JP2011077810A - フィルタ - Google Patents
フィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011077810A JP2011077810A JP2009227032A JP2009227032A JP2011077810A JP 2011077810 A JP2011077810 A JP 2011077810A JP 2009227032 A JP2009227032 A JP 2009227032A JP 2009227032 A JP2009227032 A JP 2009227032A JP 2011077810 A JP2011077810 A JP 2011077810A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- piezoelectric thin
- piezoelectric
- substrate
- lower electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】上部電極2と下部電極3とが圧電膜4を挟んで対向する共振部(メンブレン領域)が、空隙9を挟んで基板1上に配されている圧電薄膜共振子を複数備えている。空隙9は、複数の圧電薄膜共振子の下部において連続した空間として備わっている。また、犠牲層エッチング液を注入するためのリリース孔6を備えている。これにより、複数の圧電薄膜共振子で空隙9を共有することができ、リリース孔を減らすことができ、フィルタを小型化することができる。また、共振部がエアーブリッジ型電極8で支持されていることにより、共振部の端部に応力が集中するのを防ぎ、クラック等が入ることを防止する。
【選択図】図2B
Description
〔1.弾性波デバイスの構成〕
図1Aは、従来のFBARタイプの圧電薄膜共振子の構造を示す。図1Bは、図1AにおけるA−A’部の断面図である。図1A及び図1Bに示す圧電薄膜共振子は、基板101、上部電極102、下部電極103、圧電膜104を備えている。基板101と下部電極103との間には、犠牲層105を備えているが、これは圧電薄膜共振子の製造工程においてエッチングにより除去される。上部電極102と下部電極103とが対向する領域(以下、メンブレン領域と称する)の近傍には、犠牲層105を除去するためのエッチング液を注入するためのリリース孔106を有する。
F=nV/(2H)
となる。このことから、積層膜の総膜厚Hにより共振周波数Fを制御することができ、所望の周波数特性を有する圧電薄膜共振子を得ることができる。
図3Aは、実施の形態にかかる圧電薄膜共振子の実施例1の平面図であり、実施例1にかかる圧電薄膜共振子を梯子形に接続したラダーフィルタを示す。図3Bは、図3AにおけるC−C’部の断面図である。図3Cは、図3Aに示すラダーフィルタの回路図である。図3A及び図3Bにおいて、図2A及び図2Bに示す圧電薄膜共振子またはラダーフィルタにおける構成要素と同一の構成要素については、同一符号を付与して詳細な説明は省略する。
図4Aは、実施の形態にかかる圧電薄膜共振子の実施例2の平面図であり、実施例2にかかる圧電薄膜共振子を梯子形に接続したラダーフィルタを示す。図4Bは、図4AにおけるD−D’部の断面図である。図3A及び図3Bにおいて、図2A及び図2Bに示す圧電薄膜共振子またはラダーフィルタにおける構成要素と同一の構成要素については、同一符号を付与して詳細な説明は省略する。
図5A〜図5Jは、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子またはそれを備えたフィルタの製作工程を図示した断面図である。
図6Aは、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子の変形例を示す平面図である。図6Bは、図6AにおけるE−E’部の断面図である。図6A及び図6Bにおいて、図2A及び図2Bに示す圧電薄膜共振子またはラダーフィルタにおける構成要素と同一の構成要素については、同一符号を付与して詳細な説明は省略する。
図7は、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子を備えた通信モジュールの一例を示す。図7に示すように、デュープレクサ62は、受信フィルタ62aと送信フィルタ62bとを備えている。また、受信フィルタ62aには、例えばバランス出力に対応した受信端子63a及び63bが接続されている。また、送信フィルタ62bは、パワーアンプ64を介して送信端子65に接続している。ここで、受信フィルタ62aは、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子を備えている。
図8は、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子、または前述の通信モジュールを備えた通信装置の一例として、携帯電話端末のRFブロックを示す。また、図8に示す通信装置は、GSM(Global System for Mobile Communications)通信方式及びW−CDMA(Wideband Code Division Multiple Access)通信方式に対応した携帯電話端末の構成を示す。また、本実施の形態におけるGSM通信方式は、850MHz帯、950MHz帯、1.8GHz帯、1.9GHz帯に対応している。また、携帯電話端末は、図8に示す構成以外にマイクロホン、スピーカー、液晶ディスプレイなどを備えているが、本実施の形態における説明では不要であるため図示を省略した。ここで、受信フィルタ73a、77〜80は、本実施の形態にかかる圧電薄膜共振子を備えている。
本実施の形態によれば、複数の圧電薄膜共振子で空隙を共有し、更に圧電薄膜共振子を含む構造体をエアブリッジ型電極によりパッド部に支持することで、犠牲層エッチング液を注入するためのリリース孔を圧電薄膜共振子毎に設ける必要がなくなる。したがって、圧電薄膜共振子を小型化できる。また、そのような圧電薄膜共振子を備えたフィルタ、通信モジュール、通信装置を小型化することができる。
フィルタを備えた通信モジュールであって、
前記フィルタは、
基板と、
前記基板上に設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜上に設けられた上部電極とを備え、
前記上部電極と前記下部電極が前記圧電膜を挟んで対向するメンブレン領域が、空隙を挟んで前記基板上に配されている圧電薄膜共振子を複数備え、
