JP2013106171A - 弾性波装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】挿入損失が少なく、効率の高い弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波の逆速度面が凹となる圧電基板１２と、この圧電基板の表面に設けられた一対の櫛形電極１５を有する弾性波共振器１３とを備え、前記一対の櫛形電極は、対向する一対の共通電極１６と、前記それぞれの共通電極から他方の共通電極側に交互に延出された複数の電極指１７とを有し、前記電極指が交差する領域を交差領域とし、前記電極指の先端と対向する櫛形電極との間のギャップ１９を結ぶ領域をギャップ領域としたとき、前記交差領域における圧電基板の表面の高さよりも圧電基板の表面の高さが低くなるように前記ギャップ領域に段差２５を設けたものである。
【選択図】図１

Description

本発明は、移動体通信機器等の高周波フィルタとして使用される弾性波装置に関するものである。
図３（ａ）は、従来の弾性波装置の電極パターン図、図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＣ−Ｃ’線の断面図である。
図３（ａ）、図３（ｂ）において、弾性波装置１は、圧電基板２の上において、一対の反射電極３の間に、共通電極４に接続された複数の電極指５から成る櫛形電極６を互いに交差させて、弾性波共振器を構成したものである。
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
特開２００１−６８９５９号公報
近年、通信機器の小型化や周波数帯域の高密度化が進むにつれて、これらの通信機器が確実に動作するためには、より挿入損失が少なく高効率の弾性波装置が必要とされてきている。
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、挿入損失が少なく、効率の高い弾性波装置を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明は、弾性波の逆速度面が凹となる圧電基板と、この圧電基板の表面に設けられた一対の櫛形電極を有する弾性波共振器とを備え、前記一対の櫛形電極は、対向する一対の共通電極と、前記それぞれの共通電極から他方の共通電極側に交互に延出された複数の電極指とを有し、前記電極指が交差する領域を交差領域とし、前記電極指の先端と対向する櫛形電極との間のギャップを結ぶ領域をギャップ領域としたとき、前記交差領域における圧電基板の表面の高さよりも圧電基板の表面の高さが低くなるように前記ギャップ領域に段差を設けたものである。
上記の構成を有することにより、本発明の弾性波装置は、弾性波の共振エネルギーを弾性波導波路の中に閉じ込めるにあたって、弾性波の進行方向に垂直な両サイドにおける弾性波エネルギーの散逸を低減させることができ、弾性波装置の挿入損失を低減することができるという効果を有する。
本発明の一実施の形態における弾性波装置を示す平面図と断面図 同弾性波装置の要部拡大図 従来の弾性波装置を示す平面図と断面図
以下、本発明の一実施の形態における弾性表面波装置について、図面を参照しながら説明する。
図１（ａ）は本発明の一実施の形態における弾性波装置の平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ−Ａ’線の断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）におけるＢ−Ｂ’線の断面図、図２は図１（ａ）の要部拡大図である。
図１（ａ）〜（ｃ）および図２において、弾性波装置１１は、回転ＹカットＸ伝播のタンタル酸リチウム単結晶からなる圧電基板１２の表面に弾性波共振器１３を設けたものである。
この弾性波共振器１３は、圧電基板１２の弾性波の伝播方向に沿って、一対の反射電極１４と、この反射電極１４の間に一対の櫛形電極１５を設けたものである。
この一対の櫛形電極１５は、対向する一対の共通電極１６と、それぞれの共通電極１６から他方の共通電極１６側に交互に延出された複数の電極指１７を有し、この電極指１７を互いに交差させたものである。一方の共通電極１６から延伸した電極指１７の延伸方向には、他方の共通電極１６から延出したダミー電極指１８を設け、電極指１７の先端とダミー電極指１８の先端はギャップ１９を隔てて向かい合わせている。櫛形電極１５の両端は、入出力端子２０に接続している。
この弾性波共振器１３において、電極指１７を互いに交差させた領域が交差領域２１であり、ダミー電極指１８を設けた領域がダミー領域２２であり、ギャップ１９を結ぶ領域がギャップ領域２３である。
そして、本発明は、ギャップ領域２３からダミー領域２２にかけて、電極指１７およびダミー電極指１８が形成されていない圧電基板１２の表面に凹部２４を設け、凹部２４における圧電基板１２の表面の高さを交差領域２１における圧電基板１２の表面の高さよりも低くし、ギャップ領域２３における圧電基板１２の表面に段差２５を形成したものである。
このように、電極指１７とダミー電極指１８の間のギャップ１９を結ぶギャップ領域２３に、電極指１７の先端から先方の圧電基板１２の表面の高さが低くなるように段差２５を設けたことにより、交差領域２１の端辺において弾性波を反射させる効果を付与することができ、これによって、弾性波導波路の両側辺における弾性エネルギーの散逸による損失を低減することができ、挿入損失が少なく、効率の高い弾性波装置１１を実現することができるものである。
なお、本実施の形態においては、弾性波共振器１３はダミー電極指１８を有していたが、ダミー電極指１８を有さない弾性波共振器１３においても同様の効果を有するものである。すなわち、ダミー電極指１８を有さない弾性波共振器１３において、交差する電極指１７の先端とこれに対向する共通電極１６との間のギャップ１９を結ぶギャップ領域２３に、電極指１７の先端から先方の圧電基板１２の表面の高さが低くなるように段差２５を設けることによって、交差領域２１の端辺において弾性波を反射させる効果を付与することができ、これによって、弾性波導波路の両側辺における弾性エネルギーの散逸による損失を低減することができ、同様に、挿入損失が少なく、効率の高い弾性波装置１１を実現することができるものである。
さらに、圧電基板１２として、回転ＹカットＸ伝播のタンタル酸リチウム単結晶のように、弾性波の逆速度面が凹となるものを用い、ダミー領域２２における圧電基板１２の表面の高さを、交差領域２１における圧電基板１２の表面の高さよりも低くすることによって、弾性波共振器１３の両側辺での弾性エネルギーの閉じ込め効果を強化することができる。これによって、弾性エネルギーの散逸による弾性波共振器１３の損失を低減することができ、挿入損失が少なく、効率の高い弾性波装置１１を実現することができるものである。
なお、本実施の形態においては、弾性波共振器１３は、一端子対の弾性波共振器であったが、一対の櫛形電極１５を複数個備えた多重モード弾性波共振器であっても、同様の効果を有するものである。
本発明に係る弾性表面波装置は、主として移動体通信機器に用いられる高周波フィルタにおいて有用となる。
１１ 弾性波装置
１２ 圧電基板
１３ 弾性波共振器
１５ 櫛形電極
１６ 共通電極
１７ 電極指
１８ ダミー電極指
１９ ギャップ
２１ 交差領域
２２ ダミー領域
２３ ギャップ領域
２４ 凹部
２５ 段差

