JP2011182153A - 弾性波デバイス - Google Patents
弾性波デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011182153A JP2011182153A JP2010043800A JP2010043800A JP2011182153A JP 2011182153 A JP2011182153 A JP 2011182153A JP 2010043800 A JP2010043800 A JP 2010043800A JP 2010043800 A JP2010043800 A JP 2010043800A JP 2011182153 A JP2011182153 A JP 2011182153A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- acoustic wave
- wave device
- metal
- insulating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
【課題】配線の剥離、クラック等を抑制することが可能な弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電基板2と、圧電基板2上に形成された弾性波素子4と、弾性波素子4と電気的に接続され、少なくとも一部の領域がIDT5を形成する形成する金属からなるAl層13上に別の金属層14を積層した複数の金属層により形成される配線6と、弾性波素子4と配線6とにおける、IDT5を形成するAl層13により形成され、かつ金属層14を含まない領域と、複数の金属層からなる領域との境界15に接触しないように、弾性波素子4及び配線6を覆う絶縁層と、を具備することを特徴とする弾性波デバイス。
【選択図】図3
【解決手段】圧電基板2と、圧電基板2上に形成された弾性波素子4と、弾性波素子4と電気的に接続され、少なくとも一部の領域がIDT5を形成する形成する金属からなるAl層13上に別の金属層14を積層した複数の金属層により形成される配線6と、弾性波素子4と配線6とにおける、IDT5を形成するAl層13により形成され、かつ金属層14を含まない領域と、複数の金属層からなる領域との境界15に接触しないように、弾性波素子4及び配線6を覆う絶縁層と、を具備することを特徴とする弾性波デバイス。
【選択図】図3
Description
本願発明は、弾性波デバイスに関し、特に弾性波素子を封止した弾性波デバイスに関する。
従来から、移動体通信機器等に使用されるフィルタやデュプレクサとして弾性波デバイスが広く使用されている。近年、小型化の要求に応え、弾性波素子のサイズまで弾性波デバイスのパッケージを小型化したWLP(Wafer Level Package:ウェハ・レベル・パッケージ)型弾性波デバイスが開発されている。
例えば特許文献1には、圧電基板に近い方から順に、Al/Ti/Au/Tiにより電極パッドを形成し、IDTを封止する樹脂部と電極パッドとの密着性を高める弾性波デバイスが開示されている。
しかしながら従来の弾性波デバイスでは、配線のうち、複数の金属層からなる領域と、1つの金属層からなる領域との接続部分において、応力のために配線の剥離、クラック等が生じる可能性があった。
本発明は上記課題に鑑み、配線の剥離、クラック等を抑制することが可能な弾性波デバイスを提供することを目的とする。
本発明は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成された弾性波素子と、前記弾性波素子と電気的に接続され、少なくとも一部の領域が前記弾性波素子の電極を形成する金属からなる金属層の上に別の金属層を積層した複数の金属層により形成される配線と、前記弾性波素子と前記配線とにおける、前記弾性波素子の電極を形成する金属からなる金属層により形成され、かつ前記別の金属層を含まない領域と、前記複数の金属層により形成される領域との境界に接触しないように、前記弾性波素子及び前記配線を覆う絶縁層と、を具備する弾性波デバイスである。本発明によれば、配線の剥離やクラック等を抑制し、信頼性の向上が可能な弾性波デバイスを提供することができる。
上記構成において、少なくとも1つの前記配線のうち、一部の領域は前記複数の金属層により形成される領域であり、別の一部の領域は前記弾性波素子の電極を形成する金属からなる金属層により形成され、かつ前記別の金属層を含まない領域であり、前記絶縁層は、前記少なくとも1つの配線における前記境界に接触しないように、前記弾性波素子及び前記配線を覆う構成とすることができる。この構成によれば、配線の剥離やクラック等を抑制し、信頼性の向上が可能な弾性波デバイスを提供することができる。
