JP2020141380A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】縦結合二重モードフィルタを並列に接続した弾性表面波フィルタにおいて、通過帯域外のスプリアスを抑制し、減衰特性を良好にする。【解決手段】縦結合二重モードフィルタを並列に接続した弾性波表面波フィルタにおいて、第１、第２の縦結合二重モードフィルタの出力信号の位相を１８０°ずらしている。さらに弾性表面波フィルタの合成通過帯域よりも低周波数側における第１、第２の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数を揃え、合成通過帯域よりも高周波数側における第１、第２の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数を揃えている。そのため弾性表面波フィルタの合成通過帯域のスプリアスが打ち消されて抑制され、減衰特性が良好になる【選択図】図２

Description

本発明は、２つの縦結合二重モードフィルタを並列に接続した弾性表面波フィルタに関する。

通信機器例えば携帯電話は高機能化、高性能化の要求が著しく、また通信機器の種類も多様化が進んでいることから、各々の通信機器毎に通信帯域が割り当てられている。このため、これら通信機器に利用される弾性表面波フィルタには広帯域に適用可能であり、且つ低損失のものが要求されている。

上記の通信機器用のフィルタの一例として、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムを圧電基板として用いた縦結合二重モードフィルタがある。縦結合二重モードフィルタは、圧電基板上に弾性表面波の伝播方向に沿って複数のＩＤＴ（Inter Digital Transducer）を並べ、これらのＩＤＴの両側に反射器を配置した構成となっており、０次及び高次の共振モードを利用して通過帯域が設定される。

縦結合二重モードフィルタを用いた弾性表面波デバイスにおいて広帯域化を図る手法として、特許文献１に示すように２つの縦結合二重モードフィルタを並列に接続した構成が知られている。この構成においては、各縦結合二重モードフィルタの通過帯域を合わせた通過帯域を得ることができる。

しかしながら各縦結合二重モードフィルタには帯域外のスプリアスが発生することがある。これらのスプリアスは、縦結合二重モードフィルタを並列に接続した弾性表面波デバイスにおいても弾性表面波フィルタの通過帯域外に残ってしまうため、通過帯域にて必要とされる減衰量の確保が難しいという問題がある。

特許文献１、２には、弾性表面波フィルタにおいてＩＤＴの配置間隔、ＩＤＴと反射器との距離、電極指の交差幅、電極指の本数等を設計変数としてフィルタ特性を調節する技術が記載されている。また特許文献３には、縦結合三重モードフィルタにおいて共振周波数帯域の幅を広げる技術が記載されている。しかしながらこれらの技術は、通過帯域外のスプリアスには着目しておらず本発明の課題を解決する技術の記載は見当たらない。

特開平６−３３４４７６号公報 特開平７−５８５８５号公報 特開平１０−２０９８０８号公報

本発明はこのような事情の下になされたものであり、縦結合二重モードフィルタを並列に接続した弾性表面波フィルタにおいて、通過帯域外のスプリアスを抑制し、減衰特性を良好にする技術を提供することにある。

本発明の弾性表面波フィルタは、圧電基板上に、弾性波の伝播方向に沿って複数のＩＤＴを配置し、前記複数のＩＤＴの並びの両脇に各々反射器を配置して構成され、第１の縦結合二重モードフィルタと、低周波数側の共振周波数が前記第１の縦結合二重モードフィルタの通過帯域内に位置し、高周波数側の共振周波数が前記通過帯域外に位置する第２の縦結合二重モードフィルタとを並列に接続し、第１、第２の縦結合二重モードフィルタの各々の通過帯域よりも広い合成通過帯域を有する弾性表面波フィルタを構成したことと、
前記第１、第２の縦結合二重モードフィルタの出力周波数の位相を１８０°ずらしたことと、
前記合成通過帯域よりも低周波数側に位置する前記第１の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数と第２の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数とを揃えたことと、
前記合成通過帯域よりも高周波数側に位置する前記第１の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数と第２の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数とを揃えたことと、を特徴とする。