前記空隙は、前記複数の圧電薄膜共振子の下部において連続した空間を形成し、
前記空隙へ連通する貫通孔をさらに備えた、通信モジュール。
前記空隙は、前記上部電極と前記下部電極とが交差する励振部より大きく形成されている、付記1記載の通信モジュール。
前記複数の圧電薄膜共振子は、前記下部電極を共有している、付記1または2記載の通信モジュール。
前記複数の圧電薄膜共振子は、前記基板との間に空隙を有するエアーブリッジ型電極により、パッド部に機械的に結合されているとともに電気的に接続されている、付記1記載の通信モジュール。
フィルタを備えた通信装置であって、
前記フィルタは、
基板と、
前記基板上に設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜上に設けられた上部電極とを備え、
前記上部電極と前記下部電極が前記圧電膜を挟んで対向するメンブレン領域が、空隙を挟んで前記基板上に配されている圧電薄膜共振子を複数備え、
前記空隙は、前記複数の圧電薄膜共振子の下部において連続した空間を形成し、
前記空隙へ連通する貫通孔をさらに備えた、通信装置。
前記空隙は、前記上部電極と前記下部電極とが交差する励振部より大きく形成されている、付記5記載の通信装置。
前記複数の圧電薄膜共振子は、前記下部電極を共有している、付記5または6記載の通信装置。
前記複数の圧電薄膜共振子は、前記基板との間に空隙を有するエアーブリッジ型電極により、パッド部に機械的に結合されているとともに電気的に接続されている、付記5記載の通信装置。
2 上部電極
3 下部電極
4 圧電膜
6 リリース孔
8 エアーブリッジ型電極
9 空隙
Claims (4)
- 基板と、
前記基板上に設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜上に設けられた上部電極とを備え、
前記上部電極と前記下部電極が前記圧電膜を挟んで対向するメンブレン領域が、空隙を挟んで前記基板上に配されている圧電薄膜共振子を複数備えた、フィルタであって、
前記空隙は、前記複数の圧電薄膜共振子の下部において連続した空間を形成し、
前記空隙へ連通する貫通孔をさらに備えた、フィルタ。 - 前記空隙は、前記上部電極と前記下部電極とが交差する励振部より大きく形成されている、請求項1記載のフィルタ。
- 前記複数の圧電薄膜共振子は、前記下部電極を共有している、請求項1または2記載のフィルタ。
- 前記複数の圧電薄膜共振子は、前記基板との間に空隙を有するエアーブリッジ型電極により、パッド部に機械的に結合されているとともに電気的に接続されている、請求項1記載のフィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009227032A JP5478180B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009227032A JP5478180B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | フィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011077810A true JP2011077810A (ja) | 2011-04-14 |
JP5478180B2 JP5478180B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=44021318
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009227032A Active JP5478180B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5478180B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016093020A1 (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
CN108233888A (zh) * | 2016-12-22 | 2018-06-29 | 三星电机株式会社 | 体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器 |
JP2020014096A (ja) * | 2018-07-17 | 2020-01-23 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスおよびマルチプレクサ |
EP4050796A4 (en) * | 2019-10-26 | 2023-01-04 | Rofs Microsystem (Tianjin) Co., Ltd. | BULKY ACOUSTIC WAVES RESONATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING IT, FILTER AND ELECTRONIC DEVICE |
EP4160916A4 (en) * | 2020-06-28 | 2023-11-22 | JWL (Zhejiang) Semiconductor Co., Ltd. | VOLUME ACOUSTIC RESONATOR CAVITY STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006087878A1 (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電薄膜共振子 |
JP2007082218A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte Ltd | 周波数温度係数調節式共振器 |
JP2007511134A (ja) * | 2003-10-30 | 2007-04-26 | アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド | 減結合スタック型バルク音響共振器デバイスにおける通過帯域幅の制御 |
WO2007119556A1 (ja) * | 2006-04-05 | 2007-10-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電共振子及び圧電フィルタ |
-
2009
