JP5131117B2 - 弾性波装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2…圧電基板
3…IDT電極
4…第1の電極指
5…第2の電極指
6…第1のダミー電極
7…第2のダミー電極
8,9…反射器
11…第1の積層金属膜(第1の電極)
11A…外縁
11a…Ti膜
11b…AlCu膜
11c…Ti膜
11d…Pt膜
11e…NiCr膜
12…第2の積層金属膜(第2の電極)
12A…外縁
12a…Al膜
12b…Ti膜
12c…Al膜
12d…Ti膜
13〜15…電極パッド
16〜18…配線パターン
19…絶縁膜
19a…第1の絶縁膜
19b…第2の絶縁膜
21…フォトレジスト層
21a…未硬化部
21b…硬化部
21c…開口部
22…エッチング液
Claims (7)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、複数の金属膜を積層してなる第1の積層金属膜からなり、少なくともIDT電極を含む第1の電極と、
前記圧電基板上に形成されており、複数の金属膜を積層してなる第2の積層金属膜からなる第2の電極とを備え、前記第2の電極が、前記第1の電極に重なっている部分により、第1,第2の電極を電気的に接続しているコンタクト部が形成されており、
前記第1の積層金属膜が、Al膜と、最上層としてのTi膜とを有し、前記第2の積層金属膜が、最下層としてのTi膜を有する、弾性波装置。 - 前記第1の積層金属膜が貴金属を有し、該貴金属がPtまたはAuである、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記コンタクト部において、第2の電極の外縁が、第1の電極の外縁よりも内側に位置されている、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第1の電極における最上層に位置しているTi膜の膜厚が、弾性波の波長をλとしたときに、波長λの0.1〜1%の範囲にあり、前記第2の電極の最下層のTi膜が、波長λの0.5〜10%の範囲にある、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板上において、前記第1の電極を覆うように設けられた絶縁膜をさらに備える、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 請求項1に記載の弾性波装置の製造方法であって、
前記圧電基板上に前記第1の積層金属膜からなる前記第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極を覆うようにレジスト層を全面に形成する工程と、
前記レジスト層のうち、前記第2の積層金属膜が形成される部分に開口部を形成する工程と、
前記開口部及び前記レジスト層の上面に、第2の積層金属膜を形成する工程と、
前記レジスト層及びレジスト層上の第2の積層金属膜をリフトオフ法により除去する工程とを備える、弾性波装置の製造方法。 - 前記コンタクト部において、前記第2の電極の外縁が、前記第1の電極の外縁よりも内側に位置するように前記開口部をレジスト層に形成する、請求項6に記載の弾性波装置の製造方法。
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