JP6729702B2 - 弾性波装置及びラダー型フィルタ - Google Patents

Description

本発明は、複数の１ポート型弾性波共振子を有する弾性波装置及びラダー型フィルタに関する。

従来、複数の１ポート型弾性波共振子を直列接続してなる弾性波装置が種々提案されている。例えば下記の特許文献１では、３個の１ポート型弾性波共振子が、圧電基板上において、直列に接続されている。より具体的には、３個の弾性波共振子のＩＤＴ電極同士が直列に接続されている。また、３個の弾性波共振子の弾性波伝搬方向において一方側に配置されている反射器同士が電気的に接続されている。弾性波伝搬方向において、他方側においても、３個の弾性波共振子の３個の反射器が電気的に接続されている。

他方、各弾性波共振子において、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極の両側の反射器とはスペースをおいて隔てられている。１番目の弾性波共振子の反射器が、１番目の弾性波共振子の一方のバスバーに電気的に接続されている。

特許第５５６２０６３号公報

特許文献１に記載の弾性波装置では、３個の弾性波共振子のうち、中央に位置している弾性波共振子のＩＤＴ電極は、両側の弾性波共振子のＩＤＴ電極に電気的に接続されているだけである。他方、弾性波共振子では、電力が印加されると、ＩＤＴ電極において温度が上昇しやすい。特に、中央の弾性波共振子のＩＤＴ電極は、両側の弾性波共振子のＩＤＴ電極で囲まれているため、熱が放散し難い。従って、中央の弾性波共振子のＩＤＴ電極において、温度が上昇しやすく、マイグレーションが生じやすかった。そのため、弾性波装置全体としての耐電力性が低下するという問題があった。

本発明の目的は、耐電力性を高めることができる弾性波装置及び該弾性波装置を用いたラダー型フィルタを提供することにある。

本発明に係る弾性波装置は、第１のＩＤＴ電極と、前記第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第１の弾性波共振子と、前記第１の弾性波共振子に直列に接続されており、第２のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第２の弾性波共振子と、前記第２の弾性波共振子に直列に接続されており、第３のＩＤＴ電極と、前記第３のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第３の弾性波共振子とを備え、前記第１〜第３のＩＤＴ電極がそれぞれ、弾性波伝搬方向と交差する方向において対向する一対のバスバーを有し、前記第２の弾性波共振子の弾性波伝搬方向と交差する方向において一方側に前記第１の弾性波共振子が配置されており、該弾性波伝搬方向と交差する方向において他方側に前記第３の弾性波共振子が配置されており、前記第１のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第２のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第１の共通バスバーとして共有化されており、前記第２のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第３のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第２の共通バスバーとして共有化されており、前記第１の共通バスバーが前記第１及び前記第２の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されており、前記第２の共通バスバーが前記第２及び前記第３の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されている。

本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、弾性波伝搬方向と交差する方向において隣り合っている前記反射器同士が、各反射器の弾性波伝搬方向に沿う導電パターンにより接続されている。

本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記第１の共通バスバーが弾性波伝搬方向において一方側に配置された前記反射器に接続されており、前記第２の共通バスバーが弾性波伝搬方向において他方側に配置された前記反射器に接続されている。

本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記第１〜第３の弾性波共振子において、弾性波伝搬方向と交差する方向において、交互に前記各バスバーが弾性波伝搬方向において対向する反射器に接続されている。

本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、少なくとも１つの第４の弾性波共振子が、前記第３の弾性波共振子に直列に接続されており、前記少なくとも１つの第４の弾性波共振子が、第４のＩＤＴ電極と、前記第４のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有し、前記第４のＩＤＴ電極が一対のバスバーを有し、前記第３の弾性波共振子と前記第４の弾性波共振子とが直列接続されている部分において、前記第３の弾性波共振子の前記反射器と前記第４の弾性波共振子の反射器とが接続されている。

本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記第１〜第４の弾性波共振子において、前記第１〜第４の弾性波共振子の前記バスバーが、弾性波伝搬方向と交差する方向において、弾性波伝搬方向において一方側の前記反射器または他方側の前記反射器に交互に接続されている。

本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記弾性波伝搬方向と交差する方向が、弾性波伝搬方向と直交する方向である。

本発明に係るラダー型フィルタは、弾性波共振子からなる直列腕共振子及び並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、前記直列腕共振子または並列腕共振子の少なくとも１つが、本発明に従って構成されている弾性波装置である。

