CN116566357A - 纵向耦合声表面波滤波器、混合型滤波器及射频前端模组 - Google Patents
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 80
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 6
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003245 working effect Effects 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/48—Coupling means therefor
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
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Abstract
本发明涉及一种纵向耦合声表面波滤波器、混合型滤波器及射频前端模组,包括具有第一汇流条、第二汇流条、电极组、连接于第一汇流条的多个第一电极指及连接于第一汇流条的多个第二电极指的第一叉指换能器;第一叉指换能器具有第一区域及位于第一区域两侧的第二区域;相较于第二区域而言,第一区域内相邻的第一电极指与第二电极指之间的距离较大;电极组具有间隔设置且连接在同一汇流条上的至少两个第三电极指;第一区域两侧中的至少一侧具有电极组;与电极组相邻的电极指所连接的汇流条与电极组所连接的汇流条不同。在本发明中,通过电极组的设置可以提高纵向耦合声表面波滤波器的近端带外抑制效果,进而提高纵向耦合声表面波滤波器的性能。
Description
技术领域
本发明属于射频技术领域,涉及一种纵向耦合声表面波滤波器、混合型滤波器及射频前端模组。
背景技术
随着通信技术发展,电子设备对各类器件的性能提出了严格的要求,其中,谐振器作为滤波器的最小单元,是通信系统的关键器件,其性能影响着电子设备的通信性能。其中谐振器包括声表面波谐振器、体声波谐振器、薄膜体声波谐振器等。
在各种滤波器(如纵向耦合声表面波滤波器、梯型滤波器、混合型滤波器)中,纵向耦合声表面波滤波器可以采用成熟的MEMS工艺制备,因其具有插损低、带宽宽、体积小等优点,所以纵向耦合声表面波滤波器成为了射频前端滤波器的主流产品。
但是传统的滤波器,尤其是纵向耦合声表面波滤波器的近端带外抑制效果无法满足日益增长的需要,因此,如何改善滤波器的近端带外抑制已成为亟待解决的问题。
发明内容
本发明提供一种纵向耦合声表面波滤波器、混合型滤波器及射频前端模组,旨在改善纵向耦合声表面波滤波器的近端带外抑制。
本发明实施例提供一种纵向耦合声表面波滤波器,包括至少两个叉指换能器;所述至少两个叉指换能器中具有第一叉指换能器,所述第一叉指换能器具有第一汇流条、第二汇流条、多个第一电极指、多个第二电极指以及电极组;所述第一汇流条和所述第二汇流条相对设置,多个所述第一电极指均连接在所述第一汇流条上,多个所述第二电极指均连接在所述第二汇流条上;沿着所述第一电极指和所述第二电极指的排布方向,所述第一叉指换能器具有第一区域以及位于所述第一区域两侧的第二区域;在所述第一区域内,相邻的所述第一电极指与所述第二电极指之间的距离为a;在所述第二区域内,相邻的所述第一电极指与所述第二电极指之间的距离为b;所述a大于所述b;所述电极组具有间隔设置且连接在所述第一叉指换能器的同一汇流条上的至少两个第三电极指;所述第一区域两侧中的至少一侧具有所述电极组;与所述电极组相邻的电极指所连接的汇流条与所述电极组所连接的汇流条不同。
可选的,相邻两个所述第三电极指之间的距离为c,所述c与所述a和所述b中的至少一个不同。
可选的,相邻两个所述第三电极指之间的距离为c,所述c与所述a不同,且所述c与所述b不同。
可选的,在所述第一区域的同一侧,所述第一区域与所述第二区域之间和/或所述第二区域内具有所述电极组。
可选的,在所述第一区域的两侧,所述第一区域与所述第二区域之间的两个区域分别具有所述电极组;和/或,在所述第一区域的两侧,两个所述第二区域内分别具有所述电极组。
可选的,所述电极组设有多个,各所述电极组之间的第一结构参数相同或者不同;其中,所述第一结构参数包括第三电极指的数量、相邻两个第三电极指的距离以及所连接的汇流条中的至少一个。
可选的,所述第一叉指换能器以所述第一区域为对称轴,两侧呈轴对称设置;和/或,所述第一区域的两侧均设有所述电极组,且位于所述第一区域两侧的所述电极组以所述第一区域为对称轴呈轴对称设置。