上記構成において、前記絶縁層は、複数の前記境界のうち、前記圧電基板の周辺側に位置する境界に接触せず、かつ前記圧電基板の中央側に位置する境界に接触するように、前記弾性波素子及び前記配線を覆う構成とすることができる。この構成によれば、外力に対する弾性波デバイスの耐性を高めることができる。
上記構成において、前記配線を形成する金属層のうち最下層の金属層は、前記弾性波素子の電極を形成する金属からなる金属層である構成とすることができる。この構成によれば、弾性波デバイスの製造工程を簡略化することができ、弾性波デバイスの低コスト化が可能となる。
上記構成において、前記弾性波素子の電極を形成する金属層はAlを含む構成とすることができる。この構成によれば、良好なデバイス特性を得ることができる。
上記構成において、前記配線の前記複数の金属層は、Auを含む構成とすることができる。この構成によれば、配線の電気抵抗を低減することができる。
上記構成において、前記配線の前記複数の金属層は、前記圧電基板に近い方からAl,Ti,Au,及びTiが積層されてなる構成とすることができる。この構成によれば、Al層、Au層及び絶縁層のいずれに対しても密着性の高いTi層が各層の間に介在するため、Au層とAl層との密着性、及びAuと絶縁層との密着性を高めることができる。
本発明によれば、配線の剥離、クラック等を抑制することが可能な弾性波デバイスを提供することができる。
図面を用いて、本発明の実施例について説明する。
まず実施例の効果を明らかにするために、比較例について説明する。図1(a)及び図1(b)は比較例に係る弾性波デバイスを例示する平面図である。図1(b)では、第1絶縁層16及び第2絶縁層18を透視して図示している。また、図2(a)は比較例に係る弾性波デバイスを例示する断面図であり、図2(b)は配線の周辺部を例示する平面図である。なお、図2(a)は図1(a)のA−A1に沿った断面を図示している。
図1(a)から図2(a)に示すように、弾性波デバイスは圧電基板2、複数の弾性波素子4、複数の配線6、第1絶縁層16、第2絶縁層18、電極パッド及び電極ポスト20を備える。
圧電基板2は、例えばLiTaO3やLiNbO3等の圧電体からなる。弾性波素子4は、各々が例えばAl等の金属からなるIDT(Inter Digital Transducer)5及び反射器7を備える。図1(b)に示すように、配線6は、IDT5と電気的に接続された引き出し配線8、及び電極パッド間を電気的に接続するパッド間配線10からなる。電極パッド上には例えばNi等の金属からなる電極ポスト20が形成されている。つまり、IDT5は、引き出し配線8、パッド間配線10、電極パッド及び電極ポスト20を介して、弾性波デバイスの外部と接続される。
図1(b)及び図2(b)中において、引き出し配線8は黒塗りの配線、パッド間配線10は白抜きの配線として図示している。引き出し配線8は、例えばAlからなる。言い換えれば、引き出し配線8はIDT5を形成する金属からなる金属層により形成される。図2(a)に示すように、パッド間配線10は、Al層13上に別の金属層14を積層してなる。つまりパッド間配線10は、複数の金属層により形成される。金属層14は、圧電基板2に近い方から順に、例えばTi/Au/Tiを積層した金属層である。Al層13は、弾性波素子4に対応する領域ではIDT5を形成する。またAl層13は、パッド間配線10に対応する領域では配線の最下層を形成する。また、パッド間配線10により接続された電極パッドも、Al層13上に金属層14を積層してなる。電極パッドの周辺部は第1絶縁層16に覆われている。電極パッドの中央部は第1絶縁層16に覆われていない。電極パッドの中央部の上には、電極ポスト20が形成される。電極ポスト20は、第1絶縁層16及び第2絶縁層18を貫通する。
図1(a)及び図2(a)に示すように、各々が例えばエポキシ樹脂等の絶縁体からなる第1絶縁層16及び第2絶縁層18は、弾性波素子4及び配線6を覆う。より詳細には、第1絶縁層16が圧電基板2、及び配線6上に形成され、第1絶縁層16の上に第2絶縁層18が形成される。第1絶縁層16と第2絶縁層18とは、IDT5の上部に中空部3が形成されるように、弾性波素子4を封止する。中空部3が形成されるため、IDT5の励振は妨げられない。また中空部3は、反射器7の上部にも形成される。つまり中空部3は、弾性波素子4上に形成される。
図2(a)及び図2(b)に示すように、第1絶縁層16は、引き出し配線8及びパッド間配線10に接触している。また第1絶縁層16は、例えばAlからなる配線(引き出し配線8)と、例えばAl/Ti/Au/Tiからなる配線(パッド間配線10)との境界15に接触している。すなわち、図2(b)に破線で示す第1絶縁層16の端部が、境界15よりIDT5側に位置する。図2(b)中の破線より上の領域は、第1絶縁層16に覆われる。
