JP4655796B2 - 弾性境界波装置の製造方法及び弾性境界波装置 - Google Patents
弾性境界波装置の製造方法及び弾性境界波装置 Download PDFInfo
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Description
2…弾性境界波装置
2a…機能部
2b…端面
3…ダイシングライン
4…ダイシングライン
5…IDT
7…層間剥離防止用金属パターン
9…配線
9a…導電ライン
10…絶縁膜
10a…絶縁膜開口部
11…UBM下地層
12…吸音膜
12a…吸音膜開口部
13…UBM
14…半田バンプ
21…層間剥離防止用金属パターン
31…層間剥離防止用金属パターン
32…溝
51…層間剥離防止用金属パターン
Claims (10)
- 圧電材料からなる母基板を用意する工程と、
前記母基板上に複数の弾性境界波装置を構成するための複数のIDTを形成する工程と、
前記母基板上においてダイシングされる領域の少なくとも一部において、層間剥離防止用金属パターンを形成する工程と、
前記IDT及び前記層間剥離防止用金属パターンが形成された母基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記ダイシングされる領域において母基板をダイシングし、個々の弾性境界波装置を取り出す工程とを備えることを特徴とする、弾性境界波装置の製造方法。 - 前記層間剥離防止用金属パターンが、前記IDTと電気的に絶縁されて形成される、請求項1に記載の弾性境界波装置の製造方法。
- 前記層間剥離防止用金属パターンを形成する工程において、前記層間剥離防止用金属パターンが、前記個々の弾性境界波装置の外周を取り囲むように形成される、請求項1または2に記載の弾性境界波装置の製造方法。
- 前記層間剥離防止用金属パターンを形成する工程が、前記IDTを形成する工程と同時に、同じ導電性材料を用いて行われる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波装置の製造方法。
- 前記IDTを形成する工程の後に、前記IDTと電気的に接続される配線を形成する工程をさらに備え、
前記層間剥離防止用金属パターンが、前記配線を形成する工程と同時に、同じ金属材料を用いて行われる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波装置の製造方法。 - 前記絶縁膜に、前記配線を部分的に露出させる絶縁膜開口部を形成する工程と、
前記絶縁膜開口部に前記配線と電気的に接続されるように、UBM下地層を形成する工程と、
前記絶縁膜上において、前記UBM下地層と電気的に接続される給電ラインを形成する工程をさらに備え、
前記層間剥離防止用金属パターンは、前記給電ラインが形成される領域の下方以外の領域に形成される、請求項5に記載の弾性境界波装置の製造方法。 - 圧電材料からなる母基板を用意する工程と、
前記母基板上に、複数の弾性境界波装置を形成するために複数のIDTを形成する工程と、前記母基板上に前記母基板のダイシングされる領域の少なくとも一部において層間剥離防止用金属パターンを形成する工程と、
前記IDTと電気的に接続される配線を形成する工程と、
前記IDTが形成された前記母基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜に、前記配線を部分的に露出させる絶縁膜開口部を形成する工程と、
無電解メッキにより前記絶縁膜開口部にUBMを前記UBM下地層と電気的に接続されるように形成する工程と、
ダイシングラインされる領域に沿って前記母基板をダイシングすることにより個々の弾性境界波装置を取り出す工程とを備える、弾性境界波装置の製造方法。 - 圧電基板と、該圧電基板上に形成されたIDTと、該IDTを覆うように圧電基板上に形成された絶縁膜とを備える弾性境界波装置において、
前記圧電基板と前記絶縁膜との界面において、前記圧電基板の端縁に沿って形成される層間剥離防止用金属パターンが形成されており、該層間剥離防止用金属パターンの少なくとも一部が、弾性境界波装置の端面に露出されている、弾性境界波装置。 - 前記層間剥離防止用金属パターンは、前記IDTと電気的に絶縁された状態で形成されている、請求項8に記載の弾性境界波装置。
- 前記層間剥離防止用金属パターンが、前記圧電基板と前記絶縁膜との界面において、外周縁の全周にわたるように形成されている、請求項8または9に記載の弾性境界波装置。
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