CN1543064A - 弹性表面波器件 - Google Patents

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Abstract

一种弹性表面波器件。其并联两个以上在至少三个梳状电极两侧设置反射器电极的纵模耦合型SAW元件，其用接地侧连接电极把构成IDT电极的一对梳状电极中的一方共同连接，并把该接地侧电极连接在接地焊盘上，从而能够将连接焊盘的个数减少到最小限度，得到小型且滤波特性优良的SAW器件。

Description

弹性表面波器件
技术领域
本发明涉及便携式电话等所用的纵模耦合型的弹性表面波器件。
背景技术
近年来，为使便携式电话等小型化、高性能化，而追求便携式电话所用的电子零部件的小型、薄型且高性能化。在多种电子零部件中，半导体集成电路元件和弹性表面波器件(下称SAW器件)都有比较大的形状，所以，对于它们的小型化的要求就特别强烈。
为满足这种要求，在SAW器件中，现有是通过探讨电极图形方案的最佳设计来实现小型化。但是，按照这种设计方法的小型化，有一定的限度。
图14是现有的SAW器件200的电极图形的示意图。该SAW器件200在由压电体构成的压电基板201上具有：梳状转换器电极(下称IDT电极)202A、202B、202C、设置在该IDT电极202A、202B、202C各自两侧的反射器电极203、连接在接地端子上的接地焊盘204、输入焊盘205以及输出焊盘206。IDT电极202A、202B、202C由具有分别相互对插的多条电极指的一对梳状电极构成。构成两侧IDT电极202A、202C的一对梳状电极中的一个连接在接地焊盘204上，另一个分别共同连接在输出焊盘206上。构成中央IDT电极202B的一对梳状电极中的一个连接在输入焊盘205上，另一个连接在接地焊盘204上。
另外，例如用引线把接地焊盘204与形成在芯柱(未图示)上的接地电极端子10连接。
由图14可知，在该SAW器件中，有三个接地焊盘204、一个输入焊盘205和一个输出焊盘206。因此，整体上必须要有五个焊盘的面积。与IDT电极202A、202B、202C或反射器电极203相比，由于焊盘所必要的面积大，所以，因必须要确保五个焊盘面积而难以小型化。由于从各个接地焊盘204连接到GND(接地电极)，所以得不到充分低的GND电平，而且不均匀，结果，使滤波特性变坏。
随着电极图形设计技术的进步，通过对IDT电极进行电极图形本身或最佳布局的设计，就能够实现SAW器件的小型化。对此，为确保与引线的连接强度或确保电气连接的可靠性，必须使连接到外部端子的接地焊盘、输入焊盘或输出焊盘超过某一定的面积。因此，很难进一步减小各个焊盘面积，不削减焊盘的个数就会对SAW器件的小型化有较大的影响。
另一个面，作为实现小型化的其他手段，现有还采用去掉为改善通带的截止特性并增大衰减量而附加的级间耦合电容或电感使其小型化的方法。例如，日本公开专利特开平10-224179号公报中展示，在压电基板上纵向多级连接由三个IDT电极及其两侧配置的两个反射器构成的1次-3次纵耦合型二重模弹性表面波滤波器中，按照下述的结构就不要级间电感。也就是说，使上述三个IDT电极中的两侧IDT电极的组数互不相同，从而使级间阻抗的容量换算值大约为零，同时把位于中央的IDT电极端部和两侧的IDT电极的各端部的间隔中的一个设定为约5λ/4，而另一个设定为与其不同的值。
但是，按照该例，即使省略级间的耦合电容或电感，其小型化也有限。而且，在该例中，因为从连接到各个接地端子的焊盘分别连接到GND，所以，也得不到充分低的GND电平，且不均匀，与第一例一样，滤波特性变坏。
发明内容
本发明的目的在于减少焊盘的个数实现SAW器件的小型化。
本发明的SAW器件构成如下：
并联连接有至少两个以上纵模耦合型的弹性表面波元件，其具有形成在压电性基板上的至少三个以上梳状转换器电极和沿从所述梳状转换器电极产生的弹性表面波传输方向配置在所述梳状转换器电极两侧的反射器电极；
构成所述梳状转换器电极的各个梳状电极中的一个在同一侧共同连接且连接到接地焊盘上；所述梳状电极的另一个连接到在所述接地焊盘的形成区域对侧所形成的输入焊盘或输出焊盘上。
按照这样的构成，因为能够削减必要的焊盘的个数，所以能减小SAW器件中的焊盘所必要的面积。结果，能够实现比现有更小型的SAW器件。而且，由于能把接地焊盘连接在共同的GND上，所以能够稳定地降低GND电平，从而能够实现滤波特性优良的SAW器件。
附图说明