本発明は、縦結合二重モードフィルタを並列に接続した弾性波表面波フィルタにおいて、第１、第２の縦結合二重モードフィルタの出力周波数の位相を１８０°ずらしている。さらに弾性表面波フィルタの合成通過帯域よりも低周波数側において第１、第２の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数を揃え、合成通過帯域よりも高周波数側において第１、第２の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数を揃えている。そのため弾性表面波フィルタの合成通過帯域のスプリアスが打ち消されて抑制され、減衰特性が良好になる。

本発明の実施の形態に係る弾性表面波フィルタの一例を示す平面図である。 前記弾性表面波フィルタについて得られた共振周波数特性図である。 前記共振周波数特性の拡大図である。 本発明の実施の形態に係る弾性表面波フィルタについて得られた周波数特性を示す特性図である。 従来の弾性表面波フィルタについて得られる共振周波数特性図である。 実施の形態に係る弾性表面波フィルタの他の例を示す平面図である。

本発明の実施の形態に係る弾性表面波フィルタには、図１に示すように、互いに並列に接続された２つの縦結合二重モードフィルタを備えており、例えば水晶基板などからなる圧電基板１上に形成されている。この例では圧電基板１は、ＳＴ−３４°カット板であり、つまり水晶結晶のＹ軸に垂直な面（後述のＩＤＴ１１Ａ〜１１Ｄが形成される面）で切断し、Ｘ軸から３４°回転したＸ’軸方向に弾性波が伝播するように矩形に切り出した基板である。

ここで、これら２つの縦結合二重モードフィルタの一方及び他方を「第１のフィルタ部１Ａ」及び「第２のフィルタ部１Ｂ」と呼ぶと共に、弾性波の伝播方向に直交する方向を前後方向と呼ぶと、第１のフィルタ部１Ａ及び第２のフィルタ部１Ｂは、夫々奥手側及び手前側に配置されている。図１においては、各々のＩＤＴ１１Ａ〜１１Ｄにおける電極指４３Ａ／４４Ａ〜４３Ｄ／４４Ｄの配置レイアウトについて簡略化して描画している。

第１のフィルタ部１Ａは、各々弾性波の伝播方向（左右方向）に沿って一列に配置された２つのＩＤＴ１１Ａ、１１Ｂと、これらＩＤＴ１１Ａ、１１Ｂを左右方向から挟むように設けられた反射器４５と、を備えている。各反射器４５は、弾性波の伝播方向と交差する方向（前後方向）に沿って伸び、互いに間隔を開けて配置された複数本のストライプ電極４６の両端部を互いに短絡させた構造となっている。
第２のフィルタ部１Ｂについても、既述の第２のフィルタ部１Ｂと同様に構成されたＩＤＴ１１Ｃ、１１Ｄ及び反射器４５を備えている。

これらのＩＤＴ１１Ａ〜１１Ｄ及び反射器４５は、各々所定の膜厚となっており、例えば圧電基板１０上にアルミニウムなどの金属からなる膜を成膜し、次いでこの金属膜上に積層したマスク層を介してこれらのＩＤＴ１１Ａ〜１１Ｄ及び反射器４５外の領域をエッチングするフォトリソグラフィー法により形成される。

各々のＩＤＴ１１Ａ〜１１Ｄには、各々一対のバスバー４１Ａ／４２Ａ〜４１Ｄ／４２Ｄ、及び複数の電極指４３Ａ／４４Ａ〜４３Ｄ／４４Ｄが設けられている。ＩＤＴ１１Ａを例に詳細な構成を説明すると、バスバー４１Ａ／４２Ａは、弾性波の伝播方向に沿って各々伸びると共に、前後方向に互いに離間するように配置されている。
一方のバスバー４２Ａから対向するバスバー４１Ａに向かって伸びる複数の電極指４３Ａと、他方のバスバー４１Ａから対向するバスバー４２Ａに向かって伸びる複数の電極指４４Ａと、が互い違いに交差するように配置されている。

