CN102067447A - 弹性边界波装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种弹性边界波装置，不设置用于施加大的静电电容的构造，而可实现通带外衰减量的扩大，可实现小型化。弹性边界波装置(1)在压电基板和电介质的界面设有电极构造，该电极构造构成梯型滤波电路，其中，将与设于压电基板(11)上的接地电位连接的多个接地焊盘(28～31)的至少两个接地焊盘通过设于电介质(12)上的接地连接导体(32)电连接，且将所有的接地焊盘(28～31)电连接。
Description
技术领域
本发明涉及在压电基板和电介质的界面形成有电极构造的弹性边界波装置，更详细而言，涉及构成梯(ラダ一)型电路构成的滤波器的弹性边界波装置。
背景技术
在手机的带通滤波器等中，强烈寻求通带外的衰减量大。目前，作为这种带通滤波器广泛使用弹性表面波滤波器装置。
图10是表示下记专利文献1中记载的弹性表面波滤波器装置的电路图。弹性表面波滤波器装置1001具有连结输入端子1002和输出端子1003的串联臂。在串联臂中，将串联臂谐振器1004～1006彼此串联连接。在串联臂上连接有多个并联臂。各并联臂具有并联臂谐振器1007。
在输入端子1002和串联臂谐振器1004之间、和串联臂谐振器1006和输出端子1003之间分别连接有电感L。另外，在各并联臂谐振器1007的端部也分别连接有电感L。这些电感L表示弹性表面波谐振器芯片、安装该芯片的封装之间的布线、及连接部分或接合线等产生的电感成分。
图10的电感Lp表示从封装上的连接焊盘直至安装弹性表面波滤波器装置1001的装置的接地电极即图10的接地电极1008、1009的电感成分。
在弹性表面波滤波器装置1001中，在最接近输入端子1002的并联臂的端部和最接近输出端子1003的并联臂的端部之间连接有电容装置1010。
通过将上述电感成分Lp减小至极小，且选择电感成分L的值为适宜的值，可以确保通带幅度，并且可以实现比通带更低域侧的衰减量的扩大。但是，在实际的弹性表面波滤波器装置中，通过制约布线的绕回等来减小电感成分Lp的值是非常困难的。因此，在专利文献1所记载的弹性表面波滤波器装置中，通过设置上述电容装置1010，可不减小电感成分Lp而实现通带外衰减量的扩大。
另一方面，代替弹性表面波滤波器装置，可实现更进一步的小型化，因此近年来弹性边界波滤波器装置备受关注。
专利文献1：(日本)特开2003-101384号公报
在专利文献1中记载的弹性表面波滤波器装置中，通过设置电容装置1010，可以实现通带外的衰减量的扩大，但是，这种构成在梯型滤波器的并联臂谐振器的接地侧端子上连接接合线那样的具有大的电感的构造的情况是有效的。
与之相对，在弹性边界波装置中，激励弹性边界波的电极构造被配置于压电体和电介质的界面，且埋设于弹性边界波装置芯片，因此不需要封装。因此，连接布线不具有大的电感成分。因此，通过利用专利文献1中记载的电感成分L及电容装置1010来扩大带域外衰减量的手法在弹性边界波装置中没有效果。
也有通过连接外部元件而设置电感及静电电容的方法，但这大幅损害弹性边界波装置的优点即小型化。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种弹性边界波装置，消除上述的现有技术的缺点，在具有梯型电路构成的弹性边界波装置中，可实现通带外衰减量的扩大，因此，对于小型化有利。