可选的,所述第一叉指换能器具有多个,多个所述第一叉指换能器之间的第二结构参数相同或不同;所述第二结构参数包括占空比、孔径、电极指数量、所述电极组的位置、所述电极组设置的数量、所述电极组的第一结构参数、相邻所述第一电极指和所述第二电极指的距离中的至少一个。
可选的,所述第一叉指换能器为连接输入端的叉指换能器;或,所述第一叉指换能器为连接输出端的叉指换能器。
可选的,所述纵向耦合声表面波滤波器还包括两个反射器,所述至少两个叉指换能器依次间隔排布在两个所述反射器之间;所述至少两个叉指换能器包括中间叉指换能器以及分别位于所述中间叉指换能器两侧的第一组叉指换能器和第二组叉指换能器,所述第一组叉指换能器与所述第二组叉指换能器均包括N个叉指换能器;沿着远离所述中间叉指换能器的方向,所述第一组叉指换能器中的第i个叉指换能器与所述第二组叉指换能器中的第j个叉指换能器以所述中间叉指换能器为对称轴呈轴对称设置;和/或,所述第i个叉指换能器与所述第j个叉指换能器的第二结构参数相同;其中i=j,且1≤i≤N。
可选的,与所述电极组相邻的两个电极指连接于同一汇流条。
可选的,第一叉指换能器的占空比为0.4-0.65。
本发明实施例还提供一种混合型滤波器,包括谐振器以及纵向耦合声表面波滤波器;所述谐振器和所述纵向耦合声表面波滤波器中的至少一个具有第一叉指换能器,所述第一叉指换能器具有第一汇流条、第二汇流条、多个第一电极指、多个第二电极指以及电极组;所述第一汇流条和所述第二汇流条相对设置,多个所述第一电极指均连接在所述第一汇流条上,多个所述第二电极指均连接在所述第二汇流条上;沿着所述第一电极指和所述第二电极指的排布方向,所述第一叉指换能器具有第一区域以及位于所述第一区域两侧的第二区域;在所述第一区域内,相邻的所述第一电极指与所述第二电极指之间的距离为a;在所述第二区域内,相邻的所述第一电极指与所述第二电极指之间的距离为b;所述a大于所述b;所述电极组具有间隔设置且连接在所述第一叉指换能器的同一汇流条上的至少两个第三电极指;所述第一区域两侧中的至少一侧具有所述电极组;与所述电极组相邻的电极指所连接的汇流条与所述电极组所连接的汇流条不同。
本发明实施例还提供一种射频前端模组,包括上述任意一项所述的滤波器。
在本发明实施例提供的纵向耦合声表面波滤波器、混合型滤波器及射频前端模组中,通过电极组的设置可以提高纵向耦合声表面波滤波器的近端带外抑制效果,进而提高纵向耦合声表面波滤波器的性能。同时,将电极组设置在第一区域的外侧可以进一步提高纵向耦合声表面波滤波器的近端带外抑制效果。
附图说明
图1是本发明实施例提供的纵向耦合声表面波滤波器的结构示意图;
图2是本发明实施例提供的纵向耦合声表面波滤波器的第一叉指换能器的结构示意图一;
图3是本发明实施例提供的纵向耦合声表面波滤波器的第一叉指换能器的结构示意图二;
图4是本发明实施例提供的纵向耦合声表面波滤波器的第一叉指换能器的结构示意图三;
图5是本发明实施例提供的纵向耦合声表面波滤波器的通带插损的曲线图;
图6是图5中M区域的放大图;
图7是本发明实施例提供的混合型波滤波器的结构示意图。
说明书中的附图标记如下:
100、混合型滤波器;
10、纵向耦合声表面波滤波器;101、叉指换能器;102、第一叉指换能器;103、反射器;
20、谐振器;
1、第一汇流条;2、第二汇流条;3、第一电极指;4、第二电极指;5、电极组;51、第三电极指。
具体实施方式
为了使本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步的详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
为了使本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步的详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
如图1所示,在一实施例中,纵向耦合声表面波滤波器10,包括至少两个叉指换能器101(示例性的,图中仅示出纵向耦合声表面波滤波器10具有五个叉指换能器101的场景),至少两个叉指换能器101中具有第一叉指换能器102,可以理解的是,第一叉指换能器102可以是至少两个叉指换能器101中的一个叉指换能器,也可以是多个,还可以是所有,本申请在此不作限定。
如图2至图4所示,第一叉指换能器102具有第一汇流条1、第二汇流条2、多个第一电极指3、多个第二电极指4以及电极组5;其中,第一汇流条1和第二汇流条2相对设置,多个第一电极指3均连接在第一汇流条1上,多个第二电极指4均连接在第二汇流条2上。其中,“多个”是指大于或者等于两个,另外,“多个”在各实施例中的含义相同,后文不再赘述。
