal wiring sL2 on the second path r2, and the second comb-shaped electrodes 31b, 32b are connected to the ground. That is, the busbar electrode 36a and the electrode finger 35a are set to the signal potential, and the busbar electrode 36b and the electrode finger 35b are set to the ground potential.
  • the IDT 31 of the present embodiment has a region in which a plurality of electrode fingers 35a and 35b are alternately arranged along the elastic wave propagation direction d1, that is, a region in which electrode fingers having the same potential are arranged for each wavelength. ing.
  • the IDT 31 also has a region where two electrode fingers 35a having the same potential are adjacent to each other. In other words, the IDT 31 has a region in which the electrode fingers 35b set to the ground potential are arranged at positions separated by one wavelength from the electrode fingers 35a set to the signal potential.
  • FIG. 2 is a diagram showing the excitation section 51 and the excitation suppression section 52 of the IDT 31 included in the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25.
  • FIG. 2 is a diagram showing the excitation section 51 and the excitation suppression section 52 of the IDT 31 included in the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25.
  • the IDT 31 has an excitation section 51 and an excitation suppression section 52 separated by a gap v between two adjacent electrode fingers 35a.
  • the excitation unit 51 is a portion that excites at a frequency in the passband of the filter circuit 10, and is provided on the reflector 41 side when viewed from the gap v.
  • the excitation suppression section 52 is a section that suppresses the excitation of the excitation section 51, and is provided on the side opposite to the reflector 41 when viewed from the gap v, that is, on the IDT 32 side.
  • the excitation suppression unit 52 is arranged next to the excitation unit 51 in the elastic wave propagation direction d1.
  • the excitation suppression unit 52 shown in the figure is provided at the end of the IDT 31 in the acoustic wave propagation direction d1. Further, the number of electrode fingers 35 a and 35 b of the excitation suppressing section 52 is smaller than the number of electrode fingers 35 a and 35 b of the excitation section 51 .
  • the IDT 31 As described above, in the IDT 31, two electrode fingers 35a having the same potential are arranged adjacent to each other in the elastic wave propagation direction d1. Therefore, in the IDT 31 , elastic waves with different phases are generated between the left excitation portion 51 and the right excitation suppressing portion 52 with the boundary between the two electrode fingers 35 a adjacent to each other in the elastic wave propagation direction d1 .
  • the phase of the elastic wave propagating through the excitation suppression section 52 is different from the phase of the elastic wave propagating through the excitation section 51 within a range of 135° or more and 225° or less.
  • phase of the elastic wave generated in the excitation unit 51 is different from the phase of the elastic wave generated in the excitation suppression unit 52 in this way, it is possible to suppress the IDT 31 including the excitation unit 51 from being excited more than necessary. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of ripples in the passband of the elastic wave filter 1 and suppress the occurrence of loss.
  • FIG. 3 is a circuit configuration diagram of the multiplexer 5 including the elastic wave filter 1 according to the embodiment.
  • the multiplexer 5 is a demultiplexer or multiplexer with multiple filters.
  • the multiplexer 5 comprises an acoustic wave filter 1 having a first filter circuit 10 and an additional circuit 20 and a second filter circuit 90 .
  • the first filter circuit 10 is a filter circuit having a first frequency band as a passband.
  • the multiplexer 5 has an input/output terminal T1 connected to the elastic wave filter 1, an input/output terminal T2 connected to both the elastic wave filter 1 and the second filter circuit 90, and an input/output terminal T2 connected to both the elastic wave filter 1 and the second filter circuit 90. and an input/output terminal T3 to be connected.
  • the input/output terminal T1 is a terminal on the signal input side of the acoustic wave filter 1.
  • the input/output terminal T1 is connected to an RF signal processing circuit (not shown) via an amplifier circuit or the like (not shown).
  • the input/output terminal T2 is a terminal on the signal output side of the acoustic wave filter 1 and a terminal on the signal input side of the second filter circuit 90. That is, the input/output terminal T2 is a common terminal for the acoustic wave filter 1 and the second filter circuit 90.
  • FIG. The input/output terminal T2 has a node n0 between the elastic wave filter 1 and the input/output terminal T2 as a branch point, one branched path is connected to the elastic wave filter 1, and the other branched path is the second filter. It is connected to circuit 90 .
  • input/output terminal T2 is connected to an antenna element (not shown).
  • An inductor L0 is connected between the path between the input/output terminal T2 and the node n0 and the ground.
  • the input/output terminal T3 is a signal output side terminal of the second filter circuit 90 .
  • the input/output terminal T3 is connected to an RF signal processing circuit (not shown) via an amplifier circuit or the like (not shown).
  • the elastic wave filter 1 is arranged on a first path r1 connecting a plurality of input/output terminals T1 and T2.
  • the elastic wave filter 1 includes a first filter circuit 10 and an additional circuit 20 additionally connected to the first filter circuit 10 .
  • a high-frequency signal input to the input/output terminal T1 is output from the input/output terminal T2 through a first path r1 and a second path r2 connected in parallel to at least part of the first path r1.
  • the first filter circuit 10 is a filter circuit having a pass band of a first frequency band defined by communication standards.
  • the elastic wave filter 1 including the first filter circuit 10 is, for example, a transmission filter whose passband is the upstream frequency band (transmission band), and is set so that the passband is lower than that of the second filter circuit 90. be.
  • the additional circuit 20 is a canceling circuit having a canceling component of opposite phase and same amplitude as the first filter circuit 10 in order to improve the attenuation characteristic outside the passband of the first filter circuit 10 .
  • the additional circuit 20 is provided on a second route r2 connected in parallel to the first route r1.
  • the additional circuit 20 has a longitudinally coupled acoustic wave resonator 25, and the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 has a plurality of IDTs 31 and 32 arranged along the acoustic wave propagation direction d1.
  • a high-frequency signal transmitted through the second path r2 is input to the IDT 32 and output from the IDT 31 . 3, illustration of the reflectors 41 and 42 is omitted.
  • the second filter circuit 90 is arranged on a third path r3 connecting the input/output terminal T2 and the input/output terminal T3.
  • the second filter circuit 90 has a passband that is different from the passband of the first filter circuit 10 .
  • the second filter circuit 90 is, for example, a reception filter whose passband is the downstream frequency band (reception band).
  • the second filter circuit 90 has, for example, series arm resonators S21 and S22, a plurality of parallel arm resonators P21, P22 and P23, and an elastic wave resonator Q21.
  • An inductor L21 is inserted between the series arm resonator S22 and the input/output terminal T3.
  • a high-frequency signal of, for example, Band 8 (transmitting band: 880 MHz-915 MHz, receiving band: 925 MHz-960 MHz) is input to and output from the multiplexer 5 .
  • Acoustic wave filter 1 and second filter circuit 90 are each required to have such characteristics as to pass frequencies in their own band and attenuate frequencies in the other band located outside their own band.
  • the acoustic wave filter 1 includes a first filter circuit 10 and an additional circuit 20.
  • the first filter circuit 10 has series arm resonators S1, S2, S3, S4 and S5 and parallel arm resonators P1, P2, P3 and P4 which are elastic wave resonators.
  • the series arm resonators S1 to S5 are arranged on a first path r1 connecting the input/output terminal T1 and the input/output terminal T2.
  • the series arm resonators S1 to S5 are connected in series in this order from the input/output terminal T1 toward the input/output terminal T2.
  • the series arm resonator S1 is connected to the input/output terminal T1 via the inductor L1.
  • a capacitive element C1 is connected in parallel to the series arm resonator S4.
  • the parallel arm resonators P1 to P4 are connected in parallel to each other on a path connecting each node n2, n3, n4, n5 between the series arm resonators S1 to S5 and the ground (reference terminal). Specifically, among the parallel arm resonators P1 to P4, the parallel arm resonator P1 closest to the input/output terminal T1 has one end connected to a node n2 between the series arm resonators S1 and S2, and the other end connected to the node n2 between the series arm resonators S1 and S2. is connected to ground through inductor L2.
  • the parallel arm resonator P2 has one end connected to a node n3 between the series arm resonators S2 and S3, and the other end connected to the ground via the inductor L2.
  • the parallel arm resonator P3 has one end connected to a node n4 between the series arm resonators S3 and S4, and the other end connected to the ground via the inductor L3.
  • the parallel arm resonator P4 has one end connected to a node n5 between the series arm resonators S4 and S5 and the other end connected to the ground.
  • the other ends of the parallel arm resonators P1 and P2 are shared and connected to the inductor L2.
  • the first filter circuit 10 includes five series arm resonators S1 to S5 arranged on the first path r1, and four parallel arm resonators S1 to S5 arranged on the path connecting the first path r1 and the ground. It has a ladder filter structure composed of arm resonators P1 to P4.
  • the number of series arm resonators and parallel arm resonators constituting the first filter circuit 10 is not limited to five or four, and the number of series arm resonators is one or more and the number of parallel arm resonators is one. Anything above that is fine. Also, in FIG. 3, a part of the ground to which the parallel arm resonators are connected is shared. etc., can be selected as appropriate.
  • the additional circuit 20 is a circuit that suppresses the output of the unwanted waves from the elastic wave filter 1 by applying an opposite phase to the unwanted waves outside the pass band of the first filter circuit 10 .
  • the additional circuit 20 is provided on a second route r2 connected in parallel to at least part of the first route r1.
  • the additional circuit 20 is connected to multiple nodes on the first route r1.
  • the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of the additional circuit 20 has multiple IDTs 31 and 32 .
  • a plurality of IDTs 31 and 32 are arranged along the elastic wave propagation direction d1.
  • the IDT 32 is connected to the first path r1 on the input/output terminal T1 side when viewed from the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25, specifically the node n1 between the inductor L1 and the series arm resonator S1. It is connected to the.
  • the IDT 31 is connected to the first path r1 on the side of the input/output terminal T2 when viewed from the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25, specifically the node n6 between the series arm resonator S5 and the node n0.
  • the IDT 32 is connected to the first path r1 on the input/output terminal T1 side when viewed from the series arm resonators S1 to S5 connected in parallel to the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25, and the IDT 31 is connected to the series arm resonator It is connected to the first path r1 on the input/output terminal T2 side when viewed from S1 to S5.
  • a capacitive element C2 is provided on a path connecting the IDT31 and the node n6. Node n6 may be at the same location as node n0.
  • the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of the additional circuit 20 is composed of, for example, a plurality of SAW (Surface Acoustic Wave) resonators.
  • FIG. 4 is a diagram showing the longitudinally coupled elastic wave resonator 25 of the additional circuit 20 included in the elastic wave filter 1 of the example, which is an example of the embodiment. Note that the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 shown in FIG. 4 is for explaining a typical structure of a resonator, and the number and length of electrode fingers included in the IDT are not related to this. Not limited.
  • the IDT of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 is composed of a piezoelectric substrate and a plurality of IDT electrodes formed on the piezoelectric substrate.
  • the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 is formed of a piezoelectric substrate, electrode layers forming IDT electrodes, and a dielectric layer provided on the piezoelectric substrate so as to cover the IDT electrodes.
  • the piezoelectric substrate is a substrate having a piezoelectric single crystal of LiTaO 3
  • the thickness of the dielectric layer covering the IDT electrodes is selected from the range of 1 nm or more and 60 nm or less.
  • the piezoelectric substrate is a substrate having a piezoelectric single crystal of LiNbO 3
  • the thickness of the dielectric layer covering the IDT electrodes is selected from the range of 1 nm or more and 60 nm or less.
  • the duty of the IDTs 31 and 32 in the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 is selected from a range of 0.3 or more and 0.7 or less.
  • the crossing width of the electrode fingers 35a, 35b of the IDTs 31, 32 is smaller than the crossing width of the electrode fingers of the IDTs forming the elastic wave resonators of the filter circuit 10, and is selected from a range of 1 ⁇ m to 70 ⁇ m, for example.
  • the number of electrode fingers 35a, 35b of the IDTs 31, 32 is less than the number of electrode fingers of the IDTs constituting the elastic wave resonator of the filter circuit 10, for example, 40 or less.
  • the IDT 31 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of the embodiment has an excitation section 51 and an excitation suppression section 52 .
  • Each of the excitation section 51 and the excitation suppression section 52 has a signal side busbar electrode 66a and a ground side busbar electrode 66b.
  • the signal side busbar electrode 66a is an example of the busbar electrode 36a described above
  • the ground side busbar electrode 66b is an example of the busbar electrode 36b described above.
  • the signal-side bus bar electrode 66a is arranged along the acoustic wave propagation direction d1 and connected to the signal wiring sL2 on the second route r2.
  • the ground-side busbar electrode 66b is arranged along the elastic wave propagation direction d1 and connected to the ground.
  • the signal-side busbar electrodes 66a and the ground-side busbar electrodes 66b are arranged parallel to each other.
  • the excitation section 51 further has a plurality of first signal-side electrode fingers 71a and a plurality of first ground-side electrode fingers 71b.
  • the first signal-side electrode finger 71a is an example of the electrode finger 35a described above
  • the first ground-side electrode finger 71b is an example of the electrode finger 35b described above.
  • the first signal-side electrode finger 71a has one end connected to the signal-side busbar electrode 66a and extends from one end to the other end in the orthogonal direction d2 orthogonal to the elastic wave propagation direction d1.
  • the first ground-side electrode finger 71b has one end connected to the ground-side busbar electrode 66b and extends in the orthogonal direction d2 from one end to the other end.
  • the first signal-side electrode fingers 71a and the first ground-side electrode fingers 71b are alternately arranged in the excitation section 51 along the acoustic wave propagation direction d1.
  • the first signal-side electrode finger 71a and the first ground-side electrode finger 71b are interposed in the orthogonal direction d2 and face the elastic wave propagation direction d1.
  • the excitation suppression unit 52 further has one or more second signal-side electrode fingers 72a and one or more second ground-side electrode fingers 72b.
  • the second signal-side electrode finger 72a is an example of the electrode finger 35a described above
  • the second ground-side electrode finger 72b is an example of the electrode finger 35b described above.
  • the number of the second signal-side electrode fingers 72a and the number of the second ground-side electrode fingers 72b is not limited to plural, and may be one each.
  • the second signal-side electrode finger 72a has one end connected to the signal-side busbar electrode 66a and extends in the orthogonal direction d2 from one end to the other end.
  • the second ground-side electrode finger 72b has one end connected to the ground-side busbar electrode 66b and extends from one end to the other end in the orthogonal direction d2.
  • the second signal-side electrode fingers 72a and the second ground-side electrode fingers 72b are alternately arranged along the acoustic wave propagation direction d1 in the excitation suppressing section 52 .
  • the second signal-side electrode finger 72a and the second ground-side electrode finger 72b are interposed in the orthogonal direction d2 and face the elastic wave propagation direction d1.
  • the first signal-side electrode finger 71a and the second signal-side electrode finger 72a are connected to the same signal-side busbar electrode 66a, and both are set to the signal potential.
  • the first ground-side electrode finger 71b and the second ground-side electrode finger 72b are connected to the same ground-side busbar electrode 66b, and both are set to the ground potential.
  • the first signal-side electrode finger 71a closest to the excitation suppressing portion 52 among the plurality of first signal-side electrode fingers 71a and the excitation portion among the one or more second signal-side electrode fingers 72a The second signal-side electrode fingers 72a closest to 51 are arranged adjacent to each other in the elastic wave propagation direction d1.
  • a second ground-side electrode finger 72b is arranged on the opposite side of the excitation section 51 as viewed from the second signal-side electrode finger 72a closest to the excitation section 51 .
  • the number of second signal-side electrode fingers 72a is smaller than the number of first signal-side electrode fingers 71a.
  • the IDT 31 has been described above, the same can be said for the IDT 32.
  • the IDT 32 an example in which two electrode fingers set to the ground potential are adjacent to each other in the acoustic wave propagation direction d1 will be described.
  • the IDT 32 has an excitation section 53 and an excitation suppression section 54 .
  • Each of the excitation section 53 and the excitation suppression section 54 has a signal side busbar electrode 66a and a ground side busbar electrode 66b.
  • the excitation section 53 further has a plurality of first signal-side electrode fingers 71a and a plurality of first ground-side electrode fingers 71b.
  • the excitation suppression unit 54 further has one or more second signal-side electrode fingers 72a and one or more second ground-side electrode fingers 72b.
  • the number of the second signal-side electrode fingers 72a and the number of the second ground-side electrode fingers 72b is not limited to plural, and may be one each.
  • the second ground-side electrode fingers 72b closest to 53 are arranged adjacent to each other in the acoustic wave propagation direction d1.
  • a second signal-side electrode finger 72 a is arranged on the opposite side of the excitation section 53 when viewed from the second ground-side electrode finger 72 b closest to the excitation section 53 .
  • the number of second ground-side electrode fingers 72b is smaller than the number of first ground-side electrode fingers 71b.
  • the IDT 31 of the additional circuit 20 has the excitation suppression section 52 in addition to the excitation section 51 . Therefore, the excitation suppression section 52 can be used to suppress unnecessary resonance caused by the excitation section 51, and deterioration of the pass characteristic of the elastic wave filter 1 can be suppressed.
  • the IDT 32 of the additional circuit 20 has an excitation suppression section 54 in addition to the excitation section 53 . Therefore, the excitation suppression section 54 can be used to suppress unnecessary resonance caused by the excitation section 53, and deterioration of the pass characteristic of the elastic wave filter 1 can be suppressed. As a result, it is possible to suppress the occurrence of ripples in the passband of the elastic wave filter 1 and suppress the occurrence of loss while maintaining the attenuation characteristic of the additional circuit 20 .
  • the electrode parameters of the filter circuit 10 included in the acoustic wave filter 1 of the embodiment and the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of the additional circuit 20 will be described.
  • FIG. 5 is a diagram showing electrode parameters of elastic wave resonators of the filter circuit 10 included in the elastic wave filter 1 of the embodiment.
  • FIG. 5 shows the electrode parameters of the IDTs 31, 32 and the reflectors 41, 42 that constitute the series arm resonators S1 to S5 and the parallel arm resonators P1 to P4 of the filter circuit 10.
  • FIG. 5 shows the electrode parameters of the IDTs 31, 32 and the reflectors 41, 42 that constitute the series arm resonators S1 to S5 and the parallel arm resonators P1 to P4 of the filter circuit 10.