根据本发明，提供一种弹性边界波装置，其特征在于，具备：压电基板；形成于所述压电基板上的第一电介质；设于所述压电基板和所述第一电介质的界面的电极构造，该电极构造具有：在连结输入端和输出端的串联臂上彼此串联连接的多个串联臂谐振器、在连接于所述串联臂和接地电位之间的多个并联臂的每个上连接于串联臂和接地电位之间的并联臂谐振器、与连接于所述多个并联臂的各接地电位的一侧的端部分别连接的多个接地布线、与多个接地布线分别连接的多个接地焊盘，形成梯型滤波器，且具备：构成以介设于所述多个接地焊盘内的至少两个接地焊盘之间的方式配置的所述串联臂的信号布线、和将所述至少两个接地焊盘电连接的接地连接导体，所述信号布线和所述接地连接导体隔着所述第一电介质立体交叉，且所有的所述接地焊盘被电连接。
本发明的弹性边界波装置的某特定方面中，所述信号布线形成于所述压电基板上，所述接地连接导体形成于所述第一电介质上，经由贯通所述第一电介质的通孔导体与所述至少两个接地焊盘电连接，所述信号布线和所述接地连接导体隔着所述第一电介质立体交叉。该情况下，通过利用立体交叉，可以提高布线密度，实现弹性边界波装置的更小型化。
本发明的弹性边界波装置的其它特定方面中，所述接地连接导体与所有的所述接地焊盘电连接。该情况下，通过接地连接导体将所有的接地焊盘电连接，可靠地实现接地的强化。另外，在通过接地连接导体将所有的接地焊盘电连接的构成中，未必需要在压电基板上另外电连接接地焊盘彼此的接地布线，因此，也可以实现压电基板上的电极构造的简化。
本发明的弹性边界波装置的另外其它特定方面中，所述接地连接导体和所述接地布线具有隔着所述第一电介质相面对的部分，在该相面对的部分形成有静电电容。该情况下，由于接地连接导体通过电容与接地电位耦合，因此，可以更进一步地强化接地。
本发明的弹性边界波装置的另外其它特定方面中，所述信号布线的局部形成于所述第一电介质上，经由贯通所述第一电介质的通孔导体与所述信号布线的其它部分电连接，所述接地连接导体形成于所述压电基板上，所述信号布线的局部和所述接地连接导体隔着所述第一电介质立体交叉。
本发明的弹性边界波装置的另外其它特定方面中，所述梯形滤波器具有配置于输入端侧的第一滤波电路部和配置于输出端侧的第二滤波电路部，第一、第二滤波电路部分别具有与串联臂连接的至少一个串联臂谐振器、和配置于至少一个并联臂的至少一个并联臂谐振器，与所述第一滤波电路部和所述第二滤波电路部的接地电位连接的一侧的端部彼此通过所述接地连接导体电连接。该情况下，能够更可靠地强化弹性边界波装置的接地。
本发明的弹性边界波装置的另外其它特定方面中，以使所述接地焊盘露出的方式在所述第一电介质上形成贯通孔，在该贯通孔的内周面形成有所述通孔导体，且还具备充填于该贯通孔内的下部补片金属层和设于该下部补片金属层上的金属补片。该情况下，利用金属补片，并通过倒装片接合法等可以将弹性边界波装置容易地表面安装于电路基板等上。
本发明的弹性边界波装置的另外其它特定方面中，还具备形成于所述第一电介质上的所述接地连接导体或以覆盖所述信号布线的局部的方式设置的吸音树脂层。利用吸音树脂，能够更可靠地吸收向电介质表面泄漏的波，由此可以实现衰减特性的改善。
本发明的弹性边界波装置的再其它特定方面中，还具备形成于所述第一电介质上的所述接地连接导体或以覆盖所述信号布线的局部的方式设置的的第二电介质。
本发明的弹性边界波装置的再其它特定方面中，还具备所述第一电介质、和在形成于所述第一电介质上的所述接地连接导体或所述信号布线的局部之间设置的第二电介质。
本发明的弹性边界波装置中，由于通过设于电介质上或压电基板上的接地连接导体将所有的接地焊盘电连接，因此，与对每个接地焊盘与接地电位连接的构成相比，可以强化接地。即，使在接地电位流过的电流的路径增加，强化接地。因此，可以实现通带外衰减量的扩大。
根据本发明，由于通过设于所述电介质上或压电基板上的接地连接导体实现接地的强化，因此，通过连接外部素子，不需要设置电感及静电电容。因此，可以不损害小型化而实现带域外衰减量的扩大。
