JP5672420B1 - 弾性表面波フィルタ、弾性表面波フィルタ装置およびデュプレクサ - Google Patents

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Abstract

反射器を共通化した弾性表面波フィルタにおいて、リップルの発生を抑制できる技術を提供する。弾性表面波フィルタ(1)は、縦結合共振子型の第1のフィルタ部(4)と、第1のフィルタ部(4)に対して電気的に並列または直列に接続され、弾性表面波の伝播方向に第1のフィルタ部(4)に並んで設けられた縦結合共振子型の第2のフィルタ部(5)とを備えている。第1のフィルタ部(4)は、弾性表面波の伝播方向に並べられた第1のIDT群(40)を含んでいる。第2のフィルタ部(5)は、弾性表面波の伝播方向に並べられた第2のIDT群(50)を含んでいる。第1のIDT群(40)と第2のIDT群(50)との間に配置された反射器(61)は、一体化された共通反射器として構成されている。反射器(61)の本数は、9以上の奇数である。

Description

本発明は、弾性表面波フィルタ、弾性表面波フィルタ装置およびデュプレクサに関する。特に、縦結合共振型のフィルタを複数備える弾性表面波フィルタ、ならびに、その弾性表面波フィルタを備える弾性表面波フィルタ装置およびデュプレクサに関する。
従来、弾性表面波フィルタは、たとえば特開2006−186433号公報(特許文献1)に開示されている。上記文献には、複数の縦結合型弾性表面波フィルタを弾性表面波の伝播方向に配置して電気的に並列に接続し、互いに隣り合う縦結合型弾性表面波フィルタの反射器を共用化する構成が開示されている。共用化された反射器の本数に関しては、共用化されていない反射器の本数をNとしたとき、2以上2N未満が望ましいとされている。
特開2006−186433号公報
本発明者は、互いに隣り合う縦結合型弾性表面波フィルタの反射器を共通にした場合に、各々の縦結合型弾性表面波フィルタから共通反射器に伝播する弾性表面波の特性が異なると、通過帯域内にリップルが発生する課題を見出した。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、反射器を共通化した弾性表面波フィルタにおいて、リップルの発生を抑制できる技術を提供することである。
本発明者は、共通反射器を適用した場合に通過帯域内にリップルが発生する理由について鋭意検討した。その結果、各々の縦結合型弾性表面波フィルタから共通反射器に伝播する弾性表面波の特性が異なる場合に、共通反射器へ向かって伝送される弾性表面波の位相と共通反射器から漏れてくる弾性表面波の位相とが異なることになり、その結果、共通反射器から漏れる弾性表面波が不要波となることを見出した。これを踏まえて本発明者は、共通反射器から漏れてくる弾性表面波の位相が共通反射器へ向かって伝送される弾性表面波の位相に対し逆相にならないように調整できれば、反射器を共通化した場合にも通過帯域内のリップルの発生を抑制することが可能であるとの知見を得て、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明に係る弾性表面波フィルタは、圧電基板と、縦結合共振子型の第1のフィルタ部と、縦結合共振子型の第2のフィルタ部とを備えている。第1のフィルタ部は、圧電基板上に設けられている。第2のフィルタ部は、第1のフィルタ部に対して、入力信号および出力信号の少なくとも一方の信号側で電気的に並列または直列に接続されている。第2のフィルタ部は、弾性表面波の伝播方向に第1のフィルタ部に並んで、圧電基板上に設けられている。第1のフィルタ部は、弾性表面波の伝播方向に並べられた複数のIDTを含む第1のIDT群と、第1のIDT群の弾性表面波の伝播方向の両側に配置された一対の第1の反射器とを含んでいる。第2のフィルタ部は、弾性表面波の伝播方向に並べられた複数のIDTを含む第2のIDT群と、第2のIDT群の弾性表面波の伝播方向の両側に配置された一対の第2の反射器とを含んでいる。第1のIDT群と第2のIDT群との間に配置された第1の反射器および第2の反射器は、一体化された共通反射器として構成されている。共通反射器の本数は、9以上の奇数である。
上記弾性表面波フィルタにおいて好ましくは、一対の第1の反射器は、共通反射器と、第2の反射器と一体化されていない非共通反射器とを含んでおり、第1のIDT群に含まれる複数のIDTのうち共通反射器に隣り合うIDTと共通反射器との間隔は、第1のIDT群に含まれる複数のIDTのうち非共通反射器に隣り合うIDTと非共通反射器との間隔と異なっている。
本発明に係る弾性表面波フィルタ装置は、上記のいずれかの局面の弾性表面波フィルタと、当該弾性表面波フィルタに縦続接続された第2の弾性表面波フィルタとを備えている。
上記弾性表面波フィルタ装置において好ましくは、弾性表面波フィルタと第2の弾性表面波フィルタとを縦続接続する一対の配線を備えており、一対の配線の一方を伝送する一の信号の位相と、一対の配線の他方を伝送する他の信号の位相とが、互いに逆相になっている。
上記弾性表面波フィルタ装置において好ましくは、第2の弾性表面波フィルタは、弾性表面波の伝播方向に順に並べられた第1のIDT、第2のIDT、第3のIDT、第4のIDTおよび第5のIDTを含んでいる。好ましくは、第3のIDTは、弾性表面波の伝播方向の両側に分割された第1の分割IDT部と第2の分割IDT部とを有しており、第1の分割IDT部が第1のフィルタ部に縦続接続されており、第2の分割IDT部が第2のフィルタ部に縦続接続されている。
本発明に係るデュプレクサは、上記のいずれかの局面の弾性表面波フィルタ、または、上記のいずれかの局面の弾性表面波フィルタ装置を備えている。
本発明によると、反射器を共通化した弾性表面波フィルタにおいて、リップルの発生を抑制することができる。
実施の形態1の弾性表面波フィルタ装置の概略構成を示す模式的平面図である。 実施の形態1の弾性表面波フィルタの伝送特性を示す第1の図である。 実施の形態1の弾性表面波フィルタの伝送特性を示す第2の図である。 第1の比較例の弾性表面波フィルタの共通反射器周辺における弾性表面波の伝播の例を示す説明図である。 実施の形態1の弾性表面波フィルタの共通反射器周辺における弾性表面波の伝播の例を示す説明図である。 共通反射器の本数を3本にした場合の弾性表面波フィルタの伝送特性を示す図である。 共通反射器の本数を5本にした場合の弾性表面波フィルタの伝送特性を示す図である。 共通反射器の本数を7本にした場合の弾性表面波フィルタの伝送特性を示す図である。 共通反射器の本数を9本にした場合の弾性表面波フィルタの伝送特性を示す図である。 共通反射器とIDTとの間隔を示す模式的平面図である。 非共通反射器とIDTとの間隔を示す模式的平面図である。 実施の形態1の弾性表面波フィルタの伝送特性を示す第3の図である。 実施の形態2の弾性表面波フィルタの概略構成を示す模式的平面図である。 実施の形態3の弾性表面波フィルタ装置の概略構成を示す模式的平面図である。 実施の形態4の弾性表面波フィルタ装置の概略構成を示す模式的平面図である。 実施の形態4の弾性表面波フィルタ装置を備えるデュプレクサを示す模式的平面図である。