  • the IDT wavelength shown in the figure is twice the arrangement pitch of the electrode fingers included in the IDT 31 or 32 .
  • the reflector wavelength is twice the array pitch of the plurality of reflective electrode fingers included in reflector 41 or 42 .
  • the crossing width is the dimension in which the electrode fingers 35a and 35b overlap when the IDT 31 or 32 is viewed from the elastic wave propagation direction d1.
  • the IDT logarithm is the logarithm of the electrode fingers 35a, 35b of the IDT 31 or 32, and the reflector logarithm is half the number of reflective electrode fingers.
  • IRGAP is the center-to-center distance in the elastic wave propagation direction d1 between the electrode finger closest to reflector 41 (or 42) and the reflective electrode finger closest to IDT 31 (or 32) (hereinafter referred to as the elastic wave between two electrode fingers
  • the distance between the centers in the propagation direction d1 is sometimes simply referred to as the "center-to-center distance").
  • the duty is a value obtained by dividing the width of the electrode fingers by the arrangement pitch of the electrode fingers.
  • FIG. 6 is a diagram showing electrode parameters of the longitudinally coupled elastic wave resonator 25 of the additional circuit 20 included in the elastic wave filter 1 of the embodiment.
  • the figure shows the wavelength of the reflector 41, the wavelength of the excitation section 51 of the IDT 31, the wavelength of the excitation suppression section 52 of the IDT 31, the wavelength of the excitation suppression section 54 of the IDT 32, the wavelength of the excitation section 53 of the IDT 32, and the wavelength of the reflector 42. are shown.
  • the wavelength of the excitation suppression section 52 is shorter than the wavelength of the excitation section 51 .
  • the wavelength of the excitation suppressing section 54 is shorter than the wavelength of the excitation section 53 .
  • the number of electrode fingers of the reflector 41, the excitation section 51, the excitation suppression section 52, the excitation suppression section 54, the excitation section 53, and the reflector 42 are shown.
  • the number of electrode fingers of the excitation suppression section 52 is smaller than the number of electrode fingers of the excitation section 51 .
  • the number of electrode fingers of the excitation suppression section 54 is smaller than the number of electrode fingers of the excitation section 53 .
  • the gap between the reflector 41 and the excitation section 51, the gap between the excitation section 51 and the excitation suppressing section 52, the gap between the excitation suppressing section 52 and the excitation suppressing section 54, the excitation suppressing section 54 and the excitation section 53 are shown. and the gap between the excitation section 53 and the reflector 42 are shown.
  • the gap between the excitation section 51 and the excitation suppression section 52 is smaller than the gap between the reflector 41 and the excitation section 51 .
  • the gap between the excitation suppressing section 52 and the excitation suppressing section 54 (that is, the gap between the IDTs 31 and 32) is smaller than the gap between the excitation section 51 and the excitation suppressing section 52, and the gap between the excitation suppressing section 53 and the excitation suppressing section 54 is smaller.
  • the gap between the excitation suppression section 52 and the excitation suppression section 54 is smaller than the gap.
  • the gap between the excitation suppression section 54 and the excitation section 53 is smaller than the gap between the excitation section 53 and the reflector 42 .
  • the gap means the electrode finger of the other constituent element that is closest to one constituent element and the electrode finger of the one constituent element that is closest to the other constituent element. is the center-to-center distance in the elastic wave propagation direction d1.
  • the gap between the excitation section 51 and the excitation suppression section 52 is the elastic wave propagation direction d1 between the electrode finger of the excitation section 51 closest to the excitation suppression section 52 and the electrode finger of the excitation suppression section 52 closest to the excitation section 51. is the center-to-center distance in
  • the elastic wave filter 101 of the comparative example will be described in order to see the effect of improving the pass characteristics of the elastic wave filter 1 of the embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram showing a longitudinally coupled elastic wave resonator 125 of an additional circuit 120 included in the elastic wave filter 101 of the comparative example.
  • the longitudinally coupled acoustic wave resonator 125 of the additional circuit 120 has multiple IDTs 131 and 132 and multiple reflectors 41 and 42 .
  • the IDT 131 has a first comb electrode 31a and a second comb electrode 31b
  • the IDT 132 has a first comb electrode 32a and a second comb electrode 32b.
  • Each of the first comb electrodes 31a, 32a has a busbar electrode 36a and a plurality of electrode fingers 35a.
  • Each of the second comb electrodes 31b, 32b has a busbar electrode 36b and a plurality of electrode fingers 35b.
  • the plurality of electrode fingers 35a and 35b arranged along the elastic wave propagation direction d1 are all arranged alternately. That is, in the comparative example, in each of the IDTs 131 and 132, there is no region where two electrode fingers having the same potential are adjacent to each other.
  • the comparative example is provided with narrow pitch portions 552 and 554 in which the arrangement pitch of the electrode fingers 35a and 35b is smaller than that of the excitation portion 51 in order to match the conditions for the excitation suppressing portions 52 and 54 of the embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram showing electrode parameters of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 125 of the additional circuit 120 of the comparative example.
  • the wavelengths of the IDTs 131, 132, etc., the number of electrode fingers, and the gaps are as shown in FIG.
  • the electrode parameters of the series arm resonators S1 to S5 and the parallel arm resonators P1 to P4 of the filter circuit 10 in the comparative example are the same as those in the example.
  • FIG. 9 is a diagram showing the insertion loss of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 125 and the acoustic wave filter 101 of the comparative example.
  • FIG. 10 is a diagram showing insertion losses of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 and the acoustic wave filter 1 of the example.
  • the passbands of the acoustic wave filters 101 and 1 are 880 MHz-915 MHz.
  • one of the multiple resonance modes is located near 905 MHz, which is within the passband of the filter circuit 10 . Therefore, in the comparative example, as indicated by the solid line in FIG. 9, ripples occur in the passband of the acoustic wave filter 101, and loss occurs in the passband. More specifically, the insertion loss on the high frequency side of the passband is increased, and the bandwidth of the passband is narrowed.
  • the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of the example does not generate a large resonance mode in the passband of the filter circuit 10 as in the comparative example. Therefore, in the embodiment, as indicated by the solid line in FIG. 10, ripples do not occur in the passband of the filter circuit 10, and large loss in the passband can be suppressed.
  • Modification 1 of Embodiment An elastic wave filter 1 according to Modification 1 of the embodiment will be described.
  • Modification 1 describes an example in which the IDT 31 has a plurality of excitation suppression units 52 and 52A.
  • FIG. 11 is a diagram showing the IDT 31 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25A of Modification 1 of the embodiment.
  • the IDT 31 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25A has a plurality of excitation suppressors 52, 52A. Specifically, two excitation suppression sections 52 and 52A are provided at both ends of the excitation section 51 in the elastic wave propagation direction d1. In other words, the excitation section 51 is arranged between the two excitation suppression sections 52 and 52A.
  • Each of the excitation section 51 and the excitation suppression sections 52 and 52A has a signal side busbar electrode 66a and a ground side busbar electrode 66b.
  • the excitation unit 51 has a plurality of first signal-side electrode fingers 71a and a plurality of first ground-side electrode fingers 71b.
  • the excitation suppression section 52 has one or more second signal-side electrode fingers 72a and one or more second ground-side electrode fingers 72b.
  • the excitation suppression section 52A has one or more other second signal-side electrode fingers 72a and one or more other second ground-side electrode fingers 72b.
  • the direction on the plus side of the elastic wave propagation direction d1 may be called one side
  • the direction on the minus side of the elastic wave propagation direction d1 may be called the other side.
  • the first signal-side electrode finger 71a closest to the excitation suppressing portion 52 among the plurality of first signal-side electrode fingers 71a and one or more second signal-side electrode fingers 72a are separated.
  • one of the second signal-side electrode fingers 72a closest to the excitation section 51 is arranged adjacent to each other in the acoustic wave propagation direction d1.
  • the first signal-side electrode finger 71a closest to the excitation suppressing portion 52A among the plurality of first signal-side electrode fingers 71a and the one or more other second signal-side electrode fingers 71a are arranged adjacent to each other in the elastic wave propagation direction d1.
  • first signal-side electrode finger 71a and the second signal-side electrode finger 72a are arranged adjacent to each other in the elastic wave propagation direction d1 at a plurality of locations, but the present invention is not limited to this. do not have.
  • first ground-side electrode finger 71b and the second ground-side electrode finger 72b may be arranged adjacent to each other in the elastic wave propagation direction d1 at a plurality of locations.
  • Modification 2 of Embodiment An elastic wave filter 1 according to Modification 2 of the embodiment will be described.
  • Modification 2 describes an example in which the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25B has three IDTs 31, 32 and 33.
  • FIG. 1 An elastic wave filter 1 according to Modification 2 of the embodiment will be described.
  • FIG. 12 is a circuit configuration diagram showing an acoustic wave filter 1 according to Modification 2 of the embodiment.
  • the multiple IDTs of the additional circuit 20 included in the elastic wave filter 1 have three IDTs 31-33.
  • the configurations of the IDTs 31 and 32 are the same as in the embodiment.
  • the IDT 33 is connected together with the IDT 32 to the first path r1 on the input/output terminal T1 side.
  • the IDT 33 has an excitation section 51 and an excitation suppression section 52 like the IDT 31 .
  • the IDT 33 may have the excitation section 53 and the excitation suppression section 54 like the IDT 32 instead of having the same configuration as the IDT 31 . Further, the IDT 33 may be configured only with an excitation section without having an excitation suppression section.
  • Modification 3 of Embodiment An elastic wave filter according to Modification 3 of the embodiment will be described. Modification 3 describes an example in which the IDT 310 has floating electrode fingers 152 . Note that the IDT 310 shown below is an example of the IDT 31 described above.
  • FIG. 13 is a diagram showing the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of Modification 3 of the embodiment.
  • a longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of modification 3 has an IDT 310 and an IDT 32 .
  • FIG. 13 illustrates the electrode finger structure of floating electrode fingers 152 included in IDT 310 .
  • the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of Modification 3 has a piezoelectric substrate and interdigitated electrodes 101a and 101b formed on the piezoelectric substrate.
  • the comb-shaped electrode 101a is composed of a plurality of parallel electrode fingers 151a and a busbar electrode 161a connecting one ends of the plurality of electrode fingers 151a.
  • the comb-shaped electrode 101b is composed of a plurality of parallel electrode fingers 151b and a busbar electrode 161b connecting one ends of the plurality of electrode fingers 151b.
  • the plurality of electrode fingers 151a and 151b are formed along an orthogonal direction d2 orthogonal to the elastic wave propagation direction d1.
  • Comb-shaped electrodes 101a and 101b are arranged to face each other such that a plurality of electrode fingers 151a and 151b are inserted into each other. That is, the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 has a pair of comb electrodes 101a and 101b.
  • the comb-shaped electrode 101a has dummy electrodes arranged to face the plurality of electrode fingers 151b in the longitudinal direction, the dummy electrodes may be omitted.
  • the comb-shaped electrode 101b has dummy electrodes arranged to face the plurality of electrode fingers 151a in the longitudinal direction, the dummy electrodes may be omitted.
  • the comb-shaped electrodes 101a and 101b may be so-called tilted IDT electrodes in which the extending direction of the busbar electrodes is tilted with respect to the surface acoustic wave propagation direction, or have a so-called piston structure. good too.
  • the electrode fingers indicated by thick diagonal lines are discretely formed.
  • This electrode finger is a floating electrode finger 152 that is not connected to any of the busbar electrodes 161a and 161b, and is arranged parallel to and at the same pitch as the plurality of electrode fingers 151a and 151b.
  • a plurality of electrode fingers 151 a and 151 b are arranged on both sides of the floating electrode finger 152 .
  • the IDT 310 of Modification 3 has this floating electrode finger 152 .
  • the floating electrode fingers 152 are provided, for example, in the excitation suppression section 52 of FIG.
  • the excitation suppression unit 52 of the IDT 310 has the floating electrode fingers 152, thereby suppressing unnecessary excitation of the IDT 310 in the passband. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of loss in the passband of the acoustic wave filter 1 .
  • Modification 4 of Embodiment An elastic wave filter according to Modification 4 of the embodiment will be described.
  • Modification 4 describes an example in which the IDT 310 has polarity reversal electrode fingers 252 .
  • FIG. 14 is a diagram showing the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of Modification 4 of the embodiment.
  • a longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of modification 4 has an IDT 310 and an IDT 32 .
  • FIG. 14 illustrates the electrode finger structure of polarity reversal electrode fingers 252 included in the IDT 310 .
  • the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of Modification 4 has a piezoelectric substrate and comb electrodes 201a and 201b formed on the piezoelectric substrate.
  • the comb-shaped electrode 201a is composed of a plurality of parallel electrode fingers 251a and a busbar electrode 261a connecting one ends of the plurality of electrode fingers 251a.
  • the comb-shaped electrode 201b is composed of a plurality of parallel electrode fingers 251b and a busbar electrode 261b connecting ends of the plurality of electrode fingers 251b.
  • the plurality of electrode fingers 251a and 251b are formed along an orthogonal direction d2 orthogonal to the elastic wave propagation direction d1.
  • Comb-shaped electrodes 201a and 201b are arranged to face each other such that a plurality of electrode fingers 251a and 251b are inserted into each other. That is, the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 has a pair of comb electrodes 201a and 201b.
  • the comb-shaped electrode 201a has a dummy electrode arranged to face the plurality of electrode fingers 251b in the longitudinal direction, the dummy electrode may be omitted.
  • the comb-shaped electrode 201b has dummy electrodes arranged to face the plurality of electrode fingers 251a in the longitudinal direction, the dummy electrodes may be omitted.
  • the comb-shaped electrodes 201a and 201b may be so-called tilted IDT electrodes in which the extending direction of the busbar electrodes is tilted with respect to the surface acoustic wave propagation direction, or may have a so-called piston structure. good too.
  • the electrode fingers indicated by thick diagonal lines are discretely formed.
  • This electrode finger is a polarity-inverted electrode finger 252 connected to the same busbar electrode as the electrode fingers on both sides of all the electrode fingers forming the pair of comb electrodes 201a and 201b.
  • Electrode fingers 251 a and 251 b having the same polarity are arranged on both sides of the polarity reversal electrode finger 252 .
  • the IDT 310 of Modification 4 has this polarity reversal electrode finger 252 .
  • the polarity reversal electrode fingers 252 are provided, for example, in the excitation suppression section 52 in FIG.
  • the excitation suppression unit 52 of the IDT 310 has the polarity-inverted electrode fingers 252, thereby suppressing unnecessary excitation of the IDT 310 in the passband. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of loss in the passband of the acoustic wave filter 1 .
  • Modification 5 of Embodiment An elastic wave filter according to Modification 5 of the embodiment will be described.
  • Modification 5 describes an example in which the IDT 310 has the filled electrode fingers 352 .
  • FIG. 15 is a diagram showing the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of Modification 5 of the embodiment.
  • a longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of modification 5 has an IDT 310 and an IDT 32 .
  • FIG. 15 illustrates the electrode finger structure of the filled electrode fingers 352 included in the IDT 310 .
  • the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 of Modification 5 has a piezoelectric substrate and comb electrodes 301a and 301b formed on the piezoelectric substrate.
  • the comb-shaped electrode 301a is composed of a plurality of parallel electrode fingers 351a and busbar electrodes 361a connecting ends of the plurality of electrode fingers 351a.
  • the comb-shaped electrode 301b is composed of a plurality of parallel electrode fingers 351b and a busbar electrode 361b connecting one ends of the plurality of electrode fingers 351b.
  • the plurality of electrode fingers 351a and 351b are formed along an orthogonal direction d2 orthogonal to the elastic wave propagation direction d1.
  • Comb-shaped electrodes 301a and 301b are arranged to face each other such that a plurality of electrode fingers 351a and 351b are inserted into each other. That is, the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 has a pair of comb electrodes 301a and 301b.
  • the comb-shaped electrode 301a has a dummy electrode arranged to face the plurality of electrode fingers 351b in the longitudinal direction, the dummy electrode may be omitted.
  • the comb-shaped electrode 301b has dummy electrodes arranged to face the plurality of electrode fingers 351a in the longitudinal direction, the dummy electrodes may be omitted.
  • the comb-shaped electrodes 301a and 301b may be so-called tilted IDT electrodes in which the extending direction of the busbar electrodes is tilted with respect to the surface acoustic wave propagation direction, or may have a so-called piston structure. good too.
  • the electrode fingers indicated by thick diagonal lines are discretely formed.
  • This electrode finger is an electrode finger having the largest electrode finger width in the IDT 310 of the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25, and has an electrode finger width twice or more the average electrode finger width of the electrode fingers excluding the electrode fingers.
  • It is the filled electrode finger 352 .
  • the adjacent electrode fingers 351a and 351b and the space between the adjacent electrode fingers 351a and 351b are combined into one electrode finger, and any one of the busbar electrodes 361a and 361b is formed.
  • a plurality of electrode fingers 351 a and 351 b are arranged on both sides of the filled electrode finger 352 .
  • the IDT 310 of Modification 5 has this painted electrode finger 352 .
  • the filled electrode fingers 352 are provided, for example, in the excitation suppression section 52 in FIG.
  • the excitation suppression unit 52 of the IDT 310 has the filled electrode fingers 352, thereby suppressing unnecessary resonance of the IDT 310 in the passband. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of loss in the passband of the elastic wave filter 1 .
  • FIG. 16 is a diagram showing the first excitation section and the second excitation section of the IDT included in the longitudinally coupled elastic wave resonator 25 of the additional circuit 20 of the elastic wave filter 1 according to another example of the embodiment.
  • FIG. 17 is a diagram showing a longitudinally coupled elastic wave resonator 25 of an additional circuit 20 included in the elastic wave filter 1 according to the embodiment of FIG.
  • the additional circuit 20 shown in FIGS. 16 and 17 has a plurality of IDTs 31 and 32 arranged along the first direction. At least one IDT among the plurality of IDTs 31 and 32 has a first excitation section and a second excitation section.
  • the first direction is a direction perpendicular to the direction in which the electrode fingers 35a and 35b extend, and is the same direction as the elastic wave propagation direction d1 described above.
