JP2009218761A - 弾性境界波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、圧電基板4と、圧電基板4上に設けられた第1の絶縁層7と、第1の絶縁層7上に設けられた第2の絶縁層8と、圧電基板4と第1の絶縁層7の境界面に設けられた複数の櫛形電極5、6を備えた弾性境界波デバイスにおいて、第1の絶縁層7と第2の絶縁層8との間に複数の櫛形電極5、6の内で所定の櫛形電極6と対峙する部分に対向電極11を設けたのである。
【選択図】図1
Description
5、6 櫛形電極
7 第1の絶縁層
8 第2の絶縁層
11 対向電極
11a 線状電極
Claims (3)
- 圧電基板と、この圧電基板上に設けられた第1の絶縁層と、この第1の絶縁層上に設けられた第2の絶縁層と、前記圧電基板と前記第1の絶縁層の境界面に設けられた複数の櫛形電極を備え、前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層との間に前記複数の櫛形電極の内で所定の櫛形電極と対峙する部分に対向電極を設けたことを特徴とする弾性境界波デバイス。
- 弾性境界波の伝播方向に延出した複数の線状電極を並設により対向電極を形成したことを特徴とする請求項1に記載の弾性境界波デバイス。
- 線状電極のピッチを弾性境界波の波長の半分より小さくしたことを特徴とする請求項2に記載の弾性境界波デバイス。
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