应当理解的是,第一汇流条1和第二汇流条2间隔设置,第一汇流条1和第二汇流条2可以是平行的也可以是不平行的,二者的长度方向可以与声波传播方向相同,也可以相交。第一电极指3和第二电极指4均位于第一汇流条1和第二汇流条2之间的间隔区域内;第一电极指3的一端与第一汇流条1电连接,第一电极指3的另一端与第二汇流条2间隔设置;第二电极指4的一端与第二汇流条2电连接,第二电极指4的另一端与第一汇流条1间隔设置。
如图2至图4所示,沿着第一电极指3和第二电极指4的排布方向(也可以理解为声波的传播方向),第一叉指换能器102具有第一区域以及位于第一区域两侧的第二区域,其中,第一电极指3和第二电极指4的排布方向为图中的X方向。在图2至图4中,第一叉指换能器102中处于虚线框P内的区域为第一区域,第一叉指换能器102中处于虚线框Q内的区域为第二区域,其中,在图2至图4中黑色的第一电极指3和黑色的第二电极指4是位于第一区域内,浅色的第一电极指3和浅色的第二电极指4是位于第二区域内。
在本实施例中,第一区域可以理解为第一叉指换能器102的中间区域,第二区域可以理解为在声波传播方向上,位于中间区域两侧的外围区域。另外,第一电极指3和第二电极指4的排布方向即为各第一电极指3的排布方向,且第一电极指3和第二电极指4的排布方向也为各第二电极指4的排布方向。
在第一区域内,相邻的第一电极指3与第二电极指4之间的距离为a;在第二区域内,相邻的第一电极指3与第二电极指4之间的距离为b;其中,a大于b。相邻第一电极指3和第二电极指4之间的距离是指:在俯视方向上,且沿着第一电极指3和第二电极指4的排布方向,相邻的第一电极指3的中线和第二电极指4的中线之间的距离。将a设置的大于b可以改善纵向耦合声表面波滤波器10的通带插损,提高纵向耦合声表面波滤波器10的工作性能。
如图2至图4所示,电极组5具有间隔设置且连接在第一叉指换能器102的同一汇流条上的至少两个第三电极指51(示例性的,图中仅示出电极组5具有两个第三电极指的场景);第一区域两侧中的至少一侧具有电极组5;与电极组5相邻的电极指所连接的汇流条与电极组5所连接的汇流条不同。
在本实施例中,通过电极组5的设置可以提高纵向耦合声表面波滤波器10的近端带外抑制效果,进而提高纵向耦合声表面波滤波器10的工作性能。同时,将电极组5设置在第一区域的外侧可以进一步提高纵向耦合声表面波滤波器10的近端带外抑制效果。应当说明的是,第三电极指51与其所连接的汇流条之间也是电性连接。
如图5和图6所示,图中纵坐标为阻抗,阻抗的单位为dB,图中横坐标为频率,频率的单位为GHz,图中虚线代表的是现有的纵向耦合声表面波滤波器的通带插损曲线,图中实线代表的是本实施例的纵向耦合声表面波滤波器的通带插损曲线,从图中可以看出本实施例的设置方式可以减弱近端的谐振峰,从而改善近端带外抑制效果。
电极组5设置在第一汇流条1和第二汇流条2之间,电极组5可以与第一汇流条1连接,那么与电极组5相邻两个的电极指与第二汇流条2连接,即与电极组5相邻两个的电极指为第二电极指4;电极组5也可以与第二汇流条2连接,那么与电极组5相邻两个的电极指与第一汇流条1连接,即与电极组5相邻两个的电极指为第一电极指3。也就是说,与电极组5相邻的两个电极指连接于同一汇流条,且与电极组5所连接的汇流条不同。
可以理解的是,在纵向耦合声表面波滤波器10中,叉指换能器101的两个汇流条的极性不同,其中,叉指换能器101的一个汇流条一般与接地端连接,另一个汇流条与输入端或输出端连接,因此,电极组5的第三电极指51的极性不同于与该电极组5相邻的电极指的极性。
另外,在一个电极组5中,各第三电极指51是沿着第一电极指3和第二电极指4的排布方向依次间隔设置。
所有的第一电极指3和所有的第二电极指4都分别分布在第一区域和第二区域内。电极组5可以是设置在第二区域内,也可以是设置在第一区域和第二区域之间;当电极组5设置在第二区域内时,第一区域和第二区域相邻;当电极组设置在第一区域和第二区域之间时,该第二区域和第一区域间隔设置。
第一区域内的电极指的数量与第二区域内的电极指的数量可以是相同的,也可以是不同的。其中,第一区域内的电极指的数量是指,在第一区域内第一电极指3和第二电极指4的数量之和;第二区域内的电极指的数量是指,在第二区域内,第一电极指3和第二电极指4的数量之和。
在第一区域内,第一电极指3和第二电极指4依次交替设置;当电极组5设置在第一区域和第二区域之间时,第二区域内的第一电极指3和第二电极指4依次交替设置;电极组5设置在第二区域内时,在第二区域内,当电极组5的两侧中的任意一侧设有第一电极指3和第二电极指4时,位于电极组5的两侧中的任意一侧的第一电极指3和第二电极指4交替排布。
在一实施例中,叉指换能器101的材质可以是单一金属材料或者不同金属的复合或者合金材质,其中,叉指换能器101的材质可以是铝、钼、铜、金、铂、银、镍、铬、钨等或以上金属的复合或其合金等中的一者。另外,各叉指换能器101中的任意两个的材质可以是相同的也可以是不同的。
