CN101361267B - 弹性表面波装置和弹性边界波装置 - Google Patents

弹性表面波装置和弹性边界波装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种能降低电容耦合的弹性表面波装置和弹性边界波装置。压电基板(12)和封盖(32)通过支撑层(30)设置间隔而耦合。在压电基板(12)的与封盖(32)相对的主面(14)，在支撑层(30)的内侧形成发送侧弹性表面波滤波器和接收侧弹性表面波滤波器。在关于封盖(32)而与压电基板(12)相反一侧形成包含电连接在发送侧弹性表面波滤波器和接收侧弹性表面波滤波器上的天线端子、电连接在发送侧弹性表面波滤波器上的发送输入端子、电连接在接收侧弹性表面波滤波器上接收输出端子的外部电极(28)。对接收侧弹性表面波滤波器和天线端子进行电连接的布线的一部分设置在封盖(32)上。

Description

弹性表面波装置和弹性边界波装置
技术领域
本发明涉及弹性表面波装置和弹性边界波装置。
背景技术
近年，关于弹性表面波滤波器等弹性表面波装置或弹性边界波滤波器等弹性边界波装置，把封装小型化到元件芯片尺寸的晶片级芯片尺寸封装(WLCSP)的开发在进行。
例如在图13所示的弹性表面波装置中，相对配置形成包含IDT(梳形电极)2、反射器3、焊盘4的导电图案的压电基板1和设置外部电极8的树脂基板8，用光硬化性树脂6a、6b接合密封，并电连接焊盘4和外部电极8之间地构成(例如，参照专利文献1)。
专利文献1：特开2003-37471号公报
如果如此在弹性表面波装置或弹性边界波装置应用由封罩覆封盖压电基板的构造，有时电容耦合增大。采用晶片级芯片尺寸封装(WLCSP)构造，进行小型化时，电容耦合的增大加剧。如果电容耦合增大，与隔离特性、VSWR的恶化关联。
本发明鉴于有关的实情，要提供能减少信号线彼此间的电容耦合的弹性表面波装置和弹性边界波装置。
发明内容
本发明为了解决所述的课题，提供按照以下方式构成的弹性表面波装置。
弹性表面波装置中，压电基板和封盖隔着支撑层设置间隔而耦合，在所述压电基板的与所述封盖相面对的主面，在所述支撑层的内侧形成发送侧弹性表面波滤波器和接收侧弹性表面波滤波器，在关于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部电极，该外部电极，包含与所述发送侧弹性表面波滤波器和所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性表面波滤波器电连接的发送输入端子、以及与所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的接收输出端子，电连接所述接收侧弹性表面波滤波器和所述天线端子的布线包含：(a)形成在所述压电基板上的压电基板布线、(b)设置在所述封盖的上表面或下表面的覆布布线、(c)贯通所述支撑层的一端和所述封盖连接所述压电基板布线和所述覆布布线的一端的贯通布线。
根据所述结构，利用覆布布线和贯通布线，缩短或隔开对接收侧弹性表面波滤波器和天线端子进行电连接的布线中设置在压电基板上的压电基板布线，能降低信号线彼此间的电容耦合。
优选为，所述接收侧弹性表面波滤波器是包含输入不平衡信号的一个不平衡信号端子、输出平衡信号的一对平衡信号端子的平衡型弹性表面波滤波器。所述天线端子电连接在所述不平衡信号端子上。所述接收输出端子电连接在所述平衡信号端子上。
根据所述结构，能取得平衡特性良好的平衡型弹性表面波装置。
另外，接收输出端子是分别连接在平衡型滤波器的平衡信号端子上的一对外部电极。
此外，本发明为了解决所述课题，提供按以下那样构成的弹性表面波装置。
弹性表面波装置中，压电基板和封盖隔着支撑层设置间隔而耦合，在所述压电基板的与所述封盖相面对的主面，在所述支撑层的内侧形成发送侧弹性表面波滤波器和接收侧弹性表面波滤波器，在关于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部电极，该外部电极包含：与所述发送侧弹性表面波滤波器和所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性表面波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的接收输出端子，所述发送侧弹性表面波滤波器包含串联连接的多个弹性表面波共振子。对彼此相邻并串联连接的至少1组的所述弹性表面波共振子之间进行电连接的布线包含：(a)设置在所述封盖的上表面或下表面的至少一个覆布布线、(b)至少贯通所述支撑层连接该至少一个覆布布线、所述彼此相邻串联的至少1组的所述弹性表面波共振子的一方和另一方的至少1组贯通布线。
根据所述结构，通过覆布布线和贯通布线，消除或缩短或隔开对接发送侧弹性表面波滤波器的彼此相邻串联的至少1组的所述弹性表面波共振子之间进行电连接的布线中设置在压电基板上的布线，能降低信号线彼此间的电容耦合。
此外，本发明为了解决所述课题，提供按以下那样构成的弹性表面波装置。
弹性表面波装置中，压电基板和封盖隔着支撑层设置间隔而耦合，在所述压电基板的与所述封盖相面对的主面，在所述支撑层的内侧形成发送侧弹性表面波滤波器和接收侧弹性表面波滤波器；在关于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部电极。该外部电极包含与所述发送侧弹性表面波滤波器和所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性表面波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的接收输出端子。所述接收侧弹性表面波滤波器包含串联连接的多个弹性表面波共振子。对彼此相邻并串联连接的至少1组的所述弹性表面波共振子之间进行电连接的布线包含：(a)设置在所述封盖的上表面或下表面的至少一个覆布布线、(b)至少贯通所述支撑层连接该至少一个覆布布线、所述彼此相邻串联的至少1组的所述弹性表面波共振子的一方和另一方的至少1组贯通布线。