附图说明
图1(a)是本发明第一实施方式的弹性边界波装置的示意性俯视图，(b)是示意性正面剖面图，(c)是将其主要部分放大表示的局部切口正面剖面图。
图2是本发明第一实施方式的弹性边界波装置的俯视图。
图3是表示构成串联臂谐振器或并联臂谐振器的1端口型弹性边界波谐振器的电极构造的示意性图。
图4是第一实施方式的弹性边界波装置的电路图。
图5是为与第一实施方式进行比较而准备的第一比较例的弹性边界波装置的示意性俯视图。
图6是图5所示的第一比较例的弹性边界波装置的电路图。
图7是表示第一实施方式及第一比较例的弹性边界波装置的衰减量频率特性的图。
图8是第二实施方式的弹性边界波装置的示意性俯视图。
图9是表示第一实施方式及第二实施方式的弹性边界波装置的衰减量频率特性的图。
图10是现有的弹性表面波滤波器装置的电路图。
图11是本发明第三实施方式的弹性边界波装置的示意性正面剖面图。
图12是本发明第四实施方式的弹性边界波装置的示意性正面剖面图。
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的具体实施方式，由此明了本发明。
图1(a)是用于说明本发明第一实施方式的弹性边界波滤波器装置的主要部分的示意性俯视图，(b)是该弹性边界波装置的概略局部正面剖面图，(c)是将(b)的主要部分放大表示的局部切开正面剖面图。
图2是本实施方式的弹性边界波装置的俯视图。
如图2所示，弹性边界波装置1具有矩形的平面形状。在弹性边界波装置1的上表面配置有金属补片(バンプ)2～7。使用该金属补片2～7，通过倒装片接合法可将弹性边界波装置1表面安装于印刷电路板等上。
如图1(b)所示，弹性边界波装置1具有压电基板11。压电基板11在本实施方式中LiNbO3基板构成。压电基板11由LiNbO3、LiTaO3或水晶等压电单晶构成。压电基板11也可以由压电陶瓷等压电单晶以外的压电材料形成。
在压电基板11的上表面层叠有电介质12。在本实施方式中，电介质12由厚度6μm的SiO2膜构成。不过，电介质12不限于SiO2，也可以通过SiN等其它电介质陶瓷等无机系电介质材料、或合成树脂等有机系电介质材料等适宜的电介质材料形成。
在压电基板11和电介质12的界面形成有电极构造13。利用该电极构造13构成后述的梯型的滤波电路。
另外，图1(b)是沿着图1(a)的Z-Z线的局部概略剖面图。实际上电极构造13不在该剖面表现，但为了便于理解，在图1(b)中图示电极构造13。
电极构造13由Au、Pt、Al或Cu等金属或以它们为主体的合金等金属形成。用于形成电极构造13的电极膜也可以是层叠了多层金属膜的电极膜。
以覆盖上述电介质12的方式形成有吸音树脂层14。吸音树脂层14用于吸收传输到电介质12的上表面侧的波而设置。作为这种吸音树脂，例如可使用聚酰亚胺(ポリイミド)等适宜的材料。
在电介质12上形成有多个贯通孔12a。在设有该贯通孔12a的部分配置有上述的金属补片2～7中的任一个金属补片。图1(a)是在上述弹性边界波装置1中去除电介质12及吸音树脂层14等表示电极构造13的示意性俯视图。
形成于压电基板11上的电极构造13构成具有串联臂谐振器S1～S6和并联臂谐振器P1～P4的梯型的滤波电路。图4是表示该梯型的滤波电路的电路图。另外，串联臂谐振器S1～S6及并联臂谐振器P1～P4均由1端口型弹性边界波谐振器构成。图3示意性表示1端口型弹性边界波谐振器的电极构造。如图3所示，1端口型弹性边界波谐振器8具有IDT电极9、配置于IDT电极9的弹性边界波传输方向两侧的反射器10a、10b。IDT电极9由具有彼此间插合的多个电极指的一对梳齿电极构成。