  • the first direction may be referred to as a first direction d1.
  • a direction orthogonal to the first direction d1, that is, a direction in which the electrode fingers 35a and 35b extend may be referred to as a second direction d2.
  • the IDT 31 is provided with a first excitation section 51z and a second excitation section 52z.
  • the IDT 31 is provided with a first excitation section 51z and a second excitation section 52z, and the IDT 32 is provided with a first excitation section 53z and a second excitation section 54z.
  • the IDT 31 has a plurality of electrode fingers 35a, 35b arranged along the first direction d1.
  • the number of electrode fingers 35a and 35b of the second excitation section 52z is smaller than the number of electrode fingers 35a and 35b of the first excitation section 51z.
  • Each of the first excitation section 51z and the second excitation section 52z is arranged in parallel with the signal side busbar electrode 66a connected to the signal wiring on the second path r2 and the signal side busbar electrode 66a, and is connected to the ground. and a ground side bus bar electrode 66b.
  • the first excitation unit 51z is further connected to the signal-side busbar electrode 66a and connected to a plurality of signal-side electrode fingers 71a extending in a second direction d2 orthogonal to the first direction d1, and to the ground-side busbar electrode 66b. and a plurality of first ground-side electrode fingers 71b that are connected and extend in the second direction d2.
  • the first signal-side electrode fingers 71a and the first ground-side electrode fingers 71b are alternately arranged along the first direction d1.
  • the second excitation section 52z is further connected to the signal-side busbar electrode 66a and connected to one or more second signal-side electrode fingers 72a extending in the second direction d2, and to the ground-side busbar electrode 66b to extend in the second direction. and one or more second ground-side electrode fingers 72b extending to d2.
  • the second excitation section 52z is provided at the end of the IDT 31 in the first direction d1.
  • a second ground-side electrode finger 72b is arranged on the opposite side of the first excitation section 51z when viewed from the second signal-side electrode finger 72a closest to the first excitation section 51z.
  • a second signal-side electrode finger 72a is arranged on the opposite side of the first excitation section 51z when viewed from the second ground-side electrode finger 72b closest to the first excitation section 51z.
  • the first signal electrode finger closest to the second excitation section 52z and one or more of the second signal-side electrode fingers 72a are arranged adjacent to each other with a distance S in the first direction d1.
  • the first ground electrode finger closest to the second excitation section 52z among the plurality of first ground electrode fingers 71b and the first ground electrode finger among the one or more second ground electrode fingers 72b are not limited to the above.
  • the second ground-side electrode finger closest to the first excitation portion 51z may be arranged adjacent to each other with a distance S in the first direction d1.
  • the distance S shown in FIG. 16 is the center-to-center distance in the first direction d1 between the electrode fingers arranged adjacent to each other as described above.
  • the distance S is Pa/2 or more and 3 Pa/2 or less.
  • N1 Number of electrode fingers of the first excitation section 51z
  • N2 Number of electrode fingers of the second excitation section 52z W1: Center-to-center distance in the first direction d1 between two electrode fingers positioned at both ends of the first excitation section 51z W2 : center-to-center distance in the first direction d1 between two electrode fingers positioned at both ends of the second excitation portion 52z
  • the first excitation section 51z of the IDT 31 can be used to cancel unnecessary waves outside the passband of the acoustic wave filter 1, and the second excitation section 52z of the IDT 31 can be used to suppress unnecessary resonance of the first excitation unit 51z in the passband.
  • the attenuation characteristics outside the passband of the elastic wave filter 1 suppress the occurrence of ripples in the passband, and suppress the occurrence of loss.
  • the first excitation section 53z of the IDT 32 can be used to cancel unnecessary waves outside the passband of the elastic wave filter 1, and the second excitation section 54z of the IDT 32 can be canceled. can be used to suppress unnecessary resonance of the first excitation section 53z in the passband. As a result, it is possible to ensure the attenuation characteristics outside the passband of the elastic wave filter 1, suppress the occurrence of ripples in the passband, and suppress the occurrence of loss.
  • the acoustic wave filter 1 includes the plurality of input/output terminals T1 and T2, and the filter circuit 10 provided on the first path r1 connecting the plurality of input/output terminals T1 and T2. , and an additional circuit 20 provided in a second path r2 connected in parallel with at least a part of the first path r1.
  • the additional circuit 20 has a plurality of IDTs 31 and 32 arranged along the elastic wave propagation direction d1.
  • At least one IDT (for example, 31) among the plurality of IDTs 31 and 32 is arranged next to the excitation section 51 in the acoustic wave propagation direction d1 and the excitation section 51 that excites at the frequency of the passband of the filter circuit 10. and an excitation suppressing portion 52 that suppresses the excitation of the portion 51 .
  • the excitation unit 51 of the IDT 31 can be used to cancel unnecessary waves outside the passband of the acoustic wave filter 1, and the excitation suppression unit 52 of the IDT 31 can be used to allow the excitation unit 51 to pass through. Unnecessary resonance in the band can be suppressed. As a result, it is possible to ensure the attenuation characteristics outside the passband of the elastic wave filter 1, suppress the occurrence of ripples in the passband, and suppress the occurrence of loss.
  • phase of the elastic wave propagating through the excitation suppression section 52 may be different from the phase of the elastic wave propagating through the excitation section 51 .
  • excitation suppressing section 52 may be provided at the end of the IDT 31 in the elastic wave propagation direction d1.
  • the energy confined in the IDT is smaller at the edges than at the center of the IDT 31, providing the excitation suppressing section 52 at the edges rather than at the center provides the same excitation suppression effect with a smaller area. be able to. Therefore, by providing the excitation suppression unit 52 at the end of the IDT 31, the area of the IDT 31 can be reduced, and the acoustic wave filter 1 including the additional circuit 20 can be miniaturized.
  • the IDT 31 has a plurality of electrode fingers 35a and 35b arranged along the elastic wave propagation direction d1, and the number of the electrode fingers 35a and 35b of the excitation suppression section 52 is equal to the number of the electrode fingers 35a and 35b of the excitation section 51. may be less than
  • the excitation suppressing section 52 can prevent the excitation force of the excitation section 51 from being excessively lowered. As a result, it is possible to ensure the attenuation characteristics outside the passband of the elastic wave filter 1, suppress the occurrence of ripples in the passband, and suppress the occurrence of loss.
  • the plurality of electrode fingers 35a and 35b may be arranged parallel to each other.
  • the excitation unit 51 and the excitation suppression unit 52 are arranged in parallel with the signal side busbar electrode 66a connected to the signal wiring sL2 on the second path r2 and the signal side busbar electrode 66a, and are connected to the ground. and a ground side bus bar electrode 66b.
  • the excitation unit 51 is further connected to the signal-side busbar electrode 66a, and connected to a plurality of first signal-side electrode fingers 71a extending in the orthogonal direction d2 orthogonal to the elastic wave propagation direction d1, and to the ground-side busbar electrode 66b. , and a plurality of first ground-side electrode fingers 71b extending in the orthogonal direction d2.
  • the first signal-side electrode fingers 71a and the first ground-side electrode fingers 71b are alternately arranged along the elastic wave propagation direction d1.
  • the excitation suppression section 52 is further connected to one or more second signal-side electrode fingers 72a extending in the orthogonal direction d2 and connected to the signal-side busbar electrodes 66a and extending in the orthogonal direction d2, and connected to the ground-side busbar electrodes 66b and extending in the orthogonal direction d2. and one or more second ground-side electrode fingers 72b.
  • a first signal-side electrode finger 71 a closest to the excitation suppressing portion 52 among the plurality of first signal-side electrode fingers 71 a , and a second signal-side electrode finger 71 a closest to the excitation portion 51 among the one or more second signal-side electrode fingers 72 a . may be arranged adjacent to each other in the elastic wave propagation direction d1.
  • the exciting section 51 and the excitation suppressing section 52 have different phases on the boundary between the first signal-side electrode finger 71a and the second signal-side electrode finger 72a adjacent to each other in the elastic wave propagation direction d1.
  • the second ground-side electrode finger 72b may be arranged on the opposite side of the excitation section 51 when viewed from the second signal-side electrode finger 72a closest to the excitation section 51.
  • the second signal-side electrode finger 72a and the second ground-side electrode finger 72b generate elastic waves having different phases, and using these elastic waves, the IDT 31 including the excitation section 51 operates in the passband. Unnecessary resonance can be suppressed. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of ripples in the passband of the elastic wave filter 1 and suppress the occurrence of loss.
  • At least one IDT (for example, 32) among the plurality of IDTs 31 and 32 is arranged adjacent to the excitation section 53 in the acoustic wave propagation direction d1, and the excitation section 53 that excites at the frequency of the passband of the filter circuit 10. , and an excitation suppression unit 54 that suppresses the excitation of the excitation unit 53 .
  • Each of the excitation unit 53 and the excitation suppression unit 54 has a signal-side busbar electrode 66a connected to the signal wiring sL2 on the second path r2, and a ground-side electrode arranged parallel to the signal-side busbar electrode 66a and connected to the ground. and a busbar electrode 66b.
  • the excitation unit 53 is further connected to the signal-side busbar electrode 66a, and connected to a plurality of first signal-side electrode fingers 71a extending in the orthogonal direction d2 orthogonal to the elastic wave propagation direction d1, and to the ground-side busbar electrode 66b. , and a plurality of first ground-side electrode fingers 71b extending in the orthogonal direction d2.
  • the first signal-side electrode fingers 71a and the first ground-side electrode fingers 71b are alternately arranged along the elastic wave propagation direction d1.
  • the excitation suppression section 54 is further connected to one or more second signal-side electrode fingers 72a extending in the orthogonal direction d2 and connected to the signal-side busbar electrodes 66a and extending in the orthogonal direction d2, and connected to the ground-side busbar electrodes 66b and extending in the orthogonal direction d2. and one or more second ground-side electrode fingers 72b.
  • the first ground-side electrode finger 71b closest to the excitation suppressing portion 52 and the second ground-side electrode finger 71b closest to the excitation portion 53 among the one or more second ground-side electrode fingers 72b. may be arranged adjacent to each other in the elastic wave propagation direction d1.
  • the exciting portion 53 and the excitation suppressing portion 54 have different phases at the boundary between the first ground-side electrode finger 71b and the second ground-side electrode finger 72b adjacent in the elastic wave propagation direction d1.
  • the second signal-side electrode finger 72 a may be arranged on the opposite side of the excitation section 53 when viewed from the second ground-side electrode finger 72 b closest to the excitation section 53 .
  • the second ground-side electrode finger 72b and the second signal-side electrode finger 72a generate elastic waves having different phases, and using these elastic waves, the IDT 32 including the excitation section 53 operates in the passband. Unnecessary resonance can be suppressed. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of ripples in the passband of the elastic wave filter 1 and suppress the occurrence of loss.
  • the excitation suppression unit may be provided in each of the plurality of IDTs 31 and 32 .
  • the excitation suppression section 52 is provided in the IDT 31 and the excitation suppression section 54 is provided in the IDT 32 .
  • the elastic wave propagating through the excitation suppressing section 54 can be used to suppress unnecessary resonance of the IDT 32 including the excitation section 53 in the passband. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of ripples in the passband of the elastic wave filter 1 and suppress the occurrence of loss.
  • the IDT 31 may have a plurality of excitation suppression units 52 and 52A.
  • the acoustic wave filter 1 having this configuration, it is possible to reliably suppress unnecessary resonance of the IDT 31 including the excitation unit 51 in the passband by using the elastic waves propagating through the excitation suppression units 52 and 52A. . Thereby, it is possible to suppress the occurrence of ripples in the passband of the elastic wave filter 1 and suppress the occurrence of loss.
  • the plurality of IDTs may have three or more IDTs (eg, 31, 32, 33).
  • the elastic wave filter 1 having this configuration, it is possible to suppress unnecessary resonance of the IDT including the excitation section in the passband by using the elastic wave propagating through the excitation suppression section. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of ripples in the passband of the elastic wave filter 1 and suppress the occurrence of loss.
  • the acoustic wave filter 1 includes a plurality of input/output terminals T1 and T2, a filter circuit 10 provided on a first route r1 connecting the plurality of input/output terminals T1 and T2, and and an additional circuit 20 provided on the second route r2 that is connected in parallel with at least a part of it.
  • the additional circuit 20 has a plurality of IDTs 310 and 32 arranged along the elastic wave propagation direction d1.
  • the IDT 310 comprises a plurality of electrode fingers 151a, 151b (or 251a, 251b, or 351a, 351b) extending in a direction intersecting the acoustic wave propagation direction d1 and arranged parallel to each other, and the plurality of electrode fingers. and a pair of comb electrodes 101a, 101b (or 201a, 201b, or 301a, 301b) composed of busbar electrodes 161a, 161b (or 261a, 261b, or 361a, 361b) connecting ends of the electrode fingers. .
  • a floating electrode finger 152 is an electrode finger which is arranged between two of the plurality of electrode fingers 151a and 151b and is not connected to any of the busbar electrodes 161a and 161b constituting the pair of comb electrodes 101a and 101b. defined and connected to the same busbar electrode 261b (261a) as the busbar electrode 261b (or 261a) to which the adjacent electrode finger is connected among all the electrode fingers 251a and 251b constituting the pair of comb electrodes 201a and 201b.
  • An electrode finger is defined as a polarity-reversed electrode finger 252, and among the plurality of electrode fingers 351a and 351b, the electrode finger having the largest electrode finger width, which is twice the average electrode finger width of the other electrode fingers.
  • the IDT 310 has at least one electrode finger structure of the floating electrode fingers 152 , the polarity reversal electrode fingers 252 and the solid electrode fingers 352 .
  • At least one IDT 310 among the plurality of IDTs 310 and 32 is arranged adjacent to the excitation section 51 in the acoustic wave propagation direction d1 and the excitation section 51 that excites at a frequency in the passband of the filter circuit 10. and an excitation suppression unit 52 that suppresses the excitation of the .
  • the excitation suppressing portion 52 may have at least one electrode finger structure of floating electrode fingers 152 , polarity reversal electrode fingers 252 and filled electrode fingers 352 .
  • the electrode finger structure described above can be used to suppress unnecessary resonance of the IDT 310 including the excitation section 51 in the passband. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of loss in the passband of the acoustic wave filter 1 .
  • a multiplexer 5 according to the present embodiment includes the elastic wave filter 1 described above.
  • the multiplexer 5 having the elastic wave filter 1 capable of ensuring attenuation characteristics outside the passband and suppressing loss in the passband.
  • the acoustic wave filter 1 includes a plurality of input/output terminals T1 and T2, a filter circuit 10 provided on a first route r1 connecting the plurality of input/output terminals T1 and T2, and and an additional circuit 20 provided on the second route r2 that is connected in parallel with at least a part of it.
  • the additional circuit 20 has a plurality of IDTs 31 and 32 arranged along the first direction d1. At least one IDT (for example, 31) among the plurality of IDTs 31 and 32 has a first excitation section 51z and a second excitation section 52z.
  • Each of the first excitation section 51z and the second excitation section 52z is arranged in parallel with the signal side busbar electrode 66a connected to the signal wiring on the second path r2 and the signal side busbar electrode 66a, and is connected to the ground. and a ground side bus bar electrode 66b.
  • the first excitation unit 51z is further connected to the signal-side busbar electrode 66a and connected to a plurality of signal-side electrode fingers 71a extending in a second direction d2 orthogonal to the first direction d1, and to the ground-side busbar electrode 66b. and a plurality of first ground-side electrode fingers 71b that are connected and extend in the second direction d2.
  • the first signal-side electrode fingers 71a and the first ground-side electrode fingers 71b are alternately arranged along the first direction d1.
  • the second excitation section 52z is further connected to the signal-side busbar electrode 66a and connected to one or more second signal-side electrode fingers 72a extending in the second direction d2, and to the ground-side busbar electrode 66b to extend in the second direction. and one or more second ground-side electrode fingers 72b extending to d2.
  • the first signal-side electrode finger closest to the second excitation part 52z among the plurality of first signal-side electrode fingers 71a and the one or more second signal-side electrode fingers 72a closest to the first excitation part 51z The second signal-side electrode fingers are arranged adjacent to each other at a distance S in the first direction d1, or are closest to the second excitation section 52z among the plurality of first ground-side electrode fingers 71b.
  • the first ground-side electrode finger and the second ground-side electrode finger closest to the first excitation unit 51z among the one or more second ground-side electrode fingers 72b are arranged at a distance S in the first direction d1. are placed next to each other.
  • the distance S is the center-to-center distance in the first direction d1 between the electrode fingers arranged adjacent to each other as described above.
  • the distance S is Pa/2 or more and 3 Pa/2 or less.
  • the first excitation section 51z of the IDT 31 can be used to cancel unwanted waves outside the passband of the acoustic wave filter 1, and the second excitation section 52z of the IDT 31 can be used to cancel the It is possible to suppress unnecessary resonance of the 1 excitation unit 51z in the passband. As a result, it is possible to ensure the attenuation characteristics outside the passband of the elastic wave filter 1, suppress the occurrence of ripples in the passband, and suppress the occurrence of loss.
  • the second excitation section 52z may be provided at the end of the IDT 31 in the first direction d1.
  • the energy confined in the IDT is smaller at the end than at the center of the IDT 31, providing the second excitation section 52z at the end rather than at the center provides the same excitation suppression effect with a smaller area. Obtainable. Therefore, by providing the second excitation section 52z at the end of the IDT 31, the area of the IDT 31 can be reduced, and the elastic wave filter 1 including the additional circuit 20 can be miniaturized.
  • the IDT 31 has a plurality of electrode fingers 35a and 35b arranged along the first direction d1, and the number of the electrode fingers 35a and 35b of the second excitation section 52z is equal to the number of the electrode fingers 35a and 35b of the first excitation section 51z. may be less than the number of
  • the plurality of electrode fingers may be arranged parallel to each other.
  • the second ground-side electrode finger 72b is arranged on the opposite side of the first excitation section 51z when viewed from the second signal-side electrode finger 72a closest to the first excitation section 51z.
  • a second signal-side electrode finger 72a is arranged on the opposite side of the first excitation portion 51z (or 53z) as viewed from the second ground-side electrode finger 72b closest to the first excitation portion 51z (or 53z).