例えば弾性波デバイスを実装する際のリフロー工程等において、弾性波デバイスが加熱された場合、第1絶縁層16の収縮により、配線6に応力が発生する。第1絶縁層16は境界15に接触しているため、応力は境界15にも発生する。発生した応力により、Al層13からの金属層14の剥離や、金属層14のクラックが発生すること可能性があった。このように配線6に剥離やクラックが生じると、弾性波デバイスの信頼性が低下することがある。
次に実施例1について説明する。図3(a)は実施例1に係る弾性波デバイス100を例示する平面図であり、図3(b)は実施例1に係る弾性波デバイスを例示する断面図であり、図3(c)は配線の周辺部を例示する平面図である。既述したものと同じ構成については、説明を省略する。
図3(a)に示すように、実施例1では比較例よりも、中空部3が圧電基板2の周辺側に長さL1だけ、大きくなっている。長さL1は例えば72μmである。このため、図3(a)から図3(c)に示すように、第1絶縁層16は、複数の配線6のうち、圧電基板2の周辺側に位置する配線6における、引き出し配線8とパッド間配線10との境界15に接触していない。言い換えれば、圧電基板2の周辺側に位置する配線6における境界15は中空部3に露出している。
図3(a)から図3(c)に示すように、第1絶縁層16は、圧電基板2の中央側に位置する配線6における、引き出し配線8とパッド間配線10との境界15に接触している。言い換えれば、圧電基板2の中央側に位置する配線6における境界15は中空部3に露出していない。また第1絶縁層16は、圧電基板2の中央側に位置する配線6に接触している。
なお、圧電基板2の上面から第1絶縁層16の上面までの高さは30μm、圧電基板2の上面から第2絶縁層18の上面までの高さは例えば75μm、中空部3上における第2絶縁層18の厚さは例えば45μmである。Al層13の厚さは例えば350nmである。配線6のTi層の厚さは例えば200nm、Au層の厚さは例えば400nmである。
次に、実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法について説明する。図4(a)から図5(c)は実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法を例示する断面図である。図6は実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法を例示する平面図である。なお、図4(a)から図5(c)では、図3(a)のA−Bに沿った断面を示す。
図4(a)に示すように、例えばLiTaO3やLiNbO3等の圧電体からなる多面取り構造の圧電基板36上に、例えば蒸着法及びリフトオフ法等により、例えばAl等の金属からなるIDT5及び反射器7等、弾性波素子4の電極を形成する。また、この工程において、配線6の最下層であるAl層13も形成される。
図4(b)に示すように、パッド間配線10及び電極パッド21に対応するAl層13上に、例えば蒸着法及びリフトオフ等により、金属層14を形成する。この工程により、引き出し配線8、パッド間配線10及び電極パッド21が形成される。
図4(c)に示すように、圧電基板36、弾性波素子4、引き出し配線8、パッド間配線10及び電極パッド21上に、例えば液状のエポキシ樹脂等の感光性樹脂22を塗布する。
図4(d)に示すように、例えばUV光(Ultra Violet:紫外線)を照射することで、感光性樹脂22の露光を行う。感光性樹脂22の感光した部分は除去され、残存する感光性樹脂22により、第1絶縁層16が形成される。第1絶縁層16は、加熱されることで硬化する。第1絶縁層16の開口部17aから弾性波素子4、境界15、引き出し配線8及びパッド間配線10が露出する。開口部17bからは電極パッド21の中央部が露出する。電極パッド21の周辺部は第1絶縁層16に覆われる。
図5(a)に示すように、第1絶縁層16上に、弾性波素子4と離間し、かつ弾性波素子4を覆うように、フィルム状の感光性樹脂26を貼り付ける。第1絶縁層16と感光性樹脂26とにより、弾性波素子4上には中空部3が形成される。
図5(b)に示すように、例えばUV光を照射することで、感光性樹脂26に露光を行う。感光性樹脂26の感光した部分は除去される。残存する感光性樹脂26により第2絶縁層18が形成される。第2絶縁層18は、加熱されることで硬化する。第2絶縁層18は、電極パッド21の中央部が露出するような開口部19を有する。
図5(c)に示すように、例えばメッキ法により、例えばNiからなる電極ポスト20を、電極パッド21上に形成する。電極ポスト20と電極パッド21とは接触する。この後、ダイシングを行い、圧電基板36及び第2絶縁層18を個片化する。以上の工程により、実施例1に係る弾性波デバイス100が完成する。