この例では、ＩＤＴ１１Ａ、１１Ｃ及び１１Ｄは、手前側のバスバー４２Ａ、４２Ｃ及び４２Ｄから伸び出す電極指４３Ａ、４３Ｃ及び４３Ｄが各ＩＤＴ１１Ａ、１１Ｃ及び１１Ｄの電極指群の左右両端に位置するように配置されている。これに対してＩＤＴ１１Ｂは、奥手側のバスバー４１Ｂから伸び出す電極指４４ＢがＩＤＴ１１Ｂの電極指群の前後両端に位置するように配置されている。言い替えると、ＩＤＴ１１Ｂは、他のＩＤＴ１１Ａ、１１Ｃ及び１１Ｄを圧電基板１０上で１８０°回転させた構成となっている。

さらに図１に向かって左側に配置された、ＩＤＴ１１Ａの手前側のバスバー４２Ａと、ＩＤＴ１１Ｃの奥手側のバスバー４１Ｃと、は共通の入力ポート４７に接続されている。また図１に向かって右側に配置された、ＩＤＴ１１Ｂの手前側のバスバー４２Ｂと、ＩＤＴ１１Ｄの奥手側のバスバー４１Ｄと、は共通の出力ポート４８に接続されている。また残るバスバー４１Ａ、４１Ｂ、４２Ｃ、４２Ｄは、接地電位に接続されている。

このような弾性表面波フィルタにおいては、入力ポート４７から周波数信号を入力すると、図１に向かって左側のＩＤＴ１１Ａ、１１Ｃにて電気信号が電気−機械変換されて弾性表面波が発生し、左右方向に向かって伝播していく。そして弾性表面波は、左右両端の反射器４５にて反射され、伝播方向を変えながら圧電基板１０上を伝播する。

このようにして、両端の反射器４５の間を反射しながらＩＤＴ１１Ａ、１１Ｂ（１１Ｃ、１１Ｄ）が設けられた領域を伝播する弾性表面波が重ねあわされると、入力ポート４７に入力される周波数信号が所定の周波数となったときに共振して０次の振幅分布を持つ共振モード（０次モード）が励起される。さらに、入力される周波数信号の周波数を次第に大きくしていくと、より高次、例えば１次の振幅分布を持つ共振モード（１次モード）が励起される。

これら振幅の大きな共振モード付近の弾性表面波が、右側のＩＤＴ１１Ｂ、１１Ｄにて機械−電気変換されると、大きな信号強度を有する電気信号を取り出すことができる。上記の原理により、連続して励起される各次モード（上述の例では０次−１次）間に対応した通過帯域を有する第１、第２のフィルタ部１Ａ、１Ｂを構成することができる。

そして第１のフィルタ部１Ａ、第２のフィルタ部１Ｂの各々において夫々２つの共振モードが励起され、モード間に通過帯域が設定される。図２（ａ）、（ｂ）は第１のフィルタ部１Ａ、第２のフィルタ部１Ｂの各共振周波数特性図である。そして図３（ａ）、（ｂ）は図２（ａ）、（ｂ）の共振周波数近辺を拡大した特性図である。これらの図に示すように、第１のフィルタ部１Ａ、第２のフィルタ部１Ｂは互いに周波数の異なる２つのモードを有する共振周波数特性をもっている。

ここで既述のように、第１のフィルタ部１Ａ及び第２のフィルタ部１Ｂの構成は、入力ポート４７に接続されたＩＤＴ１１Ａ、１１Ｃが共通の構成を備える一方、出力ポート４８に接続されたＩＤＴ１１Ｂ、１１Ｄは、圧電基板１０上における配置が互いに１８０°回転対称の関係になっている。