  • the second signal-side electrode finger 72a and the second ground-side electrode finger 72b generate elastic waves having different phases, and the IDT 31 including the first excitation unit 51z passes through the elastic waves. Unnecessary resonance in the band can be suppressed.
  • elastic waves having different phases are generated by the second ground-side electrode finger 72b and the second signal-side electrode finger 72a, and using this elastic wave, the IDT 31 including the first excitation section 51z (or the first excitation section 53z) can be suppressed from unnecessarily resonating in the passband. At least one of these can suppress the occurrence of ripples in the passband of the acoustic wave filter 1 and suppress the occurrence of loss.
  • the excitation section 51, the excitation suppression section 52, the excitation suppression section 54, and the excitation section 53 are arranged in order along the acoustic wave propagation direction d1.
  • the excitation unit 51 and the excitation suppressing unit 52 may be arranged in the opposite order in the elastic wave propagation direction d1
  • the excitation suppressing unit 54 and the excitation unit 53 may be arranged in the opposite order.
  • the passband of the elastic wave filter 1 is set to be lower than the passband of the second filter circuit 90.
  • the passband of the elastic wave filter 1 is not limited to this. It may be set to be higher than the pass band of the second filter circuit 90 .
  • the elastic wave filter 1 is not limited to this and may be a reception filter.
  • the multiplexer 5 is not limited to the configuration including both the transmission filter and the reception filter, and may be configured to include only the transmission filter or only the reception filter.
  • a multiplexer including two filters has been described as an example. can also be applied. That is, the multiplexer only needs to have two or more filters.
  • the input/output terminals T1 and T2 may be either input terminals or output terminals.
  • the input/output terminal T1 is the input terminal
  • the input/output terminal T2 is the output terminal
  • the input/output terminal T1 is the output terminal
  • the second filter circuit 90 is not limited to the configuration of the filter described above, and can be appropriately designed according to the required filter characteristics and the like.
  • the second filter circuit 90 may have a longitudinal coupling filter structure or a ladder filter structure.
  • each resonator constituting the second filter circuit 90 is not limited to a SAW resonator, and may be, for example, a BAW (Bulk Acoustic Wave) resonator.
  • the second filter circuit 90 may be configured without using resonators, and may be, for example, an LC resonance filter or a dielectric filter.
  • the IDT electrode does not have to have a laminated structure.
  • the IDT electrode may be composed of metals or alloys such as Ti, Al, Cu, Pt, Au, Ag, and Pd, or may be composed of a plurality of laminates composed of the above metals or alloys. good too.
  • a substrate having piezoelectricity is shown as a substrate, but the substrate may be a piezoelectric substrate made of a single piezoelectric layer.
  • the piezoelectric substrate in this case consists of, for example, a piezoelectric single crystal of LiTaO 3 or another piezoelectric single crystal such as LiNbO 3 .
  • the substrate on which the IDT electrodes are formed may be entirely composed of a piezoelectric layer, or may have a structure in which a piezoelectric layer is laminated on a support substrate, as long as it has piezoelectricity.
  • the cut angle of the substrate according to the above embodiments is not limited.
  • the laminated structure, materials, and thickness may be changed as appropriate, and the LiTaO3 piezoelectric substrate or LiNbO substrate having a cut angle other than the cut angle shown in the above embodiments may be used.
  • a surface acoustic wave filter using three piezoelectric substrates or the like can achieve the same effect.
  • the IDT wavelength in the longitudinally coupled acoustic wave resonator 25 may have a value in the range of 1 ⁇ m or more and 7 ⁇ m or less.
  • ⁇ is a value in the range of 0.3 ⁇ m ⁇ 0.7 ⁇ m. good too.
  • a value obtained by dividing the film thickness of the IDT electrodes of the IDTs 31 and 32 by the IDT wavelength may be a value in the range of 0.05 or more and 0.4 or less.
  • the present invention can be widely used in communication devices such as mobile phones as multiplexers, front-end circuits, and communication devices having acoustic wave filters.

Abstract

弾性波フィルタ（１）は、複数の入出力端子（Ｔ１およびＴ２）と、複数の入出力端子（Ｔ１、Ｔ２）を結ぶ第１経路（ｒ１）に設けられたフィルタ回路（１０）と、第１経路（ｒ１）の少なくとも一部と並列接続される第２経路（ｒ２）に設けられた付加回路（２０）と、を備える。付加回路（２０）は、弾性波伝搬方向（ｄ１）に沿って配置された複数のＩＤＴ（３１、３２）を有している。複数のＩＤＴ（３１、３２）のうち少なくとも１つのＩＤＴ（例えば３１）は、フィルタ回路（１０）の通過帯域の周波数にて励振する励振部（５１）と、弾性波伝搬方向（ｄ１）において励振部（５１）の隣に配置され、励振部（５１）の励振を抑制する励振抑制部（５２）と、を有している。

Description

弾性波フィルタおよびマルチプレクサ
　本発明は、弾性波フィルタおよびマルチプレクサに関する。
　従来、フィルタ回路と、フィルタ回路に並列接続される付加回路とを備える弾性波フィルタが知られている。この種の弾性波フィルタの一例として、特許文献１には、複数の傾斜電極指によって構成されるＩＤＴ電極を有する付加回路（位相シフト回路）が開示されている。この付加回路を備える弾性波フィルタによれば、フィルタ回路の通過帯域外である阻止帯域における減衰特性を改善することができる。
特開２０１８－３８０４０号公報
　しかしながら特許文献１に記載された弾性波フィルタでは、付加回路が強い励振を起こし、通過帯域において不必要なリップルが発生することがある。そのため、弾性波フィルタの通過帯域において損失が生じるという問題がある。
　本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、通過帯域において損失が生じることを抑制する弾性波フィルタ等を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波フィルタは、複数の入出力端子と、前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、を備え、前記付加回路は、弾性波伝搬方向に沿って配置された複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）を有し、前記複数のＩＤＴのうち少なくとも１つのＩＤＴは、前記フィルタ回路の通過帯域の周波数にて励振する励振部と、前記弾性波伝搬方向において前記励振部の隣に配置され、前記励振部の励振を抑制する励振抑制部と、を有する。
　上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波フィルタは、複数の入出力端子と、前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、を備え、前記付加回路は、弾性波伝搬方向に沿って配置された複数のＩＤＴを有し、前記ＩＤＴは、前記弾性波伝搬方向と交差する方向に延伸し、互いに平行に配置された複数の電極指と、当該複数の電極指を構成する電極指の一端同士を接続するバスバー電極と、で構成された一対の櫛形電極を有し、前記複数の電極指のうちの２つの電極指の間に配置され、前記一対の櫛形電極を構成するいずれの前記バスバー電極とも接続されていない電極指を浮き電極指と定義し、前記一対の櫛形電極を構成する全ての電極指のうち、隣の電極指が接続されたバスバー電極と同じバスバー電極に接続された電極指を極性反転電極指と定義し、前記複数の電極指のうち、最大の電極指幅を有する電極指であって、当該電極指を除く電極指における平均電極指幅の２倍以上の電極指幅を有する電極指を塗りつぶし電極指と定義した場合、前記ＩＤＴは、前記浮き電極指、前記極性反転電極指および前記塗りつぶし電極指の少なくとも１つの電極指構造を有する。
　上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波フィルタは、複数の入出力端子と、前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、を備え、前記付加回路は、第１方向に沿って配置された複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）を有し、前記複数のＩＤＴのうち少なくとも１つのＩＤＴは、第１励振部と第２励振部とを有し、前記第１励振部および前記第２励振部のそれぞれは、前記第２経路上の信号配線に接続される信号側バスバー電極と、前記信号側バスバー電極に平行に配置され、グランドに接続されるグランド側バスバー電極と、を有し、前記第１励振部は、さらに、前記信号側バスバー電極に接続され、前記第１方向と直交する第２方向に延伸する複数の第１の信号側電極指と、前記グランド側バスバー電極に接続され、前記第２方向に延伸する複数の第１のグランド側電極指と、を有し、前記第１の信号側電極指および前記第１のグランド側電極指は、前記第１方向に沿って交互に配置され、前記第２励振部は、さらに、前記信号側バスバー電極に接続され、前記第２方向に延伸する１以上の第２の信号側電極指と、前記グランド側バスバー電極に接続され、前記第２方向に延伸する１以上の第２のグランド側電極指と、を有し、前記複数の第１の信号側電極指のうち前記第２励振部に最も近い第１の信号側電極指と、前記１以上の第２の信号側電極指のうち前記第１励振部に最も近い第２の信号側電極指とが、前記第１方向に、距離Ｓで互いに隣り合って配置されている、もしくは、前記複数の第１のグランド側電極指のうち前記第２励振部に最も近い第１のグランド側電極指と、前記１以上の第２のグランド側電極指のうち前記第１励振部に最も近い第２のグランド側電極指とが、前記第１方向に、距離Ｓで互いに隣り合って配置されており、前記距離Ｓは、当該隣り合って配置される電極指の、前記第１方向における中心間距離であり、前記第１励振部と前記第２励振部の平均ピッチをＰａとしたとき、前記距離Ｓは、Ｐａ／２以上、３Ｐａ／２以下である。
　上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るマルチプレクサは、上記の弾性波フィルタを備える。
　本発明に係る弾性波フィルタ等によれば、通過帯域において損失が生じることを抑制できる。
図１は、実施の形態に係る弾性波フィルタ、および、弾性波フィルタに含まれる付加回路の縦結合弾性波共振器を示す図である。 図２は、縦結合弾性波共振器に含まれるＩＤＴの励振部および励振抑制部を示す図である。 図３は、実施の形態に係る弾性波フィルタを備えるマルチプレクサの回路構成図である。 図４は、実施の形態の一例である実施例の弾性波フィルタに含まれる付加回路の縦結合弾性波共振器を示す図である。 図５は、実施例の弾性波フィルタに含まれるフィルタ回路の弾性波共振子の電極パラメータを示す図である。 図６は、実施例の縦結合弾性波共振器の電極パラメータを示す図である。 図７は、比較例の弾性波フィルタに含まれる付加回路の縦結合弾性波共振器を示す図である。 図８は、比較例の縦結合弾性波共振器の電極パラメータを示す図である。 図９は、比較例の縦結合弾性波共振器および弾性波フィルタの挿入損失を示す図である。 図１０は、実施例の縦結合弾性波共振器および弾性波フィルタの挿入損失を示す図である。 図１１は、実施の形態の変形例１の縦結合弾性波共振器のＩＤＴを示す図である。 図１２は、実施の形態の変形例２に係る弾性波フィルタを示す図である。 図１３は、実施の形態の変形例３の縦結合弾性波共振器のＩＤＴを示す図である。 図１４は、実施の形態の変形例４の縦結合弾性波共振器のＩＤＴを示す図である。 図１５は、実施の形態の変形例５の縦結合弾性波共振器のＩＤＴを示す図である。 図１６は、実施の形態の他の一例に係る弾性波フィルタの付加回路の縦結合弾性波共振器に含まれるＩＤＴの第１励振部および第２励振部を示す図である。 図１７は、図１６の実施例に係る弾性波フィルタに含まれる付加回路の縦結合弾性波共振器を示す図である。
　（概要説明）
　本発明の概要について、図１および図２を参照しながら説明する。
　図１は、実施の形態に係る弾性波フィルタ１、および、弾性波フィルタ１に含まれる付加回路２０の縦結合弾性波共振器２５を示す図である。図１の（ａ）には、弾性波フィルタ１が示され、図１の（ｂ）には、付加回路２０の縦結合弾性波共振器２５が示されている。
　図１の（ａ）に示すように、弾性波フィルタ１は、入出力端子Ｔ１および入出力端子Ｔ２を結ぶ第１経路ｒ１に設けられたフィルタ回路１０と、第１経路ｒ１に並列接続された第２経路ｒ２に設けられた付加回路２０と、を備えている。付加回路２０は、縦結合弾性波共振器２５を有している。なお、付加回路２０は、縦結合型の弾性波共振器でなくトランスバーサル型の弾性波共振器を有していてもよい。
　図１の（ｂ）に示すように、縦結合弾性波共振器２５は、複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）３１および３２と、複数の反射器４１および４２と、を有している。複数の反射器４１、４２は、弾性波伝搬方向ｄ１において、複数のＩＤＴ３１、３２を挟み込むように、ＩＤＴ３１、３２の両外側に配置されている。
　ＩＤＴ３１は、一対となる第１の櫛形電極３１ａおよび第２の櫛形電極３１ｂを有し、ＩＤＴ３２は、一対となる第１の櫛形電極３２ａおよび第２の櫛形電極３２ｂを有している。
