JP2015032889A - 弾性表面波素子、発振器及び電子部品 - Google Patents
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Abstract
Description
オイラー角が(0°,17°〜22°,0°)の面上を弾性表面波が伝搬するように構成された水晶基板と、
この水晶基板上に配置され、弾性表面波が伝搬する方向と交差する方向に伸びる電極を当該伝搬方向に沿って互いに平行に複数本並べると共に、これら電極同士を互いに電気的に接続するようにバスバーを形成した、アルミニウムを主体として設けられた周期構造部と、
前記水晶基板の表面のうち前記周期構造部側の表面における少なくとも一部に形成され、温度特性を補償するための絶縁体からなる補償膜と、を備えたことを特徴とする。
前記補償膜は、前記水晶基板と前記周期構造部との間における当該水晶基板の表面、及び互いに隣接する前記電極間の領域における前記水晶基板の表面の少なくとも一方に形成されている構成。
前記補償膜は、前記電極の露出面及び互いに隣接する前記電極間の領域における前記水晶基板の表面を覆うように形成されている構成。
弾性表面波の伝搬方向における前記電極の幅寸法をD、弾性表面波の伝搬方向における前記電極間の離間寸法をSとすると、前記幅寸法Dと前記離間寸法Sとの合計値に対する前記幅寸法Dの割合である前記電極のライン占有率は、0.5よりも小さい構成。
前記補償膜の膜厚寸法は、前記電極の膜厚寸法よりも薄くなるように形成されている構成。
前記電極は、前記水晶基板の表面において500MHz以上の周波数に対応する波長の弾性表面波が伝搬するように配置されている構成。
本発明の発振器は、既述の弾性表面波素子を備えたことを特徴とする。
本発明の電子部品は、既述の弾性表面波素子を備えたことを特徴とする。
本発明の弾性表面波素子の実施の形態の一例について、図1〜図3を参照して説明する。この弾性表面波素子は、図1に示すように、オイラー角が(0°,17°〜22°,0°)の面上を弾性表面波(SAW)が伝搬するように切断された水晶基板10上に共振子1を配置して構成されている。共振子1は、アルミニウム(Al)を主体とした導電膜(導電膜に含まれるアルミニウムが90重量%以上)により形成されている。弾性表面波は、図1中前後方向に伝搬するように構成されている。また、この例では、前記オイラー角は、(0°,18.9°,0°)となっている。図1中41はトランジスタなどを含むICチップであり、40はこのICチップ41及び水晶基板10が搭載されるベース基板である。また、図2中43はこのベース基板40の上方領域を気密に塞ぐカバー体である。尚、弾性表面波素子が適用される電気回路については後で説明する。
ここで、以上の弾性表面波素子を構成した理由について、初めに従来の弾性表面波素子の構成及び特性を説明した上で詳述する。図4及び図5は、以下の条件1にて従来の弾性表面波素子の無限周期構造について解析(シミュレーション)して得られた特性を示しており、本発明の補償膜20については形成していない。即ち、図4は、リーキーSAWの共振周波数(1987MHz)が温度変化に応じてどの程度変動するかを示した特性(周波数温度偏差)を示しており、下に凸の2次曲線となっている。図5は、バルク放射による伝搬損失が温度変化に応じてどの程度変動するかを示した特性(伝搬損失特性)であり、右上がりの曲線となっている。
オイラー角:(0°,18°,0°)
周期長λ:1.946μm
電極指6の膜厚h1:0.018λ(=35nm)
ライン占有率r:0.4
電極指8の幅寸法D:0.3892μm
この条件1は、フォトリソグラフィの解像度などについて、特に実際に弾性表面波素子を製造する上で困難なものではない。
一方、図5の伝搬損失特性についても、広い温度範囲に亘って小さいことが好ましいが、既述のように温度が高くなる程増加している。
そこで、本発明では、既述のように温度特性を補償するための補償膜20を水晶基板10上に形成している。各パラメータについては既に記載済みであるが、既述の従来例との比較のために、条件2として再度記載しておく。尚、この条件2における共振周波数は、従来例と同じ1987MHzである。
オイラー角:(0°,18.9°,0°)
周期長λ:1.945μm
電極指6の膜厚h1:0.0223λ(=43.4nm)
ライン占有率r:0.5
電極指8の幅寸法D:0.4862μm
補償膜20の膜厚寸法h2:0.007λ(=13.6nm)
オイラー角:(0°,19°,0°)
