JP4521451B2 - 弾性表面波デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Description
反射器 4
IDT 6
外部接続端子 8
配線 10
配線電極 12
第1金属層 14
第2金属層 16
第3金属層 18
無機絶縁層 20
絶縁樹脂層 22
Claims (12)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられたIDTと、
前記圧電基板上に設けられ、前記IDTに接続され、前記IDTと同じ金属からなる配線電極と、
少なくとも前記配線電極が露出し、かつ少なくとも一部の領域は前記圧電基板上に接触するように設けられ、前記圧電基板上に接触する領域の上面が、前記配線電極の上面より低い位置にある無機絶縁層と、
前記配線電極の上面、前記圧電基板上に接触する前記無機絶縁層の上面、及び前記配線電極の側面の各々に対向し、かつ前記各々の面を覆うように、連続的に設けられた絶縁樹脂層と、
前記配線電極及び前記絶縁樹脂層の上に、前記配線電極に接触するように設けられた金属層と、を具備することを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記絶縁樹脂層の端部は、順テーパー部であることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記無機絶縁層は前記配線電極の上に重なるように設けられ、
前記絶縁樹脂層は、前記配線電極の上に重なる前記無機絶縁層の上面、前記圧電基板上に接触する前記無機絶縁層の上面、及び前記無機絶縁層の側面の各々に対向し、かつ前記各々の面を覆うことを特徴とする請求項1または2記載の弾性表面波デバイス。 - 前記絶縁樹脂層は感光性樹脂からなることを特徴とする請求項1から3いずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記感光性樹脂は感光性ポリイミドであることを特徴とする請求項4記載の弾性表面波デバイス。
- 前記IDT及び前記配線電極はAlまたはAl−Cuからなることを特徴とする請求項1から5いずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記金属層は、前記配線電極と接するTi層と、前記Ti層の上に位置するAu層とを含むことを特徴とする請求項1から6いずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 圧電基板上に、IDTと、前記IDTに接続された配線電極とを、同じ金属から形成する工程と、
前記圧電基板上に、少なくとも前記配線電極が露出し、少なくとも一部の領域は前記圧電基板に接触し、かつ前記圧電基板に接触する領域の上面が、前記配線電極の上面より低い位置にあるように、無機絶縁層を設ける工程と、
前記配線電極の上面、前記圧電基板上に接触する前記無機絶縁層の上面、及び前記配線電極の側面の各々に対向し、かつ前記各々の面を覆うように、連続的に絶縁樹脂層を設ける工程と、
前記配線電極及び前記絶縁樹脂層の上に、前記配線電極に接触するように金属層を設ける工程と、を具備することを特徴とする弾性表面波デバイスの製造方法。 - 前記絶縁樹脂層を設ける工程は、前記絶縁樹脂層の端部が順テーパーとなるように、前記絶縁樹脂層を設ける工程であることを特徴とする請求項8記載の弾性表面波デバイスの製造方法。
- 前記無機絶縁層を設ける工程は、前記無機絶縁層が前記配線電極の上に重なるように、前記無機絶縁層を設ける工程であり、
前記絶縁樹脂層を設ける工程は、前記配線電極の上に重なる前記無機絶縁層の上面、前記圧電基板上に接触する前記無機絶縁層の上面、及び前記無機絶縁層の側面の各々に対向し、かつ前記各々の面を覆うように、前記絶縁樹脂層を設ける工程であることを特徴とする請求項8または9記載の弾性表面波デバイスの製造方法。 - 前記絶縁樹脂層を設ける工程は、感光性樹脂をフォトリソグラフィ法で成形する工程と、前記成形された感光性樹脂を加熱する工程とを含むことを特徴とする請求項8から10いずれか一項記載の弾性表面波デバイスの製造方法。
- 前記加熱する工程は、前記圧電基板の前記IDTが設けられた面、及び前記IDTが設けられていない面の両面から加熱する工程であることを特徴とする請求項11記載の弾性表面波デバイスの製造方法。
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