　第１の櫛形電極３１ａ、３２ａのそれぞれは、弾性波伝搬方向ｄ１に延びるバスバー電極３６ａと、バスバー電極３６ａに接続されて弾性波伝搬方向ｄ１に直交する直交方向ｄ２に延びる複数の電極指３５ａと、を有している。バスバー電極３６ａは、複数の電極指３５ａの一端同士を接続している。第２の櫛形電極３１ｂ、３２ｂのそれぞれは、弾性波伝搬方向ｄ１に延びるバスバー電極３６ｂと、バスバー電極３６ｂに接続されて直交方向ｄ２に延びる複数の電極指３５ｂとを有している。バスバー電極３６ｂは、複数の電極指３５ｂの一端同士を接続している。第２の櫛形電極３１ｂおよび第２の櫛形電極３２ｂのバスバー電極３６ｂは、共通化されている。複数の電極指３５ａおよび３５ｂは、直交方向ｄ２に互いに間挿し合い、互いに平行に配置されている。
　第１の櫛形電極３１ａ、３２ａは、第２経路ｒ２上の信号配線ｓＬ２に接続され、第２の櫛形電極３１ｂ、３２ｂは、グランドに接続される。つまり、バスバー電極３６ａおよび電極指３５ａは、信号電位に設定され、バスバー電極３６ｂおよび電極指３５ｂは、グランド電位に設定される。
　本実施の形態のＩＤＴ３１は、複数の電極指３５ａおよび３５ｂが弾性波伝搬方向ｄ１に沿って交互に並んでいる領域、すなわち、１波長ごとに同じ電位の電極指が配置された領域を有している。また、ＩＤＴ３１は、同じ電位の２つの電極指３５ａが隣り合っている領域を有している。つまり、ＩＤＴ３１では、信号電位に設定された電極指３５ａから１波長離れた位置に、グランド電位に設定された電極指３５ｂが配置された領域を有している。
　図２は、縦結合弾性波共振器２５に含まれるＩＤＴ３１の励振部５１および励振抑制部５２を示す図である。
　図２に示すように、ＩＤＴ３１は、隣り合う２つの電極指３５ａの間の間隙ｖを境に区分けされた、励振部５１および励振抑制部５２を有している。
　励振部５１は、フィルタ回路１０の通過帯域の周波数にて励振する部分であり、間隙ｖから見て反射器４１側に設けられている。
　励振抑制部５２は、励振部５１の励振を抑制する部分であり、間隙ｖから見て反射器４１とは反対側、すなわちＩＤＴ３２側に設けられている。励振抑制部５２は、弾性波伝搬方向ｄ１において、励振部５１の隣に配置されている。同図に示す励振抑制部５２は、弾性波伝搬方向ｄ１において、ＩＤＴ３１の端部に設けられている。また、励振抑制部５２の電極指３５ａ、３５ｂの本数は、励振部５１の電極指３５ａ、３５ｂの本数よりも少なくなっている。
　前述したように、ＩＤＴ３１では、同じ電位の２つの電極指３５ａが弾性波伝搬方向ｄ１に隣り合って配置されている。そのためＩＤＴ３１では、弾性波伝搬方向ｄ１に隣り合う２つの電極指３５ａの間を境とし、左側の励振部５１と右側の励振抑制部５２とで位相の異なる弾性波が起きる。例えば、励振抑制部５２を伝搬する弾性波の位相は、励振部５１を伝搬する弾性波の位相とは、１３５°以上２２５°以下の範囲で異なる。このように励振部５１に起きる弾性波の位相と、励振抑制部５２に起きる弾性波の位相とが異なることで、励振部５１を含むＩＤＴ３１が必要以上に励振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　以下、本発明の実施の形態について、実施の形態および図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、図面に示される構成要素の大きさ、または大きさの比は、必ずしも厳密ではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する場合がある。また、以下の実施の形態において、「接続される」とは、直接接続される場合だけでなく、他の素子等を介して電気的に接続される場合も含まれる。
　（実施の形態）
　［マルチプレクサの構成］
　弾性波フィルタ１を備えるマルチプレクサ５の構成について、図３を参照しながら説明する。
　図３は、実施の形態に係る弾性波フィルタ１を備えるマルチプレクサ５の回路構成図である。
　マルチプレクサ５は、複数のフィルタを備える分波器または合波器である。マルチプレクサ５は、第１のフィルタ回路１０および付加回路２０を有する弾性波フィルタ１と、第２のフィルタ回路９０とを備えている。第１のフィルタ回路１０は、第１の周波数帯域を通過帯域とするフィルタ回路である。
　また、マルチプレクサ５は、弾性波フィルタ１に接続される入出力端子Ｔ１と、弾性波フィルタ１および第２のフィルタ回路９０の両方に接続される入出力端子Ｔ２と、第２のフィルタ回路９０に接続される入出力端子Ｔ３と、を備えている。
　入出力端子Ｔ１は、弾性波フィルタ１の信号入力側の端子である。例えば、入出力端子Ｔ１は、増幅回路等（図示せず）を介してＲＦ信号処理回路（図示せず）に接続される。
　入出力端子Ｔ２は、弾性波フィルタ１の信号出力側の端子であり、また、第２のフィルタ回路９０の信号入力側の端子である。すなわち、入出力端子Ｔ２は、弾性波フィルタ１および第２のフィルタ回路９０の共通端子である。入出力端子Ｔ２は、弾性波フィルタ１と入出力端子Ｔ２との間のノードｎ０を分岐点とし、分岐した一方の経路が弾性波フィルタ１に接続され、分岐した他方の経路が第２のフィルタ回路９０に接続されている。例えば、入出力端子Ｔ２は、アンテナ素子（図示せず）に接続される。入出力端子Ｔ２とノードｎ０との間の経路と、グランドとの間には、インダクタＬ０が接続されている。
　入出力端子Ｔ３は、第２のフィルタ回路９０の信号出力側の端子である。例えば、入出力端子Ｔ３は、増幅回路等（図示せず）を介してＲＦ信号処理回路（図示せず）に接続される。
　弾性波フィルタ１は、複数の入出力端子Ｔ１およびＴ２を結ぶ第１経路ｒ１上に配置されている。弾性波フィルタ１は、第１のフィルタ回路１０と、第１のフィルタ回路１０に付加接続された付加回路２０と、を備えている。入出力端子Ｔ１に入力された高周波信号は、第１経路ｒ１、および、第１経路ｒ１の少なくとも一部に並列接続された第２経路ｒ２を通って入出力端子Ｔ２から出力される。
　第１のフィルタ回路１０は、通信規格により定められた、第１の周波数帯域を通過帯域とするフィルタ回路である。第１のフィルタ回路１０を含む弾性波フィルタ１は、例えば、上り周波数帯（送信帯域）を通過帯域とする送信フィルタであり、第２のフィルタ回路９０よりも通過帯域が低くなるように設定される。
　付加回路２０は、第１のフィルタ回路１０の通過帯域外の減衰特性を改善するため、第１のフィルタ回路１０と逆位相・同振幅の相殺成分を有するキャンセル回路である。付加回路２０は、第１経路ｒ１に並列接続された第２経路ｒ２上に設けられている。付加回路２０は、縦結合弾性波共振器２５を有し、縦結合弾性波共振器２５は、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って配置された複数のＩＤＴ３１、３２を有している。第２経路ｒ２を伝送する高周波信号は、ＩＤＴ３２に入力され、ＩＤＴ３１から出力される。なお、図３では、反射器４１、４２の図示が省略されている。
　第２のフィルタ回路９０は、入出力端子Ｔ２と入出力端子Ｔ３とを結ぶ第３経路ｒ３上に配置されている。第２のフィルタ回路９０は、第１のフィルタ回路１０の通過帯域と異なる周波数帯域を通過帯域とする。第２のフィルタ回路９０は、例えば、下り周波数帯（受信帯域）を通過帯域とする受信フィルタである。第２のフィルタ回路９０は、例えば、直列腕共振子Ｓ２１およびＳ２２と、複数の並列腕共振子Ｐ２１、Ｐ２２およびＰ２３と、弾性波共振器Ｑ２１と、を有している。直列腕共振子Ｓ２２と入出力端子Ｔ３との間には、インダクタＬ２１が挿入されている。
　マルチプレクサ５には、例えば、Ｂａｎｄ８（送信帯域：８８０ＭＨｚ－９１５ＭＨｚ、受信帯域：９２５ＭＨｚ－９６０ＭＨｚ）の高周波信号が入出力される。弾性波フィルタ１および第２のフィルタ回路９０のそれぞれには、自帯域の周波数を通過させ、自帯域外に位置する相手帯域の周波数を減衰させるような特性が求められる。
　［弾性波フィルタの構成］
　弾性波フィルタ１の構成について、図３を参照しながら説明する。図３に示すように、弾性波フィルタ１は、第１のフィルタ回路１０と付加回路２０とを備えている。
　第１のフィルタ回路１０は、弾性波共振子である直列腕共振子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５および並列腕共振子Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４を有している。
　直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５は、入出力端子Ｔ１と入出力端子Ｔ２とを結ぶ第１経路ｒ１上に配置されている。直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５は、入出力端子Ｔ１から入出力端子Ｔ２に向かって、この順で直列に接続されている。直列腕共振子Ｓ１は、インダクタＬ１を介して入出力端子Ｔ１に接続されている。直列腕共振子Ｓ４には、容量素子Ｃ１が並列接続されている。
　並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４は、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５の間の各ノードｎ２、ｎ３、ｎ４、ｎ５とグランド（基準端子）とを結ぶ経路上に互いに並列に接続されている。具体的には、並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４のうち、入出力端子Ｔ１に最も近い並列腕共振子Ｐ１は、一端が直列腕共振子Ｓ１とＳ２との間のノードｎ２に接続され、他端がインダクタＬ２を介してグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ２は、一端が直列腕共振子Ｓ２とＳ３との間のノードｎ３に接続され、他端がインダクタＬ２を介してグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ３は、一端が直列腕共振子Ｓ３とＳ４との間のノードｎ４に接続され、他端がインダクタＬ３を介してグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ４は、一端が直列腕共振子Ｓ４とＳ５との間のノードｎ５に接続され、他端がグランドに接続されている。なお、並列腕共振子Ｐ１、Ｐ２の他端側は共通化されてインダクタＬ２に接続されている。
　このように第１のフィルタ回路１０は、第１経路ｒ１上に配置された５つの直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５、および、第１経路ｒ１とグランドとを結ぶ経路上に配置された４つの並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４で構成されるラダーフィルタ構造を有している。
　なお、第１のフィルタ回路１０を構成する直列腕共振子および並列腕共振子の数は、５つまたは４つに限定されず、直列腕共振子が１つ以上かつ並列腕共振子が１つ以上であればよい。また図３では、並列腕共振子が接続されるグランドの一部が共通化されているが、グランドを共通化するか個別化するかは、例えば、第１のフィルタ回路１０の実装レイアウトの制約等によって適宜選択され得る。
　次に、弾性波フィルタ１に含まれる付加回路２０について説明する。付加回路２０は、第１のフィルタ回路１０の通過帯域外の不要波に逆位相をかけることで、弾性波フィルタ１から不要波が出力されることを抑制する回路である。付加回路２０は、第１経路ｒ１の少なくとも一部に並列接続される第２経路ｒ２に設けられている。例えば、付加回路２０は、第１経路ｒ１上の複数のノードに接続される。
　図３に示すように、付加回路２０の縦結合弾性波共振器２５は、複数のＩＤＴ３１および３２を有している。複数のＩＤＴ３１、３２は、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って配置される。
　複数のＩＤＴ３１、３２のうち、ＩＤＴ３２は、縦結合弾性波共振器２５から見て入出力端子Ｔ１側の第１経路ｒ１、具体的にはインダクタＬ１と直列腕共振子Ｓ１との間のノードｎ１に接続されている。ＩＤＴ３１は、縦結合弾性波共振器２５から見て入出力端子Ｔ２側の第１経路ｒ１、具体的には直列腕共振子Ｓ５とノードｎ０との間のノードｎ６に接続されている。言い換えると、ＩＤＴ３２は、縦結合弾性波共振器２５に並列接続されている直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５から見て入出力端子Ｔ１側の第１経路ｒ１に接続され、ＩＤＴ３１は、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５から見て入出力端子Ｔ２側の第１経路ｒ１に接続されている。ＩＤＴ３１とノードｎ６とを結ぶ経路上には、容量素子Ｃ２が設けられている。ノードｎ６は、ノードｎ０と同じ位置にあってもよい。
　［付加回路の縦結合弾性波共振器の構造］
　付加回路２０の縦結合弾性波共振器２５の構造について、図４を参照しながら説明する。縦結合弾性波共振器２５は、例えば、複数の弾性表面波（ＳＡＷ：Ｓｕｒｆａｃｅ　Ａｃｏｕｓｔｉｃ　Ｗａｖｅ）共振子によって構成されている。
　図４は、実施の形態の一例である実施例の弾性波フィルタ１に含まれる付加回路２０の縦結合弾性波共振器２５を示す図である。なお、図４に示された縦結合弾性波共振器２５は、共振子の典型的な構造を説明するためのものであって、ＩＤＴに含まれる電極指の本数や長さなどは、これに限定されない。
　縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴは、圧電性基板と、圧電性基板上に形成された複数のＩＤＴ電極とによって構成される。例えば、縦結合弾性波共振器２５は、圧電性基板と、ＩＤＴ電極を構成する電極層と、ＩＤＴ電極を覆うように圧電性基板上に設けられた誘電体層と、によって形成される。例えば、圧電性基板がＬｉＴａＯ３の圧電単結晶を有する基板である場合、ＩＤＴ電極を覆う誘電体層の厚みは、１ｎｍ以上６０ｎｍ以下の範囲から選択される。圧電性基板がＬｉＮｂＯ３の圧電単結晶を有する基板である場合、ＩＤＴ電極を覆う誘電体層の厚みは、１ｎｍ以上６０ｎｍ以下の範囲から選択される。
　例えば、縦結合弾性波共振器２５におけるＩＤＴ３１、３２のデューティは、０．３以上０．７以下の範囲から選択される。ＩＤＴ３１、３２の電極指３５ａ、３５ｂの交差幅は、フィルタ回路１０の弾性波共振子を構成するＩＤＴの電極指の交差幅よりも小さく、例えば、１μｍ以上７０μｍ以下の範囲から選択される。ＩＤＴ３１、３２の電極指３５ａ、３５ｂの本数は、フィルタ回路１０の弾性波共振子を構成するＩＤＴの電極指の本数よりも少なく、例えば、４０本以下の値である。
　実施例の縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１は、励振部５１および励振抑制部５２を有している。
　励振部５１および励振抑制部５２のそれぞれは、信号側バスバー電極６６ａと、グランド側バスバー電極６６ｂと、を有している。信号側バスバー電極６６ａは、前述したバスバー電極３６ａの一例であり、グランド側バスバー電極６６ｂは、前述したバスバー電極３６ｂの一例である。
　信号側バスバー電極６６ａは、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って配置され、第２経路ｒ２上の信号配線ｓＬ２に接続されている。グランド側バスバー電極６６ｂは、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って配置され、グランドに接続されている。信号側バスバー電極６６ａおよびグランド側バスバー電極６６ｂは、互いに平行に配置されている。
　励振部５１は、さらに、複数の第１の信号側電極指７１ａと、複数の第１のグランド側電極指７１ｂと、を有している。第１の信号側電極指７１ａは、前述した電極指３５ａの一例であり、第１のグランド側電極指７１ｂは、前述した電極指３５ｂの一例である。
　第１の信号側電極指７１ａは、一端が信号側バスバー電極６６ａに接続され、一端から他端に向けて、弾性波伝搬方向ｄ１と直交する直交方向ｄ２に延伸している。第１のグランド側電極指７１ｂは、一端がグランド側バスバー電極６６ｂに接続され、一端から他端に向けて、直交方向ｄ２に延伸している。第１の信号側電極指７１ａおよび第１のグランド側電極指７１ｂは、励振部５１内において、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って交互に配置されている。また、第１の信号側電極指７１ａおよび第１のグランド側電極指７１ｂは、直交方向ｄ２に互いに間挿し合い、弾性波伝搬方向ｄ１に対向している。
　励振抑制部５２は、さらに、１以上の第２の信号側電極指７２ａと、１以上の第２のグランド側電極指７２ｂとを有している。第２の信号側電極指７２ａは、前述した電極指３５ａの一例であり、第２のグランド側電極指７２ｂは、前述した電極指３５ｂの一例である。第２の信号側電極指７２ａおよび第２のグランド側電極指７２ｂのそれぞれは、複数本に限られず１本ずつであってもよい。
　第２の信号側電極指７２ａは、一端が信号側バスバー電極６６ａに接続され、一端から他端に向けて直交方向ｄ２に延伸している。第２のグランド側電極指７２ｂは、一端がグランド側バスバー電極６６ｂに接続され、一端から他端に向けて直交方向ｄ２に延伸している。第２の信号側電極指７２ａおよび第２のグランド側電極指７２ｂは、励振抑制部５２内において、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って交互に配置される。第２の信号側電極指７２ａおよび第２のグランド側電極指７２ｂは、直交方向ｄ２に互いに間挿し合い、弾性波伝搬方向ｄ１に対向している。
　第１の信号側電極指７１ａおよび第２の信号側電極指７２ａは、同じ信号側バスバー電極６６ａに接続され、ともに信号電位に設定される。第１のグランド側電極指７１ｂおよび第２のグランド側電極指７２ｂは、同じグランド側バスバー電極６６ｂに接続され、ともにグランド電位に設定される。
　実施例のＩＤＴ３１では、複数の第１の信号側電極指７１ａのうち励振抑制部５２に最も近い第１の信号側電極指７１ａと、１以上の第２の信号側電極指７２ａのうち励振部５１に最も近い第２の信号側電極指７２ａとが、弾性波伝搬方向ｄ１に互いに隣り合って配置されている。また、励振部５１に最も近い第２の信号側電極指７２ａから見て、励振部５１の反対側には、第２のグランド側電極指７２ｂが配置されている。第２の信号側電極指７２ａの本数は、第１の信号側電極指７１ａの本数よりも少ない数によって構成されている。
　上記では、ＩＤＴ３１について説明したが、ＩＤＴ３２についても同様のことがいえる。ＩＤＴ３２では、グランド電位に設定されている２つの電極指が弾性波伝搬方向ｄ１に隣り合っている例について説明する。
　ＩＤＴ３２は、励振部５３および励振抑制部５４を有している。
　励振部５３および励振抑制部５４のそれぞれは、信号側バスバー電極６６ａと、グランド側バスバー電極６６ｂと、を有している。
　励振部５３は、さらに、複数の第１の信号側電極指７１ａと、複数の第１のグランド側電極指７１ｂとを有している。
　励振抑制部５４は、さらに、１以上の第２の信号側電極指７２ａと、１以上の第２のグランド側電極指７２ｂとを有している。第２の信号側電極指７２ａおよび第２のグランド側電極指７２ｂのそれぞれは、複数本に限られず１本ずつであってもよい。
　実施例のＩＤＴ３２では、複数の第１のグランド側電極指７１ｂのうち励振抑制部５４に最も近い第１のグランド側電極指７１ｂと、１以上の第２のグランド側電極指７２ｂのうち励振部５３に最も近い第２のグランド側電極指７２ｂとが、弾性波伝搬方向ｄ１に互いに隣り合って配置されている。また、励振部５３に最も近い第２のグランド側電極指７２ｂから見て、励振部５３の反対側には、第２の信号側電極指７２ａが配置されている。第２のグランド側電極指７２ｂの本数は、第１のグランド側電極指７１ｂの本数よりも少ない数によって構成されている。
　このように実施例の弾性波フィルタ１では、付加回路２０のＩＤＴ３１が、励振部５１に加え励振抑制部５２を有している。そのため、励振抑制部５２を用いて、励振部５１による不必要な共振を抑制でき、弾性波フィルタ１の通過特性が劣化することを抑制できる。また、弾性波フィルタ１では、付加回路２０のＩＤＴ３２が、励振部５３に加え励振抑制部５４を有している。そのため、励振抑制部５４を用いて、励振部５３による不必要な共振を抑制でき、弾性波フィルタ１の通過特性が劣化することを抑制できる。これにより、付加回路２０による減衰特性を維持しつつ、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　［弾性波フィルタの通過特性等］