本発明に係る弾性波装置及びラダー型フィルタによれば、耐電力性を高めることができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。 図２は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。 図３は、本発明の第１の実施形態の弾性波装置の平面図である。 図４は、第１の実施形態及び比較例の弾性波装置における、入力電力と出力電力との関係を示す図である。 図５は、第１の実施形態の変形例に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。 図６は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。 図７は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。図２は、第１の実施形態の弾性波装置の回路図であり、図３はその平面図である。

図２及び図３に示すように、弾性波装置１は、送信フィルタ２と受信フィルタ３とを有するデュプレクサである。図３に示すように、弾性波装置１は、圧電基板１Ａを有する。圧電基板１Ａの材料としては、ＬｉＴａＯ_３やＬｉＮｂＯ_３などの圧電単結晶、または圧電セラミックスが用いられ得る。

弾性波装置１は、アンテナ端子４を有する。アンテナ端子４は、アンテナＡＮＴに接続される端子である。アンテナ端子４と送信端子５との間に送信フィルタ２が接続されている。アンテナ端子４と受信端子６との間に受信フィルタ３が接続されている。送信フィルタ２では、送信端子５から送信電力が入力され、アンテナ端子４を介してアンテナＡＮＴから送信電力が出力される。受信フィルタ３では、アンテナＡＮＴから入力された信号が、受信端子６から取り出される。

送信フィルタ２はラダー型フィルタである。すなわち、複数の直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ３及び複数の並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３を有する。なお、並列腕共振子Ｐ１とグラウンド電位との間に、インダクタＬ１が接続されている。また、並列腕共振子Ｐ２，Ｐ３のグラウンド電位側端部が共通接続され、インダクタＬ２を介してグラウンド電位に接続されている。

直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ３は、図２で略図的に示すように、複数の直列腕共振子Ｓ１−１〜Ｓ１−３，Ｓ３−１〜Ｓ３−３に分割されている。

図１は、直列腕共振子Ｓ１−１〜Ｓ１−３が直列接続されている部分を示す。直列腕共振子Ｓ１は、本発明の一実施形態に係る弾性波装置である。ここで、直列腕共振子Ｓ１−１〜Ｓ１−３を、本発明における第１〜第３の弾性波共振子としての第１〜第３の直列腕共振子Ｓ１−１〜Ｓ１−３とする。

第１〜第３の直列腕共振子Ｓ１−１〜Ｓ１−３は、それぞれ、第１〜第３のＩＤＴ電極１１〜１３を有する。第１の直列腕共振子Ｓ１−１では、第１のＩＤＴ電極１１の弾性波伝搬方向において両側に反射器１４，１５が設けられている。第２の直列腕共振子Ｓ１−２では、第２のＩＤＴ電極１２の弾性波伝搬方向において両側に反射器１６，１７が設けられている。第３の直列腕共振子Ｓ１−３では、第３のＩＤＴ電極１３の弾性波伝搬方向において両側に反射器１８，１９が設けられている。

他方、第１のＩＤＴ電極１１は、第１のバスバー２１と第１の共通バスバー２２とを有する。第１のバスバー２１に、複数本の第１の電極指２３が接続されている。第１の共通バスバー２２に、複数本の第２の電極指２４が接続されている。第１の共通バスバー２２は、第１，第２のＩＤＴ電極１１，１２において共有化されている。第２のＩＤＴ電極１２は、第１の共通バスバー２２と対向する第２の共通バスバー２５を有している。第１の共通バスバー２２に、複数本の電極指２６が接続されており、第２の共通バスバー２５に複数本の電極指２７が接続されている。

第２の共通バスバー２５は、第２の直列腕共振子Ｓ１−２と、第３の直列腕共振子Ｓ１−３との間で共有化されている。第３のＩＤＴ電極１３では、第２の共通バスバー２５と対向するように、第２のバスバー２８が設けられている。第２の共通バスバー２５に複数本の電極指２９が、第２のバスバー２８に複数本の電極指３０が接続されている。

第１〜第３の弾性波共振子としての第１〜第３の直列腕共振子Ｓ１−１〜Ｓ１−３は、弾性波伝搬方向と直交する方向に沿って配置されている。すなわち、第２の直列腕共振子Ｓ１−２の弾性波伝搬方向と直交する方向において一方側に、第１の直列腕共振子Ｓ１−１が配置されており、他方側に第３の直列腕共振子Ｓ１−３が配置されている。なお、この場合、弾性波伝搬方向と直交する方向に限定されない。すなわち、９０°以外の角度で、弾性波伝搬方向と交差する方向において、第１〜第３の弾性波共振子が順に配置されていてもよい。

