JP2008011010A - 弾性表面波装置及び通信装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 挿入損失劣化を低減し、小型化を実現した弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 第１，第２の弾性表面波素子２０，２１は、弾性表面波の伝搬方向に延びる中心共通バスバー電極２９の両側に、該電極２９により接続されて形成され、電極２９上に沿って絶縁体を介して形成されると共にＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、引き出し電極が不平衡入（出）力端子に接続されており、素子２０，２１と弾性表面波共振子１８，１９は、隣接して伝搬方向の直交方向に並んで配置され、互いのバスバー電極が絶縁体３２，３３を介して重なって配置されており、共振子１８，１９の各ＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入（出）力端子に接続され、素子２０，２１の各中央のＩＤＴ電極以外のもののバスバー電極が共振子１８，１９のＩＤＴ電極のバスバー電極に絶縁体を介して並列接続されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、例えば携帯電話等の移動体通信機器に用いられる弾性表面波フィルタや弾性表面波共振器等の弾性表面波装置及びこれを備えた通信装置に関するものである。

従来、携帯電話や自動車電話等の移動体通信機器のＲＦ（無線周波数）段に用いられる周波数選択フィルタとして、弾性表面波フィルタが広く用いられている。一般に、周波数選択フィルタに求められる特性としては、広通過帯域、低損失、高減衰量等の諸特性が挙げられる。近年、特に移動体通信機器における受信感度の向上、低消費電力化のために、さらに弾性表面波フィルタに対する低損失化の要求が高まっている。また、近年、移動体通信機器において、小型化のためにアンテナが従来のホイップアンテナから誘電体セラミックス等を用いた内蔵アンテナに移行してきている。そのため、アンテナのゲインを充分に得ることが難しくなり、弾性表面波フィルタに対してさらに挿入損失を改善させる要求が増大している。

また、ＩＤＴ電極（Inter Digital Transducer）の電極指ピッチは、高周波になるほど小さくなり、ＩＤＴ電極の膜厚は薄くなる。例えば、１．９ＧＨｚ帯弾性表面波フィルタのＩＤＴ電極の膜厚は、９００ＭＨｚ弾性表面波フィルタの約半分の膜厚で設計されることとなり、フィルタ間を接続する引き出し電極等の伝送線路におけるオーミック損失が高周波になるほど大きくなる。そのため、さらに挿入損失が劣化する傾向がある。

このような挿入損失の劣化を抑制するために、種々の提案がされている。例えば、圧電基板上に３つのＩＤＴ電極（Inter Digital Transducer）を設けた縦１次モードと縦３次モードを利用した２重モード弾性表面波共振器フィルタについて、次のような挿入損失を改善する手段が提案されている。

図４に従来の共振器型弾性表面波フィルタの電極構造において、上からみた平面図を示す。圧電基板２０２上に配設された複数の電極指を有するＩＤＴ電極２０４は、互いに対向させ噛み合わせた一対の櫛歯状電極からなり、この一対の櫛歯状電極に電界を印加し弾性表面波を生じさせるものである。ＩＤＴ電極２０４の一方の櫛歯状電極に接続された入力端子２１５から電気信号を入力することにより、励振された弾性表面波がＩＤＴ電極２０４の両側に配置されたＩＤＴ電極２０３，２０５に伝搬される。また、ＩＤＴ電極２０３，２０５のそれぞれを構成する一方の櫛歯状電極からＩＤＴ電極２０６，２０９を通じて出力端子２１６，２１７へ電気信号が出力される。なお、図中２１０，２１１，２１２，２１３はそれぞれ反射器電極である。このように、共振器電極パターンを２段縦続接続させることにより、１段目と２段目の定在波の相互干渉により、帯域外減衰量を高減衰化し、フィルタ特性の帯域外減衰量を向上させることができる。

即ち、同様の特性をもつ弾性表面波フィルタを２段縦続接続の構成とすることで、１段目で減衰された信号が２段目でさらに減衰され，帯域外減衰量を約２倍に向上させることができる。

ここで、ＩＤＴ電極２０４に接続された入力端子２１５に電気信号を入力することにより、弾性表面波を励振させ、この弾性表面波がＩＤＴ電極２０４の両側に位置するＩＤＴ電極２０３，２０５に伝搬され、ＩＤＴ電極２０７，２０８に接続された出力端子２１６，２１７から電気信号が出力される。また、両端に位置する反射器電極２１０，２１１，２１２，２１３により弾性表面波が反射され、両端の反射器電極２１０，２１１間及び反射器電極２１２，２１３間で弾性表面波が定在波となる。