以下、図面に基づいてこの発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。
(実施の形態1)
図1は、実施の形態1の弾性表面波フィルタ装置100の概略構成を示す模式的平面図である。図1を参照して、実施の形態1に係る弾性表面波フィルタ装置100は、第1の弾性表面波フィルタ1(以下、SAW(Surface Acoustic Wave)フィルタ1ともいう。)と、弾性表面波フィルタ1とは異なる第2の弾性表面波フィルタとしての弾性表面波フィルタ101(以下、SAWフィルタ101ともいう。)とを備えている。弾性表面波フィルタ1,101は、圧電基板6の主表面上に図示の電極構造を形成することにより、構成されている。弾性表面波フィルタ1,101は、2段縦続接続されている。
なお、本実施の形態では、弾性表面波フィルタ1における弾性表面波の伝播方向と、弾性表面波フィルタ101における弾性表面波の伝播方向とは、互いに平行な方向(図1中の左右方向)とされている。
SAWフィルタ1は、縦結合共振子型の第1のフィルタ部4と、縦結合共振子型の第2のフィルタ部5とを備えている。第1のフィルタ部4と第2のフィルタ部5とは、圧電基板6上に設けられており、弾性表面波の伝播方向に互いに隣接して配置されている。第2のフィルタ部5は、弾性表面波の伝播方向に、第1のフィルタ部4に並んで設けられている。
第1のフィルタ部4は、第1のIDT(InterDigital Transducer)群40を含んでいる。第1のIDT群40は、複数のIDT、すなわち、第1のIDTとしてのIDT41、第2のIDTとしてのIDT42、および第3のIDTとしてのIDT43の、3つのIDTを含んでいる。IDT41、IDT42およびIDT43は、弾性表面波の伝播方向に順に並べられている。第1のIDT群40の弾性表面波の伝播方向の一方に、反射器61が配置されている。第1のIDT群40の弾性表面波の伝播方向の他方に、反射器62が配置されている。反射器61,62は、第1のIDT群40に対して弾性表面波の伝播方向の両側に配置された、一対の第1の反射器を構成している。第1のフィルタ部4は、3IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
第2のフィルタ部5は、第2のIDT群50を含んでいる。第2のIDT群50は、複数のIDT、すなわち、第1のIDTとしてのIDT54、第2のIDTとしてのIDT55、および第3のIDTとしてのIDT56の、3つのIDTを含んでいる。IDT54、IDT55およびIDT56は、弾性表面波の伝播方向に順に並べられている。第2のIDT群50の弾性表面波の伝播方向の一方に、反射器61が配置されている。第2のIDT群50の弾性表面波の伝播方向の他方に、反射器63が配置されている。反射器61,63は、第2のIDT群50に対して弾性表面波の伝播方向の両側に配置された、一対の第2の反射器を構成している。第2のフィルタ部5は、3IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
SAWフィルタ101は、第3のIDT群140を含んでいる。第3のIDT群140は、複数のIDT、すなわち、第1のIDTとしてのIDT141、第2のIDTとしてのIDT142、第3のIDTとしてのIDT143、第4のIDTとしてのIDT144、および第5のIDTとしてのIDT145の、5つのIDTを含んでいる。IDT141、IDT142、IDT143、IDT144およびIDT145は、弾性表面波の伝播方向に順に並べられている。第3のIDT群140の弾性表面波の伝播方向の一方に、反射器162が配置されている。第3のIDT群140の弾性表面波の伝播方向の他方に、反射器163が配置されている。反射器162,163は、第3のIDT群140に対して弾性表面波の伝播方向の両側に配置された、一対の第3の反射器を構成している。SAWフィルタ101は、5IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
第3のIDT群140のうち、中央のIDT143は、弾性表面波の伝播方向に沿って中央部で2分割されている。すなわち、IDT143は、弾性表面波の伝播方向の両側に分割された第1の分割IDT部143aと第2の分割IDT部143bとを有している。第1の分割IDT部143aと第2の分割IDT部143bとは、弾性表面波の伝播方向に順に並べられている。
弾性表面波フィルタ装置100はまた、入力端子10と、一対の出力端子20,30とを備えている。IDT141,142,143,144,145は、互いの電極指がそれぞれ隣り合うように対向配置された一対の櫛歯電極を有している。IDT41,42,43は、互いの電極指がそれぞれ隣り合うように対向配置された一対の櫛歯電極を有している。IDT54,55,56は、互いの電極指がそれぞれ隣り合うように対向配置された一対の櫛歯電極を有している。
圧電基板6上の入力端子10側を第1側、入力端子10が近傍に配置された圧電基板6の一方の辺に対向する圧電基板6の他方の辺の近傍に配置された出力端子20,30側を第2側とすると、IDT141の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT141の第2側の他方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線191を介してIDT41の第1側の一方の櫛歯電極に接続されている。IDT142の第1側の一方の櫛歯電極は、信号線12を介して入力端子10に接続されている。IDT142の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。
IDT143の第1側の一方の櫛歯電極は、弾性表面波の伝播方向に分割されず共通されており、アース電位に接続されている。IDT143の第2側の他方の櫛歯電極が分割されて、第1の分割IDT部143aと第2の分割IDT部143bとが形成されている。弾性表面波の伝播方向に分割された櫛歯電極のうち、IDT142に近接する側が第1の分割IDT部143aを構成しており、IDT144に近接する側が第2の分割IDT部143bを構成している。第1の分割IDT部143aは、段間接続配線である信号線193を介して、第1のフィルタ部4に含まれるIDT43の第1側の一方の櫛歯電極に接続されている。第2の分割IDT部143bは、段間接続配線である信号線194を介して、第2のフィルタ部5に含まれるIDT54の第1側の一方の櫛歯電極に接続されている。IDT143の第1側の一方の櫛歯電極の電極指のうち、第1の分割IDT部143aと第2の分割IDT部143bとの間にある電極指の本数は、偶数本とされている。詳細には、第1の分割IDT部143aの第2側の他方の櫛歯電極と、第2の分割IDT部143bの第2側の他方の櫛歯電極とに挟まれた、IDT143の第1側の一方の櫛歯電極の本数が、偶数本である。