この構成により、例えばＩＤＴ１１Ａ／１１Ｂの配置間隔ＡＬ１を設定周波数の１／２波長に設定した場合、第１のフィルタ部１Ａにおいては、ＩＤＴ１Ａに入力された周波数信号に対して、入力側と位相が揃った周波数信号がＩＤＴ１Ｂから出力される。一方、ＩＤＴ１１Ｃ／１１Ｄの配置間隔ＡＬ２を第１のフィルタ部１Ａ側と揃えた場合、第２のフィルタ部１Ｂにおいては、ＩＤＴ１Ｃに入力された周波数信号に対して、入力側とは位相が１８０°ずれた周波数信号が出力される。
即ち、出力側のＩＤＴ１１Ｂ、１１Ｄから出力される出力周波数は、互いに位相が１８０°ずれている。

またここで第１のフィルタ部１Ａにおける２つの共振周波数のうち、高次側の共振周波数をｆ１Ｈ、低次側の共振周波数をｆ１Ｌとし、第２のフィルタ部１Ｂにおける２つの共振周波数の高次側の共振周波数をｆ２Ｈ、低次側の共振周波数をｆ２Ｌとする。このとき、本例の弾性表面波フィルタは、ｆ１Ｈの周波数と、ｆ２Ｌの周波数と、が揃うように調整する。
これらの共振周波数ｆ１Ｈ、ｆ２Ｌは、ＩＤＴ１１Ａ／１１Ｂ、１１Ｃ／１１Ｄにおける電極指４３Ａ／４４Ａ〜４３Ｄ／４４Ｄの配置間隔（電極指周期）により調節することができる。

ここでＩＤＴ１１Ａ／１１Ｂ、１１Ｃ／１１Ｄの配置領域に亘って、半波長分の定在波が形成されている０次モードと、同領域に１波長分の定在波が形成されている１次モードとでは、出力ポート４８へ出力される周波数信号の振幅の変位の方向が互いに異なる。従って、０次モード−１次モードの共振周波数ｆ１Ｌ−ｆ１Ｈ、ｆ２Ｌ−ｆ２Ｈ間では、各々、振幅の変位方向が異なっている。一方で既述のように、出力ポート４８へ出力される周波数信号は、第１のフィルタ部１Ａと第２のフィルタ部１Ｂとの間で１８０°ずれている。
従って、第１、第２のフィルタ部１Ａ、１Ｂ間では、低次側の共振周波数ｆ１Ｌ、ｆ２Ｌの間、及び高次側の共振周波数ｆ１Ｈ、ｆ２Ｈの間で各々、振幅の変位方向が反対の周波数信号が出力される。

上述の共振周波数特性を有する第１、第２のフィルタ部１Ａ、１Ｂ間においては、第１のフィルタ部１Ａの高次側の共振周波数ｆ１Ｈと、第２のフィルタ部１Ｂの低次側の共振周波数ｆ２Ｌと、を揃えた場合であっても、双方から出力された周波数信号の振幅の向きが同じである。従って、これらの周波数信号は互いに打ち消し合わずに合成される。
よって、第１のフィルタ部１Ａと、第２のフィルタ部１Ｂと、を並列に接続した弾性表面波フィルタは、図２（ｃ）、図３（ｃ）に示すように第１のフィルタ部１Ａ及び第２のフィルタ部１Ｂの通過帯域を合わせた広い合成通過帯域を得ることができる。この結果、図４に周波数特性を示すように、本例の弾性表面波フィルタは４００ＭＨｚを中心周波数として幅の広い周波数の通過帯域を持つフィルタとすることができる。