この定在波のモードには、３つのＩＤＴ電極により１次モードとその高次（３次）モードが含まれる。これらのモードで発生する共振により通過特性が得られるため、これらのモードで発生する共振周波数のピーク位置を制御することにより通過帯域内の挿入損失を改善することができる。従来、隣り合うＩＤＴ電極の端部に電極指の狭ピッチ部を設けることにより、ＩＤＴ電極間におけるバルク波の放射損を低減して、共振モードの状態を制御することにより挿入損失の改善が図られていた（例えば、特許文献１，２を参照。）。

また、図５に従来の縦結合共振器型弾性表面波フィルタの電極構造の平面図を示す。低損失化を実現する他の手段として、３つの縦結合共振器型弾性表面波フィルタで構成されており、１つの共振器型弾性表面波フィルタ３１３に２つの縦結合共振器型弾性表面波フィルタ３１４，３１５を並列接続させている。縦結合共振器型弾性表面波フィルタ３１３は、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された３つのＩＤＴ電極３３１〜３３３とＩＤＴ電極の両側に配置された反射器電極３４０，３４１からなり、ＩＤＴ電極３３２が入力端子３２２に接続されている。また、同様に２つの縦結合共振器型弾性表面波フィルタ３１４，３１５は、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された３つのＩＤＴ電極３３４〜３３９，３３７〜３３９と、それらの両側に配置された反射器電極３４２，３４３，３４４，３４５からなり、ＩＤＴ電極３３５，３３８が出力端子３２３，３２４に接続されている。これにより、図４に示した２段縦続接続したタイプの縦結合共振器型弾性表面波フィルタと比べて、ＩＤＴ電極の電極指の交差幅を小さくし、さらに、並列接続することにより、縦結合共振器型弾性表面波フィルタにおける抵抗損失を小さくすることができ、低損失な縦結合共振器型弾性表面波フィルタを実現することができる（例えば、特許文献３を参照。）。
特開２００２−９５８７号公報 特表２００２−５２８９８７号公報 特開２００１−３０８６７２号公報

しかし、特許文献１，２に開示されている弾性表面波装置では、ＩＤＴ電極間における弾性表面波がバルク波へモード変換されることによる挿入損失の劣化を抑制することは可能であるが、２つ弾性表面波素子を２段縦続接続させた場合、図５に示した２つの縦結合共振器型弾性表面波フィルタを並列接続した弾性表面波装置と比較して、ＩＤＴ電極の電極指の交差幅が大きくなり、さらに縦続接続させることによって、弾性表面波素子の抵抗損失が大きくなり、縦結合共振器型弾性表面波フィルタの低損失化が十分に実現できない。

また、特許文献３に開示されているような弾性表面波装置では、１つ縦結合共振器型弾性表面波フィルタに対して２つの縦結合共振器型弾性表面波フィルタを並列接続させていることにより、前段に縦結合共振器型弾性表面波フィルタまたは弾性表面波共振子を用いた場合、各ＩＤＴ電極の電極指の交差幅をさらに小さくすることが困難になる。さらに、２つの縦結合共振器型弾性表面波フィルタを並列接続させているので、弾性表面波素子の配置上、スペースを大きく取ることとなり、弾性表面波装置の小型化には不利な配置となっていた。

従って、本発明は上記従来の技術における問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、挿入損失の劣化を生じず、優れたフィルタ特性を有し、高品質な弾性表面波フィルタとしても機能でき、さらに小型化することができる弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供することにある。

本発明の弾性表面波装置は、圧電基板上に、該圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、該伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極と、前記伝搬方向に沿って前記ＩＤＴ電極の両側に配置された反射器電極とを備えた第１及び第２の弾性表面波共振子と、前記圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、該伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた３個以上の奇数個のＩＤＴ電極と、該奇数個のＩＤＴ電極の両側にそれぞれ配置され、前記伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極とからなる第１及び第２の弾性表面波素子とが形成された弾性表面波装置であって、前記第１及び第２の弾性表面波素子は、前記伝搬方向に延びるように形成された中心共通バスバー電極の両側に、前記中心共通バスバー電極によって互いに接続されて形成されているとともに、前記中心共通バスバー電極上に、それに沿って絶縁体を介して形成されるとともに前記ＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、該引き出し電極が不平衡入力端子または不平衡出力端子に接続されており、前記第１及び第２の弾性表面波素子と前記第１及び第２の弾性表面波共振子とは、互いに隣接して前記伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、互いのバスバー電極が絶縁体を介して重なって配置されており、前記第１及び第２の弾性表面波共振子のそれぞれの前記ＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入力端子または平衡出力端子に接続され、前記第１及び第２の弾性表面波素子のそれぞれの中央の前記ＩＤＴ電極以外のもののバスバー電極が前記第１及び第２の弾性表面波共振子の前記ＩＤＴ電極のバスバー電極に、前記絶縁体を介して並列接続されていることを特徴とする。