根据所述结构，能够消除或缩短或隔开对接收侧弹性表面波滤波器的彼此相邻串联的至少1组的所述弹性表面波共振子之间进行电连接的布线中设置在压电基板上的布线，能降低信号线彼此间的电容耦合。
另外，接收侧弹性表面波滤波器的彼此相邻串联的至少1组的多个弹性表面波共振子是IDT为3个的纵耦合共振子型弹性表面波滤波器、IDT为1个的弹性表面波共振子。
此外，本发明为了解决所述课题，提供按以下那样构成的弹性表面波装置。
弹性表面波装置中，压电基板和封盖隔着支撑层设置间隔而耦合，在所述压电基板的与所述封盖相面对的主面，在所述支撑层的内侧形成弹性表面波滤波器，在关于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部端子，所述外部端子包含与所述弹性表面波滤波器电连接的输入端子和输出端子。所述弹性表面波滤波器包含串联连接的多个弹性表面波元件。对彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性表面波元件之间进行电连接的布线，包含：(a)设置在所述封盖的上表面或下表面的至少一个覆布布线、(b)至少贯通所述支撑层连接该至少一个覆布布线、所述彼此相邻串联的至少1组的所述弹性表面波元件的一方和另一方的至少1组贯通布线。
根据所述结构，能减少信号布线彼此间的电容耦合。
优选为，在所述各结构中，从垂直于所述压电基板的所述主面的方向观察时，在比所述压电基板的周围部更靠近内侧配置所述封盖；还具有固强树脂，所述固强树脂从所述封盖的与所述压电基板相反一侧的所述主面到所述压电基板的所述主面的所述周围部为止全体地进行覆盖。
根据所述结构，通过所述固强树脂，能密封接收侧弹性表面波滤波器和发送侧弹性表面波滤波器，所以能取得充分的耐湿性。据此，在电路板安装弹性表面波装置后没必要用树脂对封盖进行覆盖。
优选为，所述覆布布线由电镀形成。
此外，本发明为了解决所述课题，提供按以下那样构成的弹性边界波装置。
弹性边界波装置中，压电基板和封盖隔着支撑层而耦合；在所述压电基板和所述支撑层的界面形成发送侧弹性边界波滤波器和接收侧弹性边界波滤波器；在关于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部电极，所述外部电极包含与所述发送侧弹性边界波滤波器和所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性边界波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的接收输出端子，对所述接收侧弹性边界波滤波器和所述天线端子进行电连接的布线，包含：(a)形成在所述压电基板上的压电基板布线、(b)设置在所述支撑层的上表面的支撑层布线、(c)贯通所述支撑层连接所述压电基板布线的一端和所述支撑层布线的一端的贯通布线。
根据所述结构，通过覆布布线和贯通布线，能够缩短或隔开对接收侧弹性边界波滤波器和天线端子进行电连接的布线中设置在压电基板上的压电基板布线，能降低信号线彼此间的电容耦合。
优选为，所述接收侧弹性边界波滤波器是包含输入不平衡信号的一个不平衡信号端子、输出平衡信号的一对平衡信号端子的平衡型弹性边界波滤波器。所述天线端子电连接在所述不平衡信号端子上。所述接收输出端子电连接在所述平衡信号端子上。
根据所述结构，能取得平衡特性良好的平衡型弹性边界波装置。
另外，接收输出端子是分别连接在平衡型滤波器的平衡信号端子上的一对外部电极。
此外，本发明为了解决所述课题，提供按以下那样构成的弹性边界波装置。
弹性边界波装置中，压电基板和封盖隔着支撑层而耦合，在所述压电基板和所述支撑层的界面形成发送侧弹性边界波滤波器和接收侧弹性边界波滤波器，在关于所述封盖而与所述压电基板相反一侧形成外部电极，所述外部电极包含：与所述发送侧弹性边界波滤波器和所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性边界波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的接收输出端子，所述接收侧弹性边界波滤波器包含串联连接的多个弹性边界波共振子，对彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性边界波共振子之间进行电连接的布线包含：(a)设置在所述支撑层的上表面的至少1个支撑布线层、(b)至少贯通所述支撑层连接该至少1个支撑布线层、所述彼此相邻串联的至少1组所述弹性边界波共振子的一方和另一方的至少1组贯通布线。
根据所述结构，通过覆布布线和贯通布线，能够消除或缩短或隔开对发送侧弹性边界波滤波器的彼此相邻串联的至少1组弹性边界波共振子之间进行电连接的布线中设置在压电基板上的布线，能降低信号线彼此间的电容耦合。
此外，本发明为了解决所述课题，提供按以下那样构成的弹性边界波装置。
弹性边界波装置中，压电基板和封盖隔着支撑层而耦合；在所述压电基板和所述支撑层的界面形成发送侧弹性边界波滤波器和接收侧弹性边界波滤波器；在关于所述封盖而与所述压电基板相反一侧形成外部电极，所述外部电极包含与所述发送侧弹性边界波滤波器和所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性边界波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的接收输出端子。所述发送侧弹性边界波滤波器包含串联连接的多个弹性边界波共振子；对彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性边界波共振子之间进行电连接的布线，包含：(a)设置在所述支撑层的上表面的至少1个支撑布线层、(b)至少贯通所述支撑层连接该至少1个支撑布线层、所述彼此相邻串联的至少1组所述弹性边界波共振子的一方和另一方的至少1组贯通布线。