在一实施例中,在第一区域内,相邻的第一电极指3与第二电极指4之间的距离为a;在第二区域内,相邻的第一电极指3与第二电极指4之间的距离为b;相邻两个第三电极指51之间的距离为c,c与a和b中的至少一个不同,即c与a不同和/或c与b不同。其中,相邻两个第三电极指51是指同一电极组5内的相邻两个第三电极指51,相邻两个第三电极指51之间的距离是指:在俯视方向上,且沿着第一电极指3和第二电极指4的排布方向,相邻的两个第三电极指51的中线之间的距离。另外,当c与a不同时,c与b可以是相同的;当c与b不同时,c与a可以是相同的。作为优选的,c与a不同,且c与b也不同。
在一实施例中,定义与电极组5相邻的两个电极指均为电极指m,则电极组5与其两侧的电极指m均间隔设置,也即,在各第三电极指51的排布方向上,位于最外侧的两个第三电极指51与两个电极指m均间隔设置。
如图2至图4所示,在一实施例中,在第一区域的同一侧,第一区域与第二区域之间具有电极组5和/或第二区域内具有电极组5。其中,在图2示出的实施例中,电极组5设置在第二区域内;在图3示出的实施例中,电极组5设置在第一区域和第二区域之间;在图4示出的实施例中,第二区域内设有电极组5,第一区域和第二区域之间也设有电极组5。另外,在第一区域的同一侧,第一区域与第二区域之间和第二区域内均具有电极组5,可以进一步提高纵向耦合声表面波滤波器10的近端带外抑制效果。
如图2至图4所示,在一实施例中,在第一区域的两侧,第一区域与第二区域之间的两个区域分别具有电极组5;和/或,在第一区域的两侧,两个第二区域内分别具有电极组5。假设第一区域的两侧的两个第二区域分别为区域A和区域B,上文所述的“在第一区域的两侧,第一区域与第二区域之间的两个区域分别具有电极组5”是指第一区域和区域A之间设有电极组5,第一区域和区域B之间也设有电极组5,这样可以进一步提高纵向耦合声表面波滤波器10的近端带外抑制效果。同样的,两个第二区域内均设置有电极组5,也可以进一步提高纵向耦合声表面波滤波器10的近端带外抑制效果。
另外,在图2示出的实施例中,各电极组5分别设置在两个第二区域内;在图3示出的实施例中,第一区域和区域A之间以及第一区域和区域B之间均设有电极组5;在图4示出的实施例中,两个第二区域内均设有电极组5,第一区域和区域A之间以及第一区域和区域B之间也均设有电极组5。
在一实施例中,第一区域的一侧可以在第一区域和第二区域之间设置电极组,第一区域的另一侧可以在第二区域内设置电极组5;或者第一区域的一侧可以在第一区域和第二区域之间以及第二区域内均设置电极组5,第一区域的另一侧可以在第二区域内或第一区域和第二区域之间设置电极组5;本实施例在此不做限定。
对于上述各实施例中,当第一区域和第二区域之间具有电极组5时,第一区域和一个第二区域之间只设置一个电极组5。当第二区域内具有电极组5时,一个第二区域内可以是设有至少一个电极组5;其中,当一个第二区域内设有至少两个电极组5时,在该第二区域内,每一个电极组5的两侧均具有与其相邻的两个电极指m,即每一个电极组5均是设置在相邻的电极指m之间,且任意两个电极组5所连接的汇流条可以是相同的,也可以是不同的。另外,当第一叉指换能器102所具有的电极组5的数量为至少两个时,对于任意两个电极组5而言,二者各自所具有的第三电极指51的数量可以是相同的,也可以是不同的。
在一实施例中,当电极组5设有多个时,即第一叉指换能器102具有多个电极组5时,各电极组5之间的第一结构参数相同或者不同;其中,第一结构参数包括第三电极指51的数量、相邻两个第三电极指51的距离以及所连接的汇流条中的至少一个。
其中,各电极组5之间的第一结构参数相同,可以理解为各电极组5中任意两个的第一结构参数都相同;各电极组5之间的第一结构参数不同,可以理解为各电极组5中至少两个电极组5之间的第一结构参数不相同。
比如,当电极组5的数量为三个时,这三个电极组5分别为第一电极组、第二电极组以及第三电极组,若各电极组5之间的第一结构参数不同,则第一电极组和第二电极组的第一结构参数不相同,和/或,第一电极组和第三电极组的第一结构参数不相同,和/或,第二电极组和第三电极组的第一结构参数不相同。
可以理解的是,电极组5之间第一结构参数相同可以理解为,各电极组5所连接的汇流条、包括的第三电极指51的数量,以及相邻两个第三电极指51之间的距离等参数均相同,电极组5之间第一结构参数不同可以理解为,各电极组5所连接的汇流、包括的第三电极指51数量,以及相邻两个第三电极指51之间的距离等参数中的至少一项不同。
在一实施例中,第一叉指换能器102以第一区域为对称轴,两侧呈轴对称设置;和/或,第一区域的两侧均设有电极组5,且位于第一区域两侧的电极组5以第一区域为对称轴呈轴对称设置。