また、本発明の弾性表面波装置は好ましくは、前記第１及び第２の弾性表面波共振子は、前記第１及び第２の弾性表面波素子との隣接部に対向した位置に形成されたバスバー電極上に、それに沿って絶縁体を介して形成されるとともに、前記ＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、該引き出し電極が前記平衡入力端子または前記平衡出力端子に接続されていることを特徴とするものである。

また、本発明の弾性表面波装置は好ましくは、前記第１及び第２の弾性表面波素子は、前記平衡入力端子または前記平衡出力端子と前記第１及び第２の弾性表面波素子のそれぞれの中央の前記ＩＤＴ電極とを接続する平衡側信号用引き出し配線と、前記第１及び第２の弾性表面波素子と前記第１及び第２の弾性表面波共振子とを接続する不平衡側信号用引き出し配線とが、絶縁体を介して交差して配設されていることによって、前記第１及び第２の弾性表面波素子と前記第１及び第２の弾性表面波共振子との接続部に容量形成部が設けられていることを特徴とするものである。

本発明の通信装置は、上記いずれかの本発明の弾性表面波装置を有する、受信回路及び送信回路の少なくとも一方を備えたことを特徴とするものである。

本発明の弾性表面波装置によれば、圧電基板上に、圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極と、伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極の両側に配置された反射器電極とを備えた第１及び第２の弾性表面波共振子と、圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた３個以上の奇数個のＩＤＴ電極と、奇数個のＩＤＴ電極の両側にそれぞれ配置され、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極とからなる第１及び第２の弾性表面波素子とが形成された弾性表面波装置であって、第１及び第２の弾性表面波素子は、伝搬方向に延びるように形成された中心共通バスバー電極の両側に、中心共通バスバー電極によって互いに接続されて形成されているとともに、中心共通バスバー電極上に、それに沿って絶縁体を介して形成されるとともにＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、引き出し電極が不平衡入力端子または不平衡出力端子に接続されており、第１及び第２の弾性表面波素子と第１及び第２の弾性表面波共振子とは、互いに隣接して伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、互いのバスバー電極が絶縁体を介して重なって配置されており、第１及び第２の弾性表面波共振子のそれぞれのＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入力端子または平衡出力端子に接続され、第１及び第２の弾性表面波素子のそれぞれの中央のＩＤＴ電極以外のもののバスバー電極が第１及び第２の弾性表面波共振子のＩＤＴ電極のバスバー電極に、絶縁体を介して並列接続されていることにより、以下のような作用効果を奏する。

第１及び第２の弾性表面波素子と第１及び第２の弾性表面波共振子とは、互いに隣接して伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、互いのバスバー電極が絶縁体を介して重なって配置されており、第１及び第２の弾性表面波共振子のそれぞれのＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入力端子または平衡出力端子に接続され、第１及び第２の弾性表面波素子のそれぞれの中央のＩＤＴ電極以外のもののバスバー電極が第１及び第２の弾性表面波共振子のＩＤＴ電極のバスバー電極に、絶縁体を介して並列接続されているので、弾性表面波素子と弾性表面波共振子をできるだけ近接して並べて配置しており、さらにバスバー電極を重ね合わせて接続しているため、接続する引き出し電極の長さを十分に短くすることができ、従来の弾性表面波素子と比べて抵抗損失を小さくすることができるので、弾性表面波素子の挿入損失を向上させることができる。