另外，图1(a)中，为图示容易而省略上述1端口型弹性边界波谐振器的电极构造。即，图1(a)中，设有串联臂谐振器S1～S6及并联臂谐振器P1～P4的部分由矩形框中记有×的方框概略图示。
如图4所示，在本实施方式中构成的梯型电路中，在连结输入端子21和输出端子22的串联臂上彼此串联地连接有串联臂谐振器S1～S6。串联臂和接地电位之间连接有多个并联臂。即，分别具有并联臂谐振器P1～P4的多个并联臂连结于串联臂和接地电位之间。
上述电极构造13具有：将这些串联臂谐振器S1～S6彼此电连接的信号布线23、为将各并联臂谐振器P1～P4与接地电位连接而一端连接于各并联臂谐振器P1～P4的接地布线24～27、与接地布线24～27的另一端即接地电位侧端部分别电连接的接地焊盘28～31。另外，电极构造13还具有与上述信号布线23电连接的电极焊盘即输入端子21及与输出侧连接的电极焊盘即输出端子22。
图1(a)中，由点划线示意性表示形成上述的金属补片2～7的位置。金属补片2及7是分别与上述输入端子21及输出端子22连接的金属补片。另一方面，金属补片3、4、5、6是分别形成于接地焊盘28～31上，与接地焊盘28～31电连接的金属补片。在此，在接地焊盘28、29和接地焊盘30、31之间，介设有将输入端子21和输出端子22连结的串联臂。当将压电基板11小型化时，各谐振器及接地焊盘的配置受限制，这样，有时不得不在至少两个接地焊盘之间介设串联臂。
本实施方式的特征在于，即使在至少两个接地焊盘之间介设串联臂，如图4所示，也可以将所有的接地焊盘28～31电连接，由此，实现接地的强化。对其进行更具体说明。
图1(a)中虚线所示的是设于上述的电介质12的上表面的接地连接导体32。通过该接地连接导体32将接地焊盘28～31共通连接，实现接地的强化。接地连接导体32由Ag、Al或Cu等金属或以它们为主体的合金等适宜的金属构成。
图1(c)是示意性表示形成有接地焊盘31的部分的剖面图。接地焊盘31通过接地布线27与形成有并联臂谐振器P4的IDT电极电连接。以使接地焊盘31露出的方式在电介质12上形成有贯通孔12a。以覆盖该贯通孔12a的内周面的方式形成有通孔(ビアホ一ル)导体33。通孔导体33的下端到达接地焊盘31的上表面，与接地焊盘31电连接。通孔导体33的上端与接地连接导体32连接。在本实施方式中，通孔导体33使用与接地连接导体32相同的材料以相同的工序形成。不过，通孔导体33和接地连接导体32也可以由不同的材料分体形成。
上述通孔导体33及接地连接导体32的形成可通过蒸镀、溅射等适宜的方法进行。
另外，图1(c)中，在由上述通孔导体33包围的部分形成有下部补片金属(アンダ一·バンプ·メタル)层34，在该下部补片金属层34上形成有金属补片6。
对接地焊盘31和接地连接导体32的电连接构造进行说明，也与其它接地焊盘28～30相同，在设于电介质12的贯通孔12a露出，通过同样的通孔导体33和接地连接导体32的电连接构造，彼此电连接。
即，在本实施方式中，所有的接地焊盘28～31通过上述多个通孔导体33和接地连接导体32电连接。因此，如图4，与相当于接地焊盘28～31的各并联臂谐振器P1～P4的接地电位连接的一侧的端部通过各种路径与接地电位连接，由此实现接地的强化。由此，如后述，可以实现通带外的衰减量的扩大。
另外，在本实施方式中，信号布线23在图1(a)中箭头A所示的部分隔着电介质12与上述接地连接导体32立体交叉。因此，即使接地焊盘28、29和接地焊盘30、31通过串联臂在压电基板11上被分断，弹性边界波装置1的平面形状也不会大型化，由于可以将所有的接地焊盘28～31电连接，所以可以实现接地强化。另外，如本实施方式，使接地连接导体32不与IDT电极而与信号布线23的局部立体交叉，这样滤波器特性不会变化，所以优选。