ところで、第１〜第３の直列腕共振子Ｓ１−１〜Ｓ１−３は直列に接続されている。従って、第１のＩＤＴ電極１１〜第３のＩＤＴ電極１３が直列に接続されている。具体的には、第１のＩＤＴ電極１１と、第２のＩＤＴ電極１２とは、ストリップ状の導電パターンからなる第１の共通バスバー２２により接続されている。第２のＩＤＴ電極１２と第３のＩＤＴ電極１３は、ストリップ状の導電パターンからなる第２の共通バスバー２５により接続されている。

加えて、第１の共通バスバー２２には、反射器１４，１６が電気的に接続されている。反射器１５と反射器１７も、ストリップ状の導電パターン３１により電気的に接続されている。すなわち、第１の直列腕共振子Ｓ１−１と、第２の直列腕共振子Ｓ１−２の弾性波伝搬方向と直交する方向において隣り合っている反射器同士が第１の共通バスバー２２または導電パターン３１により接続されている。

同様に、第２の直列腕共振子Ｓ１−２と、第３の直列腕共振子Ｓ１−３との間においても、弾性波伝搬方向と直交する方向において隣り合う反射器同士が導電パターン３２または第２の共通バスバー２５により電気的にかつ物理的に接続されている。

直列腕共振子Ｓ１に、例えば図２の送信端子５から送信電力が印加された場合、第１のＩＤＴ電極１１〜第３のＩＤＴ電極１３が発熱する。従来、この種の弾性波装置では、中央に位置しているＩＤＴ電極に熱がこもりがちであった。

これに対して、本実施形態では、第２のＩＤＴ電極１２は、第１の共通バスバー２２により反射器１４，１６と接続されている。また、第２の共通バスバー２５により、第２のＩＤＴ電極１２は、反射器１７，１９に接続されている。従って、第２のＩＤＴ電極１２で温度が上昇したとしても、熱が第１の共通バスバー２２及び第２の共通バスバー２５を介して外側に逃がされる。よって、第２のＩＤＴ電極１２の温度上昇を効果的に抑制することができる。従って、マイグレーションが生じ難く、耐電力性を高めることができる。

図２に示すように、弾性波装置１では、送信端子５に最も近い直列腕共振子Ｓ１において、本実施形態の構造が採用されていた。図２に示す直列腕共振子Ｓ３は、図３に示すように、同様に、３個の直列腕共振子Ｓ３−１，Ｓ３−２，Ｓ３−３に分割されている。この直列腕共振子Ｓ３においても、直列腕共振子Ｓ１の場合と同様の構造を採用してもよい。それによって、温度上昇をより一層抑制することができる。

もっとも、送信フィルタ２では、最も大きな電力が加わるのは、送信端子５に最も近い直列腕共振子Ｓ１である。従って、本実施形態のように、直列腕共振子Ｓ１に本発明の弾性波装置を用いることにより、耐電力性を効果的に高めることができる。

なお、直列腕共振子Ｓ１に代えて、直列腕共振子Ｓ３のみに本発明の電極構造を採用してもよい。

受信フィルタ３は、縦結合共振子型弾性波フィルタ４１を有する。アンテナ端子４と縦結合共振子型弾性波フィルタ４１との間に直列腕共振子４２，４３が接続されている。また、縦結合共振子型弾性波フィルタ４１と受信端子６との間の接続点とグラウンド電位との間に並列腕共振子４４が接続されている。受信フィルタ３の回路構成は特に限定されるものではない。

なお、上記実施形態では、直列腕共振子Ｓ１に本発明の弾性波装置の電極構造を採用したが、本発明の弾性波装置は、第１〜第３の弾性波共振子が直列に接続されている任意の部分に適用することができる。例えば、図３において、直列腕共振子Ｓ２と、直列腕共振子Ｓ３−１，Ｓ３−２が直列に接続され、かつ圧電基板上において連ねられている。この部分において、直列腕共振子Ｓ３−１を第２の弾性波共振子として、図１に示すような電極構造を採用してもよい。

次に、具体的な実験例につき説明する。

図４は、第１の実施形態及び比較例の弾性波装置における、入力電力と出力電力との関係を示す図である。なお、第１の実施形態の弾性波装置における入力電力とは、送信端子５からの入力電力であり、出力電力とは、アンテナ端子４から出力される電力である。