実施例1によれば、IDT5を形成する金属からなる金属層(Al層13)により形成される引き出し配線8と、複数の金属層により形成されるパッド間配線10との境界15が、第1絶縁層16に接触しない。従って、弾性波デバイスが加熱された場合でも、境界15における応力の発生が抑制される。この結果、配線6に剥離やクラックが生じることが抑制され、弾性波デバイスの信頼性が向上する。
図3(a)から図3(c)に示すように、第1絶縁層16は、複数の境界15のうち、圧電基板2の周辺側に位置する境界15には接触せず、圧電基板2の中央側に位置する配線6における境界15に接触している。圧電基板2の中央において第1絶縁層16が第2絶縁層18を支持することで、外力に対する弾性波デバイスの耐性を高めることができる。ただし、構成はこれに限定されず、圧電基板2の中央側においても、第1絶縁層16が境界15に接触しない構成としてもよい。すなわち、第1絶縁層16は、少なくとも1つの配線6における境界15に接触しなければよい。
配線6の最下層の金属層は、IDT5を形成する金属層と同じである場合、一度の工程で配線6の最下層とIDT5とを形成できる。これにより、工程を簡略化し、弾性波デバイスの低コスト化が可能となる。また、IDT5及び配線6の最下層はAlからなるとしたが、これに限定されない。しかし、良好なデバイス特性を得るためには、IDT5はAl、又はAlを含む合金からなることが好ましい。この場合、配線6の最下層はAl層13又はAlを含む合金層となる。
パッド間配線10、及び第2引き出し配線12は、圧電基板2に近い方から順に、Al/Ti/Au/Tiからなるとしたが、構成はこれに限定されない。すなわち、配線6は、IDT5を形成する金属層を含めばよい。また、配線6のうちパッド間配線10は、最下層の上に別の金属層14が積層された構成を有していればよい。配線6の電気抵抗を低減するためには、金属層14はAuを含むことが好ましい。また、Auと最下層のAl層又はAl層との密着性、及びAuと第1絶縁層16との密着性を高めるためには、Au、Al及び絶縁層のいずれに対しても密着性の高いTiを、各層の間に介在させることが好ましい。つまり金属層14は、Ti,Au及びTiの順に積層させた金属層とすることが好ましい。
第1絶縁層16及び第2絶縁層18は、それぞれ例えば感光性エポキシ樹脂からなるとしたが、エポキシ樹脂以外の樹脂で形成してもよいし、樹脂以外の絶縁体を用いて形成してもよい。第1絶縁層16及び第2絶縁層18が樹脂で形成されている場合、加熱により樹脂が収縮して応力が発生しやすい。特に第1絶縁層16は、弾性波素子4上に中空部3を形成するために、ある程度の厚さを有する。第1絶縁層16が厚い樹脂で形成されると応力が大きくなる。実施例1によれば、第1絶縁層16が応力の大きくなるような構成であっても、配線6の剥離やクラックを抑制することができる。
実施例2は、境界15が引き出し配線8に位置する場合である。図6は、実施例2に係る弾性波デバイスの配線の周辺部を例示する平面図である。
図6に示すように、引き出し配線8は、IDT5に近い側の配線である第1引き出し配線11、及びパッド間配線10に近い側の配線である第2引き出し配線12からなる。図中において、パッド間配線10及び第2引き出し配線12は白抜きの配線、第1引き出し配線11は黒塗りの配線として図示している。第1引き出し配線11は、例えばAlからなる。言い換えれば、第1引き出し配線11はIDT5を形成する金属からなる金属層により形成される。第2引き出し配線12は、パッド間配線10と同様、Al層13上に金属層14を積層してなる(図3(c)参照)。
第1絶縁層16は、引き出し配線8及びパッド間配線10に接触している。また第1絶縁層16は、例えばAlからなる配線(第1引き出し配線11)と、例えばAl/Ti/Au/Tiからなる配線(第2引き出し配線12)との境界15に接触していない。
実施例2によれば、実施例1と同様に、IDT5を形成する金属と同じ金属からなる第1引き出し配線11と、複数の金属からなる第2引き出し配線12との境界15が、第1絶縁層16に接触しない。従って、弾性波デバイスが加熱された場合でも、境界15における応力の発生が抑制される。この結果、配線6に剥離やクラックが生じることが抑制され、弾性波デバイスの信頼性が向上する。
つまり実施例2によれば、配線6の構成を変更することで、配線6の剥離やクラックを抑制できる。また実施例1と実施例2とを組み合わせて、配線6の構成を変更し、かつ中空部3を大きくすることで、第1絶縁層16が境界15に接触しないようにしてもよい。
実施例1及び2で説明したように、境界15は引き出し配線8とパッド間配線10との境界に位置していてもよいし、引き出し配線8中に位置していてもよい。また、パッド間配線10に境界15が形成されていてもよい。つまり第1絶縁層16は、配線6のうち、複数の金属層により形成される一部の領域と、IDT5を形成する金属からなる金属層により形成され、かつ金属層14を含まない別の一部の領域との境界15と接触しなければよい。