另外，在本实施方式中，接地连接导体32与所有的接地焊盘28～31电连接，接地连接导体32和接地布线25、26具有隔着电介质12而相面对的部分即相面对部B。因此，形成图4所示的静电电容35、36。通过形成该静电电容35、36，与接地电位连接的路径进一步增加，因此，可以实现更进一步的接地强化，能够改善带域外衰减特性。
另外，在本实施方式中，如图1(a)所示，利用设于电介质12上的接地连接导体32将所有的接地焊盘28～31共通地连接，但接地焊盘28及接地焊盘29也可以通过设于压电基板上的接地连接导体电连接。另外，接地焊盘30及接地焊盘31也可以通过设于压电基板上的接地连接导体电连接。即，只要将所有的接地焊盘28～31电连接即可，没有必要使所有的接地焊盘28～31通过设于上述电介质12上的接地连接导体32而电连接。
因此，多个接地焊盘内的至少两个接地焊盘只要通过两个通孔导体33及一个接地连接导体32电连接即可。
如图4所示，在串联臂上连接有串联臂谐振器S1～S6，且在四个并联臂上分别连接有并联臂谐振器P1～P4。该情况下，将输入端子21侧设为第一滤波电路部C、将输出端子22侧设为第二滤波电路部D。第一滤波电路部C为具有串联臂谐振器S1～S3和并联臂谐振器P1、P2的部分，第二滤波电路部D为具有串联臂谐振器S4～S6和并联臂谐振器P3、P4的部分。而且，通过上述接地连接导体32，实现第一、第二滤波电路部C、D的接地侧端部的电连接。
不过，应用本发明的梯型电路构成不限于图4所示，也可以在串联臂上配置多个串联臂谐振器，在多个并联臂的每个上，在配置有至少一个并联臂谐振器的适宜的梯型滤波器中应用本发明。
其次，基于与现有例对比的试验例，明了本实施方式的效果。
为进行比较，作为第一比较例，准备图6所示的电路构成的梯型滤波器。如比较图4和图6所明了，在该第一比较例的梯型电路中，第二并联臂谐振器P2的接地侧端部和第三并联臂谐振器P3的接地侧端部未电连接。即，上述的第一滤波电路部和第二滤波电路部的接地侧端部彼此未电连接。其它构成与图4相同，所以标注该参照标号。
图5是具有图6的电路构成的第一比较例的弹性边界波装置的示意性俯视图，是相当于对上述实施方式表示的图1(a)的图。在此，不设置设于电介质12上的接地连接导体32；利用形成于压电基板11的接地连接导体51a将接地焊盘28和接地焊盘29电连接，利用形成于压电基板11上的接地连接导体51b将接地焊盘30和接地焊盘31电连接，除此之外，与上述实施方式相同。
图7是表示第一实施方式及第一比较例的各弹性边界波装置的衰减量频率特性的图。
图7中，实线表示第一实施方式的结果，虚线表示第一比较例的结果。如图7所表明，与第一比较例相比，根据第一实施方式，得知可大幅改善通带外的衰减量、特别是通带低域侧的衰减量。这认为是如下引起的，如上所述，由于与所有的接地焊盘28～31连接的端部通过包含上述接地连接导体32的电连接构造电连接，因此，通过强化接地、以及施加上述静电电容35、36，对接地进行强化。
因此，根据第一实施方式，即使不形成大的电感及静电电容，也能够大幅扩大通带外衰减量。