IDT144の第1側の一方の櫛歯電極は、信号線14を介して入力端子10に接続されている。IDT144の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT145の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT145の第2側の他方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線196を介してIDT56の第1側の一方の櫛歯電極に接続されている。
IDT41の第1側の一方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線191を介してIDT141の第2側の他方の櫛歯電極に接続されている。IDT41の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT42の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT42の第2側の他方の櫛歯電極は、信号線22を介して出力端子20に接続されている。IDT43の第1側の一方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線193を介して第1の分割IDT部143aに接続されている。IDT43の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。
IDT54の第1側の一方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線194を介して第2の分割IDT部143bに接続されている。IDT54の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT55の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT55の第2側の他方の櫛歯電極は、信号線35を介して出力端子30に接続されている。IDT56の第1側の一方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線196を介してIDT145の第2側の他方の櫛歯電極に接続されている。IDT56の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。
IDT141とIDT41とは、段間接続配線である信号線191を用いて縦続接続されている。第1の分割IDT部143aとIDT43とは、段間接続配線である信号線193を用いて縦続接続されている。第2の分割IDT部143bとIDT54とは、段間接続配線である信号線194を用いて縦続接続されている。IDT145とIDT56とは、段間接続配線である信号線196を用いて縦続接続されている。共通化されている各IDTでは、電極指の本数が同数とされており、これにより、インピーダンスのマッチングが取りやすくなるので良好なフィルタ特性が得られる。
IDT142,144の各一端は、信号線12,14により共通接続され、入力端子10に接続されている。入力端子10からIDT142,144の各々に伝送される信号の位相は、同相とされている。入力端子10は、不平衡信号を入力する不平衡信号入力端子である。
IDT141,145は、弾性表面波の伝播方向に直交してSAWフィルタ101の中心を通る線(すなわち、図1中の上下方向に沿って延び、第1の分割IDT部143aと第2の分割IDT部143bとの間を通る線)を対称軸として、対称に設けられている。第1の分割IDT部143aおよび第2の分割IDT部143bもまた、上記対称軸に対して対称に設けられている。一方、IDT142,144は、上記対称軸に対して非対称に設けられている。具体的には、IDT142を上記対称軸に対して対称移動した後、該対称軸が伸びる方向で上下を逆さにすればIDT144と一致する。
第1のフィルタ部4と第2のフィルタ部5とは、弾性表面波の伝播方向に直交してSAWフィルタ1の中心を通る線(すなわち、図1中の上下方向に沿って延び、弾性表面波の伝播方向における反射器61の中心を通る線)を対称軸として、対称に設けられている。弾性表面波フィルタ1に含まれている第1のフィルタ部4と、弾性表面波フィルタ101とは、一対の配線としての信号線191,193によって接続されている。信号線191を伝送する信号の位相と、信号線193を伝送する信号の位相とは、互いに逆相になっている。弾性表面波フィルタ1に含まれている第2のフィルタ部5と、弾性表面波フィルタ101とは、一対の配線としての信号線194,196によって接続されている。信号線194を伝送する信号の位相と、信号線196を伝送する信号の位相とは、互いに逆相になっている。信号線191,194を伝送する信号に対して、信号線193,196には逆位相の信号が伝送するように、IDTの向きが調整されている。
そのため、信号線191,194を経由してSAWフィルタ1に伝送される信号の位相と、信号線193,196を経由してSAWフィルタ1に伝送される信号の位相とが、弾性表面波フィルタ装置100の通過帯域周波数において略180°異なっている。信号線191,194と信号線193,196とは、SAWフィルタ1へ平衡信号を入力する平衡信号入力端子としての機能を有している。さらに、IDT42から出力端子20へ伝送される信号の位相と、IDT55から出力端子30へ伝送される信号の位相とが、180°異なっている。一対の出力端子20,30は、SAWフィルタ1から平衡信号を出力する平衡信号出力端子である。よって、弾性表面波フィルタ装置100では、出力端子20,30から平衡出力を取り出すことが可能とされている。弾性表面波フィルタ1は、平衡信号入力−平衡信号出力フィルタとして構成されている。
第1のフィルタ部4に含まれている第1のIDT群40と、第2のフィルタ部5に含まれている第2のIDT群50とは、入力信号側の一対の平衡信号を有する信号線間で、接地電位を介して電気的に直列に接続されている。SAWフィルタ1は、2個のフィルタ部、すなわち第1のフィルタ部4と第2のフィルタ部5とを直列に接続した構成を有している。第1のIDT群40は、一対の平衡信号端子の一方、すなわち出力端子20に接続されている。第2のIDT群50は、一対の平衡信号端子の他方、すなわち出力端子30に接続されている。第1のIDT群40と第2のIDT群50とは、出力信号側の一対の平衡信号を有する出力端子20,30間で、接地電位を介して電気的に直列に接続されている。