“第一叉指换能器102以第一区域为对称轴”是指第一叉指换能器102以第一区域的中线为对称轴。定义第一区域的中线为第一中线(在图2中第一中线为虚线O),第一中线在指在第一电极指3和第二电极指4的排布方向上,第一区域的长度的方向上的中线,即在第一电极指3和第二电极指4的排布方向上,第一中线将第一区域分成长度相同的两部分。
“第一叉指换能器102以第一区域为对称轴,两侧呈轴对称设置”是指在第一电极指3和第二电极指4的排布方向上,第一叉指换能器102位于第一中线的两侧的部分对称设置。这样设置可以进一步提高纵向耦合声表面波滤波器10的近端带外抑制效果。
“第一区域两侧的电极组5以第一区域为对称轴呈轴对称设置”是指在第一电极指3和第二电极指4的排布方向上,第一电极指3两侧的电极组5相对于一对称轴对称设置,这样可以进一步提高纵向耦合声表面波滤波器10的近端带外抑制效果。其中,该对称轴可以是第一中线,也可以是第一电极指3和第二电极指4的排布方向上,距离第一中线一定距离的第二中线。另外,第二中线可以是位于第一区域,也可以是位于第二区域,也可以是位于第三区域。这样设置可以进一步提高纵向耦合声表面波滤波器10的近端带外抑制效果。
在一实施例中,第一叉指换能器102的占空比为0.4-0.65。可以理解的是,定义在弹性波传播方向上(即图2中的X方向),电极指的宽度为d,相邻第一电极指3和第二电极指4之间的距离(也即pitch)为w,则占空比为d/w。
在一实施例中,第一叉指换能器102可以为连接输入端的叉指换能器101,即纵向耦合声表面波滤波器10的输入端连接在第一叉指换能器102上;第一叉指换能器102也可以为连接输出端的叉指换能器101,即纵向耦合声表面波滤波器10的输出端连接在第一叉指换能器102上。
在一些可实现的实施方式中,纵向耦合声表面波滤波器10中任意一个或者多个叉指换能器101可以是第一叉指换能器102。当纵向耦合声表面波滤波器10具有一个第一叉指换能器102时,该第一叉指换能器102可以是连接在输入端,也可以是连接在输出端。当纵向耦合声表面波滤波器10具有多个第一叉指换能器102时,这些第一叉指换能器102均可以连接输入端;或者,这些第一叉指换能器102均连接输出端;或者这些第一叉指换能器102中的一部分连接输入端,另一部分连接输出端。
在一实施例中,第一叉指换能器102具有多个,多个第一叉指换能器102之间的第二结构参数相同或不同;其中,第二结构参数包括占空比、孔径、电极指数量、电极组5的位置、电极组5设置的数量、电极组5的第一结构参数、相邻第一电极指3和第二电极指4的距离中的至少一个。
可以理解的是,孔径是指第一电极指与第二电极指相互交叠的部分在汇流条排布方向上的长度。
多个第一叉指换能器102之间的第二结构参数相同是指,各第一叉指换能器102之间的第二结构参数均相同;多个第一叉指换能器102之间的第二结构参数不同是指,各第一叉指换能器102中的至少有两个第一叉指换能器102的第二结构参数不同。比如,第一叉指换能器102的数量为三个,则多个第一叉指换能器102之间的第二结构参数不同时,这三个第一叉指换能器102中有两个的第二结构参数不同,或者这三个第一叉指换能器102的第二结构参数互不相同。
可以理解的是,第一叉指换能器102之间第二结构参数相同可以理解为,各第一叉指换能器102的占空比、孔径、电极指数量、电极组5的位置、电极组5设置的数量、电极组5的第一结构参数、相邻第一电极指3和第二电极指4的距离等参数均相同;第一叉指换能器102之间第二结构参数不同可以理解为,各第一叉指换能器102的占空比、孔径、电极指数量、电极组5的位置、电极组5设置的数量、电极组5的第一结构参数、相邻第一电极指3和第二电极指4的距离等参数中的至少一项不同。
如图1所示,在一实施例中,纵向耦合声表面波滤波器10还包括两个反射器103,所述至少两个叉指换能器101(即纵向耦合声表面波滤波器10的各叉指换)依次间隔排布在两个所述反射器103之间;纵向耦合声表面波滤波器10的各叉指换中包括中间叉指换能器以及分别位于中间叉指换能器两侧的第一组叉指换能器和第二组叉指换能器,第一组叉指换能器与第二组叉指换能器均包括N个叉指换能器101;沿着远离中间叉指换能器的方向,第一组叉指换能器中的第i个叉指换能器与第二组叉指换能器中的第j个叉指换能器以中间叉指换能器为对称轴呈轴对称设置;和/或,第i个叉指换能器与第j个叉指换能器的第二结构参数相同;其中i=j,且1≤i≤N。在本实施例中,第i个叉指换能器与第j个叉指换能器相对应,这样中间叉指换能器两侧相对应的叉指换能器对称设置和/或采用相同的第二结构参数,从而可以进一步提高纵向耦合声表面波滤波器10的近端带外抑制效果。