根据所述结构，能够消除或缩短或隔开对接收侧弹性边界波滤波器的彼此相邻串联的至少1组弹性边界波共振子之间进行电连接的布线中设置在压电基板上的布线，能降低信号线彼此间的电容耦合。
另外，接收侧弹性边界波滤波器的彼此相邻串联的至少1组的多个弹性边界波共振子是IDT为3个的纵耦合共振子型弹性边界波滤波器、IDT为1个的弹性边界波共振子。
此外，本发明为了解决所述课题，提供按以下那样构成的弹性边界波装置。
弹性边界波装置中，压电基板和封盖隔着支撑层而耦合，在所述压电基板和所述支撑层的界面形成弹性边界波滤波器，在关于所述封盖而与所述压电基板相反一侧形成包含与所述弹性边界波滤波器电连接的输入端子和输出端子的外部端子，所述弹性边界波滤波器包含串联的多个弹性边界波元件；对彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性边界波元件之间进行电连接的布线，包含：(a)设置在所述支撑层的上表面至少一个支撑层布线、(b)至少贯通所述支撑层连接该至少一个支撑层布线、所述彼此相邻串联的至少1组的所述弹性边界波元件的一方和另一方的至少1组贯通布线。
根据所述结构，能减少信号布线彼此间的电容耦合。
所述支撑层布线由电镀形成。
根据本发明，能降低弹性表面波装置或弹性边界波装置的信号布线彼此的电容耦合。
附图说明
图1是弹性表面波装置的剖面图。(实施例1)
图2是压电基板上的导电图案结构图。(实施例1)
图3是弹性表面波装置的俯视图。(实施例1)
图4是压电基板上的导电图案结构图。(比较例)
图5是弹性表面波装置的俯视图。(比较例)
图6是表示隔离特性的曲线图。(实施例1、比较例)
图7是压电基板上的导电图案结构图。(实施例3)
图8是压电基板上的导电图案结构图。(实施例4)
图9是压电基板上的导电图案结构图。(实施例5)
图10是弹性表面波装置的俯视图。(实施例5)
图11是弹性表面波装置的剖面图。(实施例5)
图12是弹性边界波装置的剖面。(实施例6)
图13是弹性表面波装置的剖面。(以往技术)。
图中：
10、10x、10y、10z-弹性表面波装置；12-压电基板；24、24x、24y、24z-贯通布线；25v、25x、25y、25z-覆布布线；28、28a～28h-外部电极；30-支撑层；32-封封盖；50-接收侧弹性表面波滤波器；60-发送侧弹性表面波滤波器；70-接收侧弹性表面波滤波器；80-弹性表面波滤波器；500-弹性边界波装置；510-压电基板；525-贯通布线；526-支撑层布线；530-支撑层；540-封盖。
具体实施方式
以下，参照图1～图12，说明本发明的实施形态。
首先，参照图1～图11说明弹性表面波装置的实施例1～5。
<实施例1>参照图1～图6，说明实施例1的弹性表面波装置10。
如图1的剖面图所示，弹性表面波装置10在压电基板12的一方的主面即上表面14形成包含IDT22和焊盘23的导电图案20。在上表面14上，隔着支撑层30设置间隔，而相面对地配置封盖32，在IDT22的周围形成振动空间16。即在支撑层30的内侧配置IDT22，压电基板12在与振动空间16相邻的部分自由传播弹性表面波。支撑层30形成于比压电基板12的上表面14的周部15更靠近内侧。
此外，固强树脂36，全体地覆封盖从封盖32的上表面33到压电基板12的上表面14的周部15。外部电极28从固强树脂36露出，能在电仪器等的电路板上安装弹性表面波装置10。
在封盖32和固强树脂36中形成通孔，连接焊盘23和外部电极28的导电图案24、26通过。导电图案24、26由在封盖32的上表面33形成的导电图案25连接，或者未图示，但是直接连接。导电图案24、25、26由电镀形成。
固强树脂36沿着弹性表面波装置10的压电基板12的上表面14的外缘，跨全周延伸，对压电基板12的上表面14一侧进行密封。据此，振动空间16被密封，而与外界遮断。
弹性表面波装置10在集合基板的状态下能同时制造多个。例如，在LiTaO3或LiNbO3的压电基板12的晶片(集合基板)的上表面14，通过金属膜的蒸镀，形成导电图案20后，使用感光性树脂形成支撑层30，在其上粘贴成为封盖32的树脂制的片材。通过激光加工，把片材分割为弹性表面波装置10的个片。此外，在片材和支撑层30形成到达焊盘23的通孔后，通过电镀，形成导电图案24(贯通布线)。在封盖32的上表面33，通过电镀，形成导电图案25后，在晶片的上表面14一侧涂敷固强树脂36，在固强树脂36形成通孔。在对固强树脂使用感光性树脂时，用光刻，使用非感光性树脂时，用激光加工通孔。在固强树脂的通孔，通过电镀，形成导电图案26，再通过电镀，形成外部电极28。最后，分割为弹性表面波装置10的个片。
弹性表面波装置10是分波器，如图2模式地所示，在压电基板12的上表面14形成接收侧弹性表面波滤波器50、发送侧弹性表面波滤波器、7个焊盘52、54、56、58、62、64、68。
接收侧弹性表面波滤波器50是具有不平衡-平衡变换功能的平衡型滤波器，由2个共振子100、110、4个纵耦合共振子型弹性表面波滤波器120、130、140、150构成。纵耦合共振子型弹性表面波滤波器120、130、140、 150分别包含沿着弹性表面波的传播方向配置的3个IDT122、124、126；132、134、136；142、144、146；152、154、156。
具体而言，在连接在天线上的接收侧天线焊盘52上，并联连接共振子100、110的一端，在共振子100、110的另一端分别连接纵耦合共振子型弹性表面波滤波器120、130的中央的IDT124、134。共振子100、110用于改善滤波器频带的高频一侧特性，但是也能省略。
