JP2006287680A - 弾性表面波素子片および弾性表面波デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】 スプリアスを小さくし、目標周波数から遠ざけるとともに、インピーダンスを低くできるようにする。
【解決手段】 弾性表面波素子片１０は、圧電基板１２の弾性表面波の伝播方向に入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６とを備えている。各ＩＤＴ１４、１６の電極指２６、２８、３０、３２は、弾性表面波の伝播方向と直交した複数の直線部と、各直線部間に折り曲げて形成され、各直線部を相互に接続した接続部とを有する。弾性表面波素子片１０は、入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６との対応する直線部からなるトラック３８、４０内において、入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６との電極指の対数が異なっている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、すだれ状電極からなるＩＤＴ（Interdigital Transducer）を備えた弾性表面波素子片に係り、特に弾性表面波の伝播方向に入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極とを設けた弾性表面波素子片および弾性表面波デバイスに関する。

弾性表面波（Surface Acoustic Wave：ＳＡＷ）素子片には、弾性表面波の伝播方向にすだれ状電極からなる入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴと、これらのＩＤＴを挟んだ反射器とを備えたものがある。このような弾性表面波素子片は、入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴとのすだれ状電極の電極指の対数を同じにすると、図４に示したように、目標周波数Ａの低域側Ｂにスプリアスが発生することが知られている。

また、スプリアスを小さくする方法として入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴとの電極指の対数を異ならせることが知られている。すなわち、入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴとの電極指の対数を異ならせると、図５に示したようにスプリアスＢが小さくなる。この方法は、両者の対数の差を大きくするほどスプリアスが小さくなる。なお、図４、図５は、いずれも３００ＭＨｚ帯の弾性表面波素子片であって、横軸がＭＨｚを単位と下目標周波数Ａに対する周波数偏差を示し、縦軸がｄＢを単位とした減衰量を示している。

しかし、入力側ＩＤＴを出力側ＩＤＴとの電極指の対数を異ならせると、両ＩＤＴ間においてインピーダンスが異なる。このため、このような弾性表面波素子片を有する弾性表面波デバイスを使用する場合、各ＩＤＴに対してインピーダンスのマッチングをするための計算をしなければならず、ＩＤＴごとに異なった回路を形成しなければならない。

そこで、各ＩＤＴ内において電極指の交差幅を変化させるいわゆる重み付けをしてスプリアスの低減を図ることが行なわれている。そして、特許文献１には、入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴとの重み付けを、重み付けの中心が電極の配列構造の中心と不一致で、かつ端面とも一致しない位置にしてスプリアスを低減した弾性表面波フィルタが開示されている。
特開平６−３３４４６９号公報

ところが、特許文献１に記載の弾性表面波フィルタは、ＩＤＴに重み付けをしているため、電極指の交差していない部分が多くなり、インピーダンスが高くなる欠点がある。それを避けるためには、電極指の交差幅を広くしたり、対数を多くする必要があり、弾性表面波フィルタが大型化し、近年、強く要求されている小型化が困難となる。

本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、スプリアスを小さくし、目標周波数から遠ざけるとともに、インピーダンスを低くできるようにすることを目的としている。
また、本発明は、入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴとのインピーダンスを同じにすることを目的にしている。
さらに、本発明は、小型化が図れるようにすることなどを目的としている。

上記の目的を達成するために、本発明に係る弾性表面波素子片は、圧電基板の弾性表面波の伝播方向に入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極とを備えた弾性表面波素子片であって、前記各すだれ状電極の電極指は、前記弾性表面波の伝播方向と直交した複数の直線部と、前記各直線部間に折り曲げて形成され、前記各直線部を相互に接続した接続部とを有し、前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との対応する直線部からなるトラック内において、前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との前記電極指の対数を異ならせた、ことを特徴としている。

このようになっている本発明は、すだれ状電極を構成している電極指を複数の直線部に分割するとともに、直線部からなるトラックにおいて入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴとの電極指の対数を異ならせてある。このため、スプリアスを小さくできるとともに、目標周波数から遠ざけることができる。しかも、本発明は、複数の直線部を斜めに折り曲げて形成した接続部によって相互に接続しているため電極指の交差幅の小さい複数のすだれ状電極を横方向（弾性表面波の伝播方向と直交した方向）に複数並列に配置したと同様の効果を生じ、インピーダンスを低下させることができる。なお、異なる対数の差は、スプリアスをどの程度小さくするか、目標周波数に対してスプリアスをどの位置にするかによって決定される。