第1のIDT群40と第2のIDT群50との間に配置された反射器61は、一体化された共通反射器として構成されている。SAWフィルタ1は、第1のフィルタ部4に含まれている一対の反射器のうち第2のフィルタ部5に近接する側に配置された反射器と、第2のフィルタ部5に含まれている一対の反射器のうち第1のフィルタ部4に近接する側に配置された反射器とを共用する(共通する)構成とし、1個の反射器61により置き換えて構成されている。共通反射器としての反射器61の本数は、9以上の奇数とされている。本実施の形態では、反射器61の本数は、25本とされている。
第1のフィルタ部4に含まれる一対の第1の反射器は、共通反射器である反射器61と、反射器62とを有している。第2のフィルタ部5に含まれる一対の第2の反射器は、共通反射器である反射器61と、反射器63とを有している。反射器62は、第1のIDT群40に対して第2のフィルタ部5から離れる側に配置されており、第2の反射器と一体化されていない非共通反射器として設けられている。反射器63は、第2のIDT群50に対して第1のフィルタ部4から離れる側に配置されており、第1の反射器と一体化されていない非共通反射器として設けられている。
実施の形態1の弾性表面波フィルタ装置100では、5IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタであるSAWフィルタ101と、3IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタである第1のフィルタ部4および第2のフィルタ部5とが並列接続されたSAWフィルタ1とが、2段縦続接続されている。この構成により、5IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタを2段縦続接続した構成と比較して、共振モードのずれによるリップルおよびスプリアスはSAWフィルタ101でしか発生しないため、リップルおよびスプリアスを低減することができる。さらに、3IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタを2素子並列接続していることにより、交叉幅は5IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタとほぼ同等となり、大きな挿入損失の劣化も発生しない。
図2は、実施の形態1の弾性表面波フィルタ1の伝送特性を示す第1の図である。図2に示す横軸は周波数、縦軸は挿入損失を示している。図2中には、本実施の形態の弾性表面波フィルタ1の周波数に対する伝送特性を実線で図示している。図2中にはまた、比較例として、実施の形態1の弾性表面波フィルタ1とほぼ同一の構成を備えており、共通反射器の本数を偶数、具体的には24本とした点のみを異ならせた弾性表面波フィルタの周波数に対する伝送特性を破線で図示している。
図2中の二点鎖線で囲われた領域に特に注目すると、共通反射器の本数を偶数とした比較例では、通過帯域内にリップルが発生している。一方、共通反射器の本数を奇数とした実施の形態1の弾性表面波フィルタ1では、通過帯域内におけるリップルをほとんど生じさせることがない。したがって、弾性表面波フィルタ1において共通反射器の本数を奇数にすることで、通過帯域内におけるリップルを効果的に低減できることがわかる。
図3は、実施の形態1の弾性表面波フィルタ1の伝送特性を示す第2の図である。図3に示す横軸は周波数、縦軸は挿入損失を示している。図3中には、図2と同様に、本実施の形態の弾性表面波フィルタ1の周波数に対する伝送特性を実線で図示しており、共通反射器の本数を24本とした比較例の弾性表面波フィルタの周波数に対する伝送特性を破線で図示している。
図3中の二点鎖線で囲われた領域に特に注目すると、共通反射器の本数を偶数とした比較例では、通過帯域近傍におけるスプリアスが発生している。一方、共通反射器の本数を奇数とした実施の形態1の弾性表面波フィルタ1では、スプリアスが小さくなっている。したがって、弾性表面波フィルタ1において共通反射器の本数を奇数にすることで、通過帯域近傍におけるスプリアス低減効果を得られることがわかる。
図4は、第1の比較例の弾性表面波フィルタの共通反射器周辺における弾性表面波の伝播の例を示す説明図である。図5は、実施の形態1の弾性表面波フィルタ1の共通反射器周辺における弾性表面波の伝播の例を示す説明図である。図4および図5を比較して、共通反射器の本数を偶数または奇数にすることでリップルおよびスプリアスが増減する原理について説明する。
図4には、共通反射器の本数が偶数本である第1の比較例の弾性表面波フィルタの場合を示している。上述した通り出力端子20,30が平衡信号端子の場合、出力端子20に接続された第1のIDT群40を伝播する弾性表面波SAW1の位相と、出力端子30に接続された第2のIDT群50を伝播する弾性表面波SAW2の位相とが逆になる。つまり、第1のIDT群40と第2のIDT群50との間に配置された共通反射器には、位相が180°ずれた弾性表面波SAW1,SAW2が両側から伝播してくることになる。
理想的には、第1のIDT群40から伝播してきた弾性表面波SAW1は共通反射器においてその全てが第1のIDT群40へ向けて反射され、第2のIDT群50から伝播してきた弾性表面波SAW2は共通反射器においてその全てが第2のIDT群50へ向けて反射される。しかしながら実際には、共通反射器を通過して漏れる弾性表面波が存在する。つまり、第1のIDT群40から伝播してきた弾性表面波SAW1は、その一部が共通反射器を通過して第2のIDT群50側へ漏れ出す。同様に、第2のIDT群50から伝播してきた弾性表面波SAW2は、その一部が共通反射器を通過して第1のIDT群50側へ漏れ出す。
反射器61は、弾性表面波の伝播方向において隣接する2本の電極指の中心間距離が、IDTの電極指のピッチで定まる弾性表面波の波長λの半分になるように、設けられている。そのため、図4に示すように、弾性表面波の伝播方向において電極指2本分の距離が、弾性表面波SAW1,SAW2の一波長分になる。共通反射器の本数を偶数本にした場合、共通反射器で反射されずに反対側の素子に漏れる弾性表面波の位相が、当該反対側の素子を伝送される弾性表面波の位相と逆になる。つまり、図4に示すように、反射器61を通過してIDT54側へ漏れる弾性表面波SAW1と、反射器61へ向かう弾性表面波SAW2との位相が逆になる。また、反射器61を通過してIDT43側へ漏れる弾性表面波SAW2と、反射器61へ向かう弾性表面波SAW1との位相が逆になる。その結果、反射器61を通過して漏れる弾性表面波が不要波となり、これがリップルおよびスプリアスの発生の原因となる。