图1是本发明的实施例1的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图2是实施例1的变形例的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图3是本发明的实施例2的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图4是实施例2的变形例的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图5是本发明的实施例3的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图6是实施例3的变形例的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图7是本发明的实施例4的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图8是实施例4的变形例的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图9是实施例4的另一变形例的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图10是本发明的实施例5的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图11是实施例5的变形例的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图12是实施例5的另一变形例的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图13是本发明的实施例6的SAW器件的电极构成的示意平面图；
图14是现有的SAW器件的电极构成的示意平面图。
具体实施方式
以下用附图来说明本发明的实施例。对于同样的构成要素标注相同的符号。本实施例中所示的图都是示意性地表示电极构成的图，例如，构成IDT电极的一对梳状电极的电极指分别为两条，但是实际的SAW器件由更多条电极指构成。一般这些电极指及其间隔大体相同，但是为易于理解而把电极指表示得很细。另外，共同连接多条电极指的一端的汇流条电极和从该汇流条电极引到焊盘的连接电极等也示意性地表示得很细。设计上可以将电极指或连接电极等设定为最佳宽度。
实施例1
图1是本发明的实施例1的SAW器件9的电极构成的示意平面图。本实施例的SAW器件9由在压电基板6上的两个弹性表面波元件(下称SAW元件)25、26、连接它们的连接电极和各种焊盘构成。左侧的SAW元件25由三个IDT电极21A、21B、21C和沿从这些IDT电极21A、21B、21C产生的弹性表面波(下称SAW)的传输方向配置在两侧的反射器电极22A、22B构成；同样，右侧的SAW元件26由三个IDT电极23A、23B、23C和沿从这些IDT电极23A、23B、23C产生的SAW的传输方向配置在两侧的反射器电极24A、24B构成。由图1可知，左侧的SAW元件25和右侧的SAW元件26被并联连接。
分别构成左侧的SAW元件25的IDT电极21A、21B、21C和右侧的SAW元件26的IDT电极23A、23B、23C的一对梳状电极中的一个由接地侧连接电极27共同连接，再连接到接地焊盘3上。该接地焊盘3连接在用来与外部电路(未图示)连接的接地电极端子10上。该接地电极端子10形成在支持压电基板6的芯柱(未图示)或安装用基板(未图示)上，接地焊盘3和接地电极端子10例如用引线连接。
分别构成左侧的SAW元件25的两侧IDT电极21A、21C的一对梳状电极的另一个共同连接在输出侧连接电极8A上，再连接到输出焊盘5A上。另外，构成中央IDT电极21B的梳状电极的另一个连接到输入焊盘4A上。
同样，分别构成右侧的SAW元件26的两侧IDT电极23A、23C的一对梳状电极的另一个共同连接在输出侧连接电极8B上，再连接到输出焊盘5B上。另外，构成中央IDT电极23B的梳状电极的另一个连接到输入焊盘4B上。
梳状电极这样交叉构成IDT电极的情况与现有的构成是一样的。
这样，按照本实施例的SAW器件9就在压电基板6上具有一个接地焊盘3、两个输入焊盘4A、4B和两个输出焊盘5A、5B共计五个焊盘，并作成为输入焊盘4A、4B和输出焊盘5A、5B平衡动作的电极结构。为使之平衡动作，所以必须调整IDT电极21A、21B、21C、23A、23B、23C的形状来进行电极设计以使静电容量等相等，由于这都是一般公知的方法，所以省略说明。通过使之平衡动作容易实现与半导体集成电路元件(IC)等的阻抗匹配，所以能够降低SAW器件9的损耗。
在本实施例的SAW器件9中，左侧SAW元件25和右侧SAW元件26将电极构成设计为阻抗分别是100Ω。因此，从输入焊盘4A、4B或输出焊盘5A、5B看的阻抗就是并联配置两个分别为100Ω的左侧SAW元件25和右侧SAW元件26而成为50Ω。
即，在并联连接n(大于2的整数)个SAW元件的情况下，如果设计电极构成使各个SAW元件的阻抗为(50×n)Ω，那么把这n个SAW元件并联连接，就能使整体SAW器件的阻抗为50Ω。这样，因为从输入焊盘4A、4B或输出焊盘5A、5B看的阻抗是50Ω，所以能够整合性好地连接例如安装IC等或SAW器件9的电路。
只要把例如构成IDT电极的梳状电极的各个电极指的交叉宽度设定为最佳值，就能使这样并联连接的各个SAW元件的阻抗为(50×n)Ω。如果使交叉宽度变窄，就能够减小IDT电极的静电容量而增大阻抗。例如，如果使梳状电极的电极指的交叉宽度缩到1/n，SAW元件的阻抗就能够增大n倍。缩窄梳状电极的各个电极指的交叉宽度还能够减小IDT电极的电阻，降低损耗，从而能够增大衰减量。