１以上の前記トラックからなる第１トラックユニットと、前記第１トラックユニットと同数の前記トラックからなる第２トラックユニットの間において、前記入力側すだれ状電極の前記電極指の対数と、前記出力側すだれ状電極の前記電極指の対数との和を同じにすることができる。このため、弾性表面波デバイスとした場合に、ＩＤＴごとにインピーダンスマッチングを図るための計算や回路構成を変える必要がなく、使い勝手を向上することができる。そして、複数の前記電極指の一部は前記直線部の数を少なく形成し、前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との前記電極指の対数を異ならせることができる。このように、電極指の一部の直線部の数を少なくすることにより、各トラック間における電極指の対数を容易に同じにすることができる。

また、同一の前記トラック内における前記電極指に対数の少ない前記すだれ状電極は、前記トラック内にダミー電極を有し、対をなす前記電極指の数と前記ダミー電極の数との和が、前記電極指の対数の多い前記すだれ状電極の前記電極指の数と同じにすることが望ましい。このようにすると、両ＩＤＴにおける電極の見かけ上の構成を同じにすることができ、弾性表面波の伝播状態、反射状態を同じにすることができる。

前記ダミー電極は、基端部が前記電極指の基端部を相互に接続したバスバーに接続するとよい。このようにすると、弾性表面波の反射波形をきれいにすることができ、スプリアスの発生などを避けることができる。そして、前記ダミー電極の一部は、前記直線部の数の少ない前記電極指と対をなす電極指部を先端部に有するように形成できる。これにより、同一トラック内における入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極との前記電極指の対数を容易に異ならせることができるとともに、各トラック間における対をなす電極指の数とダミー電極の数との和を容易に同じにできる。また、前記ダミー電極は、先端が前記ダミー電極を設けた前記すだれ状電極の前記電極指の前記接続部に接続してもよい。

さらに、同一の前記電極指に形成した前記各直線部は、隣接した前記直線部に対する前記弾性表面波の伝播方向の位置が、両者間の距離をＬ１、前記電極指の形成ピッチをλとしたときに、３λ／８≦Ｌ１≦５λ／８ずれるようにする。このようにすると、各直線部（トラック）から生ずる横モードが隣接するトラック間において滑らかに結合された状態となり、不要なスプリアスの発生を防ぐことができる。なお、前記圧電基板は、前記入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極とを挟む位置に反射器を設けて共振型の弾性表面波素子片とすることができる。

そして、本発明に係る弾性表面波デバイスは、上記した弾性表面波素子片のいずれかを備えていることを特徴としている。これにより、上記した作用効果を得ることができる。

本発明に係る弾性表面波素子片および弾性表面波デバイスの好ましい実施の形態を添付図面に従って詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る弾性表面波素子片の説明図である。図１において、弾性表面波素子片１０は、圧電基板１２の表面中央部に入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６とが設けてある。圧電基板１２は、水晶、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）やニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）などの圧電体からなっている。

入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６とは、それぞれが一対の櫛型電極１８（１８ａ、８ｂ）、２０（２０ａ、２０ｂ）から形成してある。各櫛型電極１８、２０は、それぞれの一端がバスバー２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂによって相互に接続された複数の電極指２６、２８、３０、３２を備えている。そして、入力側ＩＤＴ１４は、一対の櫛型電極１８の電極指２６、２８が互いに噛み合うように、かつ等間隔に配置され、すだれ状をなしている。同様に、出力側ＩＤＴ１６は、一対の櫛型電極２０の各電極指３０、３２が互いに噛み合うように、かつ等間隔に配置され、すだれ状をなしている。

また、弾性表面波素子片１０は、一対のＩＤＴ１４、１６を挟んで両側に反射器３４を有している。各反射器３４は、それぞれ両端が相互に接続された複数の導体ストリップ３６を備えた格子状に形成してある。反射器３４および各櫛型電極１８、２０は、実施形態の場合、アルミニウム（Ａｌ）またはアルミニウム合金から形成してある。すなわち、反射器３４および櫛型電極１８、２０は、圧電基板１２の表面にＡｌまたはＡｌ合金をスパッタリングや蒸着によって成膜し、それを所定の形状にフォトエッチングして形成してある。各櫛型電極１８、２０の電極指２６、２８、３０、３２の形成間隔は、λとなっている。また、反射器３４の各導体ストリップ３６の形成間隔は、λ／２となっている。