そこで、図5に示すように共通反射器の本数を奇数本にすれば、反射器61を通過する弾性表面波の位相が、図4と比較して180°ずれることになる。そのため、反射器61で反射されずに反対側の素子に漏れる弾性表面波の位相が、当該反対側の素子を伝送される弾性表面波の位相と同じになる。つまり、図5に示すように、反射器61を通過してIDT54側へ漏れる弾性表面波SAW1と、反射器61へ向かう弾性表面波SAW2とが同位相になる。また、反射器61を通過してIDT43側へ漏れる弾性表面波SAW2と、反射器61へ向かう弾性表面波SAW1とが同位相になる。弾性表面波SAW1,SAW2の位相を揃える結果、リップルおよびスプリアスの発生を抑制することができる。
図6〜9は、共通反射器の本数をそれぞれ3本、5本、7本または9本にした場合の、弾性表面波フィルタ1の伝送特性を示す図である。共通反射器の本数を奇数にした場合に、反射器の本数が少ないと、反射器によって反射される弾性表面波が相対的に小さくなり、反対側の素子に漏れる弾性表面波が相対的に大きくなり、その結果通過帯域内に僅かにリップルが発生することになる。
共通反射器の本数を3本とした場合、図6に示すように、通過帯域内にリップルが発生している。同様に、共通反射器の本数を5本または7本とした場合、それぞれ図7,8に示すように、通過帯域内にリップルが発生している。共通反射器の本数を9本まで増やすことにより、図9に示すように、リップルの発生をほぼ抑制できることがわかる。つまり、本実施の形態の効果を得るために必要な共通反射器の本数は、9以上の奇数として表すことができる。
一方、弾性表面波フィルタを小型化する観点からは、共通反射器の本数は少ない方が好ましい。そのため、共通反射器の本数の上限値は、たとえば非共通反射器である反射器62,63の本数の2倍未満であることが好ましい。
次に、反射器とIDTとの間隔について説明する。SAWフィルタ1において、第1のフィルタ部4と第2のフィルタ部5とをそれぞれ1つの素子として考えると、共通反射器である反射器61の本数を奇数本にしても、左右非対称の構成となる。そのため、リップルが発生する。このリップルを低減するためには、共通反射器である反射器61に隣り合うIDT43,54と反射器61との間隔(図1に示すY)と、非共通反射器である反射器62,63に隣り合うIDT41,56と反射器62,63との間隔(図1に示すX)とを、異ならせればよい。
図10は、共通反射器とIDTとの間隔を示す模式的平面図である。図10には、第1のIDT群40に含まれる複数のIDT41,42,43のうち反射器61に隣り合うIDT43と、共通反射器である反射器61とが図示されている。
IDT43は、弾性表面波の伝播方向における各電極指の寸法と弾性表面波の伝播方向において隣接する各電極指同士の間隔とを全て等しくするように形成されている。弾性表面波の伝播方向における各電極指の寸法、および、弾性表面波の伝播方向における各電極指同士の間隔をλ/4とするように、IDT43を伝播する弾性表面波の波長λが定まる。反射器61は、弾性表面波の伝播方向に並べられた帯状の反射器用の電極指の弾性表面波の伝播方向における寸法、および、弾性表面波の伝播方向における反射器用の電極指同士の間隔を、それぞれλ/4とするように設けられている。
IDT43と反射器61との間隔Yは、図10に示すように、IDT43を構成する電極指のうち最も反射器61に近い電極指の弾性表面波の伝播方向における中心線から、弾性表面波の伝播方向における反射器61の端部の電極指の中心線までの距離として、規定される。
図11は、非共通反射器とIDTとの間隔を示す模式的平面図である。図11には、第1のIDT群40に含まれる複数のIDT41,42,43のうち反射器62に隣り合うIDT41と、非共通反射器である反射器62とが図示されている。
IDT41は、弾性表面波の伝播方向における各電極指の寸法と弾性表面波の伝播方向において隣接する各電極指同士の間隔とを全て等しくするように形成されている。弾性表面波の伝播方向における各電極指の寸法、および、弾性表面波の伝播方向における各電極指同士の間隔をλ/4とするように、IDT41を伝播する弾性表面波の波長λが定まる。反射器62は、弾性表面波の伝播方向に並べられた帯状の反射器用の電極指の弾性表面波の伝播方向における寸法、および、弾性表面波の伝播方向における反射器用の電極指同士の間隔を、それぞれλ/4とするように設けられている。
IDT41と反射器62との間隔Xは、図11に示すように、IDT41を構成する電極指のうち最も反射器62に近い電極指の弾性表面波の伝播方向における中心線から、弾性表面波の伝播方向における反射器62の端部の電極指の中心線までの距離として、規定される。
弾性表面波フィルタ装置100の特性として、わずかなリップルでも問題となる場合には、間隔Xと間隔Yとを異ならせることにより、リップルを低減することができる。本実施の形態では、間隔Xを間隔Yよりも大きくしており、具体的には、弾性表面波の波長λに対して、X=0.43λ、Y=0.42λとしている。
図12は、実施の形態1の弾性表面波フィルタ1の伝送特性を示す第3の図である。図12に示す横軸は周波数、縦軸は挿入損失を示している。図12中には、間隔X,Yを異ならせX=0.43λ、Y=0.42λとした本実施の形態の弾性表面波フィルタ1の周波数に対する伝送特性を実線で図示している。図12中にはまた、比較例として、実施の形態1の弾性表面波フィルタ1とほぼ同一の構成を備えており、間隔X,Yをいずれも0.43λとした点のみを異ならせた弾性表面波フィルタの周波数に対する伝送特性を破線で図示している。
図12中の二点鎖線で囲われた領域に特に注目すると、間隔X,Yを等しくした比較例では、図2に示す比較例ほどではないものの、通過帯域内にリップルが発生している。一方、間隔X,Yを異ならせた実施の形態1の弾性表面波フィルタ1では、通過帯域内におけるリップルが低減されている。したがって、反射器とIDTとの間隔を異ならせることで、通過帯域内におけるリップルを一層低減できることがわかる。
(実施の形態2)
図13は、実施の形態2の弾性表面波フィルタ1の概略構成を示す模式的平面図である。実施の形態2のSAWフィルタ1は、実施の形態1と同様に、縦結合共振子型の第1のフィルタ部4と、縦結合共振子型の第2のフィルタ部5とを備えている。第1のフィルタ部4および第2のフィルタ部5は、3IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。SAWフィルタ1はまた、入力端子10と、一対の出力端子20,30とを備えている。
IDT41の第1側の一方の櫛歯電極は、信号線11を介して入力端子10に接続されている。IDT41の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT42の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT42の第2側の他方の櫛歯電極は、信号線22を介して出力端子20に接続されている。IDT43の第1側の一方の櫛歯電極は、信号線13を介して入力端子10に接続されている。IDT43の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。