ところで図５（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、図４（ｂ）に示す通過帯域を得るため、ＩＤＴ１１Ａ／１１Ｂ、１１Ｃ／１１Ｄの電極指４３Ａ／４４Ａ〜４３Ｄ／４４Ｄの電極指周期のみに着目をして設計した従来例に係る弾性表面波フィルタの共振周波数特性を示している。この弾性表面波フィルタにおいても２つの縦結合二重モードフィルタの通過帯域を合わせた幅の広い合成通過帯域を得ることができていることが分かる。

しかしながら上述の弾性表面波フィルタにおいては、図５（ａ）、（ｂ）に示すように各縦結合フィルタの２つのモードの共振周波数帯から外れた位置にスプリアスが発生してしまう場合がある。例えば図５（ａ）に示すｓ１Ｌ、ｓ１Ｈは、第１のフィルタ部１Ａに相当する、低周波数帯域側に共振周波数を持つ縦結合フィルタのスプリアスである。また、図５（ｂ）に示すｓ２Ｌ、ｓ２Ｈは、第２のフィルタ部１Ｂに相当する、高周波数帯域側に共振周波数を持つ縦結合フィルタのスプリアスである。これら図５（ａ）、（ｂ）に示す共振周波数特性を有する縦結合二重モードフィルタを並列に接続すると、これらのスプリアス（ｓ１Ｌ、ｓ２Ｌ、ｓ１Ｈ、ｓ２Ｈ）が各々独立して発現し、共振周波数帯域外のスプリアスが大きくなってしまうことがある。この場合には、共振周波数帯内外において十分な減衰量が確保できなくなることがある。

このような問題点に対し、本開示に係る弾性表面波フィルタにおいては、図２（ａ）、（ｂ）に示すように第１のフィルタ部１Ａの低周波数側のスプリアス（ｓ１Ｌ）と、第２のフィルタ部１Ｂの低周波数側のスプリアス（ｓ２Ｌ）と、の周波数を揃えている。既述のように第１のフィルタ部１Ａの出力と第２のフィルタ部１Ｂの出力とは、互いに位相が１８０°ずれる。そこで互いの周波数を揃えることにより各スプリアスｓ１Ｌ、ｓ２Ｌが互いに打ち消し合うようにすることができる。この結果、図２（ｃ）に示すように弾性表面波フィルタにおける合成通過帯域の低周波数側のスプリアスを抑制することができる。

上述の低周波数側と同様に、第１のフィルタ部１Ａの高周波数側のスプリアス（ｓ１Ｈ）と、第２のフィルタ部１Ｂの高周波数側のスプリアス（ｓ２Ｈ）と、の周波数も揃えている。これにより各スプリアスｓ１Ｈ、ｓ２Ｈと、が互いに打ち消し合う。この結果、図２（ｃ）に示すように弾性表面波フィルタにおける合成通過帯域の高周波数側のスプリアスを抑制することができる。

このように合成通過帯域から外れた周波数に発生するスプリアスを抑制することで弾性表面波フィルタにおける合成通過帯域の減衰量を確保することができる。
本開示に係る弾性表面波フィルタにおける合成周波数帯域の帯域幅の調整方法、及びスプリアスの位置の調整方法について説明する。先ず図１中に示す第１のフィルタ部１Ａの各ＩＤＴ１１Ａ、１１Ｂの電極指周期λ、λ´を調節する。これにより図２（ａ）（ｂ）に示す第１のフィルタ部１Ａにおける低周波数側の共振周波数ｆ１Ｌと、第２のフィルタ部１Ｂにおける高周波数側の共振周波数ｆ２Ｈと、の位置を調節して揃えることができる。

次いでＩＤＴ１１Ａ、１１Ｂの電極対数Ｎ１と、ＩＤＴ１１Ａ，１１Ｂの配置間隔ＡＬ１と、を調節して、第１のフィルタ部１Ａの共振周波数ｆ１Ｈとｆ１Ｌとの間の帯域幅を調節する。さらにＩＤＴ１１Ｃ、１１Ｄの電極対数Ｎ２と、ＩＤＴ１１Ｃ、１１Ｄの配置間隔ＡＬ２と、を調節して、第２のフィルタ部１Ｂの共振周波数ｆ２Ｈとｆ２Ｌとの間の帯域幅を調節する。これにより弾性表面波フィルタの合成通過帯域が調節される。