入力側ＩＤＴ１４は、一対の櫛型電極１８ａ、１８ｂ間に電気信号が入力すると、圧電基板１２に弾性表面波を生成する。櫛型電極１８ａの各電極指２６は、それぞれが複数（この実施形態の場合２つ）の直線部２６ａ、２６ｂと、これら直線部２６ａ、２６ｂ間に設けられて両者を相互に接続する接続部２６ｃとからなっている。すなわち、電極指２６は、接続部２６ｃによって分割された弾性表面波の伝播方向と直交した方向に延在する２つの直線部２６ａ、２６ｂを有する。そして、接続部２６ｃは、斜めに折り曲げて形成してあって、実施形態の場合、直線部２６ａ、２６ｂの形成位置が弾性表面波の伝播方向にλ／２ずれている。また、接続部２６ｃによって分割された２つの直線部２６ａ、２６ｂは、弾性表面波の伝播方向と直交した方向における間隔ｇが実施形態の場合、３λ以下にしてある。この間隔ｇは、後述するように、各直線部２６ａ、２６ｂの励振によって生ずる横モードの結合状態を確保するため、できるだけ小さくすることが好ましく、１λ以下が望ましい。

入力側ＩＤＴ１４の他方の櫛型電極１８ｂおよび出力側ＩＤＴ１６の各櫛型電極２０ａ、２０ｂの各電極指２８、３０、３２は、電極指２６と同様に、折り曲げて形成した接続部（符号ｃを付して示した）と、接続部によって接続された一対の直線部（符号ａ、ｂを付して示した）とから形成してある。そして、各電極指のａ、ｂを付して示したそれぞれの直線部は、接続部によって弾性表面波の伝播方向においてλ／２だけ相互に位置がずれている。このため、櫛型電極１８ｂの電極指２８のバスバー２２ｂ側（基端側）の直線部２８ａは、弾性表面波の伝播方向において、櫛型電極１８ａの電極指２６の基端側直線部２６ａと対応した位置に形成され、電極指２８の先端側の直線部２８ｂが電極指２６の先端側の直線部２６ｂと対応した位置に形成してある。ただし、櫛型電極１８ｂの一部の電極指２８は、直線部２８ａのみを有している。この直線部２８ａは、後述するダミー電極の先端部に形成した電極指部と対をなすようになっている。櫛型電極２０の一部の電極指３０も同様で、直線部３０ａのみからなっていて、ダミー電極の先端部に形成した電極指部と対を形成するようにしてある。

なお、実施形態においては、電極指２６の直線部２６ａと、電極指２８の直線部２８ｂとの弾性表面波の伝播方向における重なり部（第１トラック５４）の長さ（第１交差幅Ｂ１１）と、電極指２６の直線部２６ｂと電極指２８の直線部２８ａとの弾性表面波の伝播方向における重なり部（第２トラック４０）の長さ（第２交差幅Ｂ１２）とは同じ（Ｂ１１＝Ｂ１２）にしてある。したがって、入力側ＩＤＴ１４における電極指のトータルの交差幅Ｗは、第１交差幅Ｂ１１と第２交差幅Ｂ１２との和となる。出力側ＩＤＴ１６の一対の櫛型電極２０ａ、２０ｂ間においても、入力側ＩＤＴ１４と同様である。すなわち、弾性表面波素子片１０は、入力側ＩＤＴ１４、出力側ＩＤＴ１６が弾性表面波の伝播方向と直交した方向に電極指の直線部からなる第１トラック３８と第２トラック４０を形成している。