IDT54の第1側の一方の櫛歯電極は、信号線14を介して入力端子10に接続されている。IDT54の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT55の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT55の第2側の他方の櫛歯電極は、信号線35を介して出力端子30に接続されている。IDT56の第1側の一方の櫛歯電極は、信号線16を介して入力端子10に接続されている。IDT56の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。
IDT41,43,54,56の各一端は、信号線11,13,14,16により共通接続され、入力端子10に接続されている。
IDT41,43,54,56の各々を構成している各一対の櫛歯電極のうち、入力端子10に接続されている櫛歯電極の電極指の本数は、すべて等しくされている。また、IDT41,43,54,56の各々を構成している各一対の櫛歯電極のうち、アース電位に接続されている櫛歯電極の電極指の本数は、すべて等しくされている。
IDT42を構成している一対の櫛歯電極のうち出力端子20に接続されている櫛歯電極の電極指の本数と、IDT55を構成している一対の櫛歯電極のうちアース電位に接続されている櫛歯電極の電極指の本数とが、等しくされている。IDT42を構成している一対の櫛歯電極のうちアース電位に接続されている櫛歯電極の電極指の本数と、IDT55を構成している一対の櫛歯電極のうち出力端子30に接続されている櫛歯電極の電極指の本数とが、等しくされている。
そのため、入力端子10から信号線11,13,14および16を経由してIDT41,43,54,56の各々に伝送される信号の位相は、同相とされている。入力端子10は、SAWフィルタ1へ不平衡信号を入力する不平衡信号入力端子である。一方、IDT42から出力端子20へ伝送される信号の位相と、IDT55から出力端子30へ伝送される信号の位相とが、弾性表面波フィルタ装置100の通過帯域周波数において略180°異なっている。一対の出力端子20,30は、SAWフィルタ1から平衡信号を出力する平衡信号出力端子である。よってSAWフィルタ1では、出力端子20,30から平衡出力を取り出すことが可能とされている。SAWフィルタ1は、不平衡信号入力−平衡信号出力フィルタとして構成されている。
第1のフィルタ部4に含まれている第1のIDT群40と、第2のフィルタ部5に含まれている第2のIDT群50とは、入力信号側で電気的に並列に接続され、出力信号側で接地電位を介して電気的に直列に接続されている。SAWフィルタ1は、2個のフィルタ部、すなわち第1のフィルタ部4と第2のフィルタ部5とを電気的に並列または直列に接続した構成を有している。第1のIDT群40は、一対の平衡信号端子の一方、すなわち出力端子20に接続されている。第2のIDT群50は、一対の平衡信号端子の他方、すなわち出力端子30に接続されている。
このような構成を備えている実施の形態2の弾性表面波フィルタ1においても、第1のIDT群40と第2のIDT群50との間に配置された反射器61は一体化された共通反射器として構成されており、反射器61の本数は9以上の奇数、たとえば25本とされている。これにより、通過帯域内のリップルを低減できるとともに、通過帯域近傍におけるスプリアスを低減することができる。さらに、IDT43,54および反射器61の間隔YとIDT41,56および反射器62,63の間隔Xとを異ならせることにより、通過帯域内におけるリップルを一層低減することができる。
(実施の形態3)
図14は、実施の形態3の弾性表面波フィルタ装置100の概略構成を示す模式的平面図である。実施の形態3の弾性表面波フィルタ装置100は、実施の形態1と同様のSAWフィルタ1と、弾性表面波フィルタ1とは異なる第2の弾性表面波フィルタとしての弾性表面波フィルタ2(以下、SAWフィルタ2ともいう。)とを備えている。弾性表面波フィルタ1,2は、2段縦続接続されている。
SAWフィルタ2は、縦結合共振子型のフィルタ部7と、縦結合共振子型のフィルタ部8とを備えている。フィルタ部7とフィルタ部8とは、弾性表面波の伝播方向に互いに隣接して配置されている。フィルタ部8は、フィルタ部7に対して、弾性表面波の伝播方向に並べられている。
フィルタ部7は、IDT群70を含んでいる。IDT群70は、複数のIDT、すなわち、第1のIDTとしてのIDT71、第2のIDTとしてのIDT72、および第3のIDTとしてのIDT73の、3つのIDTを含んでいる。IDT71、IDT72およびIDT73は、弾性表面波の伝播方向に順に並べられている。IDT群70の弾性表面波の伝播方向の一方に、反射器64が配置されている。IDT群70の弾性表面波の伝播方向の他方に、反射器65が配置されている。反射器64,65は、IDT群70の弾性表面波の伝播方向の両側に配置された、一対の反射器を構成している。フィルタ部7は、3IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
フィルタ部8は、IDT群80を含んでいる。IDT群80は、複数のIDT、すなわち、第1のIDTとしてのIDT84、第2のIDTとしてのIDT85、および第3のIDTとしてのIDT86の、3つのIDTを含んでいる。IDT84、IDT85およびIDT86は、弾性表面波の伝播方向に順に並べられている。IDT群80の弾性表面波の伝播方向の一方に、反射器64が配置されている。IDT群80の弾性表面波の伝播方向の他方に、反射器66が配置されている。反射器64,66は、IDT群80の弾性表面波の伝播方向の両側に配置された、一対の反射器を構成している。フィルタ部8は、3IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
IDT71,72,73は、互いの電極指がそれぞれ隣り合うように対向配置された一対の櫛歯電極を有している。IDT84,85,86は、互いの電極指がそれぞれ隣り合うように対向配置された一対の櫛歯電極を有している。
IDT71の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT71の第2側の他方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線91を介してIDT41の一方の櫛歯電極に接続されている。IDT72の第1側の一方の櫛歯電極は、信号線12を介して入力端子10に接続されている。IDT72の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT73の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT73の第2側の他方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線93を介してIDT43の一方の櫛歯電極に接続されている。