在纵耦合共振子型弹性表面波滤波器120、130分别级联连接纵耦合共振子型弹性表面波滤波器140、150，从在纵耦合共振子型弹性表面波滤波器140、150的中央的IDT144、154连接的平衡信号焊盘54、56，输出相位约偏移180度的平衡信号。
连接在接地焊盘58上的接地布线(用粗线图示)在压电基板12的上表面14和其他布线上形成的绝缘层160、162、164、170、172、174上形成，与其他布线立体交叉。
另外，在共振子100、110或纵耦合共振子型弹性表面波滤波器120、130、140、150，在IDT的外侧设置反射器(不图示)。
发送侧弹性边界波滤波器是由7个共振子210、220、230、240、250、260、270构成的3级的阶梯型滤波器。共振子210、220、230、240、250、260、270分别在IDT212、222、232、242、252、262、272的两侧配置反射器214、224、234、244、254、264、274。
共振子210、220、230、240在输入发送信号的发送输入焊盘64、连接在天线上的发送侧天线焊盘62之间串联。
在相邻的共振子210、220、230、240之间分别并联共振子250、260、270。即共振子250的一端与串联的共振子210、220的连接点连接，另一端与接地焊盘68连接。共振子260的一端与串联的共振子220、230的连接点连接，另一端与接地焊盘68连接。共振子270的一端与串联的共振子230、240的连接点连接，另一端与接地焊盘68连接。
如图3的平面图所示，在弹性表面波装置10的上表面11(参照图1)，作为外部电极28(参照图1)，设置8个外部电极28a～28h。此外，作为在封盖32的上表面33形成的导电图案25(参照图1)，形成由虚线表示的导电图案25a～25e、25v。导电图案25a～25e、25v与导电图案24、26(图1)一起电连接外部电极28a～38h和焊盘52、54、56、58、62、64、68之间。
外部电极28b，是连接在接收侧弹性边界波滤波器50的接收侧天线焊盘52和发送侧滤波器60的发送侧天线焊盘62上的天线端子。外部电极28e连接在发送侧弹性表面波滤波器60的发送输入焊盘64上，是发送输入端子。外部电极28g连接在接收侧弹性表面波滤波器50的平衡信号端子即平衡信号焊盘56上。外部电极28h连接在接收侧弹性表面波滤波器50的平衡信号端子即平衡信号焊盘54上。外部电极28g、28h是接收输出端子。
导电图案25v是对接收侧弹性表面波滤波器50的输入端51(参照图2)和天线端子(外部电极28b)之间进行连接的布线的一部分。在布线的一部分包含导电图案25v(覆布布线)，布线间的电容耦合减小，取得隔离的改善效果。
即在弹性表面波装置10的压电基板12使用的LiTaO3或LiNbO3的比介电系数大到40～50左右。因此，如果在压电基板12上进行1芯片化弹性表面波装置的布线盘绕，布线间的电容耦合就增大。如果使用晶片级芯片尺寸封装把芯片小型化，电容耦合的影响就增大，与隔离特性的恶化有关。
因此，把压电基板12上的布线的一部分移到由比压电基板12的比介电系数更小的树脂或玻璃形成的封盖32上，在封盖32上布线，就能防止压电基板12的电容耦合的增加，即使芯片小型化，也能取得隔离特性良好的分波特性。
<比较例>参照图4和图5，说明比较例的弹性表面波装置。对与实施例1同样的构成部分使用相同的符号，以下只说明与实施例1的不同点。
图4是压电基板12的上表面14的导电图案的结构图，图5是弹性表面波装置的俯视图。图4和图5分别与实施例1的图2和图3对应。
在比较例的弹性表面波装置中，布线的一部分形成在压电基板12上。即如图4所示，接收侧弹性表面波滤波器50的输入端51通过压电基板12上的布线53，与连接在发送侧弹性边界波滤波器60上的公用天线焊盘41连接。如图5所示，公用天线焊盘41配置在与天线相连接的外部电极28b的正下方。
<隔离特性的比较>
图6是表示隔离特性的曲线图。粗线表示实施例1的弹性表面波装置10的隔离特性。细线表示比较例的弹性表面波装置的隔离特性。弹性表面波装置的频带都是发送侧为824～849MHz，接收侧为869～894MHz。如果实施例1与比较例相比，就知道隔离特性改善。
<实施例2>
实施例2的弹性表面波装置与实施例1大致同样构成。可是，与实施例1的不同点只在于，将对接收侧弹性表面波滤波器50的输入端51(参照图2)和天线端子(外部电极28b)之间进行连接的布线的一部分(例如布线长度的一半以上的部分)，不形成在封盖32的上表面33，而形成在封盖32的下表面34。在实施例2中，在封盖32的下表面34预先形成相当于导电图案25v的导电图案，使封盖32和压电基板12相面对，用支撑层30耦合。实施例2中，布线间的电容耦合也减小，能取得隔离特性的改善效果。
<实施例3>参照图7，说明实施例3的弹性表面波装置。图7是压电基板12的上表面14的导电图案的结构图，与实施例1的图2对应。
实施例3的弹性表面波装置与实施例1大致同样构成，在压电基板12上配置接收侧弹性表面波滤波器50和发送侧弹性表面波滤波器60。
实施例3的弹性表面波装置与实施例1不同，接收侧弹性表面波滤波器50和发送侧弹性表面波滤波器60连接在公用天线焊盘41上，发送侧弹性表面波滤波器60的布线的一部分设置在封盖32上。
即连接共振子210、220之间的布线被分离，共振子210、220分别连接在中继焊盘65、66上。中继焊盘65、66之间由在封盖32的上表面33或下表面上形成的导电图案(不图示)电连接。
在封盖32上连接发送侧弹性表面波滤波器60的信号线，在压电基板12上分离，布线之间的电容耦合减小，能取得隔离特性的改善效果。
另外，无论在封盖32设置连接相邻的共振子210、220、230、240之间的布线中的哪一部分，都能取得隔离特性的改善效果。如实施例3那样，如果在封盖上设置最接近发送输入焊盘64、信号电平最高的布线的一部分，就能取得最大的效果，所以是理想的。