其中,两个反射器103的排布方向平行于第一电极指3和第二电极指4的排布方向,并平行于各叉指换能器101的排布方向。第一组叉指换能器和第二组叉指换能器均包括至少一个叉指换能器101,且两组叉指换能器101中所具有的叉指换能器101的数量相同,故一个纵向耦合声表面波滤波器10中所具有的叉指换能器101的数量为奇数个,且中间叉指换能器是指在各叉指换能器101的排布方向,位于最中间的那个叉指换能器101。
其中,远离中间叉指换能器的方向平行于各叉指换能器101的排布方向;对于第一组叉指换能器而言,远离中间叉指换能器的方向是指中间叉指换能器至第一组叉指换能器的方向;对于第二组叉指换能器而言,远离中间叉指换能器的方向是指中间叉指换能器至第二组叉指换能器的方向。沿着中间叉指换能器至第一组叉指换能器的方向,第一组叉指换能器所包含的叉指换能器101依次为第1个叉指换能器101……第N个叉指换能器101;沿着中间叉指换能器至第二组叉指换能器的方向,第一组叉指换能器所包含的叉指换能器101依次为第1个叉指换能器101……第N个叉指换能器101;其中,N≥1。
以图1示出的结构进行举例说明,纵向耦合声表面波滤波器10包括5个叉指换能器,其中,第一组叉指换能器可以视为位于中间叉指换能器左侧的叉指换能器,第二组叉指换能器可以视为位于中间叉指换能器右侧的叉指换能器,第一组叉指换能器和第二组叉指换能器均具有两个叉指换能器;对于第一组叉指换能器而言,远离中间叉指换能器的方向为由右到左的方向;对于第二组叉指换能器而言,远离中间叉指换能器的方向为由左到右的方向。沿着由右到左的方向,第一组叉指换能器包括叉指换能器a和叉指换能器b;沿着由左到右的方向,第一组叉指换能器包括叉指换能器c和叉指换能器d。当i=j=1时,第i个叉指换能器为叉指换能器a,第j个叉指换能器为叉指换能器c;当i=j=2时,第i个叉指换能器为叉指换能器b,第j个叉指换能器为叉指换能器d。
在各叉指换能器101的排布方向上,中间叉指换能器相对于第三中线对此设置,“第一组叉指换能器中的第i个叉指换能器与第二组叉指换能器中的第j个叉指换能器以中间叉指换能器为对称轴呈轴对称设置”是指第i个叉指换能器与第j个叉指换能器相对于第三中线对称设置。在图1示出的实施例中,叉指换能器a与叉指换能器c相对于第三中线对称设置,叉指换能器b与叉指换能器d相对于第三中线对称设置。
可以理解的是,第i个叉指换能器与第j个叉指换能器之间的第二结构参数相同可以理解为,二者的占空比、孔径、电极指数量、电极组5的位置、电极组5设置的数量、电极组5的第一结构参数、相邻第一电极指3和第二电极指4的距离等参数均相同;第i个叉指换能器与第j个叉指换能器之间的第二结构参数不同可以理解为,二者的占空比、孔径、电极指数量、电极组5的位置、电极组5设置的数量、电极组5的第一结构参数、相邻第一电极指3和第二电极指4的距离等参数中的至少一项不同。
在一实施例中,第一组叉指换能器中包括至少两个叉指换能器101时,第一组换能器内相邻的两个叉指换能器101的第二结构参数相同或者不同;第二组叉指换能器中包括至少两个叉指换能器101时,第二组换能器内相邻的两个叉指换能器101的第二结构参数相同或者不同。在图1示出的实施例中,叉指换能器a与叉指换能器b二者的第二结构参数可以相同,也可以不同;叉指换能器c与叉指换能器d二者的第二结构参数可以相同,也可以不同。
如图7所示,本发明实施例还提供一种混合型滤波器100,该混合型滤波器100包括谐振器20以及纵向耦合声表面波滤波器10;谐振器20和纵向耦合声表面波滤波器10中的至少一个具有第一叉指换能器102,第一叉指换能器102具有第一汇流条1、第二汇流条2、多个第一电极指3、多个第二电极指4以及电极组5;第一汇流条1和第二汇流条2相对设置,多个第一电极指3均连接在第一汇流条1上,多个第二电极指4均连接在所述第二汇流条2上;沿着第一电极指3和第二电极指4的排布方向,第一叉指换能器102具有第一区域以及位于第一区域两侧的第二区域;在第一区域内,相邻的第一电极指3与第二电极指4之间的距离为a;在第二区域内,相邻的第一电极指3与第二电极指4之间的距离为b;a大于b;电极组5具有间隔设置且连接在第一叉指换能器102的同一汇流条上的至少两个第三电极指51;第一区域两侧中的至少一侧具有电极组5;与电极组5相邻的电极指所连接的汇流条与电极组5所连接的汇流条不同。
其中,混合型滤波器100的第一叉指换能器102与上述各实施例中的第一叉指换能器102相同,且当混合型滤波器100的纵向耦合声表面波滤波器10包括第一叉指换能器102时,混合型滤波器100的纵向耦合声表面波滤波器10也可以是与上述各实施例的纵向耦合声表面波滤波器10相同。
另外,在一实施例中,混合型滤波器100可以是梯形滤波器。
