JP4973732B2 - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4973732B2 JP4973732B2 JP2009525311A JP2009525311A JP4973732B2 JP 4973732 B2 JP4973732 B2 JP 4973732B2 JP 2009525311 A JP2009525311 A JP 2009525311A JP 2009525311 A JP2009525311 A JP 2009525311A JP 4973732 B2 JP4973732 B2 JP 4973732B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive film
- film
- laminated
- wave device
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/058—Holders; Supports for surface acoustic wave devices
- H03H9/059—Holders; Supports for surface acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02897—Means for compensation or elimination of undesirable effects of strain or mechanical damage, e.g. strain due to bending influence
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02929—Means for compensation or elimination of undesirable effects of ageing changes of characteristics, e.g. electro-acousto-migration
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14538—Formation
- H03H9/14541—Multilayer finger or busbar electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
- H03H9/725—Duplexers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
2…圧電基板
3…デュプレクサ
4…送信フィルタ
5…アンテナ端子
6…送信端子
7…受信端子
8…受信フィルタ
9〜13…電極パッド
14…接続導電部
15a〜15c…電極パッド
16…第1の配線パターン
17…第2の配線パターン
21…IDT電極
22,23…反射器
24…絶縁膜
31…第2の積層導電膜
31a…Al膜
31b…Ti膜
31c…AlCu合金膜
32…バンプ
33…第1の積層導電膜
33a…Ti膜
33b…AlCu合金膜
33c…Ti膜
33d…Pt膜
33e…NiCr合金膜
41…パッケージ基板
42,43…弾性表面波フィルタチップ
51…第1のレジストパターン
51a…開口部
52…第1の積層導電膜
53…第2のレジストパターン
53a…開口部
54…第2の積層導電膜
61…第1の積層導電膜
62…第2のレジストパターン
63…層間導電膜
64…第2の積層導電膜
101…弾性表面波装置
102…第1の積層導電膜
102a…AlCu合金膜
102b…Ti膜
102c…Pt膜
102d…NiCr合金膜
102e…Ti膜
103…第1の配線パターン
104…第2の積層導電膜
104a…Al膜
104b…Ti膜
104c…AlCu合金膜
105…第2の配線パターン
106…層間導電膜
201…弾性境界波装置
202…圧電基板
203,206…電極パッド
207…金属バンプ
216…コンタクト部
231…電極
232…誘電体
234,235…アンダー・バンプ・メタル層
301…弾性表面波装置
S1〜S7…直列腕共振子
P1〜P3…並列腕共振子
L1〜L3…インダクタンス
Claims (7)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成された第1の積層導電膜と、
前記圧電基板上に形成された第2の積層導電膜とを備え、
前記第1の積層導電膜により、少なくとも複数本の電極指を有するIDT及び該IDTに接続された第1の配線パターンが形成されており、
前記第2の積層導電膜により、少なくとも電極パッド及び該電極パッドに連ねられた第2の配線パターンが形成されており、
前記第2の配線パターンが、前記第1の配線パターンに重ねられている少なくとも1つのコンタクト部において、前記第1,第2の配線パターン間に積層された層間導電膜をさらに備え、
前記第2の積層導電膜が、AlまたはAlを主体とする合金からなる最下層導電膜を有し、
前記第1の積層導電膜が、Tiからなる最上層導電膜と、前記最上層導電膜より下方に配置されたAlまたはAlを主体とする合金からなるAl系導電膜とを有することを特徴とする、弾性波装置。 - 前記層間導電膜が、Tiからなることを特徴とする、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1の積層導電膜が、前記Al系導電膜よりも下方に積層されており、Cu、Au及びAgを除き、Alよりも密度の大きい金属または該金属を主体とする合金からなる高密度導電膜をさらに有する、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第1の積層導電膜において、Alよりも密度の大きい前記金属が、Ptである、請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記第1の積層導電膜において、前記Al系導電膜と、前記高密度導電膜との間に積層されたTi膜をさらに備える、請求項3または4に記載の弾性波装置。
- 前記第2の積層導電膜が、前記最下層導電膜よりも上方に配置されたTi膜と、該Ti膜よりも上方に配置されており、AlまたはAlを主体とする合金からなるAl系導電膜をさらに含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- パッケージをさらに備え、前記圧電基板及び第1,第2の積層導電膜を有する弾性波フィルタチップが前記パッケージにフリップチップボンディングされている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009525311A JP4973732B2 (ja) | 2007-07-30 | 2008-06-30 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007197335 | 2007-07-30 | ||
JP2007197335 | 2007-07-30 | ||
JP2009525311A JP4973732B2 (ja) | 2007-07-30 | 2008-06-30 | 弾性波装置 |
PCT/JP2008/061837 WO2009016906A1 (ja) | 2007-07-30 | 2008-06-30 | 弾性波装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009016906A1 JPWO2009016906A1 (ja) | 2010-10-14 |
JP4973732B2 true JP4973732B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=40304142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009525311A Active JP4973732B2 (ja) | 2007-07-30 | 2008-06-30 | 弾性波装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7868523B2 (ja) |
EP (2) | EP2728750A1 (ja) |
JP (1) | JP4973732B2 (ja) |
CN (1) | CN101765971B (ja) |
WO (1) | WO2009016906A1 (ja) |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005034873B4 (de) * | 2005-07-26 | 2013-03-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung eines elektrischen Bauelements und eines auf dem Bauelement auflaminierten Folienverbunds und Verfahren zur Herstellung der Anordnung |