此外，在封盖32的下表面34设置连接共振子210、220之间的布线，在封盖32的上表面设置连接接收侧弹性表面波滤波器50和公用天线焊盘41之间的布线。在该结构中，也能降低信号线彼此之间的电容耦合。
<实施例4>参照图8，说明实施例4的弹性表面波装置。图8是压电基板12的上表面14的导电图案的结构图，与实施例1的图2对应。
实施例4的弹性表面波装置与实施例1大致同样构成，在压电基板12上配置接收侧弹性表面波滤波器70和发送侧弹性表面波滤波器60。
实施例4的弹性表面波装置与实施例1大致不同，接收侧弹性表面波滤波器70和发送侧弹性表面波滤波器60连接在公用天线焊盘41上，接收侧弹性表面波滤波器70的布线的一部分设置在封盖32上。此外，接收侧弹性表面波滤波器70与实施例1不同，是阶梯型滤波器。
接收侧弹性表面波滤波器70是由5个共振子310、320、330、340、350构成的2级的阶梯型滤波器。共振子310、320、330、340、350分别在IDT312、322、332、342、352的两侧配置反射器314、324、334、344、354。
共振子310、320、330在公用天线焊盘41和接收输出焊盘72之间串联。共振子320、330之间在压电基板12上分离，分别与中继焊盘74、75连接。中继焊盘74、75之间通过在封盖32上设置的导电图案而电连接。
在相邻的共振子310、320、330之间分别并联共振子340、350。即共振子340的一端与串联的共振子310、320的连接点连接，另一端与接地焊盘78连接。共振子350的一端与串联的共振子320、330的连接点连接，另一端与接地焊盘78连接。
在实施例4的弹性表面波装置中，连接共振子320、330之间的布线的一部分设置在封盖32上，与连接共振子320、330之间的布线全部设置在压电基板12上的情形相比，布线间的电容耦合减小，能取得隔离的改善效果。
另外，作为对共振子320、330之间进行连接的布线的代替，在封盖32上设置连接共振子310、320之间的布线的一部分，也能取得隔离特性的改善效果。另外，如实施例4那样，如果在压电基板12上分离由于接收信号的衰减而更容易受发送侧的噪声的影响的接近接收输出焊盘72的一侧的共振子320、330之间的布线，就能取得最大的效果，所以是理想的。
<实施例5>参照图9～图11，说明实施例5的弹性表面波装置10x～10z。
实施例5的弹性表面波装置10x～10z如图11的剖面图所示，与实施例1大致同样构成，具有压电基板12、支撑层30、固强树脂36、外部电极28等。可是，如图9和图10所示，与实施例1的不同点在于，是只具有1组弹性表面波滤波器80的滤波器。
即如图9所示，在压电基板12的上表面14形成弹性表面波滤波器80、焊盘41、64、65、66、68。弹性表面波滤波器80与实施例1的发送侧弹性表面波滤波器60同样，是由7个共振子210、220、230、240、250、260、270构成的3级的阶梯型滤波器。
在弹性表面波装置10x～10z的上表面11(参照图11)，如图11所示，作为外部电极28，设置4个外部电极28p～28s。外部电极28r是输入端子，外部电极28p是输出端子，外部电极28q、28s是GND端子。
如图10中用虚线所示，在封盖32的上表面33或下表面34(参照图11)设置导电图案25q；25r、25s；25x，25y，25z。导电图案25q是对外部电极28q和焊盘68之间进行电连接的布线的一部分。导电图案25r是对外部电极28s和焊盘68之间进行电连接的布线的一部分。导电图案25x、25y、25z，如图10和图11所示，是对焊盘65和焊盘66之间进行电连接的布线的一部分(覆布布线)。
如图11(a)所示，在封盖32的上表面33设置导电图案25x时，导电图案25x与导电图案25q～25s(参照图10)一起由电镀形成，在贯通支撑层30和封盖32的导电性图案24x(贯通布线)连接。
如图11(b)和(c)所示，在封盖32的下表面34设置导电图案25y、25z时，使用感光性树脂形成支撑层30，通过激光加工，在支撑层30形成通孔，通过电镀，形成导电图案24y、24z(贯通布线)。
在图11(b)，在成为封盖32的树脂性的片材的下表面34的一侧的面预先形成相当于导电图案25y的导电图案，在支撑层30之上粘贴成为封盖32的树脂性的片材。这时，导电图案25y与贯通支撑层30的导电图案24y连接。
在图11(c)，在支撑层30的上表面，通过电镀，形成相当于导电图案25z的导电图案。这时，导电图案25z与贯通支撑层30的导电图案24z连接。接着，在支撑层30粘贴成为封盖32的树脂性的片材。
弹性表面波装置10x～10z在封盖32的上表面33或下表面34设置导电图案25x、25y、25z(覆布布线)，焊盘65和焊盘66由经由封盖32的布线连接。据此，与只用在压电基板12上设置的布线对共振子220、250的连接点和共振子210之间进行连接的情形相比，布线间的电容耦合减小，滤波器的VSWR改善。
此外，能在封盖上设置级联2个纵耦合共振子型滤波器的布线的一部分。与只用压电基板上设置的布线进行级联连接的情形相比，布线间的电容耦合减小，滤波器的VSWR改善。
弹性表面波元件是弹性表面波共振子或纵耦合共振子型滤波器。
下面，说明弹性边界波装置的实施例6～10。
<实施例6>参照图12，说明实施例6的弹性边界波装置500。
如图12的剖面图所示，弹性边界波装置500在由LiNbO3构成的压电基板510的上表面512形成包含IDT522和焊盘523的Au的导电图案520，在焊盘523形成Ti的紧贴层524。在压电基板510的上表面512和导电图案520之上形成由SiO2构成的支撑层530。使用光刻技术局部除去支撑层530，从而使得焊盘523的紧贴层524露出，并形成通路孔(通孔)534。例如，通过电镀，同时在支撑层530的上表面532形成支撑层布线526，在通路孔534的内侧形成贯通布线525。支撑层布线526的一端通过贯通支撑层530的贯通布线525，与焊盘523的紧贴层24连接。