谐振器20为声表面波谐振器,其可以是并联臂谐振器也可以是串联臂谐振器,谐振器20具有一个叉指换能器,谐振器20的叉指换能器可以是连接在输入端也可以是连接在输出端。谐振器20的数量可以是一个,也可以是的多个;当谐振器20的数量为多个时,各谐振器20的叉指换能器均可以是第一叉指换能器102,或者各谐振器20的叉指换能器均不是第一叉指换能器,或者各谐振器20中一部分的叉指换能器均是第一叉指换能器102,另一部分的叉指换能器不是第一叉指换能器102。
本申请中,混合型滤波器100包括纵向耦合声表面波滤波器和声表面波谐振器中,具有多个叉指换能器,其中第一叉指换能器电极指间距中间大两侧小,在第一叉指换能器大间距区域外侧设置多根同极性电极指,多根同极性电极与其他相邻电极指连接在不同汇流条上,可以进一步提高混合型波滤波器100的近端带外抑制效果,改善滤波器通带插损,提高滤波器工作性能。
本发明实施例还提供一种射频前端模组,包括上述任意一项所述的滤波器,其中该滤波器包括上述独立纵向耦合声表面波滤波器10和上述的混合型滤波器100,即射频前端模组可以是只包括上述独立纵向耦合声表面波滤波器10,也可以是只包括上述的混合型滤波器100,也可以是同时包括上述纵向耦合声表面波滤波器10和混合型滤波器100。
本申请中,射频前端模组包括纵向耦合声表面波滤波器10或者混合型滤波器100,滤波器包括的叉指换能器中,第一叉指换能器电极指间距中间大两侧小,在第一叉指换能器大间距区域外侧设置多根同极性电极指,多根同极性电极与其他相邻电极指连接在不同汇流条上,可以进一步提高滤波器的近端带外抑制效果,改善滤波器通带插损,提高滤波器工作性能,进而提高射频前端模组的工作性能。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (14)
1.一种纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,包括至少两个叉指换能器;
所述至少两个叉指换能器中具有第一叉指换能器,所述第一叉指换能器具有第一汇流条、第二汇流条、多个第一电极指、多个第二电极指以及电极组;
所述第一汇流条和所述第二汇流条相对设置,多个所述第一电极指均连接在所述第一汇流条上,多个所述第二电极指均连接在所述第二汇流条上;
沿着所述第一电极指和所述第二电极指的排布方向,所述第一叉指换能器具有第一区域以及位于所述第一区域两侧的第二区域;在所述第一区域内,相邻的所述第一电极指与所述第二电极指之间的距离为a;在所述第二区域内,相邻的所述第一电极指与所述第二电极指之间的距离为b;所述a大于所述b;
所述电极组具有间隔设置且连接在所述第一叉指换能器的同一汇流条上的至少两个第三电极指;
所述第一区域两侧中的至少一侧具有所述电极组;
与所述电极组相邻的电极指所连接的汇流条与所述电极组所连接的汇流条不同。
2.根据权利要求1所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,相邻两个所述第三电极指之间的距离为c,所述c与所述a和所述b中的至少一个不同。
3.根据权利要求1所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,相邻两个所述第三电极指之间的距离为c,所述c与所述a不同,且所述c与所述b不同。
4.根据权利要求1所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,在所述第一区域的同一侧,所述第一区域与所述第二区域之间和/或所述第二区域内具有所述电极组。
5.根据权利要求1所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,在所述第一区域的两侧,所述第一区域与所述第二区域之间的两个区域分别具有所述电极组;和/或,在所述第一区域的两侧,两个所述第二区域内分别具有所述电极组。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,所述电极组设有多个,各所述电极组之间的第一结构参数相同或者不同;
其中,所述第一结构参数包括第三电极指的数量、相邻两个第三电极指的距离以及所连接的汇流条中的至少一个。
7.根据权利要求1-5任意一项所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,所述第一叉指换能器以所述第一区域为对称轴,两侧呈轴对称设置;和/或,
所述第一区域的两侧均设有所述电极组,且位于所述第一区域两侧的所述电极组以所述第一区域为对称轴呈轴对称设置。
8.根据权利要求1所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,所述第一叉指换能器具有多个,多个所述第一叉指换能器之间的第二结构参数相同或不同;