そして、実施形態の弾性表面波素子片１０は、同一トラック内の入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６との間において、電極指の対数を異ならせるためにダミー電極が設けてある。この発明においてダミー電極とは、隣接した導体パターンと同電位となる導体パターンを指している。すなわち、入力側ＩＤＴ１４の櫛型電極１８ａと出力側ＩＤＴ１６の櫛型電極２０ｂとにおける斜線を施したパターンがダミー電極４２（４２ａ、４２ｂ）、４４（４４ａ、４４ｂ）となっている。また、これらのダミー電極４２、４４のうち、ダミー電極４２ａ、４４ａは、折り曲げて形成した接続部を介して先端が他方の櫛型電極１８ｂ、２０ａの電極指の直線部２８ａ、３０ａと対応した位置まで延在しており、電極指部４３、４５となっている。これらの電極指部４３、４５は、櫛型電極１８ｂ、２０ａの直線部２８ａ、３０ａのみからなる電極指と対を形成する。そして、各ダミー電極４２、４４は、電極指と同じ材質からなっていて、直線部２６ａ、３２ａと同じ幅、長さに形成してあるとともに、基端部がバスバー２２ａ、２４ｂに接続してある。そして、弾性表面波素子片１０は、電極指の対数の少ない櫛型電極１８ａ、２０ｂの、電極指のないところにダミー電極４２、４４を設け、対をなす前記電極指の数とダミー電極の数との和を、電極指の対数の多い櫛型電極１８ｂ、２０ａの電極指の数と同じにしてある。なお、ダミー電極４２、４４は、櫛型電極１８ａ、２０ｂの弾性表面波の伝播方向における任意の位置に形成することができる。

したがって、弾性表面波素子片１０は、同一のトラック内において入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６との間において、電極指の対数が異なっている。すなわち、第１トラック３８においては、入力側ＩＤＴ１４の電極指の対数が出力側ＩＤＴ１６の電極指の対数より少なくしてある。また、第２トラック４０においては、入力側ＩＤＴ１４の電極指の対数が出力側ＩＤＴ１６の電極指の対数より多くしてある。この入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６との電極指の対数の差は、スプリアスをどの程度小さくするか、目標周波数に対してどの程度離れた位置にするかによって決定される。そして、実施形態においては、第１トラック３８における入力側ＩＤＴ１４の電極指の対数と出力側ＩＤＴ１６の電極指の対数との和と、第２トラック４０における入力側ＩＤＴ１４の電極指の対数と出力側ＩＤＴ１６の電極指の対数との和とが等しくしてある。すなわち、出力側ＩＤＴ１６は、入力側ＩＤＴ１４を１８０度回転させて配置したようになっている。

なお、各反射器３４を構成している導体ストリップ３６は、電極指２６、２８、３０、３２と同様に形成してある。すなわち、導体ストリップ３６は、電極指の接続部と対応した位置に、斜めに折り曲げて形成した導体接続部３６ｃを有し、この導体接続部３６ｃよって、一対の直線部３６ａ、３６ｂに分割されている。

このようになっている実施形態の弾性表面波素子片１０は、それぞれのトラック３８、４０内において入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６との電極指の対数が異なっているため、目標周波数の低周波数側に現れるスプリアスを小さくできるとともに、目標周波数から遠ざけることができる。しかも、弾性表面波素子片１０は、第１トラック３８における入力側ＩＤＴ１４の電極指の対数と出力側ＩＤＴ１６の電極指の対数との和と、第２トラック４０における入力側ＩＤＴ１４の電極指の対数と出力側ＩＤＴ１６の電極指の対数との和とが等しくしてあるため、入力側ＩＤＴ１４と出力側ＩＤＴ１６とのインピーダンスを等しくすることができる。

さらに、第１実施形態の弾性表面波素子片１０は、入力側ＩＤＴ１４、出力側ＩＤＴ１６が第１トラック３８と第２トラック４０とを有するように形成してあるため、各トラック３８、４０の交差幅Ｂ１１、Ｂ１２を従来の交差幅より小さくすることができる。したがって、各トラック３８、４０において発生する横モードによるスプリアスを目標周波数から遠ざけることができる。したがって、弾性表面波装置の１つである弾性表面波フィルタを形成した場合に、通過帯域内に横モードによるスプリアスのないフィルタ特性の優れた高精度な弾性表面波フィルタを得ることができる。また、弾性表面波素子片１０は、各トラック３８、４０において弾性表面波を発生させるため、交差幅Ｂ１１と交差幅Ｂ１２とを有する素子片を並列に設けたのと同様の効果が得られ、低インピーダンス化することが可能となる。

また、前記実施形態においては、電極指の対数の少ない櫛型電極の電極指のないところにダミー電極４２、４４を設け、対をなす前記電極指の数とダミー電極の数との和を、電極指の対数の多い櫛型電極の電極指の数と同じにしたことにより、両ＩＤＴにおける電極の見かけ上の構成を同じにすることができ、弾性表面波の伝播状態、反射状態を同じにすることができる。しかも、ダミー電極４２、４４は、基端部がバスバーに接続してあるため、弾性表面波の反射波形をきれいにすることができ、スプリアスの発生などを避けることができる。

