JP6580039B2 - 弾性波装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2…圧電基板
3…機能電極
4a,4b…第1,第2の配線層
5…支持層
6…カバー部材
6A,6B…第1,第2の主面
6a,6b…第1,第2のカバー部材
6aA,6bA…第1の主面
6aB,6bB…第2の主面
6c…凹部
7…ビアホール
7a…開口部
8…ビア導体
8a,8b…第1,第2のビア導体部
9…バンプ
10…レジストパターン
11…弾性波装置
16…カバー部材
21…弾性波装置
28…ビア導体
28b…第2のビア導体部
29…バンプ
31…弾性波装置
35a…支持層部分
35b…カバー部材部分
41…弾性波装置
46…カバー部材
46c…凹部
49…バンプ
51…弾性波装置
56c…凹部
58b…第2のビア導体部
61…弾性波装置
66c…凹部
66c1…底面
Claims (5)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられている機能電極と、
前記機能電極を囲むように前記圧電基板上に設けられている支持層と、
前記支持層の開口部を封止するように前記支持層上に設けられており、前記支持層側の主面である第1の主面と、前記第1の主面とは反対側の第2の主面とを有するカバー部材とを備え、
前記カバー部材には、前記第2の主面に開口している凹部が形成されており、前記支持層を貫通し、さらに前記カバー部材の前記凹部の底面に至り、該底面に開口している開口部を有するようにビアホールが形成されており、
前記ビアホールの前記開口部の面積が、前記カバー部材の前記凹部の底面の面積より小さくされており、
前記ビアホールに設けられている第1のビア導体部及び前記カバー部材の前記凹部に設けられている第2のビア導体部をさらに備え、前記第2のビア導体部の上面が凸型形状を有し、
前記カバー部材が、第1のカバー部材と第2のカバー部材とを有し、
前記第1のカバー部材は、前記第1の主面を有する部材であり、
前記第2のカバー部材は、前記第2の主面を有する部材であり、
前記第2のカバー部材は、前記第1のカバー部材上に積層されており、
前記カバー部材の前記凹部は、前記第1のカバー部材に至らないように前記第2のカバー部材に形成されており、
前記第1のカバー部材は、前記第2のカバー部材と前記支持層とを接着する樹脂層であり、
前記第2のカバー部材は、前記第1のカバー部材を保護する樹脂層である、
弾性波装置。 - 前記第2のカバー部材は、耐薬液性を有する樹脂である、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1のカバー部材は、粘接着性を有する樹脂である、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第2のビア導体部の前記第1のビア導体部側とは反対側の端部にバンプが接合されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 圧電基板上に設けられている機能電極と、前記圧電基板上に前記機能電極を囲むように設けられている支持層と、前記支持層の開口部を封止するように前記支持層上に設けられており、前記支持層側の主面である第1の主面と、前記第1の主面とは反対側の第2の主面とを有するカバー部材とを有し、前記カバー部材の前記第2の主面に開口している凹部が形成されており、前記支持層を貫通し、さらに前記カバー部材の前記凹部の底面に至るようにビアホールが形成されており、
前記カバー部材が、第1のカバー部材と第2のカバー部材とを有し、
前記第1のカバー部材は、前記第1の主面を有する部材であり、
前記第2のカバー部材は、前記第2の主面を有する部材であり、
前記第2のカバー部材は、前記第1のカバー部材上に積層されており、
前記カバー部材の前記凹部は、前記第1のカバー部材に至らないように前記第2のカバー部材に形成されており、
前記第1のカバー部材は、前記第2のカバー部材と前記支持層とを接着する樹脂層であり、
前記第2のカバー部材は、前記第1のカバー部材を保護する樹脂層であり、
前記カバー部材の凹部に臨む前記ビアホールの開口部の面積が、前記凹部の底面の面積よりも小さい、弾性波素子を用意する工程と、
前記ビアホール及び前記カバー部材の前記凹部に導体を充填し、前記ビアホールに第1のビア導体部を形成し、上面が凸型形状を有するように、前記カバー部材の前記凹部に第2のビア導体部を形成する工程とを備える、
弾性波装置の製造方法。
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