さらにＩＤＴ１１Ａ、１１Ｂの電極対数Ｎ１を増やすことで第１のフィルタ部１Ａにおける合成通過帯域の低周波数側のスプリアスｓ１Ｌの周波数を高周波数側に移動させることができる。同様にＩＤＴ１１Ｃ、１１Ｄの電極対数Ｎ２を増やすことで第２のフィルタ部１Ｂにおける合成通過帯域の低周波数側のスプリアスｓ２Ｌの周波数を高周波数側に移動させることができる。反対にこれらの電極対数Ｎ１、Ｎ２を減らすことで、各スプリアスｓ１Ｌ、ｓ２Ｌを低周波数側に移動させることができる。これらの設計変数の調節を組み合わせることによりスプリアスｓ１Ｌの周波数と、スプリアスｓ２Ｌの周波数と、を揃えることができる。

またＩＤＴ１１Ａ、１１Ｂの配置間隔ＡＬ１を広げることで第１のフィルタ部１Ａにおける合成通過帯域の高周波数側のスプリアスｓ１Ｈの周波数を高周波数側に移動させることができる。同様にＩＤＴ１１Ｃ、１１Ｄの配置間隔ＡＬ２を広げることで第２のフィルタ部１Ｂにおける合成通過帯域の高周波数側のスプリアスｓ２Ｈの周波数を高周波数側に移動させることができる。反対にこれらの配置間隔ＡＬ１、ＡＬ２を狭めることで、各スプリアスｓ１Ｈ、ｓ２Ｈを低周波数側に移動させることができる。これらの設計変数の調節を組み合わせることによりスプリアスｓ１Ｈの周波数と、スプリアスｓ２Ｈの周波数と、を揃えることができる。
さらにこれらの調節を行ったことにより、合成周波数帯域の周波数がずれた場合には、ＩＤＴ１１Ａ／１１Ｂ、１１Ｃ／１１Ｄ）の電極指周期λ、λ´を調節して合成周波数帯域を調節すればよい。

このように調節された弾性波表面波フィルタの各設定値の例を示す。これらの設定値により所望の特性が得られることについては、シミュレーションにより確認することができる。例えば通過帯域の中心周波数が４００ＭＨｚ、通過帯域幅が０．２ＭＨｚの弾性表面波フィルタを構成する場合、第１のフィルタ部１ＡにおけるＩＤＴ１１Ａ（１１Ｂ）の電極指４３Ａ、４４Ａ（４３Ｂ、４４Ｂ）の電極対数Ｎ１は、例えば７８対に設定される。第２のフィルタ部１ＢにおけるＩＤＴ１１Ｃ（１１Ｄ）の電極指４３Ｃ、４４Ｃ（４３Ｄ、４４Ｄ）の電極対数Ｎ２は、いずれも例えば７１．５対に設定されている。また反射器４５のストライプ電極４６の本数は、例えば１５０本である。またλ＝７．７４５μｍに設定され、λ´は、７．７３７μｍに設定されている。なお図１、図２においては、周期長は誇張して記載している。さらに第１のフィルタ部１Ａにおける２つのＩＤＴ１１Ａ、１１Ｂの配置間隔ＡＬ１は、０．２２６λに設定され、第２のフィルタ部１Ａにおける２つのＩＤＴ１１Ｃ、１１Ｄの配置間隔ＡＬ２は、０．２５λ´に設定される。