图8是第二实施方式的弹性边界波装置的示意性俯视图，是相当于对第一实施方式表示的图1(a)的图。在此，不设置设于上述电介质12上的接地连接导体32，而通过形成于压电基板11上的电极图案将所有的接地焊盘28～31电连接。即，接地焊盘28～31通过形成于压电基板11上的接地连接导体41a～41c电连接。而且，使将串联臂谐振器S3和串联臂谐振器S4连接的信号布线42与上述接地连接导体41b立体交叉。即，信号布线42与上述的接地连接导体32相同，为形成于电介质12上的导体。图8中，利用电介质12的设于箭头J、K所示的斜线部分的贯通孔及通孔导体将串联臂谐振器S3、S4和信号布线42电连接。这样，只要将所有的接地焊盘28～31电连接，则用于实线电连接的布线即可以完全形成于压电基板11的上表面。因此，第二实施方式中，不设置图1(a)所示的箭头B所示的相面对部。即，第一实施方式中，形成隔着上述电介质12使接地连接导体32的局部与下方的接地布线相面对的相面对部B。与之相对，在图8所示的第二实施方式中，不具有上述相面对部B，接地布线25和接地连接导体41a在压电基板上相面对。另外，接地布线26和接地连接导体41c在压电基板上相面对。关于其它方面，第二实施方式也与第一实施方式相同。
图9是表示第一实施方式及第二实施方式的衰减量频率特性的图，实线表示第一实施方式的结果，虚线表示第二实施方式的结果。第二实施方式中，与第一实施方式相比，通带低域侧的衰减特性变差。这是因为接地布线接地连接布线只在压电基板上相面对，而没有隔着电介质12相面对的相面对部B。即，第一实施方式中，通过设置相面对部B，容量附加带来的效果增大，由此，实现接地的进一步的强化，通带外衰减特性得以改善。不过，在第二实施方式中，相比上述的第一比较例，也可以大幅改善通带外衰减量。
另外，要将第二实施方式的通带外衰减量设为与上述实施方式相同，必须施加与上述相面对部B产生的静电电容相当的静电电容。更具体而言，考虑只要在与设于压电基板上的多个并联臂谐振器的接地侧端部连接的接地布线间、例如接地布线25、26和接地布线24、27之间分别施加0.05pF的静电电容即可。但是，这种构成中，必须使0.05pF的静电电容的电容器在压电基板上以梳齿电极图案形成，这导致弹性边界波装置的大型化。另外，在使用外置的电容器元件的情况下，零件数量增大。因此，相比第二实施方式，第一实施方式在通带外特性及小型化这两方面有利。
另外，在第一实施方式中，示例了具有以覆盖由SiO2膜构成的电介质12的方式形成吸音树脂层14的膜构造的弹性边界波装置1，但本发明的弹性边界波装置1的膜构造不限于此。例如图11是本发明第三实施方式的弹性边界波装置的概略局部正面剖面图，但也可以为第三实施方式那样的膜构造。即，第三实施方式中，在相比第一实施方式减薄膜厚的电介质12上形成有由SiN构成的第二电介质61。关于其它方面，第三实施方式与第一实施方式相同。
这样，通过在电介质12上设置由传输的横波的音速比在SiO2传输的横波的音速快的SiN那样的材料构成的第二电介质61，可以有效地封闭弹性边界波的振动能。另外，第三实施方式中，相比第一实施方式，电介质12薄，因此，由隔着电介质12使接地连接导体32的局部与下方的接地布线相面对的相面对部B形成的静电电容增大，进而可改善带域外衰减特性。另外，在此，在第二电介质61上设有吸音树脂层14，但吸音树脂层14未必是必须的。
另外，图12是本发明第四实施方式的弹性边界波装置的概略局部正面剖面图，但本发明的弹性边界波装置1的膜构造也可以为第四实施方式那样的膜构造。即，第四实施方式中，在相比第一实施方式减薄膜厚的电介质12和接地连接导体32之间介设有由SiN构成的第二电介质62。关于其它方面，第四实施方式与第一实施方式相同。另外，该情况下，吸音树脂层14未必是必须的。第四实施方式中，也与第一实施方式相同，可改善带域外衰减特性。
另外，第三实施方式及第四实施方式中，与第一实施方式相同，在膜上设有接地连接导体32，但也可以与第二实施方式相同，在膜上设置信号布线42。
符号说明
1…弹性边界波装置
2～7…金属补片
8…1端口型弹性边界波谐振器
9…IDT电极