なお、実施形態は、図１に示した電極構造を有する。これに対して、比較例の弾性波装置では、特許文献１に記載の弾性波装置と同様に、１番目〜３番目の弾性波共振子の反射器同士は接続しているものの、第２のＩＤＴ電極については、両側の反射器から分離されている。その他の構成は、比較例の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置と同様とした。

なお、第１〜第３の直列腕共振子Ｓ−１〜Ｓ１−３の設計パラメータは以下の通りとした。

圧電基板：カット角４２°のＬｉＴａＯ_３基板。リーキー波を利用。

第１〜第３のＩＤＴ電極１１〜１３の電極指の対数＝１００対、電極指ピッチ＝２．６３４μｍ、電極指材料及び膜厚＝Ｔｉ（６ｎｍ）／Ａｌ（２４４ｎｍ）。

反射器１４，１６，１８，１５，１７，１９の電極指の本数＝６．５対、電極指ピッチ＝２．６３４ｎｍ。

また、上記比較例及び実施形態の入力電力と出力電力との関係を下記の表１及び表２に示す。表１が比較例の結果を示し、表２が実施形態の結果を示す。

表１及び図４に示されているように、比較例では、入力電力が２８．０ｄＢｍよりも低い領域で入力電力がピークとなり、２８．０ｄＢｍを超えると、出力電力が急激に低下している。

これに比べて、表２及び図４に示されているように、実施形態の結果では、入力電力を高めていった場合、２８．０ｄＢｍを超えても、出力電力が高くなっていることがわかる。さらに、入力電力が２８．０ｄＢｍを超える領域で、出力電力が２４．０ｄＢｍを超えている。従って、比較例に比べて、実施形態によれば、放熱性が高められているか、入力電力印加による特性の劣化が少なくなり、かつ送信電力を高め得ることがわかる。

また、表１及び図４において、比較例では、入力電力が２９．０ｄＢｍよりも高い領域が示されていないのは、２９．０ｄＢｍを超えると、破損し、出力電力を取り出すことができなかったことによる。従って、比較例に比べ、実施形態によれば耐電力性を効果的に高め得ることがわかる。

図５は、第１の実施形態の変形例に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。図５に示す変形例では、第１の共通バスバー２２は、第１の弾性波共振子としての直列腕共振子Ｓ１−１の反射器１４に接続されており、反射器１６には接続されていない。また、第２の共通バスバー２５は、第３の弾性波共振子としての直列腕共振子Ｓ１−３の反射器１９に接続されており、反射器１７には接続されていない。このように、第１の共通バスバー２２及び第２の共通バスバー２５は、第２の弾性波共振子の反射器に接続されておらずともよい。

本変形例は、上記の点を除いては、第１の実施形態の弾性波装置と同様である。

なお、上記変形例とは逆に、第１の共通バスバー２２は、反射器１４に接続されず、反射器１６に接続されていてもよい。同様に、第２の共通バスバー２５は、反射器１９に接続されず、反射器１７に接続されていてもよい。すなわち、本発明では、第１の共通バスバーは、第１，第２の弾性波共振子の内のいずれかの反射器に接続されておればよく、第２の共通バスバーは、第２，第３の弾性波共振子の内のいずれかの反射器に接続されておればよい。

第１の実施形態では、３個の弾性波共振子が直列に接続されていたが、図６に示す第２の実施形態のように、第１〜第３の弾性波共振子５１〜５３に加えて、第４の弾性波共振子５４が直列に接続されていてもよい。このように、本発明では、少なくとも１つの第４の弾性波共振子５４がさらに直列に接続されていてもよい。

第２の実施形態では、第４の弾性波共振子５４は、第４のＩＤＴ電極５５と、第４のＩＤＴ電極５５の弾性波伝搬方向において両側に配置された反射器５６，５７とを有する。第４のＩＤＴ電極５５は、第３の共通バスバー５８と、バスバー５９とを有する。第３の共通バスバー５８は、第３のＩＤＴ電極１３と、第４のＩＤＴ電極５５とで共有化されている。

第２の実施形態では、バスバー２１Ａにより、第１のＩＤＴ電極１１が、反射器１４に接続されている。第１の共通バスバー２２Ａにより、第１のＩＤＴ電極１１が反射器１５に接続されている。この第１の共通バスバー２２Ａにより、第２のＩＤＴ電極１２と反射器１７とが接続されている。他方、第２の共通バスバー２５Ａにより第２のＩＤＴ電極１２と反射器１６とが接続されている。第３のＩＤＴ電極１３と反射器１８とが第２の共通バスバー２５Ａにより接続されている。第３のＩＤＴ電極１３と反射器１９とが、第３の共通バスバー５８により接続されている。