また、中心共通バスバー電極によって、第１及び第２の弾性表面波素子が接続されて、ＩＤＴ電極及び反射器電極が共通化して形成されていることにより、第１及び第２の弾性表面波素子間のスペースを無くすことにより、弾性表面波装置全体の面積を小さくすることができ、極めて小型な弾性表面波装置を実現することができる。さらに、弾性表面波素子のＩＤＴ電極の交差幅を従来の弾性表面波共振子の約半分まで狭くすることができるため、従来の弾性表面波素子と比べて抵抗損失を小さくすることができ、弾性表面波素子の挿入損失を向上させることができる。

同様に、第１及び第２の弾性表面波共振子のＩＤＴ電極の交差幅を、従来の弾性表面波共振子の約半分にまで狭くすることができるため、従来の弾性表面波共振子と比べて抵抗損失を小さくすることができ、弾性表面波共振子の挿入損失を向上させることができる。さらに、弾性表面波共振子を小型化できるので、圧電基板ウェハ１枚当たりの弾性表面波装置の取り数を多くすることができ、弾性表面波装置の部材コストを大幅に削減することができる。

本発明の弾性表面波装置によれば、上記構成において好ましくは、第１及び第２の弾性表面波共振子は、第１及び第２の弾性表面波素子との隣接部に対向した位置に形成されたバスバー電極上に、それに沿って絶縁体を介して形成されるとともに、ＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、引き出し電極が平衡入力端子または平衡出力端子に接続されていることにより、第１及び第２の弾性表面波素子と第１及び第２の弾性表面波共振子との隣接部におけるバスバー電極上と、第１及び第２の弾性表面波共振子の第１及び第２の弾性表面波素子との隣接部に対向した位置に形成されたバスバー電極上に、絶縁体及びその上に形成された引き出し電極が形成されているため、バスバー電極上の構造物のトータル厚みが厚くなり、バスバー電極上において、金属膜と絶縁体による質量効果が、従来のバスバー電極構造と比較して大きくはたらくこととなる。そのため、バスバー電極部における弾性表面波の音速が遅くなる。従って、弾性表面波の励振に寄与しないＩＤＴ電極のバスバー電極近傍における音速を、弾性表面波の励振に寄与する電極指交差部領域の音速より遅くすることができ、弾性表面波のエネルギーを閉じ込めることが可能となり、挿入損失を低減し、通過帯域におけるフィルタ特性の急峻性を向上させた弾性表面波装置を提供することができる。

また、第１及び第２の弾性表面波共振子において、第１及び第２の弾性表面波素子との隣接部に対向した位置に形成されたバスバー電極上に引き出し電極を配置したことにより、装置面積において引き出し電極が占める面積を極力低減することができ、弾性表面波装置を極端に小型化することが可能となる。

本発明の通信装置は、上記いずれかの本発明の弾性表面波装置を有する、受信回路及び送信回路の少なくとも一方を備えたことにより、従来より要求されていた厳しい挿入損失を満たすことができるものが得られ、感度が格段に良好な通信装置を実現することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照にしつつ詳細に説明する。また、本発明の弾性表面波装置について、共振器型の弾性表面波フィルタを例にとり説明する。なお、以下に説明する図面において同一構成には同一符号を付すものとする。また、各電極の大きさや電極間の距離等、電極指の本数や間隔等については、説明のために模式的に図示している。

図１（ａ）に本発明の弾性表面波装置について実施の形態の一例の平面図を示す。また、図１（ｂ）に、図１（ａ）のＡ−Ａ線における断面図（図１（ａ）の下側からみた断面図）を示す。さらに、図２に、図１（ａ）の弾性表面波装置における弾性表面波素子部のみを示した平面図を示す。

図１及び図２に示すように、圧電基板１上に、この圧電基板１上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、この伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極２，３と、伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極２，３の両側に配置された反射器電極１０〜１３とを備えた第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９と、圧電基板１上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた３個以上の奇数個のＩＤＴ電極４〜６，７〜９と、奇数個のＩＤＴ電極４〜６，７〜９の両側にそれぞれ配置され、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極１４〜１７とからなる第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１とが形成された弾性表面波装置であって、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１は、伝搬方向に延びるように形成された中心共通バスバー電極２９の両側に、中心共通バスバー電極２９によって互いに接続されて形成されているとともに、中心共通バスバー電極２９上に、それに沿って絶縁体３０を介して形成されるとともにＩＤＴ電極５，８に接続された引き出し電極３１が設けられており、引き出し電極３１が不平衡入力端子２２または不平衡出力端子２２に接続されており、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１と第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９とは、互いに隣接して伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、互いのバスバー電極が絶縁体３２，３３を介して重なって配置されており、第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９のそれぞれのＩＤＴ電極２，３のバスバー電極が平衡入力端子２３，２４または平衡出力端子２３，２４に接続され、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１のそれぞれの中央のＩＤＴ電極５，８以外のもののバスバー電極が第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９のＩＤＴ電極２，３のバスバー電極に、絶縁体３２，３３を介して並列接続されている。

