JP2008109413A - 弾性波デバイスおよびフィルタ - Google Patents
弾性波デバイスおよびフィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008109413A JP2008109413A JP2006290494A JP2006290494A JP2008109413A JP 2008109413 A JP2008109413 A JP 2008109413A JP 2006290494 A JP2006290494 A JP 2006290494A JP 2006290494 A JP2006290494 A JP 2006290494A JP 2008109413 A JP2008109413 A JP 2008109413A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- comb
- dielectric film
- piezoelectric substrate
- resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明は、圧電性基板(16)と、圧電性基板(16)上に設けられた弾性波を励振する櫛型電極(12)および反射電極(R1)で構成される共振子(13)と、圧電性基板(16)上に設けられ、共振子(13)に並列または直列に接続され、圧電性基板(16)に水平に対向する櫛型電極型容量(14)と、を具備し、櫛型電極型容量(14)を構成する櫛型電極が共振子(13)を構成する櫛型電極(12)より圧電性基板(16)から離れて設けられている弾性波デバイスである。
【選択図】 図4
Description
13 共振子
14 櫛型電極型容量
14a、14b 櫛型電極
16 圧電性基板
17 レジスト
18 第1誘電体膜
20 第2誘電体膜
22 第3誘電体膜
24 第4誘電体膜
26 保護膜
30 直列腕共振器
30a、30b、30c、30d 1ポート共振器
31 並列腕共振器
31a、31b 1ポート共振器
32 第1端子
33 1ポート共振器
34 第2端子
35 配線
R1 反射電極
Claims (13)
- 圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられた弾性波を励振する櫛型電極を有する共振子と、
前記圧電性基板上に設けられ、前記共振子に並列または直列に接続され、前記圧電性基板に水平に対向する電極からなる容量と、を具備し、
前記容量を構成する電極が前記共振子を構成する櫛型電極より前記圧電性基板から離れて設けられていることを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記共振子は反射電極を含むことを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記容量を構成する電極は櫛型電極であることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 前記容量を構成する電極と前記圧電性基板との間に誘電体膜を具備することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記誘電体膜の厚さは前記共振子を構成する櫛型電極の厚さと同じ厚さであることを特徴とする請求項4記載の弾性波デバイス。
- 前記容量を構成する櫛型電極の周期が前記共振子を構成する櫛型電極の周期より大きいことを特徴とする請求項3から5のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記共振子を構成する櫛型電極および反射電極を覆うように設けられた第1誘電体膜を具備し、
前記第1誘電体膜の厚さが前記共振子を構成する櫛型電極の厚さより厚いことを特徴とする請求項2から6のいずれか一項記載の弾性波デバイス。 - 前記第1誘電体膜はSiO2膜であることを特徴とする請求項7記載の弾性波デバイス。
- 前記容量を構成する電極が前記第1誘電体膜上に設けられていることを特徴とする請求項7または8記載の弾性波デバイス。
- 前記第1誘電体膜上に設けられた第2誘電体膜を具備し、
前記第2誘電体膜の音速が前記第1誘電体膜の音速より速いことを特徴とする請求項7から9のいずれか一項記載の弾性波デバイス。 - 前記共振子を構成する櫛型電極および反射電極と前記圧電性基板との間に設けられた第3誘電体膜を具備することを特徴とする請求項2から10のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電性基板はLiNbO3またはLiTaO3であることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 請求項1から12のいずれか一項記載の弾性波デバイスを有することを特徴とするフィルタ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006290494A JP2008109413A (ja) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
US11/976,441 US7688161B2 (en) | 2006-10-25 | 2007-10-24 | Acoustic wave device and filter using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006290494A JP2008109413A (ja) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008109413A true JP2008109413A (ja) | 2008-05-08 |
JP2008109413A5 JP2008109413A5 (ja) | 2009-03-19 |
Family
ID=39442404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006290494A Pending JP2008109413A (ja) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7688161B2 (ja) |
JP (1) | JP2008109413A (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009218761A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Panasonic Corp | 弾性境界波デバイス |
US7642694B2 (en) * | 2006-09-21 | 2010-01-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave device |
JP2010130031A (ja) * | 2008-11-25 | 2010-06-10 | Panasonic Corp | 弾性境界波素子と、これを用いた電子機器 |
JP2012501563A (ja) * | 2008-09-01 | 2012-01-19 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | アンテナ整合回路 |
JP2012506185A (ja) * | 2008-10-17 | 2012-03-08 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | Gps用周波数帯域において帯域外サプレッション効果をもつアンテナデュプレクサ |
WO2013154113A1 (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | 株式会社村田製作所 | ラダー型弾性表面波フィルタ |
WO2013161881A1 (ja) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、分波器および通信モジュール |
JP2015032889A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 日本電波工業株式会社 | 弾性表面波素子、発振器及び電子部品 |
JP2015056712A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 |
JP2016504881A (ja) * | 2013-01-11 | 2016-02-12 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 分岐技術を用いた広帯域フィルタ |
WO2016104598A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置 |