また、境界15が、引き出し配線8とIDT5との境界に一致していてもよい。これは、IDT5が例えばAlからなり、引き出し配線8が例えばAl/Ti/Au/Tiからなる場合である。この場合でも、第1絶縁層16が、引き出し配線8とIDT5との境界15に接触していなければよい。つまり、第1絶縁層16は、弾性波素子4と配線6とにおける、IDT5を形成する金属からなる金属層により形成され、かつ金属層14を含まない領域と、複数の金属層により形成される領域との境界15に接触しなければよい。
実施例では弾性表面波デバイスについて説明したが、例えば弾性境界波デバイスやFBAR(Film Bulk Acoustic Resonator:圧電薄膜共振器)のような、他の弾性波デバイスにも適用可能である。FBARを用いる場合、引き出し配線8は、圧電膜を挟む電極に接続される。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
圧電基板 2
中空部 3
弾性波素子 4
IDT 5
配線 6
引き出し配線 8
パッド間配線 10
第1引き出し配線 11
第2引き出し配線 12
Al層 13
金属層 14
境界 15
第1絶縁層 16
第2絶縁層 18
電極ポスト 20
電極パッド 21
中空部 3
弾性波素子 4
IDT 5
配線 6
引き出し配線 8
パッド間配線 10
第1引き出し配線 11
第2引き出し配線 12
Al層 13
金属層 14
境界 15
第1絶縁層 16
第2絶縁層 18
電極ポスト 20
電極パッド 21
Claims (7)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成された弾性波素子と、
前記弾性波素子と電気的に接続され、少なくとも一部の領域が前記弾性波素子の電極を形成する金属からなる金属層の上に別の金属層を積層した複数の金属層により形成される配線と、
前記弾性波素子と前記配線とにおける、前記弾性波素子の電極を形成する金属からなる金属層により形成され、かつ前記別の金属層を含まない領域と、前記複数の金属層により形成される領域との境界に接触しないように、前記弾性波素子及び前記配線を覆う絶縁層と、を具備することを特徴とする弾性波デバイス。 - 少なくとも1つの前記配線のうち、一部の領域は前記複数の金属層により形成される領域であり、別の一部の領域は前記弾性波素子の電極を形成する金属からなる金属層により形成され、かつ前記別の金属層を含まない領域であり、
前記絶縁層は、前記少なくとも1つの配線における前記境界に接触しないように、前記弾性波素子及び前記配線を覆うことを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。 - 前記絶縁層は、複数の前記境界のうち、前記圧電基板の周辺側に位置する境界に接触せず、
かつ前記圧電基板の中央側に位置する境界に接触するように、前記弾性波素子及び前記配線を覆うことを特徴とする請求項1又は2記載の弾性波デバイス。 - 前記配線を形成する金属層のうち最下層の金属層は、前記弾性波素子の電極を形成する金属からなる金属層であることを特徴とする請求項1から3いずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記弾性波素子の電極を形成する金属層はAlを含むことを特徴とする請求項1から4いずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記配線の前記複数の金属層は、Auを含むことを特徴とする請求項1から5いずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記配線の前記複数の金属層は、前記圧電基板に近い方からAl,Ti,Au,及びTiが積層されてなることを特徴とする請求項6記載の弾性波デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010043800A JP2011182153A (ja) | 2010-03-01 | 2010-03-01 | 弾性波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010043800A JP2011182153A (ja) | 2010-03-01 | 2010-03-01 | 弾性波デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011182153A true JP2011182153A (ja) | 2011-09-15 |
Family
