JP2010028459A - 弾性波デバイス、フィルタ、通信モジュール、通信装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電基板1上に弾性波の励振電極2aおよび反射器2bを備え、その上を少なくとも一層の媒質で被覆された弾性波デバイスであって、媒質から露出し、励振電極2aの一部と電気的に接続された端子電極3a及び3bを備え、端子電極3a及び3bは、その一部が、媒質を挟んで少なくとも反射器2bと重なる位置に配されている。
【選択図】図1A
Description
〔1.弾性波デバイスの構成〕
図1Aは、本実施の形態における弾性波デバイスの平面図である。図1Bは、図1AにおけるB−B部の断面図である。図1Cは、図1AにおけるC−C部の断面図である。
本実施の形態の弾性波デバイスの製造方法について説明する。図4A〜図4Hは、弾性波デバイスの製造工程を示す。図4A〜図4Hにおいて、(a)は平面図、(b)は各図の平面図(a)におけるD−D部の断面図、(c)は各図の平面図(a)におけるE−E部の断面図である。
本実施の形態のように、端子部電極の一部が共振器と重なるように形成した場合、重なった領域の電極の電位が周波数特性に影響することが懸念される。そこで、有限要素法(FEM:finite element method)の計算機シミュレーションを行った。計算モデルは、図5に示すように、圧電基板31上に形成された櫛歯型電極32の断面の半周期の上を、SiO2膜33およびAl2O3膜34が覆っている2次元構造とした。このような構成の計算モデルにおいて、SiO2膜33の表面およびAl2O3膜34の表面に電位を与えた場合と与えない場合とで、共振周波数および反共振周波数の変化を計算した。
携帯電話端末、PHS(Personal Handy-phone System)端末、無線LANシステムなどの移動体通信(高周波無線通信)には、デュープレクサが搭載されている。デュープレクサは、通信電波などの送信機能及び受信機能を持ち、送信信号と受信信号の周波数が異なる無線装置において用いられる。
図11は、本実施の形態の弾性波デバイスまたは図10に示すデュープレクサを備えた通信モジュールの一例を示す。図11に示すように、デュープレクサ62は、受信フィルタ62aと送信フィルタ62bとを備えている。また、受信フィルタ62aには、例えばバランス出力に対応した受信端子63a及び63bが接続されている。また、送信フィルタ62bは、パワーアンプ64を介して送信端子65に接続している。ここで、受信フィルタ62a及び送信フィルタ62bには、本実施の形態における弾性波デバイスまたはデュープレクサが含まれている。
図12は、本実施の形態の弾性波デバイス、デュープレクサ、または通信モジュールを備えた通信装置の一例として、携帯電話端末のRFブロックを示す。また、図12に示す構成は、GSM(Global System for Mobile Communications)通信方式及びW−CDMA(Wideband Code Divition Multiple Access)通信方式に対応した携帯電話端末の構成を示す。また、本実施の形態におけるGSM通信方式は、850MHz帯、950MHz帯、1.8GHz帯、1.9GHz帯に対応している。また、携帯電話端末は、図12に示す構成以外にマイクロホン、スピーカー、液晶ディスプレイなどを備えているが、本実施の形態における説明では不要であるため図示を省略した。ここで、受信フィルタ73a、77、78、79、80、および送信フィルタ73bには、本実施の形態における弾性波デバイスが含まれている。
本実施の形態によれば、端子電極3a,3bの一部を櫛歯型電極2aの一部及び反射器2bに重ねて配置することにより、弾性波デバイスのサイズを小型化することができる。また、このような構成の端子電極をフィルタにおける端子に採用することにより、フィルタ基板上の端子電極の占有面積を縮小することができ、フィルタを小型化することができる。
圧電基板上に弾性波の励振電極および反射器を備え、その上を少なくとも一層の媒質で被覆された弾性波デバイスであって、
前記媒質から露出し、前記励振電極の一部と電気的に接続された端子電極を備え、
前記端子電極は、その一部が、前記媒質を挟んで前記反射器と重なる位置に配されている、弾性波デバイス。
前記端子電極は、その一部が、前記媒質を挟んで前記励振電極と重なる位置に配されている、付記1記載の弾性波デバイス。
前記端子電極は、前記励振電極上を被覆する媒質より露出した部分の面積よりも、前記励振電極あるいは前記反射器と重なっている部分の面積が大きく形成されている、付記1の弾性波デバイス。
前記励振電極と接する媒質は、SiO2で形成されている、付記1記載の弾性波デバイス。
前記媒質は、厚さが0.3μm以上である、付記4記載の弾性波デバイス。
前記媒質は、複数の媒質で構成され、前記複数の媒質のうち最外層の媒質がAl2O3で形成されている、付記4記載の弾性波デバイス。
付記1から6のいずれかに記載の弾性波デバイスを備えた、フィルタ。
付記1から6のいずれかに記載の弾性波デバイス、または付記7に記載のフィルタを備えた、通信モジュール。
付記8に記載の通信モジュールを備えた、通信装置。
2 電極
2a 櫛歯型電極
2b 反射器
2c、2d 端子部
3a、3b 端子電極
4 第1の媒質
5 第2の媒質
6a、6b ビアホール
Claims (8)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられた弾性波の励振電極および反射器と、
前記励振電極及び前記反射器を被覆する少なくとも一層の媒質と、
前記媒質から露出し、前記励振電極の一部と電気的に接続された端子電極とを備え、
前記端子電極は、その一部が、前記媒質を挟んで前記反射器と重なる位置に配されている、弾性波デバイス。 - 前記端子電極は、その一部が、前記媒質を挟んで前記励振電極と重なる位置に配されている、請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記励振電極と接する媒質は、SiO2で形成されている、請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記媒質は、厚さが0.3μm以上である、請求項3に記載の弾性波デバイス。
- 前記媒質は、複数の媒質で構成され、前記複数の媒質のうち最外層の媒質がAl2O3で形成されている、請求項3に記載の弾性波デバイス。
- 請求項1から5のいずれかに記載の弾性波デバイスを備えた、フィルタ。
- 請求項1から5のいずれかに記載の弾性波デバイス、または請求項6に記載のフィルタを備えた、通信モジュール。
- 請求項7に記載の通信モジュールを備えた、通信装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017175276A (ja) * | 2016-03-22 | 2017-09-28 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ並びに弾性波共振器の製造方法 |
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2008
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