これにより、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１と第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９とは、互いに隣接して伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、互いのバスバー電極が絶縁体３２，３３を介して重なって配置されており、第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９のそれぞれのＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入力端子２３，２４または平衡出力端子２３，２４に接続され、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１のそれぞれの中央のＩＤＴ電極５，８以外のもののバスバー電極が第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９のＩＤＴ電極２，３のバスバー電極に、絶縁体３２，３３を介して並列接続されているので、弾性表面波素子２０，２１と弾性表面波共振子１８，１９をできるだけ近接して並べて配置することができ、さらにバスバー電極を重ね合わせて接続しているため、引き出し電極３１の長さを十分に短くすることができ、従来の弾性表面波装置と比べて抵抗損失を小さくすることができるので、弾性表面波装置の挿入損失を向上させることができる。

また、中心共通バスバー電極２９によって、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１が接続されて、それらのＩＤＴ電極及び反射器電極が、中心共通バスバー電極２９により共通化して形成されていることにより、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１間のスペースを無くすことができ、弾性表面波装置全体の装置面積を小さくすることができ、極めて小型な弾性表面波装置を実現することができる。さらに、弾性表面波素子２０，２１のＩＤＴ電極の交差幅を従来の弾性表面波素子の約半分にまで狭くすることができるため、従来の弾性表面波素子と比べて抵抗損失を小さくすることができ、弾性表面波素子２０，２１の挿入損失を向上させることができる。

同様に、第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９のＩＤＴ電極の交差幅を、従来の弾性表面波共振子の約半分まで狭くすることができため、従来の弾性表面波共振子と比べて抵抗損失を小さくすることができ、弾性表面波共振子の挿入損失を向上させることができる。さらに、弾性表面波装置を小型化できるので、圧電基板ウェハ１枚当たりの弾性表面波装置の取り数を多くすることができ、弾性表面波装置の部材コストを大幅に削減することができる。

本発明の絶縁体３２，３３としては、酸化シリコンまたはポリイミド系樹脂またはアクリル系レジスト等を用いることがよい。これにより、弾性表面波素子２０，２１と弾性表面波共振子１８，１９との間の絶縁性を良好に保つことができる。

絶縁体３２，３３の厚みは１．０μｍ〜１０．０μｍ程度がよく、１．０μｍ未満では、配線間の絶縁性を確保することが難しくなり、１０．０μｍを超えると、配線の断線の発生を抑制することが難しくなり、弾性表面波装置の信頼性が低下し易くなる。

また、絶縁体３２，３３は、ビルドアップ法等の方法で形成される。絶縁体３２，３３を形成する際に、複数の絶縁層３２，３３を積層させた構成としてもよい。

また、絶縁体３２，３３中にアルミナセラミックス等からなる絶縁体粒子や銀等からなる金属粒子を混入させることによって、あるいは絶縁体３２，３３を多数の気泡が形成された多孔質体とすることによって、絶縁体３２，３３の誘電率を所望のものに調整することができる。

また、図３（ａ）に本発明の弾性表面波装置の実施の形態の他例の平面図を示す。また、図３（ｂ）に、図３（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図（図３（ａ）の下側からみた断面図）を示す。図３（ａ）に示すように、図１及び図２の構成において好ましくは、第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９は、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１との隣接部に対向した位置に形成されたバスバー電極上に、それに沿って絶縁体３４，３５を介して形成されるとともに、ＩＤＴ電極に接続された引き出し電極３６，３７が設けられており、この引き出し電極３６，３７が、平衡入力端子２３，２４または平衡出力端子２３，２４に接続されている。