そして、実施形態の弾性表面波素子片１０は、各電極指に形成した一対の直線部が弾性表面波の伝播方向において相互にλ／２ずれて配置してある。このため、第１トラック３８において生じた横モードと第２トラック４０において生じた横モードとの位相が反転し、両者が滑らかに結合された状態となる。なお、発明者の実験によると、同一の電極指に形成した一対の直線部間における弾性表面波の伝播方向のずれは、両者間の距離をＬ１としたときに、３λ／８≦Ｌ１≦５λ／８の範囲にあればフィルタ特性に大きな影響を与えないことが確認された。

なお、一対の直線部（例えば２６ａ、２６ｂ）の弾性表面波の伝播方向と直交する方向の間隔ｇが３λより大きくなると、第１トラック３８と第２トラック４０とで発生した横モードが滑らかな結合状態にならず、スプリアスの原因となるおそれがある。したがって、両者の間隔ｇは、できるだけ小さくする方がよく、望ましくは１λ以下にする。なお、図２にダミー電極４２を例に示したように、ダミー電極の先端部を電極指の接続部に接続してもよい。また、ダミー電極の先端部に設けた電極指部（例えば、電極指部４３）は、対応する位置に形成したダミー電極（例えば、ダミー電極４２ｂ）を真っ直ぐに伸ばして形成してもよい。

図３は、第２実施の形態に係る弾性表面波素子片の電極部の平面図である。この実施形態に係る弾性表面波素子は、入力側ＩＤＴ１４と、出力側ＩＤＴ１６とが弾性表面波の伝播方向に形成してある。各ＩＤＴ１４、１６は、それぞれ一対の櫛型電極６２（６２ａ、６２ｂ）、６４（６４ａ、６４ｂ）によってすだれ状に形成してある。各櫛型電極６２、６４の電極指６６、６８、７０、７２は、それぞれ弾性表面波の伝播方向と直交した方向に沿って６つの直線部を有している。各電極指６６、６８、７０、７２の直線部は、千鳥状に配置してあり、隣接した直線部同士が斜めに折り曲げて形成した接続部によって接続してある。したがって、ＩＤＴ１４、１６は、交差幅Ｂ２１〜Ｂ２６を有する６つのトラック８１〜８６が形成してある。これらのトラックの交差幅Ｂ２１〜Ｂ２６は、同じに形成してある。

また、櫛型電極６２ｂと櫛型電極６４ａとの一部の電極指は、直線部が３つだけとなっている。このため、第１トラックユニット９０を構成しているトラック８１〜８３においては、入力側ＩＤＴ１４の電極指の対数が出力側ＩＤＴ１６の電極指の対数より少なくなっている。そして、第２トラックユニット９２を構成しているトラック８４〜８６においては、逆に入力側ＩＤＴ１４の電極指の対数が出力側ＤＴ１６の電極指の対数より多くなっている。ただし、第１トラックユニット９０を構成している各トラック８１〜８３のそれぞれにおける電極指の対数と、第２トラックユニット９２を構成している各トラック８３〜８６のそれぞれにおける電極指の対数とが等しくなっている。さらに、電極指の少ない櫛型電極６２ａと櫛型電極６４ｂとには、ダミー電極９４ａ、９４ｂが設けてある。そして、ダミー電極９４ａは、先端側に３つの直線部からなる電極指部９６、９７が設けてある。他の構成は、第１実施形態と同様となっている。

このようになっている第２実施形態においても、前記と同様の効果を得ることができる。また、第２実施形態の弾性表面波素子片は、直線部の数を６つにすることによって、各トラック８１〜８６の交差幅の総和（Ｂ２１＋Ｂ２２＋Ｂ２３＋Ｂ２４＋Ｂ２５＋Ｂ２６）からなるトータル交差幅を大きくすることができ、負荷インピーダンスをより小さくすることができる。また、トータル交差幅を第１実施形態と同じにした場合に、各トラックの交差幅Ｂ２１〜Ｂ２６を第１実施形態の各交差幅Ｂ１１、Ｂ１２より小さくすることができ、横モードによるスプリアスを設計周波数からさらに遠ざけることができる。しかも、第２実施形態は、同一の電極指に形成した６つの直線部が千鳥状に配置してあるため、ＩＤＴ１４、１６の弾性表面波の伝播方向における幅を小さくすることができ、素子の小型化を図ることができる。なお、直線部は、千鳥状に配置しなくともよい。また、直線部は、第１トラックユニットと第２トラックユニットとを対称に形成できる偶数であればいくつでもよい。