　実施例および比較例の弾性波フィルタの通過特性等について説明する。
　まず、実施例の弾性波フィルタ１に含まれるフィルタ回路１０、および、付加回路２０の縦結合弾性波共振器２５の電極パラメータについて説明する。
　図５は、実施例の弾性波フィルタ１に含まれるフィルタ回路１０の弾性波共振子の電極パラメータを示す図である。図５には、フィルタ回路１０の直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５および並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４を構成するＩＤＴ３１、３２および反射器４１、４２の電極パラメータが示されている。
　例えば、同図に示すＩＤＴ波長は、ＩＤＴ３１または３２に含まれる複数の電極指の配列ピッチの２倍の値である。反射器波長は、反射器４１または４２に含まれる複数の反射電極指の配列ピッチの２倍の値である。交差幅は、ＩＤＴ３１または３２を弾性波伝搬方向ｄ１から見たときに電極指３５ａと電極指３５ｂとが重なる寸法である。ＩＤＴ対数は、ＩＤＴ３１または３２の電極指３５ａ、３５ｂの対数であり、反射器対数は、反射電極指の本数の１／２である。ＩＲＧＡＰは、反射器４１（または４２）に最近接する電極指とＩＤＴ３１（または３２）に最近接する反射電極指との弾性波伝搬方向ｄ１における中心同士の距離（以下、２つの電極指間の弾性波伝搬方向ｄ１における中心同士の距離を、単に「中心間距離」と称することがある）である。デューティ（ｄｕｔｙ）は、電極指の幅を電極指の配列ピッチで除算した値である。
　図６は、実施例の弾性波フィルタ１に含まれる付加回路２０の縦結合弾性波共振器２５の電極パラメータを示す図である。
　同図には、反射器４１の波長、ＩＤＴ３１の励振部５１の波長、ＩＤＴ３１の励振抑制部５２の波長、ＩＤＴ３２の励振抑制部５４の波長、ＩＤＴ３２の励振部５３の波長、および、反射器４２の波長のそれぞれの値が示されている。この実施例では、励振部５１の波長よりも、励振抑制部５２の波長が短い。また、励振部５３の波長よりも、励振抑制部５４の波長が短い。
　同図には、反射器４１、励振部５１、励振抑制部５２、励振抑制部５４、励振部５３および反射器４２の電極指の本数が示されている。この実施例では、励振部５１の電極指の本数よりも、励振抑制部５２の電極指の本数が少ない。また、励振部５３の電極指の本数よりも、励振抑制部５４の電極指の本数が少ない。
　同図には、反射器４１と励振部５１とのギャップ、励振部５１と励振抑制部５２とのギャップ、励振抑制部５２と励振抑制部５４とのギャップ、励振抑制部５４と励振部５３とのギャップ、および、励振部５３と反射器４２とのギャップのそれぞれの値が示されている。この実施例では、反射器４１と励振部５１とのギャップよりも、励振部５１と励振抑制部５２とのギャップが小さい。また、励振部５１と励振抑制部５２とのギャップよりも、励振抑制部５２と励振抑制部５４とのギャップ（すなわちＩＤＴ３１とＩＤＴ３２とのギャップ）が小さく、励振部５３と励振抑制部５４とのギャップよりも、励振抑制部５２と励振抑制部５４とのギャップが小さい。また、励振部５３と反射器４２とのギャップよりも、励振抑制部５４と励振部５３とのギャップが小さい。
　なお、ギャップとは、電極指を有する２つの構成要素に着目した場合に、一方の構成要素に最近接する他方の構成要素の電極指と、他方の構成要素に最近接する一方の構成要素の電極指との弾性波伝搬方向ｄ１における中心間距離である。例えば、励振部５１と励振抑制部５２とのギャップは、励振抑制部５２に最近接する励振部５１の電極指と、励振部５１に最近接する励振抑制部５２の電極指との弾性波伝搬方向ｄ１における中心間距離である。
　ここで、実施例の弾性波フィルタ１の通過特性等の改善効果を見るため、比較例の弾性波フィルタ１０１について説明する。
　図７は、比較例の弾性波フィルタ１０１に含まれる付加回路１２０の縦結合弾性波共振器１２５を示す図である。
　図７に示すように、付加回路１２０の縦結合弾性波共振器１２５は、複数のＩＤＴ１３１および１３２と、複数の反射器４１および４２と、を有している。
　ＩＤＴ１３１は、第１の櫛形電極３１ａおよび第２の櫛形電極３１ｂを有し、ＩＤＴ１３２は、第１の櫛形電極３２ａおよび第２の櫛形電極３２ｂを有している。第１の櫛形電極３１ａ、３２ａのそれぞれは、バスバー電極３６ａと、複数の電極指３５ａとを有している。第２の櫛形電極３１ｂ、３２ｂのそれぞれは、バスバー電極３６ｂと、複数の電極指３５ｂとを有している。
　比較例のＩＤＴ１３１、１３２では、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って配置された複数の電極指３５ａおよび３５ｂが、全て交互に並んでいる。つまり比較例では、ＩＤＴ１３１、１３２のそれぞれにおいて、同じ電位の２つの電極指が隣り合っている領域は存在しない。なお、比較例には、実施例の励振抑制部５２、５４に対する条件を揃えるため、励振部５１よりも電極指３５ａ、３５ｂの配列ピッチが小さい狭ピッチ部５５２、５５４が設けられている。
　図８は、比較例の付加回路１２０の縦結合弾性波共振器１２５の電極パラメータを示す図である。
　ＩＤＴ１３１、１３２等の各波長、各電極指の本数、および、各ギャップは、図８に示すとおりである。なお、比較例におけるフィルタ回路１０の直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５および並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４の電極パラメータは、実施例と同じである。
　図９は、比較例の縦結合弾性波共振器１２５および弾性波フィルタ１０１の挿入損失を示す図である。図１０は、実施例の縦結合弾性波共振器２５および弾性波フィルタ１の挿入損失を示す図である。
　図９および図１０のそれぞれには、縦結合弾性波共振器の単体の挿入損失、付加回路を有しないフィルタ回路１０の挿入損失、および、付加回路を有する弾性波フィルタの挿入損失が示されている。なお、弾性波フィルタ１０１および１の通過帯域は、８８０ＭＨｚ－９１５ＭＨｚである。
　図９の一点鎖線に示すように、比較例の縦結合弾性波共振器１２５は、複数の共振モードのうちの１つが、フィルタ回路１０の通過帯域内である９０５ＭＨｚ付近に位置している。そのため比較例では、図９の実線に示すように、弾性波フィルタ１０１の通過帯域にリップルが発生し、通過帯域において損失が生じている。より具体的には、通過帯域の高周波側の挿入損失が大きくなり、通過帯域の帯域幅が狭くなっている。
　それに対し、図１０の一点鎖線に示すように、実施例の縦結合弾性波共振器２５は、フィルタ回路１０の通過帯域に、比較例のような大きな共振モードが発生していない。そのため実施例では、図１０の実線に示すように、フィルタ回路１０の通過帯域にリップルが発生せず、通過帯域において大きな損失が生じることを抑制できている。
　［実施の形態の変形例１］
　実施の形態の変形例１の弾性波フィルタ１について説明する。変形例１では、ＩＤＴ３１が複数の励振抑制部５２および５２Ａを有している例について説明する。
　図１１は、実施の形態の変形例１の縦結合弾性波共振器２５ＡのＩＤＴ３１を示す図である。
　図１１に示すように、縦結合弾性波共振器２５ＡのＩＤＴ３１は、複数の励振抑制部５２、５２Ａを有している。具体的には、２つの励振抑制部５２、５２Ａが、弾性波伝搬方向ｄ１において、励振部５１の両端部に設けられている。言い換えると、励振部５１は、２つの励振抑制部５２、５２Ａの間に配置されている。
　励振部５１および励振抑制部５２、５２Ａのそれぞれは、信号側バスバー電極６６ａと、グランド側バスバー電極６６ｂと、を有している。
　励振部５１は、複数の第１の信号側電極指７１ａと、複数の第１のグランド側電極指７１ｂと、を有している。励振抑制部５２は、１以上の一方の第２の信号側電極指７２ａと、１以上の一方の第２のグランド側電極指７２ｂと、を有している。励振抑制部５２Ａは、１以上の他方の第２の信号側電極指７２ａと、１以上の他方の第２のグランド側電極指７２ｂと、を有している。なお、以降において、弾性波伝搬方向ｄ１のプラス側の方向を一方と呼び、弾性波伝搬方向ｄ１のマイナス側の方向を他方と呼ぶ場合がある。
　変形例１のＩＤＴ３１では、複数の第１の信号側電極指７１ａのうち励振抑制部５２に最も近い第１の信号側電極指７１ａと、１以上の一方の第２の信号側電極指７２ａのうち励振部５１に最も近い一方の第２の信号側電極指７２ａとが、弾性波伝搬方向ｄ１に互いに隣り合って配置されている。さらに、変形例１のＩＤＴ３１では、複数の第１の信号側電極指７１ａのうち励振抑制部５２Ａに最も近い第１の信号側電極指７１ａと、１以上の他方の第２の信号側電極指７２ａのうち励振部５１に最も近い他方の第２の信号側電極指７２ａとが、弾性波伝搬方向ｄ１に互いに隣り合って配置されている。
　変形例１の構成においても、付加回路２０による減衰特性を維持しつつ、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　なお、上記では、第１の信号側電極指７１ａおよび第２の信号側電極指７２ａが、複数箇所において、弾性波伝搬方向ｄ１に隣り合って配置されている例を示したが、それに限られない。例えば、第１のグランド側電極指７１ｂおよび第２のグランド側電極指７２ｂが、複数箇所において、弾性波伝搬方向ｄ１に隣り合って配置されていてもよい。
　［実施の形態の変形例２］
　実施の形態の変形例２に係る弾性波フィルタ１について説明する。変形例２では、縦結合弾性波共振器２５Ｂが、３つのＩＤＴ３１、３２および３３を有している例について説明する。
　図１２は、実施の形態の変形例２に係る弾性波フィルタ１を示す回路構成図である。
　図１２に示すように、弾性波フィルタ１に含まれる付加回路２０の複数のＩＤＴは、３つのＩＤＴ３１～３３を有している。
　ＩＤＴ３１、３２の構成は、実施例と同様である。ＩＤＴ３３は、ＩＤＴ３２とともに入出力端子Ｔ１側の第１経路ｒ１に接続されている。ＩＤＴ３３は、ＩＤＴ３１と同様に励振部５１および励振抑制部５２を有している。
　変形例２の構成においても、付加回路２０による減衰特性を維持しつつ、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　なお、ＩＤＴ３３は、ＩＤＴ３１と同様の構成でなく、ＩＤＴ３２と同様に励振部５３および励振抑制部５４を有していてもよい。また、ＩＤＴ３３は、励振抑制部を有しておらず、励振部だけで構成されていてもよい。
　［実施の形態の変形例３］
　実施の形態の変形例３に係る弾性波フィルタについて説明する。変形例３では、ＩＤＴ３１０が浮き電極指１５２を有している例について説明する。なお、以下に示すＩＤＴ３１０は、前述したＩＤＴ３１の一例である。
　図１３は、実施の形態の変形例３の縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０を示す図である。変形例３の縦結合弾性波共振器２５は、ＩＤＴ３１０およびＩＤＴ３２を有している。図１３には、ＩＤＴ３１０に含まれる浮き電極指１５２の電極指構造が例示されている。
　変形例３の縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０は、圧電性基板と、圧電性基板上に形成された櫛形電極１０１ａおよび１０１ｂと、を有している。
　図１３に示すように、櫛形電極１０１ａは、互いに平行な複数の電極指１５１ａと、複数の電極指１５１ａの一端同士を接続するバスバー電極１６１ａとで構成されている。また、櫛形電極１０１ｂは、互いに平行な複数の電極指１５１ｂと、複数の電極指１５１ｂの一端同士を接続するバスバー電極１６１ｂとで構成されている。複数の電極指１５１ａおよび１５１ｂは、弾性波伝搬方向ｄ１と直交する直交方向ｄ２に沿って形成されている。櫛形電極１０１ａおよび１０１ｂは、複数の電極指１５１ａと１５１ｂとが互いに間挿し合うように対向配置されている。つまり、縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０は、一対の櫛形電極１０１ａおよび１０１ｂを有している。
　なお、櫛形電極１０１ａは、複数の電極指１５１ｂの長手方向に対向して配置されたダミー電極を有しているが、当該ダミー電極はなくてもよい。また、櫛形電極１０１ｂは、複数の電極指１５１ａの長手方向に対向して配置されたダミー電極を有しているが、当該ダミー電極はなくてもよい。また、櫛形電極１０１ａおよび１０１ｂは、バスバー電極の延在方向が弾性表面波伝搬方向に対して傾斜している、いわゆる傾斜型ＩＤＴ電極であってもよく、また、いわゆるピストン構造を有していてもよい。
　変形例３のＩＤＴ３１０では、太い斜線で示された電極指が離散的に形成されている。この電極指は、バスバー電極１６１ａおよび１６１ｂのいずれとも接続されておらず、複数の電極指１５１ａおよび１５１ｂと平行かつ同ピッチで配置された、浮き電極指１５２である。浮き電極指１５２の両外側には、複数の電極指１５１ａおよび１５１ｂが配置されている。変形例３のＩＤＴ３１０は、この浮き電極指１５２を有している。浮き電極指１５２は、例えば、図１の励振抑制部５２に設けられる。
　ＩＤＴ３１０の励振抑制部５２が、浮き電極指１５２を有することで、ＩＤＴ３１０が通過帯域において不必要に励振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域において損失が生じることを抑制できる。
　［実施の形態の変形例４］
　実施の形態の変形例４に係る弾性波フィルタについて説明する。変形例４では、ＩＤＴ３１０が極性反転電極指２５２を有している例について説明する。
　図１４は、実施の形態の変形例４の縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０を示す図である。変形例４の縦結合弾性波共振器２５は、ＩＤＴ３１０およびＩＤＴ３２を有している。図１４には、ＩＤＴ３１０に含まれる極性反転電極指２５２の電極指構造が例示されている。
　変形例４の縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０は、圧電性基板と、圧電性基板上に形成された櫛形電極２０１ａおよび２０１ｂと、を有している。
　図１４に示すように、櫛形電極２０１ａは、互いに平行な複数の電極指２５１ａと、複数の電極指２５１ａの一端同士を接続するバスバー電極２６１ａとで構成されている。また、櫛形電極２０１ｂは、互いに平行な複数の電極指２５１ｂと、複数の電極指２５１ｂの一端同士を接続するバスバー電極２６１ｂとで構成されている。複数の電極指２５１ａおよび２５１ｂは、弾性波伝搬方向ｄ１と直交する直交方向ｄ２に沿って形成されている。櫛形電極２０１ａおよび２０１ｂは、複数の電極指２５１ａと２５１ｂとが互いに間挿し合うように対向配置されている。つまり、縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０は、一対の櫛形電極２０１ａおよび２０１ｂを有している。
　なお、櫛形電極２０１ａは、複数の電極指２５１ｂの長手方向に対向して配置されたダミー電極を有しているが、当該ダミー電極はなくてもよい。また、櫛形電極２０１ｂは、複数の電極指２５１ａの長手方向に対向して配置されたダミー電極を有しているが、当該ダミー電極はなくてもよい。また、櫛形電極２０１ａおよび２０１ｂは、バスバー電極の延在方向が弾性表面波伝搬方向に対して傾斜している、いわゆる傾斜型ＩＤＴ電極であってもよく、また、いわゆるピストン構造を有していてもよい。
　変形例４のＩＤＴ３１０では、太い斜線で示された電極指が離散的に形成されている。この電極指は、一対の櫛形電極２０１ａおよび２０１ｂを構成する全ての電極指のうち、両隣の電極指が接続されたバスバー電極と同じバスバー電極に接続された、極性反転電極指２５２である。極性反転電極指２５２の両外側には、同じ極性を有する電極指２５１ａおよび２５１ｂが配置されている。変形例４のＩＤＴ３１０は、この極性反転電極指２５２を有している。極性反転電極指２５２は、例えば、図１の励振抑制部５２に設けられる。
　ＩＤＴ３１０の励振抑制部５２が、極性反転電極指２５２を有することで、ＩＤＴ３１０が通過帯域において不必要に励振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域において損失が生じることを抑制できる。
　［実施の形態の変形例５］
　実施の形態の変形例５に係る弾性波フィルタについて説明する。変形例５では、ＩＤＴ３１０が塗りつぶし電極指３５２を有している例について説明する。
　図１５は、実施の形態の変形例５の縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０を示す図である。変形例５の縦結合弾性波共振器２５は、ＩＤＴ３１０およびＩＤＴ３２を有している。図１５には、ＩＤＴ３１０に含まれる塗りつぶし電極指３５２の電極指構造が例示されている。
　変形例５の縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０は、圧電性基板と、圧電性基板上に形成された櫛形電極３０１ａおよび３０１ｂと、を有している。
　図１５に示すように、櫛形電極３０１ａは、互いに平行な複数の電極指３５１ａと、複数の電極指３５１ａの一端同士を接続するバスバー電極３６１ａとで構成されている。また、櫛形電極３０１ｂは、互いに平行な複数の電極指３５１ｂと、複数の電極指３５１ｂの一端同士を接続するバスバー電極３６１ｂとで構成されている。複数の電極指３５１ａおよび３５１ｂは、弾性波伝搬方向ｄ１と直交する直交方向ｄ２に沿って形成されている。櫛形電極３０１ａおよび３０１ｂは、複数の電極指３５１ａと３５１ｂとが互いに間挿し合うように対向配置されている。つまり、縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０は、一対の櫛形電極３０１ａおよび３０１ｂを有している。
　なお、櫛形電極３０１ａは、複数の電極指３５１ｂの長手方向に対向して配置されたダミー電極を有しているが、当該ダミー電極はなくてもよい。また、櫛形電極３０１ｂは、複数の電極指３５１ａの長手方向に対向して配置されたダミー電極を有しているが、当該ダミー電極はなくてもよい。また、櫛形電極３０１ａおよび３０１ｂは、バスバー電極の延在方向が弾性表面波伝搬方向に対して傾斜している、いわゆる傾斜型ＩＤＴ電極であってもよく、また、いわゆるピストン構造を有していてもよい。
　変形例５のＩＤＴ３１０では、太い斜線で示された電極指が離散的に形成されている。この電極指は、縦結合弾性波共振器２５のＩＤＴ３１０において最大の電極指幅を有する電極指であって、電極指を除く電極指における平均電極指幅の２倍以上の電極指幅を有する、塗りつぶし電極指３５２である。言い換えると、塗りつぶし電極指３５２は、隣り合う電極指３５１ａおよび３５１ｂと、当該隣り合う電極指３５１ａおよび３５１ｂの間のスペースとが、まとめられて１本の電極指となり、バスバー電極３６１ａおよび３６１ｂのいずれかに接続され、複数の電極指３５１ａおよび３５１ｂよりも電極指幅の広い塗りつぶし電極指である。塗りつぶし電極指３５２の両外側には、複数の電極指３５１ａおよび３５１ｂが配置されている。変形例５のＩＤＴ３１０は、この塗りつぶし電極指３５２を有している。塗りつぶし電極指３５２は、例えば、図１の励振抑制部５２に設けられる。
　ＩＤＴ３１０の励振抑制部５２が、塗りつぶし電極指３５２を有することで、ＩＤＴ３１０が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域において損失が生じることを抑制できる。
　［実施の形態の他の一例］
　実施の形態の他の一例について説明する。