これにより、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１と第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９との隣接部におけるバスバー電極上３８，３９と、第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９の第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１との隣接部に対向した位置に形成されたバスバー電極４０，４１上に、絶縁体３２〜３５及びその上に形成された引き出し電極３１，３６，３７が形成されているため、バスバー電極上の構造物のトータル厚みが厚くなり、中心共通バスバー電極２９、バスバー電極上３８，３９及びバスバー電極４０，４１上において、金属膜と絶縁体による質量効果が、従来のバスバー電極構造と比較して大きくはたらくこととなる。そのため、バスバー電極部における弾性表面波の音速が遅くなっている。従って、弾性表面波の励振に寄与しないＩＤＴ電極のバスバー電極近傍における音速を、弾性表面波の励振に寄与する電極指交差部領域の音速より遅くすることができ、弾性表面波のエネルギーを閉じ込めることが可能となり、挿入損失を低減し、通過帯域におけるフィルタ特性の急峻性を向上させた弾性表面波装置を提供することができる。

また、第１及び第２の弾性表面波共振子１８，１９において、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１との隣接部に対向した位置に形成されたバスバー電極上に引き出し電極３６，３７を配置したことにより、装置面積において引き出し電極３６，３７が占める面積を極力低減することができ、弾性表面波装置を極端に小型化することが可能である。

なお、ＩＤＴ電極２〜９，反射器電極１０〜１７の電極指の本数は数本〜数１００本にも及ぶので、簡単のため、図面においてはそれら形状を簡略化して図示している。

本発明の弾性表面波装置は以下のようにして作製される。まず、圧電基板１上に導体層を形成し、この導体層を一対の平行なバスバー電極と各バスバー電極から互いに噛み合うように延びた複数の電極指とにパターニングしてＩＤＴ電極を形成し、ＩＤＴ電極２〜９上を絶縁体（保護膜）で被覆し、引き出し電極及びパッド電極部となる導体層をリフトオフ工程またはフォトリソグラフィにより形成する。

ここで、圧電基板１としてはタンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム単結晶、四ホウ酸リチウム単結晶等を用いることができる。

また、圧電基板１上の導体層としては、アルミニウム，アルミニウム合金，銅，銅合金，金，金合金，タンタル，タンタル合金、またはこれらの材料から成る層の積層膜、またはこれらの材料の層とチタン，クロム等の材料の層との積層膜を用いることができる。引き出し電極及びパッド電極部となる導体層としては、アルミニウム、アルミニウムとクロム等の材料の層の積層膜、クロムとニッケルと金等の材料との積層膜等を用いることができる。導体層の成膜方法としてはスパッタリング法や電子ビーム蒸着法を用いることができる。

この導体層をパターニングする方法としては、導体層の成膜後にフォトリソグラフィを行い、次いでＲＩＥ（Reactive Ion Etching）やウェットエッチングを行う方法がある。または、導体層の成膜前に圧電基板の一方主面にレジストを形成しフォトリソグラフィを行って所望のパターンを開口した後、導体層を成膜し、その後レジストを不要部分に成膜された導体層ごと除去するリフトオフプロセスを行ってもよい。

次に、ＩＤＴ電極２〜９を保護するための絶縁体（保護膜）を成膜する。絶縁体（保護膜）の材料としては、感光性ポリイミド樹脂等の感光性樹脂、ＳｉＯ_２、ＳｉＮ等、シリコン樹脂等を用いることができる。絶縁体（保護膜）の成膜方法としては、スパッタリング法，ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法，電子ビーム蒸着法等を用いることができる。

絶縁体３０，３２，３３，３４，３５は、感光性ポリイミド樹脂等を用いて、スピンコートにより、圧電基板１上に感光性ポリイミド樹脂等を塗布した後、所定箇所に露光・現像工程を施すことによって形成される。

また、図１（ｂ）に示すように、絶縁体３２，３３の下部に形成されるＩＤＴ電極４，６，７，９のバスバー電極とＩＤＴ電極２，３のバスバー電極との導通を取るために、ポリイミド樹脂等からなる絶縁体３２，３３の所定の位置に、貫通孔（貫通導体）を形成している。

次に、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１の弾性表面波共振子１８，１９との接続を取るためのＩＤＴ電極２，３のバスバー電極を、スパッタリング装置を用いて、Ａｌ（９９質量％）−Ｃｕ（１質量％）合金により形成する。

また、同様に、図３（ｂ）に示すように、絶縁体３４，３５の下部に形成されるＩＤＴ電極２，３のバスバー電極と引き出し電極３６，３７との導通を取るために、ポリイミド樹脂等からなる絶縁体３４，３５の所定の位置に、貫通孔（貫通導体）を形成している。