WO2018051846A1 (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
WO2018061878A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路および通信装置 |
US10439585B2 (en) | 2013-02-15 | 2019-10-08 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave device including multiple dielectric films |
JP2021108420A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005051852B4 (de) * | 2005-10-28 | 2021-05-20 | Snaptrack, Inc. | SAW Filter mit breitbandiger Bandsperre |
DE102005055870A1 (de) * | 2005-11-23 | 2007-05-24 | Epcos Ag | Elektroakustisches Bauelement |
JP2008067289A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
JP4943787B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2012-05-30 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、共振器およびフィルタ |
JP2008078739A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
WO2008044411A1 (fr) * | 2006-10-12 | 2008-04-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif à ondes limites élastiques |
DE102007012383B4 (de) * | 2007-03-14 | 2011-12-29 | Epcos Ag | Mit geführten akustischen Volumenwellen arbeitendes Bauelement |
JP4995923B2 (ja) * | 2007-11-19 | 2012-08-08 | 太陽誘電株式会社 | 弾性境界波デバイス、およびそれを用いた通信機 |
JPWO2009098840A1 (ja) * | 2008-02-05 | 2011-05-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
WO2009119007A1 (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
CN102067447A (zh) * | 2008-06-16 | 2011-05-18 | 株式会社村田制作所 | 弹性边界波装置 |
WO2010052914A1 (ja) * | 2008-11-10 | 2010-05-14 | パナソニック株式会社 | 弾性波素子と、これを用いた電子機器 |
JP5581739B2 (ja) * | 2009-04-14 | 2014-09-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
JP5141776B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2013-02-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子、ラダー型フィルタ及びデュプレクサ |
JP2011087282A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-04-28 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波フィルタ及びそれを備える分波器 |
DE112011100580B4 (de) * | 2010-05-13 | 2017-02-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
JP2014504827A (ja) * | 2011-01-24 | 2014-02-24 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 表面音響波フィルタ |
JP6116120B2 (ja) * | 2012-01-24 | 2017-04-19 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス及び弾性波デバイスの製造方法 |
DE102013201928A1 (de) * | 2013-02-06 | 2014-08-07 | Richard Wolf Gmbh | Schallwandlertechnik |
US10153748B2 (en) * | 2013-10-31 | 2018-12-11 | Kyocera Corporation | Acoustic wave element, filter element, and communication device |
WO2016017129A1 (en) | 2014-07-28 | 2016-02-04 | Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave elements, antenna duplexers, modules and electronic devices using the same |
US9634644B2 (en) * | 2014-07-28 | 2017-04-25 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave elements and antenna duplexers, and modules and electronic devices using same |
WO2016111315A1 (ja) * | 2015-01-07 | 2016-07-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
KR102588800B1 (ko) * | 2016-02-22 | 2023-10-13 | 삼성전기주식회사 | 음향파 필터 장치 및 이의 제조방법 |
WO2017154260A1 (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びデュプレクサ |
WO2018097203A1 (ja) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路および通信装置 |
WO2018097201A1 (ja) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
DE102018125498B4 (de) | 2018-10-15 | 2020-04-23 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustisches HF-Filter mit verbesserter Leistung und Multiplexer-Komponente, die ein HF-Filter umfasst |
US20220247382A1 (en) * | 2021-02-03 | 2022-08-04 | Resonant Inc. | Bandpass filters using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02177712A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-10 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波共振子およびその共振周波数の調整方法 |
JPH07297675A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-10 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波共振器 |
JPH1188101A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-03-30 | Toshiba Corp | 弾性表面波素子および弾性表面波素子の製造方法 |