对于这种通过改变梳状电极的各个电极指的交叉宽度来使静电容量变化以控制SAW元件的阻抗的方法，不仅在本实施例中，即使在后述的全部实施例中同样也可以采用。
下面说明本实施例的SAW器件9的制造方法。
最初，在钽酸锂(LiTaO3)等具有压电性的压电基板6上用溅射法等形成铝(Al)等金属薄膜。然后在金属薄膜上涂敷光刻胶；用曝光装置使所希望的电极结构的图形曝光；经显影处理之后，再将不要部分的金属薄膜蚀刻掉；然后除去光刻胶。在接地焊盘3、输入焊盘4A、4B和输出焊盘5A、5B上形成容易引线结合的加强电极，或者形成用于倒装片结合的补片，对此，只要按照组装方法进行适当选择就可以。在IDT电极的表面上也可以形成绝缘性的保护膜，在这样进行过规定的加工工序之后，只要把形成在晶片状的基板上的多个SAW器件9分割切断成单片就完成整个制作过程。
虽然SAW器件9也可以按图1所示的芯片状在电路基板上安装使用，但是，一般也可以与IC一样，在封装过的状态下使用。即，例如使用有芯柱和盖的封装件，把切断成为单片的压电基板连接固定在芯柱上，再经例如引线或补片将包含形成在芯柱上的接地电极端子的各种电极端子和接地焊盘、输入焊盘和输出焊盘连接，再把盖与芯柱密封连接。
本实施例的SAW器件9由于可以减少必要的焊盘的个数，所以能够小型化。因为也容易实现阻抗匹配，所以还能够以好的整合性连接IC等。另外，由于构成IDT电极21A、21B、21C、23A、23B、23C的一对梳状电极中的一个全部由接地侧连接电极27共同连接，再连接到接地焊盘3上，所以能够得到使GND共同且充分低的均匀的GND电平，并强化GND。结果，能够改善SAW器件9的滤波特性，例如增大衰减量或改善频带内滤波特性。
在本实施例的SAW器件9中，即使输入焊盘4A、4B和输出焊盘5A、5B相反地配置，也能得到同样的效果。
另外，本实施例的SAW器件9中，对平衡动作的平衡型方式作了说明，但是输入焊盘和输出焊盘的至少一方也可以是非平衡型的。
本实施例的SAW器件9中，如图1所示，说明了把分别并联三个IDT电极的SAW元件25、26并联两个连接的情况，但是本发明并不限定于此。只要是构成SAW元件的IDT电极为三个以上，几个都可以。而并联连接的SAW元件的个数只要是两个以上，几个都行。
图2是本实施例的变形例的SAW器件33的电极构成的示意平面图。本实施例的SAW器件33中的构成左侧SAW元件25的IDT电极21A、21C和右侧SAW元件26的IDT电极23A、23C的各梳状电极中的另一个全部由输出侧连接电极31共同连接，再连接到一个输出焊盘32上。这一点与SAW器件9不同。
按照这样的构成，因为能够使焊盘个数作成四个，所以可以使SAW器件33进一步小型化。
在本实施例中，说明了图1和图2所示的构成的SAW器件9、33，但是本发明并不限定于这些构成。例如，本实施例中焊盘为正方形，也可以是长方形。在图2中，输出焊盘32以输出侧连接电极31为基准，配置在输入焊盘4A、4B相对侧，但也可以配置在同一侧。另外，对于IDT电极，也可以不像本实施例那样使用一对梳状电极，而是在梳状电极的电极指之间设置悬浮状态的条电极，或者也可以是加重的梳状电极结构。
实施例2
用图3说明本发明的实施例2的SAW器件40。图3是本实施例的SAW器件40的电极构成的示意平面图。本实施例的SAW器件40与实施例1的SAW器件9不同之处在于局部改变构成左侧SAW元件45的反射器电极41A、41B和构成右侧SAW元件46的反射器电极42A、42B的各自的条电极540的电极间隔。
即，在实施例1的SAW器件9中，反射器电极22A、22B、24A、24B的条电极的电极间隔是一定的，与此相对，本实施例的SAW器件40中，反射器电极41A、41B、42A、42B的条电极540的电极间隔在各自的端部侧的区域变窄。
具体地说，在反射器电极41A中，在区域412形成的条电极540的电极间隔比在区域411形成的条电极540的电极间隔窄。在反射器电极41B中，在区域414形成的条电极540的电极间隔比在区域413形成的条电极540的电极间隔窄。同样，在反射器电极42A、42B中也一样，在区域422形成的条电极540的电极间隔比形成在区域421的条电极540的电极间隔窄，在区域424形成的条电极540的电极间隔比形成在区域423的条电极540的电极间隔窄。
这样，使反射器电极41A、41B、42A、42B的条电极540的电极间隔局部不同，就能使反射特性变化而改变发生杂散信号的位置。因此，如果使相互的杂散信号抵消，最终就能够得到非常小的杂散信号，而使衰减量增大。
在本实施例中，即使交换输入焊盘4A、4B和输出焊盘5A、5B的位置关系，也能够得到同样的效果。也可以把输出侧连接电极8A、8B共同连接再连接到一个输出焊盘上形成与图2所示SAW器件33一样的构成。
在本实施例的SAW器件40中，说明反射器电极41A、41B、42A、42B的条电极540的电极间隔在部分区域不同的情况，但是，既可以作成整体连续地不同，也可以作成多个阶梯状不同。这样能够减小杂散信号，且使衰减量增大。
也可以使左侧SAW元件45的反射器电极41B与右侧SAW元件46的反射器电极42A的间隔不同于各自的反射器电极41B、42A的条电极540的电极间隔。这样的设定能改变反射特性，将相互的杂散信号抵消掉，最终能够实现小的杂散信号。结果，能够增大衰减量。