Claims (2)

  1. 弾性波の逆速度面が凹となる圧電基板と、この圧電基板の表面に設けられた一対の櫛形電極を有する弾性波共振器とを備え、前記一対の櫛形電極は、対向する一対の共通電極と、前記それぞれの共通電極から他方の共通電極側に交互に延出された複数の電極指とを有し、前記電極指が交差する領域を交差領域とし、前記電極指の先端と対向する櫛形電極との間のギャップを結ぶ領域をギャップ領域としたとき、前記交差領域における圧電基板の表面の高さよりも圧電基板の表面の高さが低くなるように前記ギャップ領域に段差を設けた弾性波装置。
  2. 前記一対の櫛形電極は、前記電極指の延伸方向に他方の共通電極から延出したダミー電極指を有し、前記ダミー電極指を設けたダミー領域における圧電基板の表面の高さを、前記交差領域における圧電基板の表面の高さよりも低くした請求項１記載の弾性波装置。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53125792A (en) * 1977-04-11 1978-11-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Resonator for elastic surface wave
JPH11298286A (ja) * 1998-04-10 1999-10-29 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波導波路構造及びそれを用いたデバイス

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53125792A (en) * 1977-04-11 1978-11-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Resonator for elastic surface wave
JPH11298286A (ja) * 1998-04-10 1999-10-29 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波導波路構造及びそれを用いたデバイス

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10361678B2 (en) 2015-12-14 2019-07-23 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave resonator, filter, and duplexer

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