10a、10b…反射器
11…压电基板
12…电介质
12a…贯通孔
13…电极构造
14…吸音树脂层
21…输入端子
22…输出端子
23…信号布线
24～27…接地布线
28～31…接地焊盘
32…接地连接导体
33…通孔导体
34…下部补片金属层
35，36…静电电容
41a～41c…接地连接导体
42…信号布线
51a、51b…接地连接导体
61、62…第二电介质
P1～P4…并联臂谐振器
S1～S6…串联臂谐振器
Claims (10)
1.一种弹性边界波装置，其特征在于，
具备：
压电基板；
形成于所述压电基板上的第一电介质；
设于所述压电基板和所述第一电介质的界面的电极构造，该电极构造具有：在连结输入端和输出端的串联臂上彼此串联连接的多个串联臂谐振器、在连接于所述串联臂和接地电位之间的多个并联臂的每个上连接于串联臂和接地电位之间的并联臂谐振器、与连接于所述多个并联臂的各接地电位的一侧的端部分别连接的多个接地布线、与多个接地布线分别连接的多个接地焊盘，形成梯型滤波器，
且具备：
信号布线，其构成以介设于所述多个接地焊盘内的至少两个接地焊盘之间的方式配置的所述串联臂；以及
接地连接导体，其将所述至少两个接地焊盘电连接，
所述信号布线和所述接地连接导体隔着所述第一电介质立体交叉，
且所有的所述接地焊盘被电连接。
2.如权利要求1所述的弹性边界波装置，其特征在于，
所述信号布线形成于所述压电基板上，
所述接地连接导体形成于所述第一电介质上，经由贯通所述第一电介质的通孔导体与所述至少两个接地焊盘电连接，
所述信号布线和所述接地连接导体隔着所述第一电介质立体交叉。
3.如权利要求1或2所述的弹性边界波装置，其特征在于，
所述接地连接导体与所有的所述接地焊盘电连接。
4.如权利要求1～3中任一项所述的弹性边界波装置，其特征在于，
所述接地连接导体和所述接地布线具有隔着所述第一电介质相面对的部分，在该相面对的部分形成有静电电容。
5.如权利要求1所述的弹性边界波装置，其特征在于，
所述信号布线的一部分形成于所述第一电介质上，经由贯通所述第一电介质的通孔导体与所述信号布线的其它部分电连接，
所述接地连接导体形成于所述压电基板上，
所述信号布线的一部分和所述接地连接导体隔着所述第一电介质立体交叉。
6.如权利要求1～5中任一项所述的弹性边界波装置，其特征在于，
所述梯形滤波器具有配置于输入端侧的第一滤波电路部和配置于输出端侧的第二滤波电路部，第一、第二滤波电路部分别具有：与串联臂连接的至少一个串联臂谐振器、以及配置于至少一个并联臂的至少一个并联臂谐振器，与所述第一滤波电路部和所述第二滤波电路部的接地电位连接的一侧的端部彼此通过所述接地连接导体电连接。
7.如权利要求1～6中任一项所述的弹性边界波装置，其特征在于，
以使所述接地焊盘露出的方式在所述第一电介质上形成贯通孔，在该贯通孔的内周面形成有所述通孔导体，且还具备充填于该贯通孔内的下部补片金属层和设于该下部补片金属层上的金属补片。
8.如权利要求1～7中任一项所述的弹性边界波装置，其特征在于，
还具备：以覆盖形成于所述第一电介质上的所述接地连接导体或所述信号布线的一部分的方式设置的吸音树脂层。
9.如权利要求1～7中任一项所述的弹性边界波装置，其特征在于，
还具备：以覆盖形成于所述第一电介质上的所述接地连接导体或所述信号布线的一部分的方式设置的第二电介质。
10.如权利要求1～7中任一项所述的弹性边界波装置，其特征在于，
还具备：在所述第一电介质与形成于所述第一电介质上的所述接地连接导体或所述信号布线的一部分之间设置的第二电介质。
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