- 2009-09-30 JP JP2009227032A patent/JP5478180B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007511134A (ja) * | 2003-10-30 | 2007-04-26 | アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド | 減結合スタック型バルク音響共振器デバイスにおける通過帯域幅の制御 |
WO2006087878A1 (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電薄膜共振子 |
JP2007082218A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte Ltd | 周波数温度係数調節式共振器 |
WO2007119556A1 (ja) * | 2006-04-05 | 2007-10-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電共振子及び圧電フィルタ |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016093020A1 (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
US10700262B2 (en) | 2014-12-08 | 2020-06-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric device and production method for piezoelectric device |
CN108233888A (zh) * | 2016-12-22 | 2018-06-29 | 三星电机株式会社 | 体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器 |
JP2020014096A (ja) * | 2018-07-17 | 2020-01-23 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスおよびマルチプレクサ |
JP7042178B2 (ja) | 2018-07-17 | 2022-03-25 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスおよびマルチプレクサ |
EP4050796A4 (en) * | 2019-10-26 | 2023-01-04 | Rofs Microsystem (Tianjin) Co., Ltd. | BULKY ACOUSTIC WAVES RESONATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING IT, FILTER AND ELECTRONIC DEVICE |
EP4160916A4 (en) * | 2020-06-28 | 2023-11-22 | JWL (Zhejiang) Semiconductor Co., Ltd. | VOLUME ACOUSTIC RESONATOR CAVITY STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5478180B2 (ja) | 2014-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5319491B2 (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
US7978025B2 (en) | Film bulk acoustic resonator, filter, communication module and communication device | |
JP5689080B2 (ja) | 圧電薄膜共振子、通信モジュール、通信装置 | |
JP5220503B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP5229945B2 (ja) | フィルタ、デュープレクサ、および通信装置 | |
JP5191762B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタ、および通信装置 | |
JP4968900B2 (ja) | ラダー型フィルタの製造方法 | |
JP4944145B2 (ja) | 圧電薄膜共振子、フィルタ、通信モジュール、通信装置 | |
JP5147932B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタ、通信モジュール、および通信装置 | |
JP5080858B2 (ja) | 圧電薄膜共振器およびフィルタ | |
JP5226409B2 (ja) | 共振デバイス、通信モジュール、通信装置、共振デバイスの製造方法 | |
JP2013038658A (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2007208728A (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびその製造方法 | |
JP5478180B2 (ja) | フィルタ | |
WO2011036979A1 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP5555466B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP5750052B2 (ja) | 弾性波デバイス、フィルタ、通信モジュール、通信装置 | |
JP2008311873A (ja) | フィルタ | |
JP5340876B2 (ja) | 弾性波デバイス、フィルタ、通信モジュール、通信装置 | |
JP2011135618A (ja) | 圧電薄膜共振子及びその製造方法 | |
JP2008079328A (ja) | 圧電薄膜共振子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131031 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5478180 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |