JP5147932B2 - 圧電薄膜共振器、フィルタ、通信モジュール、および通信装置 - Google Patents
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Description
F=nV/2H
で与えられる。このような共振現象を利用すると、膜厚をパラメータとして共振周波数を制御することが可能であり、所望の周波数特性を有する共振器やフィルタを作製することができる。
〔1.圧電薄膜共振器の構成〕
図1は、本実施の形態に係る圧電薄膜共振器の平面図である。図2は、図1におけるZ−Z部の断面図である。図1及び図2に示すように、圧電薄膜共振器は、例えばシリコンで形成された基板1、下部電極3、圧電膜4、および上部電極5を積層して形成されている。基板1は、空隙6を有する。下部電極3は、ルテニウム(Ru)で形成されている。圧電膜4は、窒化アルミニウム(AlN)で形成されている。上部電極5は、Ruで形成されている。共振部8(共振領域)は、圧電膜4を挟み下部電極3と上部電極5とが対向する領域である。なお、図1における共振部8は、ドットハッチングを付している領域である。また、図3に示すように、中間領域9は、共振部8の領域から空隙6の領域を差し引いた領域である。また、中間領域9において、下部電極3は中間層7に固定されている。なお、図3は、中間領域9の位置を特定するために、図1に示す平面図において中間領域9のみにハッチングを付した図である。また、下部電極3の厚さは約250nm、圧電膜4の厚さは約1.2μm、上部電極5の厚さは約250nmである。また、下部電極3の端部3aは、30°の傾きを有している。
v=(C/ρ)1/2
の数式に基づいて算出することができる。また、上記数式によって算出された音速vと、周波数fとに基づき、波長の1/4に相当する中間層7の厚さT1を、
T1=(1/4)×(v/f)
の数式に基づいて算出することができる。また、固定される下部電極3の端部3aが基板1の表面に対してαの角度を有する場合は、波長の1/4に相当する中間層7の厚さT2は、
T2=(1/4)×(v/f)cosα
の数式に基づいて算出することができる。
〔2−1.キャビティタイプの圧電薄膜共振器の製造方法〕
図12A〜図12Fは、図8に示すキャビティタイプの圧電薄膜共振器の製造工程を示す。図8に示す圧電薄膜共振器において、基板11は、(100)面でカットしたSi基板とした。下部電極103はRu膜で形成した。なお、基板11は、Si基板に代えて石英基板等を用いてもよい。また、圧電膜14はAlNで形成した。また、上部電極15はRu膜で形成した。
図13A〜図13Fは、図1及び図2に示すバイアホールタイプの圧電薄膜共振器の製造工程を示す。図1及び図2に示す圧電薄膜共振器において、基板1は、(111)面でカットしたSi基板を使用した。なお、基板1は、Si基板に代えて石英基板等を用いてもよい。また、下部電極3はRu層で形成した。また、圧電膜4はAlNで形成した。また、上部電極5はRu膜で形成した。
携帯電話端末、PHS(Personal Handy-phone System)端末、無線LANシステムなどの移動体通信(高周波無線通信)には、デュープレクサが搭載されている。デュープレクサは、通信電波などの送信機能及び受信機能を持ち、送信信号と受信信号の周波数が異なる無線装置において用いられる。
図15は、本実施の形態の圧電薄膜共振器または上記デュープレクサを備えた通信モジュールの一例を示す。図15に示すように、デュープレクサ62は、受信フィルタ62aと送信フィルタ62bとを備えている。また、受信フィルタ62aには、例えばバランス出力に対応した受信端子63a及び63bが接続されている。また、送信フィルタ62bは、パワーアンプ64を介して送信端子65に接続している。ここで、受信フィルタ62a及び送信フィルタ62bには、本実施の形態における圧電薄膜共振器が含まれている。
図16は、本実施の形態の通信モジュールを備えた通信装置の一例として、携帯電話端末のRFブロックを示す。また、図16に示す構成は、GSM(Global System for Mobile Communications)通信方式及びW−CDMA(Wideband Code Divition Multiple Access)通信方式に対応した携帯電話端末の構成を示す。また、本実施の形態におけるGSM通信方式は、850MHz帯、950MHz帯、1.8GHz帯、1.9GHz帯に対応している。また、携帯電話端末は、図16に示す構成以外にマイクロホン、スピーカー、液晶ディスプレイなどを備えているが、本実施の形態における説明では不要であるため図示を省略した。ここで、受信フィルタ73a,77,78,79,80、および送信フィルタ73bには、本実施の形態におけるフィルタが含まれている。
本実施の形態によれば、共振部からの振動エネルギーの散逸を抑制し、共振器のクオリティファクタの低下を防ぐことができる。また、本実施の形態によれば、簡単な製造方法により、共振部からの振動エネルギーの散逸を抑制できる圧電薄膜共振器を製造することができる。
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上に配され、絶縁体で形成された中間層と、
前記中間層上に配された下部電極と、
前記下部電極上に配された圧電膜と、
前記圧電膜を挟んで前記下部電極と対向する位置に配された上部電極とを備え、
前記下部電極と前記上部電極とが対向する共振部の領域内において、前記下部電極または前記中間層の前記基板側に、または、前記下部電極と前記中間層との間に、空隙が形成され、
前記中間層は、アルミ窒化膜で形成され、かつ、
前記中間層の厚さは、前記圧電膜の厚さの0.50倍から1.40倍である、圧電薄膜共振器。 - 基板と、
前記基板上に配され、絶縁体で形成された中間層と、
前記中間層上に配された下部電極と、
前記下部電極上に配された圧電膜と、
前記圧電膜を挟んで前記下部電極と対向する位置に配された上部電極とを備え、
前記下部電極と前記上部電極とが対向する共振部の領域内において、前記下部電極または前記中間層の前記基板側に、または、前記下部電極と前記中間層との間に、空隙が形成され、
前記共振部の領域から前記空隙の領域を除いた中間領域において、前記下部電極は前記中間層に固定され、
前記中間層は、アルミ窒化膜で形成され、かつ、
前記中間層の厚さは、前記圧電膜の厚さの0.50倍から1.40倍である、圧電薄膜共振器。 - 前記圧電膜は、
(002)方向を主軸とする配向性を有する窒化アルミニウムまたは酸化亜鉛で形成されている、請求項1または2に記載の圧電薄膜共振器。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の圧電薄膜共振器を備えた、フィルタ。
- 請求項4に記載のフィルタを備えた、通信モジュール。
- 請求項5に記載の通信モジュールを備えた、通信装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5709368B2 (ja) * | 2009-11-04 | 2015-04-30 | キヤノン株式会社 | 生体情報取得装置 |
JP5650553B2 (ja) * | 2011-02-04 | 2015-01-07 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスの製造方法 |
US9484882B2 (en) * | 2013-02-14 | 2016-11-01 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator having temperature compensation |
KR101945723B1 (ko) * | 2011-10-25 | 2019-02-11 | 삼성전자주식회사 | 박막 벌크 음향 공진기 및 박막 벌크 음향 공진기의 제조방법 |
JP6336712B2 (ja) * | 2013-01-28 | 2018-06-06 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
JP6325799B2 (ja) * | 2013-11-11 | 2018-05-16 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
JP6325798B2 (ja) | 2013-11-11 | 2018-05-16 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
US9401691B2 (en) * | 2014-04-30 | 2016-07-26 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator device with air-ring and temperature compensating layer |
US9634642B2 (en) * | 2014-05-30 | 2017-04-25 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator comprising vertically extended acoustic cavity |
CN104242864B (zh) * | 2014-08-28 | 2017-03-29 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 具有温度补偿和谐振频率修调功能的fbar及滤波器 |
US9550535B2 (en) * | 2015-04-17 | 2017-01-24 | General Electric Company | Aerodynamic control system and method |
US11070184B2 (en) * | 2016-03-11 | 2021-07-20 | Akoustis, Inc. | Piezoelectric acoustic resonator manufactured with piezoelectric thin film transfer process |
JP6757594B2 (ja) * | 2016-05-18 | 2020-09-23 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
WO2018008198A1 (ja) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
US11476826B2 (en) * | 2017-01-17 | 2022-10-18 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Bulk acoustic wave resonator |
US10256788B2 (en) * | 2017-03-31 | 2019-04-09 | Avago Technologies International Sales Pte. Limited | Acoustic resonator including extended cavity |
JP6950658B2 (ja) * | 2017-11-29 | 2021-10-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
KR102212376B1 (ko) * | 2018-12-13 | 2021-02-04 | (주)와이솔 | 압전 박막 공진기 |
US20220029603A1 (en) * | 2019-04-04 | 2022-01-27 | Ningbo Semiconductor International Corporation (Shanghai Branch) | Bulk acoustic wave resonator, filter and radio frequency communication system |
CN112039460B (zh) * | 2019-07-19 | 2022-05-10 | 中芯集成电路(宁波)有限公司 | 薄膜体声波谐振器及其制作方法 |
CN110868192A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-03-06 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 具有封装结构的薄膜体声谐振器和滤波器 |
KR20220059778A (ko) * | 2020-11-03 | 2022-05-10 | 삼성전기주식회사 | 체적 음향 공진기 |
CN113794458B (zh) * | 2021-09-16 | 2023-09-29 | 无锡市好达电子股份有限公司 | 一种具有复合膜层的声表面波装置 |
WO2023113003A1 (ja) * | 2021-12-15 | 2023-06-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及び複合フィルタ装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10270979A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-10-09 | Nokia Mobile Phones Ltd | 保護音響ミラーを含む頂部を有するバルク型音波(baw)フィルタ |
WO2004001964A1 (ja) * | 2002-06-20 | 2003-12-31 | Ube Industries, Ltd. | 薄膜圧電共振器、薄膜圧電デバイスおよびその製造方法 |
JP2005073175A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-03-17 | Fujitsu Media Device Kk | 圧電薄膜共振子及びその製造方法 |
JP2005117641A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電体共振器、それを用いたフィルタ及び共用器 |
JP2005160056A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電デバイス及びアンテナ共用器並びにそれらに用いられる圧電共振器の製造方法 |
JP2005318562A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-11-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響共振器及びフィルタ |
JP2006229611A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振装置 |
JP2008048040A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60189307A (ja) | 1984-03-09 | 1985-09-26 | Toshiba Corp | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
JP3414370B2 (ja) * | 1999-08-11 | 2003-06-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ、デュプレクサ、通信機装置 |
US6384697B1 (en) | 2000-05-08 | 2002-05-07 | Agilent Technologies, Inc. | Cavity spanning bottom electrode of a substrate-mounted bulk wave acoustic resonator |
JP2005236338A (ja) | 2001-05-11 | 2005-09-02 | Ube Ind Ltd | 圧電薄膜共振子 |
US7242130B2 (en) | 2003-11-07 | 2007-07-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric device, antenna duplexer, and method of manufacturing piezoelectric resonators used therefor |
JP4373949B2 (ja) * | 2004-04-20 | 2009-11-25 | 株式会社東芝 | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
JP4535841B2 (ja) | 2004-10-28 | 2010-09-01 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタ |
-
2008
- 2008-03-04 CN CN200880127827.1A patent/CN101960717B/zh active Active
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- 2008-03-04 JP JP2010501707A patent/JP5147932B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10270979A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-10-09 | Nokia Mobile Phones Ltd | 保護音響ミラーを含む頂部を有するバルク型音波(baw)フィルタ |
WO2004001964A1 (ja) * | 2002-06-20 | 2003-12-31 | Ube Industries, Ltd. | 薄膜圧電共振器、薄膜圧電デバイスおよびその製造方法 |
JP2005073175A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-03-17 | Fujitsu Media Device Kk | 圧電薄膜共振子及びその製造方法 |
JP2005117641A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電体共振器、それを用いたフィルタ及び共用器 |
JP2005160056A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電デバイス及びアンテナ共用器並びにそれらに用いられる圧電共振器の製造方法 |
JP2005318562A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-11-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響共振器及びフィルタ |
JP2006229611A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振装置 |
JP2008048040A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8653908B2 (en) | 2014-02-18 |
US20110006860A1 (en) | 2011-01-13 |
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JPWO2009110062A1 (ja) | 2011-07-14 |
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