従って、弾性波伝搬方向と直交する方向において、内側に位置しており、熱がこもりやすい第２のＩＤＴ電極１２及び第３のＩＤＴ電極１３は、それぞれ、第１，第２の共通バスバー２２Ａ，２５Ａまたは第２，第３の共通バスバー２５Ａ，５８を介して反射器１５，１６，１７または反射器１８，１９，５７に接続されている。従って、第２の実施形態においても、第２のＩＤＴ電極１２及び第３のＩＤＴ電極１３の温度が上昇し難いため、第１の実施形態と同様に耐電力性を効果的に高めることができる。

第２の実施形態では、第１〜第４の弾性波共振子５１〜５４が直列に接続されている構成において、バスバー２１Ａ、第１，第２，第３の共通バスバー２２Ａ，２５Ａ，５８及びバスバー５９が、弾性波伝搬方向と直交する方向において、弾性波伝搬方向において一方側の反射器１４，１６，１８，５６と、他方側の反射器１５，１７，１９，５７とに交互に接続されている。従って、上記のように、第２，第３のＩＤＴ電極１２，１３の温度上昇を効果的に抑制することができる。

図７は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置における最も送信端子側の直列腕共振子の電極構造を示す平面図である。第３の実施形態の弾性波装置では、第２の実施形態の弾性波装置の第４の弾性波共振子５４に、さらにもう１つの第４の弾性波共振子６１が直列に接続されている。第４の弾性波共振子６１は、ＩＤＴ電極６２と、反射器６３，６４とを有する。第４の弾性波共振子５４と、第４の弾性波共振子６１との間で、第４の共通バスバー５９Ａが共有化されている。第４のＩＤＴ電極５５は、第３の共通バスバー５８により、反射器１９，５７に接続されている。また、第４の共通バスバー５９Ａにより、ＩＤＴ電極５５は反射器６３に接続されている。従って、第４のＩＤＴ電極５５において、温度上昇を抑制することができる。

なお、第４の弾性波共振子６１のＩＤＴ電極６２及び反射器６４は、バスバー６５により接続されている。

図７に示す直列腕共振子のように、複数の第４の弾性波共振子５４，６１が直列に接続されていてもよい。

１…弾性波装置
１Ａ…圧電基板
２…送信フィルタ
３…受信フィルタ
４…アンテナ端子
５…送信端子
６…受信端子
１１〜１３…第１〜第３のＩＤＴ電極
１４〜１９…反射器
２１，２１Ａ…バスバー
２２，２２Ａ…第１の共通ハスバー
２３，２４，２６，２７，２９，３０…電極指
２５，２５Ａ…第２の共通バスバー
２８…第２のバスバー
３１，３２…導電パターン
４１…縦結合共振子型弾性波フィルタ
４２，４３…直列腕共振子
４４…並列腕共振子
５１〜５４…第１〜第４の弾性波共振子
５５…第４のＩＤＴ電極
５６，５７…反射器
５８，５９Ａ…第３，第４の共通バスバー
５９…バスバー
６１…第４の弾性波共振子
６２…ＩＤＴ電極
６３，６４…反射器
６５…バスバー
Ｌ１，Ｌ２…インダクタ
Ｓ１〜Ｓ３…直列腕共振子
Ｓ１−１〜Ｓ１−３，Ｓ３−１〜Ｓ３−３…第１〜第３の直列腕共振子
Ｐ１〜Ｐ３…並列腕共振子

Claims (5)