IDT84の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT84の第2側の他方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線94を介してIDT54の一方の櫛歯電極に接続されている。IDT85の第1側の一方の櫛歯電極は、信号線15を介して入力端子10に接続されている。IDT85の第2側の他方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT86の第1側の一方の櫛歯電極は、アース電位に接続されている。IDT86の第2側の他方の櫛歯電極は、段間接続配線である信号線96を介してIDT56の一方の櫛歯電極に接続されている。
IDT71とIDT41とは、段間接続配線である信号線91を用いて縦続接続されている。IDT73とIDT43とは、段間接続配線である信号線93を用いて縦続接続されている。IDT84とIDT54とは、段間接続配線である信号線94を用いて縦続接続されている。IDT86とIDT56とは、段間接続配線である信号線96を用いて縦続接続されている。縦続接続されている各IDTでは、電極指の本数が同数とされており、これにより、インピーダンスのマッチングが取りやすくなるので良好なフィルタ特性が得られる。
IDT72,85の各一端は、信号線12,15により共通接続され、入力端子10に接続されている。入力端子10からIDT72,85の各々に伝送される信号の位相は、同相とされている。入力端子10は、不平衡信号を入力する不平衡信号入力端子である。
IDT71,86は、弾性表面波の伝播方向に直交してSAWフィルタ2の中心を通る線(すなわち、図14中の上下方向に沿って延び、弾性表面波の伝播方向における反射器64の中心を通る線)を対称軸として、対称に設けられている。IDT73,84もまた、上記対称軸に対して対称に設けられている。一方、IDT72,85は、上記対称軸に対して非対称に設けられている。
第1のフィルタ部4と第2のフィルタ部5とは、弾性表面波の伝播方向に直交してSAWフィルタ1の中心を通る線(すなわち、図14中の上下方向に沿って延び、弾性表面波の伝播方向における反射器61の中心を通る線)を対称軸として、対称に設けられている。弾性表面波フィルタ1に含まれている第1のフィルタ部4と、弾性表面波フィルタ2に含まれているフィルタ部7とは、一対の配線としての信号線91,93によって接続されている。信号線91を伝送する信号の位相と、信号線93を伝送する信号の位相とは、互いに逆相になっている。弾性表面波フィルタ1に含まれている第2のフィルタ部5と、弾性表面波フィルタ2に含まれているフィルタ部8とは、一対の配線としての信号線94,96によって接続されている。信号線94を伝送する信号の位相と、信号線96を伝送する信号の位相とは、互いに逆相になっている。信号線91,94を伝送する信号に対して、信号線93,96には逆位相の信号が伝送するように、IDTの向きが調整されている。
そのため、信号線91,94を経由してSAWフィルタ1に伝送される信号の位相と、信号線93,96を経由してSAWフィルタ1に伝送される信号の位相とが、180°異なっている。信号線91,94と信号線93,96とは、SAWフィルタ1へ平衡信号を入力する平衡信号入力端子としての機能を有している。さらに、IDT42から出力端子20へ伝送される信号の位相と、IDT55から出力端子30へ伝送される信号の位相とが、180°異なっている。一対の出力端子20,30は、SAWフィルタ1から平衡信号を出力する平衡信号出力端子である。よって、弾性表面波フィルタ装置100では、出力端子20,30から平衡出力を取り出すことが可能とされている。弾性表面波フィルタ1は、平衡信号入力−平衡信号出力フィルタとして構成されている。
第1のフィルタ部4に含まれている第1のIDT群40と、第2のフィルタ部5に含まれている第2のIDT群50とは、入力信号側で電気的に並列に接続され、出力信号側で接地電位を介して電気的に直列に接続されている。SAWフィルタ1は、2個のフィルタ部、すなわち第1のフィルタ部4と第2のフィルタ部5とを電気的に並列または直列に接続した構成を有している。第1のIDT群40は、一対の平衡信号端子の一方、すなわち出力端子20に接続されている。第2のIDT群50は、一対の平衡信号端子の他方、すなわち出力端子30に接続されている。
このような構成を備えている実施の形態3の弾性表面波フィルタ1においても、第1のIDT群40と第2のIDT群50との間に配置された反射器61は一体化された共通反射器として構成されており、反射器61の本数は9以上の奇数、たとえば25本とされている。これにより、通過帯域内のリップルを低減できるとともに、通過帯域近傍におけるスプリアスを低減することができる。さらに、IDT43,54および反射器61の間隔YとIDT41,56および反射器62,63の間隔Xとを異ならせることにより、通過帯域内におけるリップルを一層低減することができる。
(実施の形態4)
図15は、実施の形態4の弾性表面波フィルタ装置100の概略構成を示す模式的平面図である。実施の形態4の弾性表面波フィルタ装置100は、実施の形態1とほぼ同一の構成を備えており、実施の形態1と同様のSAWフィルタ1,101を備えている。しかし、実施の形態4の弾性表面波フィルタ装置100は、出力端子の構成において、実施の形態1とは異なっている。
具体的には、IDT42の第2側の他方の櫛歯電極は、信号線22を介して出力端子20に接続されている。IDT55の第2側の他方の櫛歯電極は、信号線25を介して出力端子20に接続されている。IDT42,55の各一端は、信号線22,25により共通接続され、出力端子20に接続されている。信号線191,194と信号線193,196とは、SAWフィルタ1へ平衡信号を入力する平衡信号入力端子としての機能を有している。出力端子20は、SAWフィルタ1から不平衡信号を出力する不平衡信号出力端子である。弾性表面波フィルタ1は、平衡信号入力−不平衡信号出力フィルタとして構成されている。第1のフィルタ部4に含まれている第1のIDT群40と、第2のフィルタ部5に含まれている第2のIDT群50とは、入力信号側で、一対の平衡信号間で、接地電位を介して電気的に直列に接続され、出力信号側で、出力端子20に対して電気的に並列に接続されている。SAWフィルタ1は、第1のフィルタ部4と第2のフィルタ部5とを出力信号側である出力端子20に対して電気的に並列接続した構成を有している。