次に、弾性表面波共振子１８，１９のＩＤＴ電極２，３と平衡入力端子２３，２４または平衡出力端子２３，２４との電気的な接続を取るための引き出し電極３６，３７を、スパッタリング装置を用いて、Ａｌ（９９質量％）−Ｃｕ（１質量％）合金により形成する。

同様に、絶縁体３０を介して、弾性表面波素子２０，２１のＩＤＴ電極５，８と不平衡入力端子２２または不平衡出力端子２２との電気的な接続を取るための引き出し電極３１を、スパッタリング装置を用いて、Ａｌ（９９質量％）−Ｃｕ（１質量％）合金により形成する。

また、本発明の弾性表面波フィルタを通信装置に適用することができる。即ち、少なくとも受信回路または送信回路の一方を備え、これらの回路に含まれるバンドパスフィルタとして用いる。例えば、送信回路から出力された送信信号をミキサでキャリア周波数にのせて、不要信号をバンドパスフィルタで減衰させ、その後、パワーアンプで送信信号を増幅して、デュプレクサを通ってアンテナより送信することができる送信回路を備えた通信装置や、受信信号をアンテナで受信し、デュプレクサを通った受信信号をローノイズアンプで増幅し、その後、バンドパスフィルタで不要信号を減衰して、ミキサでキャリア周波数から信号を分離し、この信号を取り出す受信回路へ伝送するような受信回路を備えた通信装置に適用可能であり、本発明の弾性表面波装置を採用すれば、感度が向上した優れた通信装置を提供できる。

以上により、優れた弾性表面波装置を有する受信回路や送信回路を備え、感度が格段に良好な優れた通信機等の通信装置を提供できる。

（ａ）は本発明の弾性表面波装置について実施の形態の１例の電極構造例を模式的に示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線における断面図である。

である。
本発明の弾性表面波装置について実施の形態の他例の電極構造例を模式的に示す平面図である。 （ａ）は本発明の弾性表面波装置について実施の形態の他例の電極構造例を模式的に示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図である。 従来の弾性表面波装置について電極指ピッチの分布を示すグラフ及び電極構造例を模式的に示す平面図である。 従来の弾性表面波装置の電極構造例を模式的に示す平面図である。

符号の説明

１：圧電基板
２〜９：ＩＤＴ電極
１０〜１７：反射器電極
２９：中心共通バスバー電極
３０，３２，３３，３４，３５：絶縁体
３１，３６，３７：引き出し電極
１８，１９：弾性表面波共振子
２０，２１：弾性表面波素子

Claims (3)

1. 圧電基板上に、該圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、該伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極と、前記伝搬方向に沿って前記ＩＤＴ電極の両側に配置された反射器電極とを備えた第１及び第２の弾性表面波共振子と、
   前記圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、該伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた３個以上の奇数個のＩＤＴ電極と、該奇数個のＩＤＴ電極の両側にそれぞれ配置され、前記伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極とからなる第１及び第２の弾性表面波素子とが形成された弾性表面波装置であって、
   前記第１及び第２の弾性表面波素子は、前記伝搬方向に延びるように形成された中心共通バスバー電極の両側に、前記中心共通バスバー電極によって互いに接続されて形成されているとともに、前記中心共通バスバー電極上に、それに沿って絶縁体を介して形成されるとともに前記ＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、該引き出し電極が不平衡入力端子または不平衡出力端子に接続されており、
   前記第１及び第２の弾性表面波素子と前記第１及び第２の弾性表面波共振子とは、互いに隣接して前記伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、互いのバスバー電極が絶縁体を介して重なって配置されており、
   前記第１及び第２の弾性表面波共振子のそれぞれの前記ＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入力端子または平衡出力端子に接続され、前記第１及び第２の弾性表面波素子のそれぞれの中央の前記ＩＤＴ電極以外のもののバスバー電極が前記第１及び第２の弾性表面波共振子の前記ＩＤＴ電極のバスバー電極に、前記絶縁体を介して並列接続されていることを特徴とする弾性表面波装置。
2. 前記第１及び第２の弾性表面波共振子は、前記第１及び第２の弾性表面波素子との隣接部に対向した位置に形成されたバスバー電極上に、それに沿って絶縁体を介して形成されるとともに、前記ＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、該引き出し電極が前記平衡入力端子または前記平衡出力端子に接続されていることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波装置。
3. 請求項１または２記載の弾性表面波装置を有する、受信回路及び送信回路の少なくとも一方を備えたことを特徴とする通信装置。
   
   

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