JPH11308069A (ja) * | 1998-04-17 | 1999-11-05 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
JP2001044792A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及びその帯域周波数調整方法 |
JP2005260833A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
WO2005093949A1 (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置の製造方法及び弾性境界波装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03222511A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-10-01 | Oki Electric Ind Co Ltd | Saw共振器フィルタ |
JPH05167384A (ja) | 1991-12-11 | 1993-07-02 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
JP3155639B2 (ja) * | 1993-01-29 | 2001-04-16 | 株式会社日立製作所 | 弾性表面波共振子およびその製造方法 |
JPH07273597A (ja) * | 1994-03-29 | 1995-10-20 | Oki Electric Ind Co Ltd | 共振器型弾性表面波フィルタ |
JP3390537B2 (ja) * | 1994-08-22 | 2003-03-24 | 富士通株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
US5815900A (en) * | 1995-03-06 | 1998-10-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing a surface acoustic wave module |
JP3926919B2 (ja) * | 1998-03-23 | 2007-06-06 | 株式会社東芝 | 弾性表面波装置 |
JPH11330904A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-30 | Oki Electric Ind Co Ltd | 共振器型弾性表面波フィルタ |
US6593678B1 (en) * | 2000-10-24 | 2003-07-15 | Clarisay, Inc. | Surface acoustic wave filter having diminished bandwidth and method of operating the same |
FR2827720B1 (fr) * | 2001-07-20 | 2005-05-20 | Thales Sa | Dispositif a ondes acoustiques de surface a faibles pertes avec couche dielectrique de forte permittivite |
JP2005033246A (ja) * | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Sawフィルタとそれを用いた電子デバイス |
JP2005142629A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子およびその製造方法 |
-
2006
- 2006-10-25 JP JP2006290494A patent/JP2008109413A/ja active Pending
-
2007
- 2007-10-24 US US11/976,441 patent/US7688161B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02177712A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-10 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波共振子およびその共振周波数の調整方法 |
JPH07297675A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-10 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波共振器 |
JPH1188101A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-03-30 | Toshiba Corp | 弾性表面波素子および弾性表面波素子の製造方法 |
JPH11308069A (ja) * | 1998-04-17 | 1999-11-05 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
JP2001044792A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及びその帯域周波数調整方法 |
JP2005260833A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
WO2005093949A1 (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置の製造方法及び弾性境界波装置 |
Cited By (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7642694B2 (en) * | 2006-09-21 | 2010-01-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave device |
JP2009218761A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Panasonic Corp | 弾性境界波デバイス |
JP2012501563A (ja) * | 2008-09-01 | 2012-01-19 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | アンテナ整合回路 |
US9577606B2 (en) | 2008-09-01 | 2017-02-21 | Epcos Ag | Duplexer and method for increasing the isolation between two filters |
US9160306B2 (en) | 2008-09-01 | 2015-10-13 | Epcos Ag | Duplexer and method for increasing the isolation between two filters |
US9214920B2 (en) | 2008-09-01 | 2015-12-15 | Epcos Ag | Antenna matching circuit |
JP2012506185A (ja) * | 2008-10-17 | 2012-03-08 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | Gps用周波数帯域において帯域外サプレッション効果をもつアンテナデュプレクサ |
JP2016028505A (ja) * | 2008-10-17 | 2016-02-25 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | Gps用周波数帯域において帯域外サプレッション効果をもつアンテナデュプレクサ |
JP2010130031A (ja) * | 2008-11-25 | 2010-06-10 | Panasonic Corp | 弾性境界波素子と、これを用いた電子機器 |
JPWO2013154113A1 (ja) * | 2012-04-10 | 2015-12-17 | 株式会社村田製作所 | ラダー型弾性表面波フィルタ |
WO2013154113A1 (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | 株式会社村田製作所 | ラダー型弾性表面波フィルタ |
US9543924B2 (en) | 2012-04-10 | 2017-01-10 | Murata Manufacturing Co., Lt. | Ladder surface acoustic wave filter |