本発明の第１実施形態に係る弾性表面波素子片の平面図である。 他の実施形態に係るダミー電極の説明図である。 第２実施形態に係る電極部の平面図である。 入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴとの電極指の対数が同じときのスプリアスの説明図である。 入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴとの電極指の対数が異なるときのスプリアスの説明図である。

符号の説明

１０………弾性表面波素子片、１２………圧電基板、１４………入力側ＩＤＴ、１６………出力側ＩＤＴ、１８ａ、１８ｂ、２０ａ、２０ｂ………櫛型電極、２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ………バスバー、２６、２８、３０、３２………電極指、２６ａ、２６ｂ、２８ａ、２８ｂ………直線部、２６ｃ、２８ｃ………接続部、３０ａ、３０ｂ、３２ａ、３２ｂ………直線部、３０ｃ、３２ｃ………接続部、３４………反射器、３８………第１トラック、４０………第２トラック、４２ａ、４２ｂ、４４ａ、４４ｂ………ダミー電極、４３、４５………電極指部、６２ａ、６２ｂ、６４ａ、６４ｂ………櫛型電極、６６、６８、７０、７２………電極指、８１〜８６………トラック、９０………第１トラックユニット、９２………第２トラックユニット、９４ａ、９４ｂ………ダミー電極、９６、９７………電極指部。

Claims (10)

1. 圧電基板の弾性表面波の伝播方向に入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極とを備えた弾性表面波素子片であって、
   前記各すだれ状電極の電極指は、前記弾性表面波の伝播方向と直交した複数の直線部と、前記各直線部間に折り曲げて形成され、前記各直線部を相互に接続した接続部とを有し、
   前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との対応する直線部からなるトラック内において、前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との前記電極指の対数を異ならせた、
   ことを特徴とする弾性表面波素子片。
2. 請求項１に記載の弾性表面波素子片において、
   １以上の前記トラックからなる第１トラックユニットと、前記第１トラックユニットと同数の前記トラックからなる第２トラックユニットの間において、前記入力側すだれ状電極の前記電極指の対数と、前記出力側すだれ状電極の前記電極指の対数との和が同じである、
   ことを特徴とする弾性表面波素子片。
3. 請求項１または２に記載の弾性表面波素子片において、
   複数の前記電極指の一部は前記直線部の数を少なく形成し、前記入力側すだれ状電極と前記出力側すだれ状電極との前記電極指の対数を異ならせた、
   ことを特徴とする弾性表面波素子片。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載の弾性表面波素子片において、
   同一の前記トラック内における前記電極指に対数の少ない前記すだれ状電極は、前記トラック内にダミー電極を有し、
   対をなす前記電極指の数と前記ダミー電極の数との和が、前記電極指の対数の多い前記すだれ状電極の前記電極指の数と同じである、
   ことを特徴とする弾性表面波素子片。
5. 請求項４に記載の弾性表面波素子片において、
   前記ダミー電極は、基端部が前記電極指の基端部を相互に接続したバスバーに接続してあることを特徴とする弾性表面波素子片。
6. 請求項５に記載の弾性表面波素子片において、
   前記ダミー電極の一部は、前記直線部の数の少ない前記電極指と対をなす電極指部を先端部に有していることを特徴とする弾性表面波素子片。
7. 請求項４ないし６のいずれかに記載の弾性表面波素子片において、
   前記ダミー電極は、先端が前記ダミー電極を設けた前記すだれ状電極の前記電極指の前記接続部に接続してあることを特徴とする弾性表面波素子片。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載の弾性表面波素子片において
   同一の前記電極指に形成した前記各直線部は、隣接した前記直線部に対する前記弾性表面波の伝播方向の位置が、両者間の距離をＬ１、前記電極指の形成ピッチをλとしたときに、３λ／８≦Ｌ１≦５λ／８ずれていることを特徴とする弾性表面波素子片。
9. 請求項１ないし８のいずれかに記載の弾性表面波素子片において、
   前記圧電基板は、前記入力側すだれ状電極と出力側すだれ状電極とを挟む位置に反射器を有していることを特徴とする弾性表面波素子片。
10. 請求項１ないし９のいずれかに記載の弾性表面波素子片を備えたことを特徴とする弾性表面波デバイス。

Images