JP4811516B2 (ja) * | 2007-03-06 | 2011-11-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
JP5131117B2 (ja) * | 2008-09-24 | 2013-01-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
US8237329B2 (en) * | 2009-01-07 | 2012-08-07 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Elastic wave device and electronic component |
WO2010116783A1 (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
DE102009056663B4 (de) | 2009-12-02 | 2022-08-11 | Tdk Electronics Ag | Metallisierung mit hoher Leistungsverträglichkeit und hoher elektrischer Leitfähigkeit und Verfahren zur Herstellung |
JP2011135469A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波装置 |
JP5562063B2 (ja) * | 2010-02-22 | 2014-07-30 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波装置 |
JP5561057B2 (ja) * | 2010-09-15 | 2014-07-30 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及びその製造方法 |
WO2012063521A1 (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
WO2014185331A1 (ja) | 2013-05-14 | 2014-11-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置およびその製造方法 |
JP5880520B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2016-03-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
CN106031031B (zh) | 2014-02-18 | 2019-03-08 | 天工滤波方案日本有限公司 | 声波元件和使用声波元件的梯型滤波器 |
JP6385690B2 (ja) * | 2014-03-05 | 2018-09-05 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス及びその製造方法 |
JP6211955B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2017-10-11 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体製造装置及び半導体製造方法 |
WO2016052129A1 (ja) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
WO2016185866A1 (ja) * | 2015-05-18 | 2016-11-24 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置、高周波モジュール及び弾性表面波装置の製造方法 |
JP6567982B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2019-08-28 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子及びそれを用いた弾性表面波装置 |
JP6729702B2 (ja) * | 2016-08-10 | 2020-07-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びラダー型フィルタ |
JP6653647B2 (ja) * | 2016-12-21 | 2020-02-26 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
CN109478877B (zh) * | 2017-06-30 | 2023-06-09 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN111480294B (zh) * | 2017-12-27 | 2023-08-01 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
DE102018109849B4 (de) * | 2018-04-24 | 2020-03-05 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustischer Resonator und Verfahren zum Bilden desselben |
US11469733B2 (en) | 2020-05-06 | 2022-10-11 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with interdigital transducer configured to reduce diaphragm stress |
US11605721B2 (en) * | 2020-08-30 | 2023-03-14 | Kaixuan Shi | Sputtering electrode with multiple metallic-layer structure for semiconductor device and method for producing same |
US11658639B2 (en) | 2020-10-05 | 2023-05-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with noncontiguous passband |
US11728784B2 (en) | 2020-10-05 | 2023-08-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with split die sub-filters |
US11476834B2 (en) | 2020-10-05 | 2022-10-18 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with switches in parallel with sub-filter shunt capacitors |
US11496113B2 (en) | 2020-11-13 | 2022-11-08 | Resonant Inc. | XBAR devices with excess piezoelectric material removed |
CN113746449B (zh) * | 2021-11-05 | 2022-11-04 | 成都频岢微电子有限公司 | 一种弹性波宽带滤波器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002261560A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置 |
JP2002531980A (ja) * | 1998-12-02 | 2002-09-24 | シーティーエス・コーポレーション | 表面弾性波装置の高いパワー取扱いのための金属被覆および金属被覆を提供する方法 |
JP2003174056A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品素子及びその製造方法並びに電子部品装置 |
JP2005197595A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品素子、電子部品、及び通信機 |
WO2006058579A1 (de) * | 2004-12-01 | 2006-06-08 | Epcos Ag | Mit akustischen oberflächenwellen arbeitendes bauelement mit hoher bandbreite |