　図１６は、実施の形態の他の一例に係る弾性波フィルタ１の付加回路２０の縦結合弾性波共振器２５に含まれるＩＤＴの第１励振部および第２励振部を示す図である。図１７は、図１６の実施例に係る弾性波フィルタ１に含まれる付加回路２０の縦結合弾性波共振器２５を示す図である。
　図１６および図１７に示す付加回路２０は、第１方向に沿って配置された複数のＩＤＴ３１、３２を有している。複数のＩＤＴ３１、３２のうち少なくとも１つのＩＤＴは、第１励振部と第２励振部とを有している。
　なお、第１方向は、電極指３５ａ、３５ｂが延びる方向に直交する方向であり、前述した弾性波伝搬方向ｄ１と同じ方向である。以下において第１方向を第１方向ｄ１と記す場合がある。第１方向ｄ１に直交する方向、すなわち電極指３５ａ、３５ｂが延びる方向を第２方向ｄ２と記す場合がある。
　図１６では、ＩＤＴ３１に第１励振部５１ｚおよび第２励振部５２ｚが設けられている。図１７では、ＩＤＴ３１に第１励振部５１ｚおよび第２励振部５２ｚが設けられ、ＩＤＴ３２に第１励振部５３ｚおよび第２励振部５４ｚが設けられている。
　ＩＤＴ３１は、第１方向ｄ１に沿って並ぶ複数の電極指３５ａ、３５ｂを有している。第２励振部５２ｚの電極指３５ａ、３５ｂの本数は、第１励振部５１ｚの電極指３５ａ、３５ｂの本数よりも少ない。
　第１励振部５１ｚおよび第２励振部５２ｚのそれぞれは、第２経路ｒ２上の信号配線に接続される信号側バスバー電極６６ａと、信号側バスバー電極６６ａに平行に配置され、グランドに接続されるグランド側バスバー電極６６ｂと、を有している。
　第１励振部５１ｚは、さらに、信号側バスバー電極６６ａに接続され、第１方向ｄ１と直交する第２方向ｄ２に延伸する複数の第１の信号側電極指７１ａと、グランド側バスバー電極６６ｂに接続され、第２方向ｄ２に延伸する複数の第１のグランド側電極指７１ｂと、を有している。第１の信号側電極指７１ａおよび第１のグランド側電極指７１ｂは、第１方向ｄ１に沿って交互に配置されている。
　第２励振部５２ｚは、さらに、信号側バスバー電極６６ａに接続され、第２方向ｄ２に延伸する１以上の第２の信号側電極指７２ａと、グランド側バスバー電極６６ｂに接続され、第２方向ｄ２に延伸する１以上の第２のグランド側電極指７２ｂと、を有している。第２励振部５２ｚは、第１方向ｄ１において、ＩＤＴ３１の端部に設けられている。
　第１励振部５１ｚに最も近い第２の信号側電極指７２ａから見て、第１励振部５１ｚの反対側には、第２のグランド側電極指７２ｂが配置されている。第１励振部５１ｚに最も近い第２のグランド側電極指７２ｂから見て、第１励振部５１ｚの反対側には、第２の信号側電極指７２ａが配置されている。
　この例の縦結合弾性波共振器２５では、図１７に示すように、複数の第１の信号側電極指７１ａのうち第２励振部５２ｚに最も近い第１の信号側電極指と、１以上の第２の信号側電極指７２ａのうち第１励振部５１ｚに最も近い第２の信号側電極指とが、第１方向ｄ１に、距離Ｓで互いに隣り合って配置されている。
　また、上記に限られず、複数の第１のグランド側電極指７１ｂのうち第２励振部５２ｚに最も近い第１のグランド側電極指と、１以上の第２のグランド側電極指７２ｂのうち第１励振部５１ｚに最も近い第２のグランド側電極指とが、第１方向ｄ１に、距離Ｓで互いに隣り合って配置されていてもよい。
　図１７のＩＤＴ３２で示すように、複数の第１のグランド側電極指７１ｂのうち第２励振部５４ｚに最も近い第１のグランド側電極指と、１以上の第２のグランド側電極指７２ｂのうち第１励振部５３ｚに最も近い第２のグランド側電極指とが、第１方向ｄ１に、距離Ｓで互いに隣り合って配置されていてもよい。
　図１６に示す距離Ｓは、上記のように隣り合って配置される電極指の、第１方向ｄ１における中心間距離である。第１励振部５１ｚと第２励振部５２ｚの平均ピッチをＰａとしたとき、距離Ｓは、Ｐａ／２以上、３Ｐａ／２以下である。
　なお、平均ピッチＰａは、下記の式により求められる。
　Ｐａ＝（Ｗ１／（Ｎ１－１）＋Ｗ２（Ｎ２－１））／２
　Ｎ１：第１励振部５１ｚの電極指の本数
　Ｎ２：第２励振部５２ｚの電極指の本数
　Ｗ１：第１励振部５１ｚの両端に位置する２つの電極指の第１方向ｄ１における中心間距離
　Ｗ２：第２励振部５２ｚの両端に位置する２つの電極指の第１方向ｄ１における中心間距離
　図１６および図１７に示す構成によれば、ＩＤＴ３１の第１励振部５１ｚを用いて、弾性波フィルタ１の通過帯域外における不要波をキャンセルすることができ、また、ＩＤＴ３１の第２励振部５２ｚを用いて、第１励振部５１ｚが通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域外における減衰特性を確保し、かつ、通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、図１７に示す構成によれば、ＩＤＴ３２の第１励振部５３ｚを用いて、弾性波フィルタ１の通過帯域外における不要波をキャンセルすることができ、また、ＩＤＴ３２の第２励振部５４ｚを用いて、第１励振部５３ｚが通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域外における減衰特性を確保し、かつ、通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　（まとめ）
　以上説明したように、本実施の形態に係る弾性波フィルタ１は、複数の入出力端子Ｔ１およびＴ２と、複数の入出力端子Ｔ１、Ｔ２を結ぶ第１経路ｒ１に設けられたフィルタ回路１０と、第１経路ｒ１の少なくとも一部と並列接続される第２経路ｒ２に設けられた付加回路２０と、を備える。付加回路２０は、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って配置された複数のＩＤＴ３１および３２を有している。複数のＩＤＴ３１、３２のうち少なくとも１つのＩＤＴ（例えば３１）は、フィルタ回路１０の通過帯域の周波数にて励振する励振部５１と、弾性波伝搬方向ｄ１において励振部５１の隣に配置され、励振部５１の励振を抑制する励振抑制部５２と、を有している。
　この構成によれば、ＩＤＴ３１の励振部５１を用いて、弾性波フィルタ１の通過帯域外における不要波をキャンセルすることができ、また、ＩＤＴ３１の励振抑制部５２を用いて、励振部５１が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域外における減衰特性を確保し、かつ、通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、励振抑制部５２を伝搬する弾性波の位相は、励振部５１を伝搬する弾性波の位相と異なっていてもよい。
　これによれば、励振抑制部５２を伝搬する弾性波を用いて、励振部５１を含むＩＤＴ３１が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、励振抑制部５２は、弾性波伝搬方向ｄ１において、ＩＤＴ３１の端部に設けられていてもよい。
　例えば、ＩＤＴ内に閉じ込められるエネルギーは、ＩＤＴ３１の中央部よりも端部のほうが小さいので、励振抑制部５２を中央部に設けるよりも端部に設けたほうが、小さな面積で同じ励振抑制効果を得ることができる。そのため、励振抑制部５２をＩＤＴ３１の端部に設けることでＩＤＴ３１の面積を小さくし、付加回路２０を含む弾性波フィルタ１を小型化することができる。
　また、ＩＤＴ３１は、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って並ぶ複数の電極指３５ａ、３５ｂを有し、励振抑制部５２の電極指３５ａ、３５ｂの本数は、励振部５１の電極指３５ａ、３５ｂの本数よりも少なくてもよい。
　このように、励振抑制部５２の電極指３５ａ、３５ｂの本数を少なくすることで、励振抑制部５２によって、励振部５１の励振力が低下し過ぎることを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域外における減衰特性を確保し、かつ、通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、複数の電極指３５ａ、３５ｂは、互いに平行に配置されていてもよい。
　これによれば、弾性波フィルタ１の通過帯域外における減衰特性を確実に確保し、かつ、通過帯域においてリップルが発生することを確実に抑制し、損失が生じることを確実に抑制できる。
　また、励振部５１および励振抑制部５２のそれぞれは、第２経路ｒ２上の信号配線ｓＬ２に接続される信号側バスバー電極６６ａと、信号側バスバー電極６６ａに平行に配置され、グランドに接続されるグランド側バスバー電極６６ｂと、を有する。励振部５１は、さらに、信号側バスバー電極６６ａに接続され、弾性波伝搬方向ｄ１と直交する直交方向ｄ２に延伸する複数の第１の信号側電極指７１ａと、グランド側バスバー電極６６ｂに接続され、直交方向ｄ２に延伸する複数の第１のグランド側電極指７１ｂと、を有する。第１の信号側電極指７１ａおよび第１のグランド側電極指７１ｂは、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って交互に配置されている。励振抑制部５２は、さらに、信号側バスバー電極６６ａに接続され、直交方向ｄ２に延伸する１以上の第２の信号側電極指７２ａと、グランド側バスバー電極６６ｂに接続され、直交方向ｄ２に延伸する１以上の第２のグランド側電極指７２ｂと、を有する。複数の第１の信号側電極指７１ａのうち励振抑制部５２に最も近い第１の信号側電極指７１ａと、１以上の第２の信号側電極指７２ａのうち励振部５１に最も近い第２の信号側電極指７２ａとは、弾性波伝搬方向ｄ１に互いに隣り合って配置されていてもよい。
　この構成によれば、弾性波伝搬方向ｄ１に隣り合う第１の信号側電極指７１ａおよび第２の信号側電極指７２ａの間を境とし、励振部５１と励振抑制部５２とで異なる位相の弾性波を起こすことができる。そのため、励振抑制部５２を伝搬する弾性波を用いて、励振部５１を含むＩＤＴ３１が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、励振部５１に最も近い第２の信号側電極指７２ａから見て、励振部５１の反対側には、第２のグランド側電極指７２ｂが配置されていてもよい。
　この構成によれば、第２の信号側電極指７２ａおよび第２のグランド側電極指７２ｂによって位相の異なる弾性波を生成し、この弾性波を用いて、励振部５１を含むＩＤＴ３１が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、複数のＩＤＴ３１、３２のうち少なくとも１つのＩＤＴ（例えば３２）は、フィルタ回路１０の通過帯域の周波数にて励振する励振部５３と、弾性波伝搬方向ｄ１において励振部５３の隣に配置され、励振部５３の励振を抑制する励振抑制部５４と、を有している。励振部５３および励振抑制部５４のそれぞれは、第２経路ｒ２上の信号配線ｓＬ２に接続される信号側バスバー電極６６ａと、信号側バスバー電極６６ａに平行に配置され、グランドに接続されるグランド側バスバー電極６６ｂと、を有する。励振部５３は、さらに、信号側バスバー電極６６ａに接続され、弾性波伝搬方向ｄ１と直交する直交方向ｄ２に延伸する複数の第１の信号側電極指７１ａと、グランド側バスバー電極６６ｂに接続され、直交方向ｄ２に延伸する複数の第１のグランド側電極指７１ｂと、を有する。第１の信号側電極指７１ａおよび第１のグランド側電極指７１ｂは、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って交互に配置されている。励振抑制部５４は、さらに、信号側バスバー電極６６ａに接続され、直交方向ｄ２に延伸する１以上の第２の信号側電極指７２ａと、グランド側バスバー電極６６ｂに接続され、直交方向ｄ２に延伸する１以上の第２のグランド側電極指７２ｂと、を有する。複数の第１のグランド側電極指７１ｂのうち励振抑制部５２に最も近い第１のグランド側電極指７１ｂと、１以上の第２のグランド側電極指７２ｂのうち励振部５３に最も近い第２のグランド側電極指７２ｂとは、弾性波伝搬方向ｄ１に互いに隣り合って配置されていてもよい。
　この構成によれば、弾性波伝搬方向ｄ１に隣り合う第１のグランド側電極指７１ｂおよび第２のグランド側電極指７２ｂの間を境とし、励振部５３と励振抑制部５４とで異なる位相の弾性波を起こすことができる。そのため、励振抑制部５４を伝搬する弾性波を用いて、励振部５３を含むＩＤＴ３１が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、励振部５３に最も近い第２のグランド側電極指７２ｂから見て、励振部５３の反対側には、第２の信号側電極指７２ａが配置されていてもよい。
　この構成によれば、第２のグランド側電極指７２ｂおよび第２の信号側電極指７２ａによって位相の異なる弾性波を生成し、この弾性波を用いて、励振部５３を含むＩＤＴ３２が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、励振抑制部は、複数のＩＤＴ３１、３２のそれぞれに設けられていてもよい。
　本実施の形態の弾性波フィルタ１では、励振抑制部５２がＩＤＴ３１に設けられ、励振抑制部５４がＩＤＴ３２に設けられている。この構成によれば、励振抑制部５２を伝搬する弾性波を用いて、励振部５１を含むＩＤＴ３１が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。また、励振抑制部５４を伝搬する弾性波を用いて、励振部５３を含むＩＤＴ３２が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、ＩＤＴ３１は、複数の励振抑制部５２および５２Ａを有していてもよい。
　この構成を有する弾性波フィルタ１によれば、励振抑制部５２、５２Ａのそれぞれを伝搬する弾性波を用いて、励振部５１を含むＩＤＴ３１が通過帯域において不必要に共振することを確実に抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、複数のＩＤＴは、３以上のＩＤＴ（例えば３１、３２、３３）を有していてもよい。
　この構成を有する弾性波フィルタ１によれば、励振抑制部を伝搬する弾性波を用いて、励振部を含むＩＤＴが通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　本実施の形態に係る弾性波フィルタ１は、複数の入出力端子Ｔ１およびＴ２と、複数の入出力端子Ｔ１、Ｔ２を結ぶ第１経路ｒ１に設けられたフィルタ回路１０と、第１経路ｒ１の少なくとも一部と並列接続される第２経路ｒ２に設けられた付加回路２０と、を備える。付加回路２０は、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って配置された複数のＩＤＴ３１０、３２を有している。ＩＤＴ３１０は、弾性波伝搬方向ｄ１と交差する方向に延伸し、互いに平行に配置された複数の電極指１５１ａ、１５１ｂ（または２５１ａ、２５１ｂ、または３５１ａ、３５１ｂ）と、当該複数の電極指を構成する電極指の一端同士を接続するバスバー電極１６１ａ、１６１ｂ（または２６１ａ、２６１ｂ、または３６１ａ、３６１ｂ）と、で構成された一対の櫛形電極１０１ａ、１０１ｂ（または２０１ａ、２０１ｂ、または３０１ａ、３０１ｂ）を有する。複数の電極指１５１ａ、１５１ｂのうちの２つの電極指の間に配置され、一対の櫛形電極１０１ａ、１０１ｂを構成するいずれのバスバー電極１６１ａ、１６１ｂとも接続されていない電極指を浮き電極指１５２と定義し、一対の櫛形電極２０１ａ、２０１ｂを構成する全ての電極指２５１ａ、２５１ｂのうち、隣の電極指が接続されたバスバー電極２６１ｂ（または２６１ａ）と同じバスバー電極２６１ｂ（２６１ａ）に接続された電極指を極性反転電極指２５２と定義し、複数の電極指３５１ａ、３５１ｂのうち、最大の電極指幅を有する電極指であって、当該電極指を除く電極指における平均電極指幅の２倍以上の電極指幅を有する電極指を塗りつぶし電極指３５２と定義した場合、ＩＤＴ３１０は、浮き電極指１５２、極性反転電極指２５２および塗りつぶし電極指３５２の少なくとも１つの電極指構造を有する。
　この構成によれば、上記の電極指構造を有するＩＤＴ３１０が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域において、損失が生じることを抑制できる。
　また、複数のＩＤＴ３１０、３２のうち少なくとも１つのＩＤＴ３１０は、フィルタ回路１０の通過帯域の周波数にて励振する励振部５１と、弾性波伝搬方向ｄ１において励振部５１の隣に配置され、励振部５１の励振を抑制する励振抑制部５２と、を有している。励振抑制部５２は、浮き電極指１５２、極性反転電極指２５２および塗りつぶし電極指３５２の少なくとも１つの電極指構造を有していてもよい。
　この構成によれば、上記の電極指構造を用いて、励振部５１を含むＩＤＴ３１０が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域において、損失が生じることを抑制できる。
　本実施の形態に係るマルチプレクサ５は、上記弾性波フィルタ１を備える。
　これによれば、通過帯域外における減衰特性を確保し、かつ、通過帯域において損失が生じることを抑制できる弾性波フィルタ１を備えたマルチプレクサ５を提供することができる。
　本実施の形態に係る弾性波フィルタ１は、複数の入出力端子Ｔ１およびＴ２と、複数の入出力端子Ｔ１、Ｔ２を結ぶ第１経路ｒ１に設けられたフィルタ回路１０と、第１経路ｒ１の少なくとも一部と並列接続される第２経路ｒ２に設けられた付加回路２０と、を備える。付加回路２０は、第１方向ｄ１に沿って配置された複数のＩＤＴ３１および３２を有している。複数のＩＤＴ３１、３２のうち少なくとも１つのＩＤＴ（例えば３１）は、第１励振部５１ｚと第２励振部５２ｚとを有している。第１励振部５１ｚおよび第２励振部５２ｚのそれぞれは、第２経路ｒ２上の信号配線に接続される信号側バスバー電極６６ａと、信号側バスバー電極６６ａに平行に配置され、グランドに接続されるグランド側バスバー電極６６ｂと、を有している。第１励振部５１ｚは、さらに、信号側バスバー電極６６ａに接続され、第１方向ｄ１と直交する第２方向ｄ２に延伸する複数の第１の信号側電極指７１ａと、グランド側バスバー電極６６ｂに接続され、第２方向ｄ２に延伸する複数の第１のグランド側電極指７１ｂと、を有している。第１の信号側電極指７１ａおよび第１のグランド側電極指７１ｂは、第１方向ｄ１に沿って交互に配置されている。第２励振部５２ｚは、さらに、信号側バスバー電極６６ａに接続され、第２方向ｄ２に延伸する１以上の第２の信号側電極指７２ａと、グランド側バスバー電極６６ｂに接続され、第２方向ｄ２に延伸する１以上の第２のグランド側電極指７２ｂと、を有する。複数の第１の信号側電極指７１ａのうち第２励振部５２ｚに最も近い第１の信号側電極指と、１以上の第２の信号側電極指７２ａのうち第１励振部５１ｚに最も近い第２の信号側電極指とが、第１方向ｄ１に、距離Ｓで互いに隣り合って配置されている、もしくは、複数の第１のグランド側電極指７１ｂのうち第２励振部５２ｚに最も近い第１のグランド側電極指と、１以上の第２のグランド側電極指７２ｂのうち第１励振部５１ｚに最も近い第２のグランド側電極指とが、第１方向ｄ１に、距離Ｓで互いに隣り合って配置されている。距離Ｓは、上記のように隣り合って配置される電極指の、第１方向ｄ１における中心間距離である。第１励振部５１ｚと第２励振部５２ｚの平均ピッチをＰａとしたとき、距離Ｓは、Ｐａ／２以上、３Ｐａ／２以下である。
　上記の構成によれば、ＩＤＴ３１の第１励振部５１ｚを用いて、弾性波フィルタ１の通過帯域外における不要波をキャンセルすることができ、また、ＩＤＴ３１の第２励振部５２ｚを用いて、第１励振部５１ｚが通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域外における減衰特性を確保し、かつ、通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、第２励振部５２ｚは、第１方向ｄ１において、ＩＤＴ３１の端部に設けられていてもよい。