上述の実施形態に係る弾性表面波フィルタによれば、縦結合二重モードフィルタを並列に接続した弾性波表面波フィルタにおいて、第１、第２のフィルタ部１Ａ、１Ｂの出力信号の位相を１８０°ずらしている。さらに弾性表面波フィルタの合成通過帯域よりも低周波数側における第１、第２のフィルタ部１Ａ、１Ｂのスプリアス周波数同士を揃え、合成通過帯域よりも高周波数側における第１、第２のフィルタ部１Ａ、１Ｂのスプリアス周波数同士を揃えている。そのため弾性表面波フィルタの合成通過帯域のスプリアスが打ち消されて抑制され、減衰特性が良好になる。

また弾性表面波フィルタは、ＩＤＴを３つ以上並べて配置した縦結合三重モードフィルタを並列に接続してもよい。例えば図６に示すように各縦結合三重モードフィルタ１００Ａ（１００Ｂ）を３つのＩＤＴ１０１Ａ〜１０１Ｃ（１０１Ｄ〜１０１Ｆ）を並べて構成する。そして図６に示すように各縦結合三重モードフィルタ１００Ａ、１００Ｂを並列に接続している。この例では、弾性波の伝播方向両端のＩＤＴ１０１Ａ、１０１Ｃ（１０１Ｄ、１０１Ｆ）に入力ポート４７を接続し、中央のＩＤＴ１０１Ｂ、１０１Ｅに出力ポート４８を接続している。

このような構成の弾性表面波フィルタにおいても、ＩＤＴ１０１Ａ〜１０１Ｆの電極対数を調整し、合成通過帯域から外れた低周波数側のスプリアス周波数を揃え、さらにＩＤＴ間１０１Ａ〜１０１Ｆの間隔を調整し、高周波数側のスプリアス周波数を揃えることで、弾性表面波フィルタにおける合成周波数帯域のスプリアスを抑制することができる。

１０ 圧電基板
１Ａ 第１のフィルタ部
１Ｂ 第２のフィルタ部
１１Ａ〜１１Ｆ ＩＤＴ
４３Ａ〜Ｄ（４４Ａ〜Ｄ）
電極指
４５ 反射電極

Claims (4)

1. 圧電基板上に、弾性波の伝播方向に沿って複数のＩＤＴを配置し、前記複数のＩＤＴの並びの両脇に各々反射器を配置して構成され、第１の縦結合二重モードフィルタと、低周波数側の共振周波数が前記第１の縦結合二重モードフィルタの通過帯域内に位置し、高周波数側の共振周波数が前記通過帯域外に位置する第２の縦結合二重モードフィルタとを並列に接続し、第１、第２の縦結合二重モードフィルタの各々の通過帯域よりも広い合成通過帯域を有する弾性表面波フィルタを構成したことと、
   前記第１、第２の縦結合二重モードフィルタの出力周波数の位相を１８０°ずらしたことと、
   前記合成通過帯域よりも低周波数側に位置する前記第１の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数と第２の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数とを揃えたことと、
   前記合成通過帯域よりも高周波数側に位置する前記第１の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数と第２の縦結合二重モードフィルタのスプリアス周波数とを揃えたことと、を特徴とする弾性表面波フィルタ。
2. 前記低周波数側のスプリアス周波数は、前記第１、第２の縦結合二重モードフィルタにおけるＩＤＴの電極対数を調整して揃えられ、前記高周波数側のスプリアス周波数は、前記第１、第２の縦結合二重モードフィルタ内の前記複数のＩＤＴの配置間隔を調整して揃えられることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。
3. 前記第１の縦結合二重モードフィルタの高次側の共振周波数と、前記第２の縦結合二重モードフィルタの低次側の共振周波数とを揃えたことを特徴とする請求項１または２に記載の弾性表面波フィルタ。
4. 前記第１の縦結合二重モードフィルタの高次側の共振周波数と、前記第１の縦結合二重モードフィルタの低次側の共振周波数とは、前記ＩＤＴを構成する電極指周期を調整して揃えられることを特徴とする請求項３に記載の弾性表面波フィルタ。

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