WO2007049699A1 (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-03 | Kyocera Corporation | 分波器とそれを用いた通信装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04294625A (ja) * | 1991-03-25 | 1992-10-19 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子 |
JP3379049B2 (ja) * | 1993-10-27 | 2003-02-17 | 富士通株式会社 | 表面弾性波素子とその製造方法 |
JP3405329B2 (ja) * | 2000-07-19 | 2003-05-12 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
JP3414371B2 (ja) | 2000-07-31 | 2003-06-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
JP3945363B2 (ja) | 2001-10-12 | 2007-07-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
EP1460759A4 (en) * | 2001-12-28 | 2009-09-02 | Panasonic Corp | SURFACE ACOUSTIC WAVE PROCESSING DEVICE, ELECTRONIC COMPONENT USING THE SAME, AND COMPOSITE MODULE |
JP2006115548A (ja) | 2003-06-17 | 2006-04-27 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
US20040256949A1 (en) * | 2003-06-17 | 2004-12-23 | Takuo Hada | Surface acoustic wave device |
US7795788B2 (en) * | 2004-10-26 | 2010-09-14 | Kyocera Corporation | Surface acoustic wave element and communication device |
JP4682657B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2011-05-11 | パナソニック株式会社 | 弾性表面波デバイス |
-
2008
- 2008-06-30 EP EP14153039.4A patent/EP2728750A1/en not_active Withdrawn
- 2008-06-30 EP EP08790750.7A patent/EP2175556B1/en active Active
- 2008-06-30 CN CN200880100519XA patent/CN101765971B/zh active Active
- 2008-06-30 JP JP2009525311A patent/JP4973732B2/ja active Active
- 2008-06-30 WO PCT/JP2008/061837 patent/WO2009016906A1/ja active Application Filing
-
2010
- 2010-01-29 US US12/696,080 patent/US7868523B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002531980A (ja) * | 1998-12-02 | 2002-09-24 | シーティーエス・コーポレーション | 表面弾性波装置の高いパワー取扱いのための金属被覆および金属被覆を提供する方法 |
JP2002261560A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置 |
JP2003174056A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品素子及びその製造方法並びに電子部品装置 |
JP2005197595A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品素子、電子部品、及び通信機 |
WO2006058579A1 (de) * | 2004-12-01 | 2006-06-08 | Epcos Ag | Mit akustischen oberflächenwellen arbeitendes bauelement mit hoher bandbreite |
WO2007049699A1 (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-03 | Kyocera Corporation | 分波器とそれを用いた通信装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7868523B2 (en) | 2011-01-11 |
JPWO2009016906A1 (ja) | 2010-10-14 |
CN101765971B (zh) | 2013-05-29 |
CN101765971A (zh) | 2010-06-30 |
WO2009016906A1 (ja) | 2009-02-05 |
EP2175556A4 (en) | 2013-08-07 |
US20100117483A1 (en) | 2010-05-13 |
EP2728750A1 (en) | 2014-05-07 |
EP2175556B1 (en) | 2014-09-03 |
EP2175556A1 (en) | 2010-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4973732B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4043045B2 (ja) | 弾性表面波素子及び弾性表面波装置 | |
US9484883B2 (en) | Acoustic wave device and fabrication method of the same | |
US9159900B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
US7944329B2 (en) | Acoustic wave filter device with branched ground wiring sandwiching the IDT area | |
JP4518877B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP4906536B2 (ja) | 弾性表面波素子及び弾性表面波装置 | |
JP2018050135A (ja) | 弾性波デバイス及び弾性波デバイスの製造方法 | |
KR100766262B1 (ko) | 탄성표면파 장치의 제조방법 및 탄성표면파 장치 | |
JP5131117B2 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP4403819B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
US20110156531A1 (en) | Acoustic wave device | |
WO2020009121A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4454410B2 (ja) | 弾性表面波装置およびその製造方法ならびに通信装置 | |
JP4458954B2 (ja) | 弾性表面波装置およびその製造方法ならびに通信装置 | |
JP2019022093A (ja) | 弾性波デバイス | |
JP4349863B2 (ja) | 弾性表面波装置およびその製造方法 | |
JP4454411B2 (ja) | 弾性表面波装置およびその製造方法ならびに通信装置 | |
JP4845980B2 (ja) | 弾性表面波素子および弾性表面波装置 | |
JP4514562B2 (ja) | 弾性表面波装置および通信装置 | |
JP2002299985A (ja) | 弾性表面波装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120313 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4973732 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420 Year of fee payment: 3 |