上述的构成不仅适用于本实施例，同样也可以适用于包含实施例1在内的其他实施例。
图4是用来说明本实施例的变形例的SAW器件50的电极构成的示意平面图。本变形例的SAW器件50中，构成各SAW元件55、56的反射器电极51A、51B、52A、52B的条电极540的电极间隔是一定的。但是，通过改变反射器电极51A、51B、52A、52B的汇流条电极530的形状也可以实现与改变各自的条电极540的长度而使外观上加重的情况一样的效果。与使反射器电极51A、51B、52A、52B的条电极540的电极间隔变化的情况一样，这种方法也能够抑制杂散信号的发生，从而使衰减量增大。
在本实施例中，分别说明在SAW器件40中并联连接两个SAW元件45、46和在变形例的SAW器件50中并联连接两个SAW元件55、56的构成，但是本实施例并不限定于此。例如，因为通过增大并联连接的SAW元件的个数就能够降低损耗，所以，只要并联连接的SAW元件的个数大于两个，几个都可以。
即，本实施例SAW器件40或变形例的SAW器件50中，形成使反射器电极的条电极540的电极间隔部分不同的构成，或者随场所而改变汇流条电极53的宽度，形成形成使条电极540的电极长度不同的构成。按照这样的构成，由于能够抑制SAW的杂散信号的发生，所以能够增大衰减量。而且，在本实施例中，分别在各自的SAW器件中，构成使电极间隔不同或电极长度不同，也可以在SAW器件构成将它们组合的结构。
实施例3
用图5说明本发明的实施例3的SAW器件。图5是本实施例的SAW器件的电极构成的示意平面图。与实施例1不同之处在于，本实施例的SAW器件60并联连接左侧SAW元件65和右侧SAW元件66，并共用构成这些SAW元件65、66的反射器电极62、63、64中的中央部的反射器电极63。
即，在实施例1的SAW器件9中，在左侧SAW元件25和右侧SAW元件26的两侧分别设置反射器电极22A、22B和24A、24B。与此相对，本实施例的SAW器件60中，左侧SAW元件65和右侧SAW元件66共用中央部的反射器电极63。除此之外，其他构成与实施例1的SAW器件9一样。
如图5所示，由于共用SAW器件65、66中央部的反射器电极63，所以与实施例1的SAW器件9相比能够减少一个反射器电极。因此，本实施例的SAW器件60能够更小型化。而且，还容易实现使输入焊盘4A、4B和输出焊盘5A、5B平衡动作。构成IDT电极21A、21B、21C、24A、24B、24C的梳状电极中的一个用接地侧连接电极27全部共同连接再连接到接地焊盘3上。因此，能够实现GND共同，且能够稳定地得到充分低的GND电平，所以可以改善滤波特性，例如能够增大衰减量。
在本实施例中，即使交换输入焊盘4A、4B和输出焊盘5A、5B的位置关系来使用，也能得到同样的效果。
在本实施例的SAW器件60中，说明了平衡型，但是也可以将输入焊盘4A、4B和输出焊盘5A、5B中至少一个作成非平衡型。
本实施例的SAW器件60中，说明了把2个SAW元件65、66并联连接的构成，但是本发明并不限定于此。例如，只要是并联连接的SAW元件的个数超过两个，几个都行；并联连接的SAW元件的个数越多，损耗就越低。
另外，本实施例的SAW器件60中，左侧SAW元件65和右侧SAW元件66的阻抗分别被设计为100Ω，这样，因为并联连接两个100Ω的SAW元件65、66，所以从输入焊盘4A、4B或输出焊盘5A、5B看的阻抗就为50Ω。
即，在并联连接n(大于2的整数)个SAW元件的情况下，如果设计电极构成使各个SAW元件的阻抗为(50×n)Ω，那么把这n个SAW元件并联，就能使整体SAW器件的阻抗为50Ω。这样，因为从输入焊盘4A、4B或输出焊盘5A、5B看的阻抗是50Ω，所以能够整合性好地连接例如安装IC等或SAW器件9的电路。
本实施例的SAW器件60中，反射器电极62、63、64的条电极540的电极间隔全都是一定的，但是本发明并不限定于此。例如，与实施例2一样，也可以使电极间隔整体连续变化，也可以仅使一定的区域不同。另外，也可以与实施例2的变形例一样，按照汇流条电极的形状使反射器电极62、63、64的条电极的长度不同。
图6是本实施例的变形例的SAW器件70的电极构成的示意平面图。如图6所示，本变形例的SAW器件70中，构成SAW元件65、66的IDT电极21A、21C、24A、24C的梳状电极的另一个全部连接在输出侧连接电极72上，该输出侧连接电极72连接输出焊盘74。按照这种构成，因为输出侧同电位，且稳定，所以能够改善SAW器件70的滤波特性，特别是能够增大衰减量。
与实施例1的SAW器件9相比较，因为各个SAW元件65、66共用中央部的反射器电极63，所以能够减少一个反射器电极。结果，能够进一步使SAW器件小型化。
实施例4
用图7说明本发明的实施例4的SAW器件。图7是本实施例的SAW器件80的电极构成的示意平面图。
本实施例的SAW器件80是沿垂直于SAW的传输方向配置纵模耦合型的SAW元件81、82，即，由两级纵向连接的结构构成。以下，为易于理解说明，根据需要把SAW元件81称做第一级，把SAW元件82称做第二级。