1. 第１のＩＤＴ電極と、前記第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第１の弾性波共振子と、
   前記第１の弾性波共振子に直列に接続されており、第２のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第２の弾性波共振子と、
   前記第２の弾性波共振子に直列に接続されており、第３のＩＤＴ電極と、前記第３のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第３の弾性波共振子とを備え、
   前記第１〜第３のＩＤＴ電極がそれぞれ、弾性波伝搬方向と交差する方向において対向する一対のバスバーを有し、
   前記第２の弾性波共振子の弾性波伝搬方向と交差する方向において一方側に前記第１の弾性波共振子が配置されており、該弾性波伝搬方向と交差する方向において他方側に前記第３の弾性波共振子が配置されており、
   前記第１のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第２のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第１の共通バスバーとして共有化されており、
   前記第２のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第３のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第２の共通バスバーとして共有化されており、
   前記第１の共通バスバーが前記第１及び前記第２の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されており、前記第２の共通バスバーが前記第２及び前記第３の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されており、
   前記第１の共通バスバーが弾性波伝搬方向において一方側に配置された前記反射器に接続されており、前記第２の共通バスバーが弾性波伝搬方向において他方側に配置された前記反射器に接続されており、
   弾性波伝搬方向と交差する方向において隣り合っている前記反射器同士が、各反射器の弾性波伝搬方向に沿う導電パターンにより接続されている、弾性波装置。
2. 第１のＩＤＴ電極と、前記第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第１の弾性波共振子と、
   前記第１の弾性波共振子に直列に接続されており、第２のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第２の弾性波共振子と、
   前記第２の弾性波共振子に直列に接続されており、第３のＩＤＴ電極と、前記第３のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第３の弾性波共振子とを備え、
   前記第１〜第３のＩＤＴ電極がそれぞれ、弾性波伝搬方向と交差する方向において対向する一対のバスバーを有し、
   前記第２の弾性波共振子の弾性波伝搬方向と交差する方向において一方側に前記第１の弾性波共振子が配置されており、該弾性波伝搬方向と交差する方向において他方側に前記第３の弾性波共振子が配置されており、
   前記第１のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第２のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第１の共通バスバーとして共有化されており、
   前記第２のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第３のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第２の共通バスバーとして共有化されており、
   前記第１の共通バスバーが前記第１及び前記第２の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されており、前記第２の共通バスバーが前記第２及び前記第３の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されており、
   前記第１〜第３の弾性波共振子において、弾性波伝搬方向と交差する方向において、交互に前記各バスバーが弾性波伝搬方向において対向する反射器に接続されており、
   弾性波伝搬方向と交差する方向において隣り合っている前記反射器同士が、各反射器の弾性波伝搬方向に沿う導電パターンにより接続されている、弾性波装置。
3. 第１のＩＤＴ電極と、前記第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第１の弾性波共振子と、
   前記第１の弾性波共振子に直列に接続されており、第２のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第２の弾性波共振子と、
   前記第２の弾性波共振子に直列に接続されており、第３のＩＤＴ電極と、前記第３のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有する第３の弾性波共振子とを備え、
   前記第１〜第３のＩＤＴ電極がそれぞれ、弾性波伝搬方向と交差する方向において対向する一対のバスバーを有し、
   前記第２の弾性波共振子の弾性波伝搬方向と交差する方向において一方側に前記第１の弾性波共振子が配置されており、該弾性波伝搬方向と交差する方向において他方側に前記第３の弾性波共振子が配置されており、
   前記第１のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第２のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第１の共通バスバーとして共有化されており、
   前記第２のＩＤＴ電極の他方のバスバーと前記第３のＩＤＴ電極の一方のバスバーとが第２の共通バスバーとして共有化されており、
   前記第１の共通バスバーが前記第１及び前記第２の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されており、前記第２の共通バスバーが前記第２及び前記第３の弾性波共振子のいずれかの反射器に接続されており、
   少なくとも１つの第４の弾性波共振子が、前記第３の弾性波共振子に直列に接続されており、前記少なくとも１つの第４の弾性波共振子が、第４のＩＤＴ電極と、前記第４のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向において両側に配置された一対の反射器とを有し、前記第４のＩＤＴ電極が一対のバスバーを有し、前記第３の弾性波共振子と前記第４の弾性波共振子とが直列接続されている部分において、前記第３の弾性波共振子の前記反射器と前記第４の弾性波共振子の前記反射器とが接続されており、
   前記第１〜第４の弾性波共振子において、前記第１〜第４の弾性波共振子の前記バスバーが、弾性波伝搬方向と交差する方向において、弾性波伝搬方向において一方側の前記反射器または他方側の前記反射器に交互に接続されており、
   弾性波伝搬方向と交差する方向において隣り合っている前記反射器同士が、各反射器の弾性波伝搬方向に沿う導電パターンにより接続されている、弾性波装置。
4. 前記弾性波伝搬方向と交差する方向が、弾性波伝搬方向と直交する方向である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の弾性波装置。
5. 弾性波共振子からなる直列腕共振子及び並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、前記直列腕共振子または並列腕共振子の少なくとも１つが、請求項１〜４のいずれか一項に記載の弾性波装置である、ラダー型フィルタ。

Images