このような構成を備えている実施の形態4の弾性表面波フィルタ1においても、第1のIDT群40と第2のIDT群50との間に配置された反射器61は一体化された共通反射器として構成されており、反射器61の本数は9以上の奇数、たとえば25本とされている。これにより、通過帯域内のリップルを低減できるとともに、通過帯域近傍におけるスプリアスを低減することができる。さらに、IDT43,54および反射器61の間隔YとIDT41,56および反射器62,63の間隔Xとを異ならせることにより、通過帯域内におけるリップルを一層低減することができる。
図16は、実施の形態4の弾性表面波フィルタ装置100を備えるデュプレクサ200を示す模式的平面図である。実施の形態4の弾性表面波フィルタ装置100は、通過帯域近傍に大きな減衰が必要となるデュプレクサ用途として、好適に用いることができる。
図16を参照して、デュプレクサ200は、アンテナに接続されるアンテナ端子230を有している。アンテナ端子230に、位相調整用の弾性表面波共振子210を介して、上述した弾性表面波フィルタ装置100が接続されている。受信側帯域フィルタが、アンテナ端子230と、出力端子20である受信端子との間に接続された弾性表面波フィルタ装置100によって、構成されている。
他方、アンテナ端子230には、送信側帯域フィルタを構成している弾性表面波フィルタ装置220が接続されている。本実施の形態では、弾性表面波フィルタ装置220は、アンテナ端子230と送信端子240との間に接続される直列腕と、この直列腕に設けられた複数の直列腕共振子S1,S2,S3と、この直列腕と接地電位との間に設けられた複数の並列腕共振子P1,P2とを有するラダー型の回路構成を備えている。送信端子240と、アンテナ端子230との間に、複数の直列腕共振子S1,S2,S3が接続されている。直列腕共振子S1,S2,S3および並列腕共振子P1,P2は、それぞれ1ポート型弾性表面波共振子により構成されている。
デュプレクサ200は、圧電基板の主表面上に図示の電極構造を形成することにより、構成されている。なお、受信側帯域フィルタと送信側帯域フィルタとは、同じ圧電基板上に形成される必要はなく、異なる圧電基板上に構成されてもよい。
上記の説明では、デュプレクサ200が図15に示す実施の形態4の弾性表面波フィルタ装置100を備えている例について説明した。デュプレクサ200は、実施の形態4の弾性表面波フィルタ装置100に換えて、実施の形態1もしくは3の弾性表面波フィルタ装置100を備えていてもよく、または、実施の形態1〜4のいずれかの弾性表面波フィルタ1を備えていてもよい。また、デュプレクサ200に限られず、任意の分波器、たとえばトリプレクサ、マルチプレクサまたはダイプレクサなどに、各実施の形態の弾性表面波フィルタ1または弾性表面波フィルタ装置100を適用してもよい。
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、各実施の形態の構成を適宜組合せてもよい。また、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1,2,101 弾性表面波フィルタ、4 第1のフィルタ部、5 第2のフィルタ部、6 圧電基板、7,8 フィルタ部、10 入力端子、11〜16,22,25,35,91,93,94,96,191,193,194,196 信号線、20,30 出力端子、40,50,70,80,140 IDT群、41〜43,54〜56,71〜73,84〜86,141〜145 IDT、61〜66,162,163 反射器、100,220 弾性表面波フィルタ装置、143a,143b 分割IDT部、200 デュプレクサ、210 弾性表面波共振子、230 アンテナ端子、240 送信端子、P1,P2 並列腕共振子、S1,S2,S3 直列腕共振子、SAW1,SAW2 弾性表面波、X,Y 間隔。

Claims (6)

  1. 圧電基板と、
    前記圧電基板上に設けられた縦結合共振子型の第1のフィルタ部と、
    前記第1のフィルタ部に対して、入力信号および出力信号の少なくとも一方の信号側で、電気的に並列または直列に接続され、弾性表面波の伝播方向に前記第1のフィルタ部に並んで前記圧電基板上に設けられた縦結合共振子型の第2のフィルタ部とを備え、
    前記第1のフィルタ部は、弾性表面波の伝播方向に並べられた複数のIDTを含む第1のIDT群と、前記第1のIDT群の弾性表面波の伝播方向の両側に配置された一対の第1の反射器とを含み、
    前記第2のフィルタ部は、弾性表面波の伝播方向に並べられた複数のIDTを含む第2のIDT群と、前記第2のIDT群の弾性表面波の伝播方向の両側に配置された一対の第2の反射器とを含み、
    前記第1のIDT群と前記第2のIDT群との間に配置された前記第1の反射器および前記第2の反射器は、一体化された共通反射器として構成されており、
    前記共通反射器の本数は、9以上の奇数であり、
    前記一対の第1の反射器は、前記共通反射器と、前記第2の反射器と一体化されていない非共通反射器とを含み、
    前記第1のIDT群に含まれる複数のIDTのうち前記共通反射器に隣り合うIDTと前記共通反射器との間隔は、前記第1のIDT群に含まれる複数のIDTのうち前記非共通反射器に隣り合うIDTと前記非共通反射器との間隔と異なっている、弾性表面波フィルタ。
  2. 請求項1に記載の弾性表面波フィルタと、
    前記弾性表面波フィルタに縦続接続された第2の弾性表面波フィルタとを備える、弾性表面波フィルタ装置。
  3. 前記弾性表面波フィルタと前記第2の弾性表面波フィルタとを縦続接続する一対の配線を備え、
    前記一対の配線の一方を伝送する一の信号の位相と、前記一対の配線の他方を伝送する他の信号の位相とが、互いに逆相になっている、請求項に記載の弾性表面波フィルタ装置。
  4. 前記第2の弾性表面波フィルタは、弾性表面波の伝播方向に順に並べられた第1のIDT、第2のIDT、第3のIDT、第4のIDTおよび第5のIDTを含む、請求項またはに記載の弾性表面波フィルタ装置。
  5. 前記第3のIDTは、弾性表面波の伝播方向の両側に分割された第1の分割IDT部と第2の分割IDT部とを有し、
    前記第1の分割IDT部が前記第1のフィルタ部に縦続接続されており、前記第2の分割IDT部が前記第2のフィルタ部に縦続接続されている、請求項に記載の弾性表面波フィルタ装置。
  6. 請求項1に記載の弾性表面波フィルタ、または、請求項のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ装置を備える、デュプレクサ。
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