第一级SAW元件81由IDT电极83A、83B、83C及在其两侧设置的反射器电极84A、84B构成；第二级SAW元件82由IDT电极85A、85B、85C及在其两侧设置的反射器电极86A、86B构成。
以下，对于构成SAW元件81、82的IDT电极83A、83B、83C、85A、85B、85C的梳状电极而言，将配置在接地焊盘侧的梳状电极叫做第一个，将与其相面对的梳状电极叫做另一个，以示区别。
构成第一级SAW元件81的IDT电极83A、83B、83C的一对梳状电极中的第一个用接地侧连接电极87A共同连接再连接到接地焊盘88A上。构成该SAW元件81两侧的IDT电极83A、83C的梳状电极的另一个经元件间连接电极92、93连接到构成第二级SAW元件82两侧的IDT电极85A、85C的梳状电极的另一个。另外，构成第一级SAW元件81中央的IDT电极83B的梳状电极的另一个与输入焊盘90连接。
构成第二级SAW元件82的IDT电极85A、85B、85C的一对梳状电极中的第一个用接地侧连接电极87B共同连接再连接到接地焊盘88B上。构成该SAW元件82两侧的IDT电极85A、85C的梳状电极的另一个经如上所述的元件间连接电极92、93连接到构成第一级SAW元件81两侧的IDT电极83A、83C的梳状电极的另一个。另外，构成第二级SAW元件82中央的IDT电极85B的梳状电极的另一个与输出焊盘91连接。
这样，本实施例的SAW器件80就在相互对称的位置上配置两个接地焊盘88A、88B，在SAW元件81、82相面对的区域间设置输入焊盘90和输出焊盘91。另外，接地焊盘88A、88B与各自的接地电极端子10分别用例如铝(Al)等的三条引线89A、89B、89C和89D、89E、89F连接。接地电极端子10形成在支持压电基板6的芯柱(未图示)上。
除上述构成之外，采用与实施例1的SAW器件9相同的结构和相同的制造方法。
在本实施例的SAW器件80中，因为把纵模耦合型SAW元件81、82两级纵向连接，因此，能够改善滤波特性，特别是能够增大衰减量。而且仅仅形成由两个接地焊盘88A、88B、一个输入焊盘90和一个输出焊盘91共计四个焊盘，所以能够得到小型而且滤波特性优良的SAW器件80。
如果使连接构成SAW元件81、82的各自的两外侧IDT电极83A、83C、85A、85C的梳状电极间的元件间连接电极92、93相位相反，就能够降低IDT电极83A、83C、85A、85C与元件间连接电极92、93之间的串扰。这样，就有可能进一步增大衰减量。
按照把输入焊盘90、输出焊盘91和接地焊盘88A、88B配置在相互对称的位置等的电极构成的设计，就能够容易地实现平衡动作。另外，按照这样的构成，由于从输入焊盘90或输出焊盘91看的阻抗为50Ω，所以容易实现与安装IC等的器件或SAW器件的电路的阻抗匹配，这就能够实现改善连接互换性或降低损耗。
因为只要用多条引线或补片把接地焊盘88A、88B与接地电极端子10连接就能够减小连接阻抗，所以，既能够更加降低GND电平，又能够更加稳定。因此，可在增大衰减量的同时使特性稳定化。
在本实施例中，如图7所示，用三条引线89A、89B、89C把接地焊盘88A与接地电极端子10连接，同样用三条引线89D、89E、89F把接地焊盘88B与接地电极端子10连接，但是本发明并不限定于三条。例如，用三条引线把接地焊盘88A与接地电极端子10连接，而用一条引线把接地焊盘88B与接地电极端子10连接等，可以选择各种各样的构成。另外，也可以不用引线而经补片按倒装片方式进行连接。
图8是本实施例的变形例的SAW器件100的电极构成的示意平面图。在该变形例的SAW器件100中，第一级SAW元件81与图7所示的构成相同，但是第二级SAW元件82的构成有所变化。即，构成第二级SAW元件82的中央IDT电极85B的梳状电极的另一个是共同的，而其第一个被分割为两个梳状电极。因此，该IDT电极85B由两个IDT电极851B、852B构成。以下为容易理解其说明，把它们叫做分IDT电极851B、852B。构成IDT电极85B的梳状电极的另一个连接在接地焊盘102C上。分IDT电极851B、852B的各自的梳状电极的第一个连接在输出焊盘104、106上。
另外，如果通过将分IDT电极851B、852B分别相互改变相位，就能够实现平衡动作。这样，由于能够增大阻抗，所以能够改善与安装例如IC等或SAW器件100的电路的匹配，还能减小SAW器件100的损耗。构成IDT电极85A、85C的一对梳状电极中的第一个分别连接在接地焊盘102A、102B上。
也可以不把这些接地焊盘102A、102B分离设置，而是共同连接作成一个接地焊盘。
也可以不把构成IDT电极85B梳状电极中的第一个一侧连接到输入焊盘102C上，而是作成悬浮状态，假想接地。这样能够进一步提高平衡度。
图9是本实施例的另一变形例的SAW器件110的电极构成的示意平面图。该变形例的SAW器件110的特征在于进一步图7所示的SAW器件80中用连接电极112把元件间连接电极92、93之间连接，流过元件间连接电极92、93的信号的相位为同相位。在本变形例的SAW器件110中，用一条引线89B、89E实现接地焊盘88A、88B与接地电极端子10之间的连接，但是也可以如图7所示采用三条引线。