所述第二结构参数包括占空比、孔径、电极指数量、所述电极组的位置、所述电极组设置的数量、所述电极组的第一结构参数、相邻所述第一电极指和所述第二电极指的距离中的至少一个。
9.根据权利要求1所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,所述第一叉指换能器为连接输入端的叉指换能器;或,所述第一叉指换能器为连接输出端的叉指换能器。
10.根据权利要求1所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,所述纵向耦合声表面波滤波器还包括两个反射器,所述至少两个叉指换能器依次间隔排布在两个所述反射器之间;
所述至少两个叉指换能器包括中间叉指换能器以及分别位于所述中间叉指换能器两侧的第一组叉指换能器和第二组叉指换能器,所述第一组叉指换能器与所述第二组叉指换能器均包括N个叉指换能器;
沿着远离所述中间叉指换能器的方向,所述第一组叉指换能器中的第i个叉指换能器与所述第二组叉指换能器中的第j个叉指换能器以所述中间叉指换能器为对称轴呈轴对称设置;和/或,所述第i个叉指换能器与所述第j个叉指换能器的第二结构参数相同;其中i=j,且1≤i≤N。
11.根据权利要求1所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,与所述电极组相邻的两个电极指连接于同一汇流条。
12.根据权利要求1所述的纵向耦合声表面波滤波器,其特征在于,第一叉指换能器的占空比为0.4-0.65。
13.一种混合型滤波器,其特征在于,包括谐振器以及纵向耦合声表面波滤波器;
所述谐振器和所述纵向耦合声表面波滤波器中的至少一个具有第一叉指换能器,所述第一叉指换能器具有第一汇流条、第二汇流条、多个第一电极指、多个第二电极指以及电极组;
所述第一汇流条和所述第二汇流条相对设置,多个所述第一电极指均连接在所述第一汇流条上,多个所述第二电极指均连接在所述第二汇流条上;
沿着所述第一电极指和所述第二电极指的排布方向,所述第一叉指换能器具有第一区域以及位于所述第一区域两侧的第二区域;在所述第一区域内,相邻的所述第一电极指与所述第二电极指之间的距离为a;在所述第二区域内,相邻的所述第一电极指与所述第二电极指之间的距离为b;所述a大于所述b;
所述电极组具有间隔设置且连接在所述第一叉指换能器的同一汇流条上的至少两个第三电极指;
所述第一区域两侧中的至少一侧具有所述电极组;
与所述电极组相邻的电极指所连接的汇流条与所述电极组所连接的汇流条不同。
14.一种射频前端模组,其特征在于,包括权利要求1-13任意一项所述的滤波器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310481225.2A CN116566357B (zh) | 2023-04-28 | 2023-04-28 | 纵向耦合声表面波滤波器、混合型滤波器及射频前端模组 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310481225.2A CN116566357B (zh) | 2023-04-28 | 2023-04-28 | 纵向耦合声表面波滤波器、混合型滤波器及射频前端模组 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116566357A true CN116566357A (zh) | 2023-08-08 |
CN116566357B CN116566357B (zh) | 2024-04-05 |
Family
ID=87492468
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310481225.2A Active CN116566357B (zh) | 2023-04-28 | 2023-04-28 | 纵向耦合声表面波滤波器、混合型滤波器及射频前端模组 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116566357B (zh) |
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---|---|
CN116566357B (zh) | 2024-04-05 |
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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