　例えば、ＩＤＴ内に閉じ込められるエネルギーは、ＩＤＴ３１の中央部よりも端部のほうが小さいので、第２励振部５２ｚを中央部に設けるよりも端部に設けたほうが、小さな面積で同じ励振抑制効果を得ることができる。そのため、第２励振部５２ｚをＩＤＴ３１の端部に設けることでＩＤＴ３１の面積を小さくし、付加回路２０を含む弾性波フィルタ１を小型化することができる。
　また、ＩＤＴ３１は、第１方向ｄ１に沿って並ぶ複数の電極指３５ａ、３５ｂを有し、第２励振部５２ｚの電極指３５ａ、３５ｂの本数は、第１励振部５１ｚの電極指３５ａ、３５ｂの本数よりも少なくてもよい。
　このように、第２励振部５２ｚの電極指３５ａ、３５ｂの本数を少なくすることで、第２励振部５２ｚによって、第１励振部５１ｚの励振力が低下し過ぎることを抑制できる。これにより、弾性波フィルタ１の通過帯域外における減衰特性を確保し、かつ、通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　また、複数の電極指は、互いに平行に配置されていてもよい。
　これによれば、弾性波フィルタ１の通過帯域外における減衰特性を確実に確保し、かつ、通過帯域においてリップルが発生することを確実に抑制し、損失が生じることを確実に抑制できる。
　また、第１励振部５１ｚに最も近い第２の信号側電極指７２ａから見て、第１励振部５１ｚの反対側には、第２のグランド側電極指７２ｂが配置されている、もしくは、第１励振部５１ｚ（または５３ｚ）に最も近い第２のグランド側電極指７２ｂから見て、第１励振部５１ｚ（または５３ｚ）の反対側には、第２の信号側電極指７２ａが配置されていてもよい。
　この構成によれば、第２の信号側電極指７２ａおよび第２のグランド側電極指７２ｂによって位相の異なる弾性波を生成し、この弾性波を用いて、第１励振部５１ｚを含むＩＤＴ３１が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。もしくは、第２のグランド側電極指７２ｂおよび第２の信号側電極指７２ａによって位相の異なる弾性波を生成し、この弾性波を用いて、第１励振部５１ｚを含むＩＤＴ３１（または第１励振部５３ｚを含むＩＤＴ３２）が通過帯域において不必要に共振することを抑制できる。これらの少なくとも一方により、弾性波フィルタ１の通過帯域においてリップルが発生することを抑制し、損失が生じることを抑制できる。
　（その他の実施の形態）
　以上、本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタ等について、実施の形態を挙げて説明したが、本発明は、上記実施の形態における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の実施の形態や、上記実施の形態に対して本発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、本発明に係る弾性波フィルタまたはマルチプレクサを含む高周波フロントエンド回路および通信装置も本発明に含まれる。
　上記の実施例の縦結合弾性波共振器２５では、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って、励振部５１、励振抑制部５２、励振抑制部５４、励振部５３が順に並んでいる例を示したが、それに限られない。例えば、弾性波伝搬方向ｄ１における励振部５１および励振抑制部５２の並び順は逆であってもよいし、励振抑制部５４および励振部５３の並び順は逆であってもよい。上記の実施例の縦結合弾性波共振器２５では、弾性波伝搬方向ｄ１に沿って、ＩＤＴ３１、３２が順に並んでいる例を示したが、それに限られない。例えば、弾性波伝搬方向ｄ１におけるＩＤＴ３１、３２の並び順は逆であってもよい。
　上記では、弾性波フィルタ１の通過帯域が、第２のフィルタ回路９０の通過帯域よりも低くなるように設定されている例を示したが、それに限られず、弾性波フィルタ１の通過帯域は、第２のフィルタ回路９０の通過帯域よりも高くなるように設定されていてもよい。
　上記では、弾性波フィルタ１が送信フィルタである例を示したが、それに限られず、弾性波フィルタ１は受信フィルタであってもよい。また、マルチプレクサ５は、送信フィルタおよび受信フィルタの双方を備える構成に限られず、送信フィルタのみ、または、受信フィルタのみを備える構成であってもよい。
　また、上記では、２つのフィルタを含むマルチプレクサを例に説明したが、本発明は、例えば、３つのフィルタのアンテナ端子が共通化されたトリプレクサや、６つのフィルタのアンテナ端子が共通化されたヘキサプレクサについても適用することができる。つまり、マルチプレクサは、２以上のフィルタを備えていればよい。
　また、入出力端子Ｔ１およびＴ２は、入力端子および出力端子のいずれかであってもよい。例えば、入出力端子Ｔ１が入力端子である場合は、入出力端子Ｔ２が出力端子となり、入出力端子Ｔ２が入力端子である場合は、入出力端子Ｔ１が出力端子となる。
　また、第２のフィルタ回路９０は、前述したフィルタの構成に限定されず、要求されるフィルタ特性等に応じて適宜設計され得る。具体的には、第２のフィルタ回路９０は、縦結合型のフィルタ構造であってもよいし、ラダー型のフィルタ構造であってもよい。また、第２のフィルタ回路９０を構成する各共振子は、ＳＡＷ共振子に限らず、例えば、ＢＡＷ（Ｂｕｌｋ　Ａｃｏｕｓｔｉｃ　Ｗａｖｅ）共振子であってもよい。さらには、第２のフィルタ回路９０は、共振子を用いずに構成されていてもよく、例えば、ＬＣ共振フィルタあるいは誘電体フィルタであってもよい。
　また、ＩＤＴ電極は、積層構造でなくてもよい。ＩＤＴ電極は、例えば、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄなどの金属または合金から構成されてもよく、また、上記の金属または合金から構成される複数の積層体から構成されてもよい。
　また、実施の形態では、基板として圧電性を有する基板を示したが、当該基板は、圧電体層の単層からなる圧電基板であってもよい。この場合の圧電基板は、例えば、ＬｉＴａＯ３の圧電単結晶、または、ＬｉＮｂＯ３などの他の圧電単結晶で構成される。また、ＩＤＴ電極が形成される基板は、圧電性を有する限り、全体が圧電体層からなるものの他、支持基板上に圧電体層が積層されている構造を用いてもよい。また、上記実施の形態に係る基板のカット角は限定されない。つまり、弾性波フィルタの要求通過特性などに応じて、適宜、積層構造、材料、および厚みを変更してもよく、上記実施の形態に示すカット角以外のカット角を有するＬｉＴａＯ３圧電基板またはＬｉＮｂＯ３圧電基板などを用いた弾性表面波フィルタであっても、同様の効果を奏することが可能となる。
　例えば、縦結合弾性波共振器２５におけるＩＤＴ波長は、１μｍ以上７μｍ以下の範囲の値であってもよい。複数のＩＤＴ３１、３２のＩＤＴ電極間のギャップＧをＧ＝α×（ＩＤＴ３１の波長＋ＩＤＴ３２の波長）／２としたときのαは、０．３μｍ≦α≦０．７μｍの範囲の値であってもよい。ＩＤＴ３１、３２のＩＤＴ電極の膜厚をＩＤＴ波長で除算した値は、０．０５以上０．４以下の範囲の値であってもよい。
　本発明は、弾性波フィルタを有するマルチプレクサ、フロントエンド回路および通信装置として、携帯電話などの通信機器に広く利用できる。
　１　　　弾性波フィルタ
　５　　　マルチプレクサ
　１０　　第１のフィルタ回路（フィルタ回路）
　２０　　付加回路
　２５、２５Ａ、２５Ｂ　縦結合弾性波共振器
　３１、３２、３３、３１０　ＩＤＴ
　３１ａ、３２ａ　第１の櫛形電極
　３１ｂ、３２ｂ　第２の櫛形電極
　３５ａ、３５ｂ　電極指
　３６ａ、３６ｂ　バスバー電極
　４１、４２　反射器
　５１、５３　励振部
　５１ｚ、５３ｚ　第１励振部
　５２、５２Ａ、５４　励振抑制部
　５２ｚ、５４ｚ　第２励振部
　６６ａ　信号側バスバー電極
　６６ｂ　グランド側バスバー電極
　７１ａ　第１の信号側電極指
　７１ｂ　第１のグランド側電極指
　７２ａ　第２の信号側電極指
　７２ｂ　第２のグランド側電極指
　９０　　第２のフィルタ回路
　１０１ａ、１０１ｂ、２０１ａ、２０１ｂ、３０１ａ、３０１ｂ　櫛形電極
　１５１ａ、１５１ｂ、２５１ａ、２５１ｂ、３５１ａ、３５１ｂ　電極指
　１６１ａ、１６１ｂ、２６１ａ、２６１ｂ、３６１ａ、３６１ｂ　バスバー電極
　１５２　浮き電極指
　２５２　極性反転電極指
　３５２　塗りつぶし電極指
　５５２、５５４　狭ピッチ部
　Ｃ１、Ｃ２　容量素子
　ｄ１　　弾性波伝搬方向（第１方向）
　ｄ２　　直交方向（第２方向）
　Ｌ０、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ２１　インダクタ
　ｎ０、ｎ１、ｎ２、ｎ３、ｎ４、ｎ５、ｎ６　ノード
　Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ２１、Ｐ２２、Ｐ２３　並列腕共振子
　Ｑ２１　弾性波共振器
　ｒ１　　第１経路
　ｒ２　　第２経路
　ｒ３　　第３経路
　ｓＬ２　信号配線
　Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ２１、Ｓ２２　直列腕共振子
　Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３　入出力端子
　ｖ　　　間隙

Claims (20)

  1. 　複数の入出力端子と、
    　前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、
    　前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、
    　を備え、
    　前記付加回路は、弾性波伝搬方向に沿って配置された複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）を有し、
    　前記複数のＩＤＴのうち少なくとも１つのＩＤＴは、
    　前記フィルタ回路の通過帯域の周波数にて励振する励振部と、
    　前記弾性波伝搬方向において前記励振部の隣に配置され、前記励振部の励振を抑制する励振抑制部と、を有する
    　弾性波フィルタ。
  2. 　前記励振抑制部を伝搬する弾性波の位相は、前記励振部を伝搬する弾性波の位相と異なる
    　請求項１に記載の弾性波フィルタ。
  3. 　前記励振抑制部は、前記弾性波伝搬方向において、前記ＩＤＴの端部に設けられている
    　請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
  4. 　前記ＩＤＴは、前記弾性波伝搬方向に沿って並ぶ複数の電極指を有し、
    　前記励振抑制部の前記電極指の本数は、前記励振部の前記電極指の本数よりも少ない
    　請求項１～３のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
  5. 　前記複数の電極指は、互いに平行に配置されている
    　請求項４に記載の弾性波フィルタ。
  6. 　前記励振部および前記励振抑制部のそれぞれは、前記第２経路上の信号配線に接続される信号側バスバー電極と、前記信号側バスバー電極に平行に配置され、グランドに接続されるグランド側バスバー電極と、を有し、
    　前記励振部は、さらに、前記信号側バスバー電極に接続され、前記弾性波伝搬方向と直交する直交方向に延伸する複数の第１の信号側電極指と、前記グランド側バスバー電極に接続され、前記直交方向に延伸する複数の第１のグランド側電極指と、を有し、
    　前記第１の信号側電極指および前記第１のグランド側電極指は、前記弾性波伝搬方向に沿って交互に配置され、
    　前記励振抑制部は、さらに、前記信号側バスバー電極に接続され、前記直交方向に延伸する１以上の第２の信号側電極指と、前記グランド側バスバー電極に接続され、前記直交方向に延伸する１以上の第２のグランド側電極指と、を有し、
    　前記複数の第１の信号側電極指のうち前記励振抑制部に最も近い第１の信号側電極指と、前記１以上の第２の信号側電極指のうち前記励振部に最も近い第２の信号側電極指とが、前記弾性波伝搬方向に互いに隣り合って配置されている
    　請求項１～３のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
  7. 　前記励振部に最も近い第２の信号側電極指から見て、前記励振部の反対側には、前記第２のグランド側電極指が配置されている
    　請求項６に記載の弾性波フィルタ。
  8. 　前記励振部および前記励振抑制部のそれぞれは、前記第２経路上の信号配線に接続される信号側バスバー電極と、前記信号側バスバー電極に平行に配置され、グランドに接続されるグランド側バスバー電極と、を有し、
    　前記励振部は、さらに、前記信号側バスバー電極に接続され、前記弾性波伝搬方向と直交する直交方向に延伸する複数の第１の信号側電極指と、前記グランド側バスバー電極に接続され、前記直交方向に延伸する複数の第１のグランド側電極指と、を有し、
    　前記第１の信号側電極指および前記第１のグランド側電極指は、前記弾性波伝搬方向に沿って交互に配置され、
    　前記励振抑制部は、さらに、前記信号側バスバー電極に接続され、前記直交方向に延伸する１以上の第２の信号側電極指と、前記グランド側バスバー電極に接続され、前記直交方向に延伸する１以上の第２のグランド側電極指と、を有し、
    　前記複数の第１のグランド側電極指のうち前記励振抑制部に最も近い第１のグランド側電極指と、前記１以上の第２のグランド側電極指のうち前記励振部に最も近い第２のグランド側電極指とが、前記弾性波伝搬方向に互いに隣り合って配置されている
    　請求項１～３のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
  9. 　前記励振部に最も近い第２のグランド側電極指から見て、前記励振部の反対側には、前記第２の信号側電極指が配置されている
    　請求項８に記載の弾性波フィルタ。
  10. 　前記励振抑制部は、前記複数のＩＤＴのそれぞれに設けられる
    　請求項１～９のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
  11. 　前記ＩＤＴは、複数の前記励振抑制部を有する
    　請求項１～１０のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
  12. 　前記複数のＩＤＴは、３以上の前記ＩＤＴを有する
    　請求項１～１１のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
  13. 　複数の入出力端子と、
    　前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、
    　前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、
    　を備え、
    　前記付加回路は、弾性波伝搬方向に沿って配置された複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）を有し、
    　前記ＩＤＴは、前記弾性波伝搬方向と交差する方向に延伸し、互いに平行に配置された複数の電極指と、当該複数の電極指を構成する電極指の一端同士を接続するバスバー電極と、で構成された一対の櫛形電極を有し、
    　前記複数の電極指のうちの２つの電極指の間に配置され、前記一対の櫛形電極を構成するいずれの前記バスバー電極とも接続されていない電極指を浮き電極指と定義し、
    　前記一対の櫛形電極を構成する全ての電極指のうち、隣の電極指が接続されたバスバー電極と同じバスバー電極に接続された電極指を極性反転電極指と定義し、
    　前記複数の電極指のうち、最大の電極指幅を有する電極指であって、当該電極指を除く電極指における平均電極指幅の２倍以上の電極指幅を有する電極指を塗りつぶし電極指と定義した場合、
    　前記ＩＤＴは、前記浮き電極指、前記極性反転電極指および前記塗りつぶし電極指の少なくとも１つの電極指構造を有する
    　弾性波フィルタ。
  14. 　前記複数のＩＤＴのうち少なくとも１つのＩＤＴは、
    　前記フィルタ回路の通過帯域の周波数にて励振する励振部と、
    　前記弾性波伝搬方向において前記励振部の隣に配置され、前記励振部の励振を抑制する励振抑制部と、を有し、
    　前記励振抑制部は、前記浮き電極指、前記極性反転電極指および前記塗りつぶし電極指の少なくとも１つの電極指構造を有する
    　請求項１３に記載の弾性波フィルタ。
  15. 　請求項１～１４のいずれか１項に記載の弾性波フィルタを備える
    　マルチプレクサ。
  16. 　複数の入出力端子と、
    　前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、
    　前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、
    　を備え、
    　前記付加回路は、第１方向に沿って配置された複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）を有し、
    　前記複数のＩＤＴのうち少なくとも１つのＩＤＴは、第１励振部と第２励振部とを有し、
    　前記第１励振部および前記第２励振部のそれぞれは、前記第２経路上の信号配線に接続される信号側バスバー電極と、前記信号側バスバー電極に平行に配置され、グランドに接続されるグランド側バスバー電極と、を有し、
    　前記第１励振部は、さらに、前記信号側バスバー電極に接続され、前記第１方向と直交する第２方向に延伸する複数の第１の信号側電極指と、前記グランド側バスバー電極に接続され、前記第２方向に延伸する複数の第１のグランド側電極指と、を有し、
    　前記第１の信号側電極指および前記第１のグランド側電極指は、前記第１方向に沿って交互に配置され、
    　前記第２励振部は、さらに、前記信号側バスバー電極に接続され、前記第２方向に延伸する１以上の第２の信号側電極指と、前記グランド側バスバー電極に接続され、前記第２方向に延伸する１以上の第２のグランド側電極指と、を有し、
    　前記複数の第１の信号側電極指のうち前記第２励振部に最も近い第１の信号側電極指と、前記１以上の第２の信号側電極指のうち前記第１励振部に最も近い第２の信号側電極指とが、前記第１方向に、距離Ｓで互いに隣り合って配置されている、もしくは、
    　前記複数の第１のグランド側電極指のうち前記第２励振部に最も近い第１のグランド側電極指と、前記１以上の第２のグランド側電極指のうち前記第１励振部に最も近い第２のグランド側電極指とが、前記第１方向に、距離Ｓで互いに隣り合って配置されており、
    　前記距離Ｓは、当該隣り合って配置される電極指の、前記第１方向における中心間距離であり、
    　前記第１励振部と前記第２励振部の平均ピッチをＰａとしたとき、前記距離Ｓは、Ｐａ／２以上、３Ｐａ／２以下である
    　弾性波フィルタ。
  17. 　前記第２励振部は、前記第１方向において、前記ＩＤＴの端部に設けられている
    　請求項１６に記載の弾性波フィルタ。
  18. 　前記ＩＤＴは、前記第１方向に沿って並ぶ複数の電極指を有し、
    　前記第２励振部の前記電極指の本数は、前記第１励振部の前記電極指の本数よりも少ない
    　請求項１６または１７に記載の弾性波フィルタ。
  19. 　前記複数の電極指は、互いに平行に配置されている
    　請求項１８に記載の弾性波フィルタ。
  20. 　前記第１励振部に最も近い第２の信号側電極指から見て、前記第１励振部の反対側には、前記第２のグランド側電極指が配置されている、もしくは、
    　前記第１励振部に最も近い第２のグランド側電極指から見て、前記第１励振部の反対側には、前記第２の信号側電極指が配置されている
    　請求項１６に記載の弾性波フィルタ。
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