JP5436729B1 (ja) * | 2012-04-25 | 2014-03-05 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、分波器および通信モジュール |
WO2013161881A1 (ja) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、分波器および通信モジュール |
US9647633B2 (en) | 2012-04-25 | 2017-05-09 | Kyocera Corporation | Acoustic wave element, branching filter and communication module |
US9685930B2 (en) | 2013-01-11 | 2017-06-20 | Qualcomm Incorporated | Broad-band filter in branching technology |
JP2016504881A (ja) * | 2013-01-11 | 2016-02-12 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 分岐技術を用いた広帯域フィルタ |
US10439585B2 (en) | 2013-02-15 | 2019-10-08 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave device including multiple dielectric films |
US11863156B2 (en) | 2013-02-15 | 2024-01-02 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave device including multi-layer interdigital transducer electrodes |
JP2015032889A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 日本電波工業株式会社 | 弾性表面波素子、発振器及び電子部品 |
JP2015056712A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 |
WO2016104598A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置 |
JPWO2016104598A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2017-10-05 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置 |
US10804881B2 (en) | 2014-12-26 | 2020-10-13 | Kyocera Corporation | Acoustic wave device |
WO2018051846A1 (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
US10630257B2 (en) | 2016-09-13 | 2020-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave filter device, multiplexer, radio-frequency front-end circuit, and communication apparatus |
JPWO2018051846A1 (ja) * | 2016-09-13 | 2019-06-24 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
US10979027B2 (en) | 2016-09-29 | 2021-04-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device, radio frequency front-end circuit, and communication device |
WO2018061878A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路および通信装置 |
JP2021108420A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ |
JP7215413B2 (ja) | 2019-12-27 | 2023-01-31 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080129418A1 (en) | 2008-06-05 |
US7688161B2 (en) | 2010-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008109413A (ja) | 弾性波デバイスおよびフィルタ | |
JP2008109413A5 (ja) | ||
JP6439799B2 (ja) | バンドパスフィルタおよびフィルタモジュール | |
JP4943787B2 (ja) | 弾性波デバイス、共振器およびフィルタ | |
JP6573668B2 (ja) | 弾性波装置および通信装置 | |
US7728699B2 (en) | Acoustic wave filter | |
JP2008067289A (ja) | 弾性波デバイスおよびフィルタ | |
JP2008079227A (ja) | フィルタおよび分波器 | |
JP2008078739A (ja) | 弾性波デバイスおよびフィルタ | |
JPWO2008078573A1 (ja) | 弾性表面波共振器並びにそれを用いた弾性表面波フィルタ及びアンテナ共用器 | |
JP6284800B2 (ja) | 弾性表面波デバイス及びフィルタ | |
JP7278305B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
JP6801797B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JPWO2017073425A1 (ja) | 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器、通信装置および弾性波共振子の設計方法 | |
US10958241B2 (en) | Extractor | |
JP5810113B2 (ja) | 弾性波共振器とこれを用いた弾性波フィルタおよびアンテナ共用器 | |
JP2019121873A (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
WO2018117060A1 (ja) | 弾性波共振器、フィルタ装置およびマルチプレクサ | |
US11606079B2 (en) | Transducer structure for source suppression in saw filter devices | |
JP4995923B2 (ja) | 弾性境界波デバイス、およびそれを用いた通信機 | |
JP2009188939A (ja) | 薄膜バルク波共振器 | |
WO2018117059A1 (ja) | 弾性波共振器、フィルタ装置およびマルチプレクサ | |
JP2006129057A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP7416080B2 (ja) | 弾性波装置、フィルタ装置及びマルチプレクサ | |
WO2022091582A1 (ja) | 弾性波フィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090130 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090130 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100430 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20100929 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100930 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110913 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111107 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120207 |