周期長λ:1.944μm
電極指6の膜厚h1:0.0161λ(=31.3nm)
ライン占有率r:0.5
電極指8の幅寸法D:0.4860μm
補償膜20の膜厚寸法h2:0.005λ(=9.7nm)
この構成について得られた特性を既述の図6及び図7に「本発明2」として表すと、既述の本発明1と同様に良好な特性が得られている。
オイラー角:(0°,19.452°,0°)
周期長λ:1.948μm
電極指6の膜厚h1:0.02136λ(=41.6nm)
ライン占有率r:0.3
補償膜20の膜厚寸法h2:0.0077λ(=15.0nm)
オイラー角:(0°,17.8°,0°)
周期長λ:1.948μm
電極指6の膜厚h1:0.0193λ(=37.6nm)
ライン占有率r:0.3
本発明の弾性表面波素子をVCOに組み込むことにより、GHz帯もの高い周波数域において、温度特性が安定で且つ、良好な位相雑音を持つデバイスの実現に寄与できる。
技術文献2:Y.Yamamoto,Proc.IEEE 1993 Ultrasonics Symposium, pp.95-103.
技術文献3:C.S. Lam, D.E. Holt, and K. Hashimoto, Proc. IEEE 1989 Ultrasonics Symposium, pp.275-279
技術文献4:M.Murota, T.Hirano, Y. Shimizu, C.S.Lam, and D.E. Holt, Proc. IEEE 1990 Ultrasonics Symposium, pp.497-500
技術文献5:Takahiro Sato, Yukio Ohkubo, and Hidenori Abe, "Propagation of Longitudinal Leaky Surface Waves under Periodic SiO2/Al Structure on Li2B4O7 Substrate", IEEE Trans. Ultrason. Ferroellect., Freq. Contr., Vol.46,pp.383-391, 1999
r ライン占有率
1 共振子
2 IDT電極
6 電極指
10 水晶基板
20 補償膜
Claims (8)
- オイラー角が(0°,17°〜22°,0°)の面上を弾性表面波が伝搬するように構成された水晶基板と、
この水晶基板上に配置され、弾性表面波が伝搬する方向と交差する方向に伸びる電極を当該伝搬方向に沿って互いに平行に複数本並べると共に、これら電極同士を互いに電気的に接続するようにバスバーを形成した、アルミニウムを主体として設けられた周期構造部と、
前記水晶基板の表面のうち前記周期構造部側の表面における少なくとも一部に形成され、温度特性を補償するための絶縁体からなる補償膜と、を備えたことを特徴とする弾性表面波素子。 - 前記補償膜は、前記水晶基板と前記周期構造部との間における当該水晶基板の表面、及び互いに隣接する前記電極間の領域における前記水晶基板の表面の少なくとも一方に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波素子。
- 前記補償膜は、前記電極の露出面及び互いに隣接する前記電極間の領域における前記水晶基板の表面を覆うように形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の弾性表面波素子。
- 弾性表面波の伝搬方向における前記電極の幅寸法をD、弾性表面波の伝搬方向における前記電極間の離間寸法をSとすると、前記幅寸法Dと前記離間寸法Sとの合計値に対する前記幅寸法Dの割合である前記電極のライン占有率は、0.5よりも小さいことを特徴とする請求項3に記載の弾性表面波素子。
- 前記補償膜の膜厚寸法は、前記電極の膜厚寸法よりも薄くなるように形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の弾性表面波素子。
- 前記電極は、前記水晶基板の表面において500MHz以上の周波数に対応する波長の弾性表面波が伝搬するように配置されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の弾性表面波素子。
- 請求項1ないし6のいずれか1つに記載の弾性表面波素子を備えたことを特徴とする発振器。
- 請求項1ないし6のいずれか一つに記載の弾性表面波素子を備えたことを特徴とする電子部品。
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