在支撑层530的上表面532和支撑层布线526之上形成封盖540。封盖540使在支撑层530传播的副振荡模的振动衰减，所以使用环氧树脂等吸音材料形成。
由喷砂处理，局部除去封盖540，在除去的部分，通过电镀等，填充下部缓冲金属(under bump metal)527。在下部缓冲金属527上形成焊锡突块528。焊锡突块528是从封盖540的上表面542突出的外部电极。
弹性边界波装置500利用在第一媒质的LiNbO3的压电基板510和第二媒质的SiO2的支撑层530的边界传播的弹性边界波，通过IDT522，进行弹性边界波和电信号的变换。在弹性表面波装置时，如图1所示，在IDT22的周围需要振动空间16，而在弹性边界波装置500，如图12所示，在基板510和支撑层530的界面配置弹性边界波装置500，在IDT522的周围不需要振动空间。
弹性边界波装置500是分波器，能使用与实施例1的弹性表面波装置10完全同样的IDT电极设计手法。即在压电基板510的上表面512形成与图2同样的导电图案，形成接收侧滤波器50和发送侧滤波器60、7个焊盘52、54、56、58、62、64、68。在实施例6中，图2的滤波器50、60是弹性边界波滤波器，接收侧滤波器50是平衡型弹性边界波滤波器。
布线的盘绕也与实施例1同样，对接收侧滤波器50的输入端51(参照图2)和作为外部电极的天线端子之间进行连接的布线的一部分在支撑层530的上表面532上形成。即布线的一部分由支撑层布线526构成。
在弹性边界波装置500的压电基板510中使用的LiTaO3或LiNbO3的比介电系数大到40～50左右。因此，如果在压电基板510上进行1芯片化的弹性边界波装置500的布线盘绕，则布线间的电容耦合就增大。如果使用晶片级芯片尺寸封装方法，把芯片小型化，电容耦合的影响就增大，与隔离特性的恶化有关。
在实施例6的弹性边界波装置500中，支撑层530由比介电系数为3～5的SiO2形成，如上所述，对接收侧滤波器50的输入端(参照图2)和外部电极即天线端子之间进行连接的布线的一部分设置在支撑层530的上表面532上。
对于连接接收侧滤波器50的输入端(参照图2)和作为外部电极的天线端子之间的布线的一部分设置在压电基板510上的情形，设置在由比介电系数小的介质形成的支撑层530上时，能防止布线间的电容耦合的增加，即使芯片小型化，也能改善隔离特性。
<实施例7>实施例7的与实施例6大致同样构成。可是，布线的盘绕与实施例6不同。即对接收侧滤波器50的输入端51(参照图2)和作为外部电极的天线端子之间进行连接的布线的一部分没有形成在支撑层530的上表面532上，只形成在封盖540的上表面542，与实施例6不同。实施例7中，布线间的电容耦合减小，能取得隔离特性的改善效果。
<实施例8>实施例8的弹性边界波装置与实施例6大致同样构成，但是，与实施例6不同，在压电基板510的上表面512上形成的导电图案与实施例3的弹性边界波装置的情况下同样形成，与实施例3同样地盘绕布线。
即形成在压电基板510的上表面512上的导电图案与图7的实施例3同样，连接共振子210、220之间的布线被分离，共振子210、220分别连接在中继焊盘65、66上。在实施例8中，图7的滤波器50、60是弹性边界波滤波器，构成发送侧滤波器50的共振子210、220、230、240是弹性边界波共振子。中继焊盘65、66之间由贯通支撑层530的贯通布线525和形成在支撑层530的上表面532上的支撑层布线526电连接。
在支撑层530上连接发送侧滤波器60的信号线，而在压电基板510上分离，由此布线间的电容耦合减小，并能取得隔离特性的改善效果。
另外，无论在支撑层530上设置对相邻的共振子210、220、230、240之间进行连接的布线中的哪一部分，都能取得隔离特性的改善效果。如实施例3那样，如果在封盖上设置最接近发送侧焊盘64，信号电平最高的布线的一部分，能取得最大的效果，所以是理想的。
此外，在封盖540的上表面542设置对共振子210、220之间进行连接的布线，在封盖540的上表面542设置对接收侧滤波器50和公用天线焊盘41之间进行连接的布线。在该结构中也能降低信号线彼此间的电容耦合。
<实施例9>实施例9的弹性边界波装置与实施例6大致同样构成，但是，与实施例6不同，在压电基板510的上表面512上形成的导电图案与实施例4的弹性边界波装置的情况同样地形成，与实施例4同样地盘绕布线。
即形成在压电基板510的上表面512上的导电图案与图8的实施例4同样，在公用天线焊盘41连接接收侧滤波器70和发送侧滤波器60，接收侧滤波器70的布线的一部分设置在支撑层530上。即接收侧滤波器70是阶梯型滤波器，对接收侧滤波器70的共振子320、330之间进行连接的布线被分离，共振子320、330分别连接在中继焊盘74、75上。中继焊盘74、75之间，由贯通支撑层530的贯通布线525和在支撑层530上表面532上形成的支撑层布线526所电连接。在实施例9中，图8的滤波器60、70是弹性边界波滤波器，共振子210、220、230、240、310、320、330、340、350是弹性边界波共振子。
在实施例9的弹性边界波装置中，与实施例4同样，连接共振子320、330之间的布线的一部分设置在支撑层530上，与连接共振子320、330之间的布线全部设置在压电基板510时相比，布线间的电容耦合减小，能取得隔离特性的改善效果。
另外，作为对共振子320、330之间进行连接的布线的替代，在支撑层530上设置连接共振子320、330之间的布线的一部分，也能取得隔离特性的改善效果。如实施例4那样，如果在压电基板510上分离由于接收信号的衰减而更容易受发送侧的噪声的影响的接近接收输出焊盘72的一侧的共振子320、330之间的布线，就能取得最大的效果，所以是理想的。