按照这样的构成，因为不存在元件间连接电极92、93的相位差，使相位旋转的实数部分能够复数共轭，所以能够降低损耗。
在本实施例中，将SAW元件两级纵向连接，能够得到损耗小衰减量大的SAW器件。因为连接用的焊盘个数最小可达四个，所以能够实现小型化。
实施例5
图10是本发明实施例5的SAW器件120的电极构成的示意平面图。本实施例的SAW器件120并联连接两个SAW元件121、122，再将另外两个SAW元件123、124也并联连接，然后将它们两级纵向连接。具体地说，第一级的左侧SAW元件121在三个IDT电极125A、125B、125C的两侧设置反射器电极126A、126B。第一级的右侧SAW元件122同样在三个IDT电极127A、127B、127C的两侧设置反射器电极128A、128B。这些都是纵模耦合型，沿SAW的传输方向配置，且并联连接。
第二级的左侧SAW元件123也在三个IDT电极131A、131B、131C的两侧设置反射器电极132A、132B；右侧SAW元件124同样在三个IDT电极133A、133B、133C的两侧设置反射器电极134A、134B。这些也都是纵模耦合型，沿SAW的传输方向配置，且并联连接。
构成SAW元件121、122的一对梳状电极中的一个全部共同连接在接地侧连接电极130上，该接地侧连接电极130与接地焊盘129连接。接地焊盘129与接地电极端子10例如用引线连接。
构成SAW元件123、124的一对梳状电极中的一个也全部共同连接在接地侧连接电极136上，该接地侧连接电极136与接地焊盘135连接。接地焊盘135与接地电极端子10例如也用引线连接。
另外，构成第一级的左侧SAW元件121的IDT电极125A、125C的梳状电极的另一个和构成第二级的左侧SAW元件123的IDT电极131A、131C的梳状电极的另一个分别用元件间连接电极137、138连接。
同样，构成第一级的右侧SAW元件122的IDT电极127A、127C的梳状电极的另一个和构成第二级的右侧SAW元件124的IDT电极133A、133C的梳状电极的另一个分别用元件间连接电极139、140连接。
构成第一级的左侧SAW元件121的中央IDT电极125B的梳状电极的另一个连接在输入焊盘141上。同样构成第一级的右侧SAW元件122的中央IDT电极127B的梳状电极的另一个连接在输入焊盘143上。
另外，构成第二级的左侧SAW元件123的中央IDT电极131B的梳状电极的另一个被连接在输出焊盘142上。同样构成第二级的右侧SAW元件124的中央IDT电极133B的梳状电极的另一个连接在输出焊盘144上。
这样，在与接地焊盘129、135相反方向配置输入焊盘141、143和输出焊盘142、144，而且把接地焊盘129、135配置在对称的位置上，同时将输入焊盘141、143和输出焊盘142、144相面对地配置，从而形成平衡动作的结构。
除此之外，按照与实施例1至实施例4说明过的方法相同的方法来制作SAW器件120。
本实施例的SAW器件120并联连接纵模耦合型的两个SAW元件121、122，再将另外两个SAW元件123、124也同样并联连接，然后将它们纵向连接。因此，能够增大衰减量。通过进行平衡动作容易实现与安装IC等器件或SAW器件120的电路阻抗匹配，所以能够降低损耗。
在本实施例的SAW器件120中，即使将输入焊盘141、143与输出焊盘142、144的位置关系进行交换，也能得到同样的效果。
把构成IDT电极125A、125B、125C、127A、127B、127C的各自的梳状电极中的一个连接到接地侧连接电极130上，再将该接地侧连接电极130与接地焊盘129连接。另外，把构成IDT电极131A、131B、131C、133A、133B、133C的各自的梳状电极中的一个连接到接地侧连接电极136上，再将该接地侧连接电极136与接地焊盘135连接。因此，用接地焊盘129、135共同连接，能够降低GND电平，而且能得到相同的值，所以能够强化GND，从而可以改善滤波特性，例如能够增大衰减量。
在本实施例中，说明了平衡型结构，但是输入焊盘和输出焊盘的至少一个也可以是非平衡型的。
如果通过将输入焊盘141、143、输出焊盘142、144以及接地焊盘129、135设置在相互对称的位置上而使其进行平衡动作，就容易实现与安装IC等器件或SAW器件120的电路阻抗匹配，所以能够降低损耗。
如果用多条引线或补片将接地焊盘129、135与接地端子10连接，由于能够使GND电平更低且更稳定，所以能够增大衰减量。
如果用SAW元件121、122、123、124的阻抗分别为100Ω来设计电极构成，因为SAW元件121、122之间和SAW元件123、124之间分别并联连接，所以，能够使SAW器件120的阻抗作成50Ω。
即，在并联连接n(大于2的整数)个的SAW元件的情况下，从各个SAW元件的输入焊盘或输出焊盘看的阻抗是(50×n)Ω，把它们并联就能使作为SAW器件的阻抗为50Ω。这样，就能够提高与外部连接零部件或外部设备的连接互换性。
在图10中，例如为使元件间连接电极137、138的相位为正，而使另一个元件间连接电极139、140的相位为负，使相邻接的元件间连接电极的相位相互不同，这样就能够抑制串扰，并增大衰减量。
