JP2007208728A - 圧電薄膜共振器、フィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板(41)上に、空隙(46)が形成されるように設けられた下部電極(43)と、下部電極(43)上に設けられた圧電膜(44)と、圧電膜(44)上に設けられた上部電極(45)と、を有し、下部電極(43)、圧電膜(44)および上部電極(45)は、空隙(46)の中心を含み、空隙(46)に接続する貫通孔(47)を有することを特徴とする圧電薄膜共振器およびフィルタ並びにその製造方法である。
【選択図】図4
Description
13、23、33、43 下部電極
14、24,34、44 圧電薄膜
15、25、35、45 下部電極
16、26、36、46 空隙
47 貫通孔
48 犠牲層
50 メンブレン領域
C 空隙の中心
Claims (9)
- 基板上に、前記基板空隙が形成されるように設けられた下部電極と、
該下部電極上に設けられた圧電膜と、
該圧電膜上に設けられた上部電極と、を具備し、
前記下部電極、前記圧電膜および前記上部電極は、前記空隙に接続し前記空隙の中心を含む貫通孔を有することを特徴とする圧電薄膜共振器。 - 基板上に、前記基板との間に空隙が形成されるように設けられた下部電極と、
該下部電極上に設けられた圧電膜と、
該圧電膜上に設けられた上部電極と、を具備し、
前記圧電膜を挟む前記下部電極と前記上部電極との重なり領域であるメンブレン領域は、リング形状を有することを特徴とする圧電薄膜共振器。 - 前記下部電極は、前記基板との間にドーム状の膨らみを有する空隙が形成されるように設けられたことを特徴とする請求項1または2記載の圧電薄膜共振器。
- 前記空隙は平坦な前記基板上に設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記メンブレン領域と前記空隙とは相似形であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記圧電膜は、(002)方向を主軸とする配向性を示す窒化アルミニウムおよび酸化亜鉛のいずれかであることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 請求項1から6のいずれかに記載の圧電薄膜共振器を複数組み合わせて構成されていることを特徴とするフィルタ。
- 基板上に空隙を形成するための犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層および前記基板上に下部電極、圧電膜および上部電極を形成する工程と、
前記下部電極、前記圧電薄膜および前記上部電極を貫通し、前記空隙の中心を含む貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔よりエッチング液を導入し前記犠牲層を除去する工程と、を有する圧電薄膜共振器の製造方法。 - 請求項8記載の圧電薄膜共振器の製造方法を含むことを特徴とするフィルタの製造方法。
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