<实施例10>实施例10的弹性边界波装置与实施例6大致同样构成，但是，与实施例6不同，在压电基板510的上表面512上形成的导电图案与实施例5的弹性边界波装置时同样形成，与实施例5同样地盘绕布线。
即实施例10的弹性边界波装置与图9所示的实施例5同样，是只具有1组的滤波器80的滤波器，是由共振子210、220、230、240、250、260、270构成的3级的阶梯型滤波器。在实施例10中，图9的滤波器80是弹性边界波滤波器，共振子210、220、230、240是弹性边界波共振子。
布线的盘绕与实施例5同样。即电连接焊盘65和焊盘66之间的布线的一部分设置在支撑层530的上表面532上，焊盘65和焊盘66由经由支撑层530的布线(贯通支撑层的贯通布线525和支撑层530上的支撑层布线526)连接。据此，与仅通过在压电基板510上设置的布线连接共振子220、250的连接点和共振子210之间的情形相比，布线间的电容耦合减小，滤波器的VSWR得到改善。
此外，还能在支撑层530的上表面532设置级联连接2个纵耦合共振子型滤波器的布线的一部分。这时，与只利用在压电基板510上设置的布线进行级联的情形相比，布线间的电容耦合减小，滤波器的VSWR改善。
弹性边界波元件是弹性边界波共振子或纵耦合共振子型滤波器。
<总结>如上所述，在封盖32设置导电图案25v、25x、25y、25z(覆布布线)，布线间的电容耦合减小。据此，在实施例1～4的分波器中，取得隔离特性的改善效果。在实施例5的滤波器中，滤波器的VSWR改善。此外，在支撑层530的上表面532设置导电图案(支撑层布线)，由此布线间的电容耦合减小。据此，在实施例6～9的分波器中，取得隔离特性的改善效果。在实施例1的滤波器中，滤波器的VSWR改善。
另外，本发明并不局限于所述的实施例，能加以各种变更，实施。
例如，接收侧弹性表面波滤波器或发送侧弹性表面波滤波器的结构并不局限于实施例。也可以省略弹性表面波共振子等反射器。接收侧弹性边界波滤波器和发送侧弹性边界波滤波器的结构并不局限于实施例。也可以省略弹性边界波共振子等反射器。
此外，弹性表面波装置也可以是没有固强树脂36的结构。这时，在封盖32上设置的布线(导电图案25)，也可以设置在与压电基板12相面对的一侧的主面(下表面34)。

Claims (14)

1.一种弹性表面波装置，其中，
压电基板和封盖隔着支撑层设置间隔而耦合，
在所述压电基板的与所述封盖相面对的主面，在所述支撑层的内侧形成发送侧弹性表面波滤波器和接收侧弹性表面波滤波器，
在相对于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部电极，所述外部电极，包含与所述发送侧弹性表面波滤波器和所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性表面波滤波器电连接的发送输入端子、以及与所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的接收输出端子，
电连接所述接收侧弹性表面波滤波器和所述天线端子的布线包含：
形成在所述压电基板上的压电基板布线；
设置在所述封盖的上表面或下表面的覆布布线；以及
贯通所述支撑层和所述封盖而对所述压电基板布线的一端和所述覆布布线的一端进行连接的贯通布线。
2.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于：
所述接收侧弹性表面波滤波器是包含输入不平衡信号的一个不平衡信号端子、输出平衡信号的一对平衡信号端子的平衡型弹性表面波滤波器，
所述天线端子电连接在所述不平衡信号端子上；
所述接收输出端子电连接在所述平衡信号端子上。
3.一种弹性表面波装置，其中，
压电基板和封盖隔着支撑层设置间隔而耦合，
在所述压电基板的与所述封盖相面对的主面，在所述支撑层的内侧形成发送侧弹性表面波滤波器和接收侧弹性表面波滤波器；
在相对于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部电极，所述外部电极包含：与所述发送侧弹性表面波滤波器和所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性表面波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的接收输出端子，
所述发送侧弹性表面波滤波器包含串联连接的多个弹性表面波共振子，
对彼此相邻并串联连接的至少1组的所述弹性表面波共振子之间进行电连接的布线包含：
至少一个覆布布线，其设置在所述封盖的上表面或下表面；以及
至少1组贯通布线，其至少贯通所述支撑层，而将该至少一个覆布布线与所述彼此相邻并串联连接的至少1组的所述弹性表面波共振子的一方和另一方连接。
4.一种弹性表面波装置，其中，
压电基板和封盖隔着支撑层设置间隔而耦合，
在所述压电基板的与所述封盖相面对的主面，在所述支撑层的内侧形成发送侧弹性表面波滤波器和接收侧弹性表面波滤波器；
在相对于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部电极，所述外部电极包含与所述发送侧弹性表面波滤波器和所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性表面波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性表面波滤波器电连接的接收输出端子，其中，
所述接收侧弹性表面波滤波器包含串联连接的多个弹性表面波共振子；
对彼此相邻并串联连接的至少1组的所述弹性表面波共振子之间进行电连接的布线包含：
至少一个覆布布线，其设置在所述封盖的上表面或下表面；以及
至少1组贯通布线，其至少贯通所述支撑层，而将该至少一个覆布布线与所述彼此相邻并串联连接的至少1组的所述弹性表面波共振子的一方和另一方连接。