图11是本实施例的变形例的SAW器件150的电极构成的示意平面图。本变形例的SAW器件150用连接电极152将元件间连接电极137、138、139、140之间共同连接，把流经这些元件间连接电极137、138、139、140的信号的相位作成同相位，这一点不同于图10所示的SAW器件120。
按照这样的构成，由于不存在元件间连接电极137、138、139、140之间的相位差，能够提高对称性，所以，能够降低损耗，同时能够进一步增大衰减量。
在本实施例中，说明了并联连接两个SAW元件的情况，但是只要并联连接的SAW元件个数超过两个，几个都行。并联连接的个数越多，就越能够降低损耗。两级纵向连接能够增大衰减量。
在该构成中，连接用的焊盘为六个，与图2、图6、图7或图9所示的构成相比，仅仅增加两个，但是能够得到衰减量优越的SAW器件。
图12是本实施例的另一变形例的SAW器件160的电极构成的示意平面图。本变形例的SAW器件160使元件间连接电极137、139之间同相位，并使直接相面对的元件间连接电极138、140之间也同相位。但是，元件间连接电极137、139与元件间连接电极138、140相位相反。因此，用宽度大的连接电极162将直接相面对的元件间连接电极138、140之间连接。
因为用宽度大的连接电极162将直接相面对的元件间连接电极138、140之间连接，所以能够分别降低第一级左侧SAW元件121的IDT电极125C与第二级左侧SAW元件123的IDT电极131C之间以及第一级右侧SAW元件122的IDT电极127A与第二级右侧SAW元件124的IDT电极133A之间的阻抗，结果，能够进一步降低损耗。
在本实施例中，由于将SAW元件两个并联连接的元件两级纵向连接，所以能够抑制连接用的焊盘的增加，同时能够得到小型且损耗小而衰减量大的SAW器件。
实施例6
图13是本发明的实施例6的SAW器件170的电极构成的示意平面图。本实施例的SAW器件170是实施例5的SAW器件120的变形例。
本实施例的SAW器件170的特征在于SAW元件176、177、186、187的构成与SAW器件120略有不同。即，第一级左侧SAW元件176由三个IDT电极171A、171B、171C和配置在它们两侧的反射器电极172、173构成；第一级右侧SAW元件177由三个IDT电极174A、174B、174C和配置在它们两侧的反射器电极173、175构成。另外，第二级左侧SAW元件186由三个IDT电极181A、181B、181C和配置在它们两侧的反射器电极182、183构成；第二级右侧SAW元件187由三个IDT电极184A、184B、184C和配置在它们两侧的反射器电极183、185构成。
如上所述，配置在第一级左侧SAW元件176的右侧的反射器电极和配置在第一级右侧SAW元件177的左侧的反射器电极共用同一个反射器电极173；配置在第二级左侧SAW元件186的右侧的反射器电极和配置在第二级右侧SAW元件187的左侧的反射器电极共用同一个反射器电极183，这是本实施例的SAW器件170的特征。
由于采用这样的构成能够使并联连接的第一级SAW元件176、177和第二级SAW元件186、187的反射器电极分别减少一个，所以，能够使SAW器件170小型化。
该构成并联连接SAW元件越多，减少反射器电极个数的效果就越显著，就能使其更小型化。
在本实施例中，分别并联连接两个纵模耦合型的SAW元件176、177和186、187，而且将它们两级纵向连接，所以，能够降低损耗，并能够实现滤波特性优越的SAW器件170。
进行平衡动作就容易实现与安装IC等器件或SAW器件170的电路阻抗匹配，也能够降低损耗。
在本实施例中，即使交换输入焊盘与输出焊盘的位置关系，也能得到同样的效果。
由于用接地侧连接电极130把构成IDT电极171A、171B、171C、174A、174B、174C共同连接再连接到接地焊盘129上，另外还用接地侧连接电极136把构成IDT电极181A、181B、181C、184A、184B、184C连接再连接到接地焊盘135上，因此，GND就成为共同的，能够降低GND电平，而且能强化GND，能够增大衰减量。
通过把接地焊盘129、135设置在对称的位置上等，就能够实现平衡动作，所以容易实现与安装IC等器件或SAW器件170的电路阻抗匹配，能够降低损耗。
在本实施例中，说明了平衡型结构，但是输入焊盘和输出焊盘的至少一方也可以是非平衡型的。
在本实施例中，说明了并联连接两个SAW元件并且将它们进行两级纵向连接的情况，但是本发明并不局限于此。例如只要并联连接的SAW元件个数超过两个，几个都行。并联连接的SAW元件个数越多，就越能够降低损耗。
将输入焊盘141、143、输出焊盘142、144以及接地焊盘129、135配置在相互对称的位置上，就能够提高与外部连接零件或设备的连接互换性。
通过用多条引线或补片将接地焊盘129、135与接地端子10连接，可以把GND电平降得更低，而且稳定，所以能够降低损耗。
设计电极构成使SAW元件176、177、186、187各自的阻抗为100Ω，从输入焊盘141、143或输出焊盘142、144看的阻抗就能为50Ω。