ID=44693203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010043800A Withdrawn JP2011182153A (ja) | 2010-03-01 | 2010-03-01 | 弾性波デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011182153A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101625450B1 (ko) | 2014-11-05 | 2016-05-30 | (주)와이솔 | 표면탄성파 소자 및 그 제조방법 |
KR101679645B1 (ko) | 2014-11-18 | 2016-11-25 | (주)와이솔 | Saw 필터 |
-
2010
- 2010-03-01 JP JP2010043800A patent/JP2011182153A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101625450B1 (ko) | 2014-11-05 | 2016-05-30 | (주)와이솔 | 표면탄성파 소자 및 그 제조방법 |
US9831849B2 (en) | 2014-11-05 | 2017-11-28 | Wisol Co., Ltd. | Surface acoustic wave element and method of manufacturing the same |
KR101679645B1 (ko) | 2014-11-18 | 2016-11-25 | (주)와이솔 | Saw 필터 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7913367B2 (en) | Method of manufacturing a piezoelectric component | |
JP4311376B2 (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法、電子部品、回路基板及び電子機器 | |
JP4706907B2 (ja) | 圧電デバイスとその製造方法 | |
JP5141852B2 (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
US8749114B2 (en) | Acoustic wave device | |
JP4521451B2 (ja) | 弾性表面波デバイス及びその製造方法 | |
JP2011147097A (ja) | 圧電部品及びその製造方法 | |
JP2007318058A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP2012084954A (ja) | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 | |
JP6963445B2 (ja) | 電子部品 | |
JP2016123020A (ja) | 弾性波素子および通信装置 | |
JP5591163B2 (ja) | 弾性波装置およびその製造方法 | |
JP5848079B2 (ja) | 弾性波デバイス及びその製造方法 | |
JP2011182153A (ja) | 弾性波デバイス | |
JP5886989B1 (ja) | 圧電素子デバイス | |
JP2011023929A (ja) | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 | |
JP5338575B2 (ja) | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 | |
JP5569473B2 (ja) | 電子部品、回路基板及び電子機器 | |
JP5394948B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2008211806A (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法、電子部品、回路基板及び電子機器 | |
JP5431198B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP5773027B2 (ja) | 電子部品及び電子機器 | |
JP5516511B2 (ja) | 電子部品、回路基板及び電子機器 | |
JP2014011487A (ja) | 弾性波デバイス及びその製造方法 | |
JP2014146891A (ja) | 圧電デバイスおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20130507 |