5.一种弹性表面波装置，其中，
压电基板和封盖隔着支撑层设置间隔而耦合，
在所述压电基板的与所述封盖相面对的主面，在所述支撑层的内侧形成弹性表面波滤波器，
在相对于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部端子，所述外部端子包含与所述弹性表面波滤波器电连接的输入端子和输出端子，
所述弹性表面波滤波器包含串联连接的多个弹性表面波元件，
对彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性表面波元件之间进行电连接的布线，包含：
至少一个覆布布线，其在所述封盖的上表面或下表面设置；
至少1组贯通布线，其至少贯通所述支撑层，而将该至少一个覆布布线与所述彼此相邻并串联连接的至少1组的所述弹性表面波元件的一方和另一方连接。
6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的弹性表面波装置，其特征在于，
从垂直于所述压电基板的所述主面的方向观察时，在比所述压电基板的周围部更靠近内侧配置所述封盖；
还具有固强树脂，所述固强树脂从所述封盖的与所述压电基板相反一侧的主面到所述压电基板的所述主面的所述周围部为止全体地进行覆盖。
7.根据权利要求1～5中的任意一项所述的弹性表面波装置，其特征在于：
所述覆布布线由电镀形成。
8.根据权利要求6所述的弹性表面波装置，其特征在于：
所述覆布布线由电镀形成。
9.一种弹性边界波装置，其中，
压电基板和封盖隔着支撑层而耦合；
在所述压电基板和所述支撑层的界面形成发送侧弹性边界波滤波器和接收侧弹性边界波滤波器；
在相对于所述封盖而与所述压电基板相反一侧，形成外部电极，所述外部电极包含与所述发送侧弹性边界波滤波器和所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性边界波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的接收输出端子，
对所述接收侧弹性边界波滤波器和所述天线端子进行电连接的布线，包含：
形成在所述压电基板上的压电基板布线；
设置在所述支撑层的上表面的支撑层布线；以及
贯通所述支撑层而连接所述压电基板布线的一端和所述支撑层布线的一端的贯通布线。
10.根据权利要求9所述的弹性边界波装置，其特征在于，
所述接收侧弹性边界波滤波器是包含输入不平衡信号的一个不平衡信号端子、输出平衡信号的一对平衡信号端子的平衡型弹性边界波滤波器，
所述天线端子电连接在所述不平衡信号端子上，所述接收输出端子电连接在所述平衡信号端子上。
11.一种弹性边界波装置，其中，
压电基板和封盖隔着支撑层而耦合；
在所述压电基板和所述支撑层的界面形成发送侧弹性边界波滤波器和接收侧弹性边界波滤波器；
在相对于所述封盖而与所述压电基板相反一侧形成外部电极，所述外部电极包含与所述发送侧弹性边界波滤波器和所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性边界波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的接收输出端子，
所述发送侧弹性边界波滤波器包含串联连接的多个弹性边界波共振子；
对彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性边界波共振子之间进行电连接的布线，包含：
至少1个支撑布线层，其设置在所述支撑层的上表面；
至少1组贯通布线，其至少贯通所述支撑层，而将该至少1个支撑布线层与所述彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性边界波共振子的一方和另一方连接。
12.一种弹性边界波装置，其中，
压电基板和封盖隔着支撑层而耦合，
在所述压电基板和所述支撑层的界面形成发送侧弹性边界波滤波器和接收侧弹性边界波滤波器，
在相对于所述封盖而与所述压电基板相反一侧形成外部电极，所述外部电极包含：与所述发送侧弹性边界波滤波器和所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的天线端子、与所述发送侧弹性边界波滤波器电连接的发送输入端子、和与所述接收侧弹性边界波滤波器电连接的接收输出端子，
所述接收侧弹性边界波滤波器包含串联连接的多个弹性边界波共振子，
对彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性边界波共振子之间进行电连接的布线包含：
至少1个支撑布线层，其设置在所述支撑层的上表面；以及
至少1组贯通布线，其至少贯通所述支撑层，而将该至少1个支撑布线层，与所述彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性边界波共振子的一方和另一方连接。
13.一种弹性边界波装置，其中，
压电基板和封盖隔着支撑层而耦合，
在所述压电基板和所述支撑层的界面形成弹性边界波滤波器，
在相对于所述封盖而与所述压电基板相反一侧形成包含与所述弹性边界波滤波器电连接的输入端子和输出端子的外部端子，
所述弹性边界波滤波器包含串联连接的多个弹性边界波元件；
对彼此相邻并串联连接的至少1组所述弹性边界波元件之间进行电连接的布线，包含：
至少一个支撑层布线，其设置在所述支撑层的上表面；
至少1组贯通布线，其至少贯通所述支撑层，而将该至少一个支撑层布线，与所述彼此相邻并串联连接的至少1组的所述弹性边界波元件的一方和另一方连接。
14.根据权利要求9～13中的任意一项所述的弹性边界波装置，其特征在于：
所述支撑层布线由电镀形成。
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