即，在并联连接n(大于2的整数)个的SAW元件的情况下，如果设计电极构成使从这些SAW元件的输入焊盘或输出焊盘看的阻抗为(50×n)Ω，就能容易地使SAW器件的阻抗为50Ω。这样，就能够提高与外部连接零件或设备的连接互换性。
作为本实施例的变形例，也可以把元件间连接电极137、138、139、140用连接电极共同连接，并使流过它们的信号的相位成为同相位。也可以使元件间连接电极137、140之间同相位，使元件间连接电极138、139之间也同相位，而且使之与元件间连接电极137、140相位相反，使相邻接的元件间连接电极相位相反。这样就能够降低串扰，从而可以增大衰减量。
也可以分别使元件间连接电极137、139与元件间连接电极138、140之间同相位，且使元件间连接电极137、139与元件间连接电极138、140之间相位相反。
如果使元件间连接电极138与元件间连接电极140之间用宽度大的连接电极来连接，由于能够降低IDT电极171C、181C之间和IDT电极174A、184A之间的阻抗，所以能够降低损耗。

Claims (19)

1.一种弹性表面波器件，其构成如下：
并联连接至少两个以上纵模耦合型的弹性表面波元件；所述纵模耦合型的弹性表面波元件具有形成在压电性的基板上的至少三个以上梳状转换器电极和沿从所述梳状转换器电极产生的弹性表面波传输方向配置在所述梳状转换器电极两侧的反射器电极；
构成所述梳状转换器电极的各个梳状电极中的一个在同一侧全部共同连接且连接到接地焊盘上；所述梳状电极的另一个连接到在所述接地焊盘的形成区域对侧形成的输入焊盘或输出焊盘上。
2.一种弹性表面波器件，其构成如下：
具有至少两个纵模耦合型的弹性表面波元件；所述纵模耦合型的弹性表面波元件具有形成在压电性的基板上的至少三个以上梳状转换器电极和沿从所述梳状转换器电极产生的弹性表面波传输方向配置在所述梳状转换器电极两侧的反射器电极；
多个所述弹性表面波元件中的至少一个，构成所述梳状转换器电极的梳状电极中的一个全部共同连接且连接到接地焊盘上；
在多个所述弹性表面波元件，分别相对的所述梳状转换器电极中，预先设定的构成所述梳状转换器电极的梳状电极的另一个分别用元件间连接电极连接，多个所述弹性表面波元件两级纵向连接。
3.如权利要求2所述的弹性表面波器件，其特征在于，沿弹性表面波的传输方向配置两个以上的所述弹性表面波元件，同时并联连接；
被并联连接的多个所述弹性表面波元件，构成所述梳状转换器电极的梳状电极中的一个全部共同连接且连接到接地焊盘上；
在多个所述弹性表面波元件，分别相对的所述梳状转换器电极中，预先设定的构成所述梳状转换器电极的梳状电极的另一个分别用元件间连接电极连接，并联连接的多个所述弹性表面波元件再两级纵向连接。
4.如权利要求1或3所述的弹性表面波器件，其特征在于，并联连接的所述弹性表面波元件相互共用构成所述弹性表面波元件的所述反射器电极之中的一个。
5.如权利要求1至3所述的弹性表面波器件，其特征在于，所述反射器电极由条电极和汇流条电极构成，所述条电极的电极间隔不同。
6.如权利要求5所述的弹性表面波器件，其特征在于，具有所述条电极的电极间隔至少部分不同的区域。
7.如权利要求5所述的弹性表面波器件，其特征在于，所述条电极的电极间隔全部不相同。
8.如权利要求1至3所述的弹性表面波器件，其特征在于，所述反射器电极由条电极和汇流条电极构成，所述条电极的电极间隔为等间隔，且设置其电极长度有部分不同的区域。
9.如权利要求1至3所述的弹性表面波器件，其特征在于，所述输入焊盘和所述输出焊盘的至少一方进行平衡动作构成电极。
10.如权利要求1或3所述的弹性表面波器件，其特征在于，在配置n(大于2的整数)个以上所述弹性表面波元件时，构成电极使各个所述弹性表面波元件的阻抗是(50×n)Ω。
11.如权利要求1至3所述的弹性表面波器件，其特征在于，构成所述输入焊盘和所述输出焊盘的至少任意一方在具有压电性的所述基板上全部共同连接。
12.如权利要求2所述的弹性表面波器件，其特征在于，构成使流到所述元件间连接电极的信号相位相反。
13.如权利要求2所述的弹性表面波器件，其特征在于，设置有连接所述元件间各连接电极的连接电极。
14.如权利要求2所述的弹性表面波器件，其特征在于，构成电极使从所述输入焊盘或所述输出焊盘看阻抗是50Ω。
15.如权利要求2或3所述的弹性表面波器件，其特征在于，共同连接构成所述弹性表面波元件的所述梳状转换器电极的梳状电极中的一个的接地侧连接电极与所述接地焊盘对称配置。
16.如权利要求1至3所述的弹性表面波器件，其特征在于，还具有固定密封所述压电基板的封装件；构成所述接地焊盘经多条引线或补片与所述封装件上形成的接地电极端子连接。
17.如权利要求3所述的弹性表面波器件，其特征在于，多个元件间连接电极中把流过直接相面对的两条所述元件间连接电极中的信号的相位作成同相位。
18.如权利要求17所述的弹性表面波器件，其特征在于，形成连接直接相对的两条所述元件间连接电极间的连接电极。
19.如权利要求3所述的弹性表面波器件，其特征在于，形成共同连接多个元件间连接电极的连接电极。
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