JP2009088908A - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電基板10のIDT電極が形成された対向面14に、空間13を設けてパッケージ基板20が接合されている。圧電基板10の対向面14の周縁に沿って形成された接地パッドとその内側に形成された入出力電極とは、パッケージ基板20の対向面22に対応して形成された接地電極と入出力電極とに接続されている。パッケージ基板20の圧電基板10とは反対側面24に、貫通導体28を介して入出力電極と接続された入出力用電極パターンと、反対側面24の周縁まで延在する接地用電極パターン42とが形成されている。圧電基板10の上面12及び側面16とパッケージ基板20の側面26とを覆うように形成された導電性膜60が、接地用電極パターン42と接地電極とに電気的に接続されている。
【選択図】図1
Description
前記パッケージ基板の前記一方主面において、前記接地パッド及び前記入出力パッドにそれぞれ対応して形成された接地電極及び入出力電極と、(d)前記接地パッド及び前記入出力パッドと前記接地電極及び前記入出力電極との間にそれぞれ配置され、前記接地パッド及び前記入出力パッドと前記接地電極及び前記入出力電極とをそれぞれ電気的に接続する導電性接着材と、(e)前記パッケージ基板の他方主面において当該他方主面の周縁まで延在するように形成された接地用電極パターンと、(f)前記パッケージ基板の前記他方主面において前記入出力電極に対応して形成された入出力用電極パターンと、(g)前記パッケージ基板を貫通し、前記パッケージ基板の前記一方主面に形成された前記入力電極と前記パッケージ基板の前記他方主面に形成された前記入出力用電極パターンとを電気的に接続する貫通導体と、(h)前記圧電基板の前記他方主面と、前記圧電基板の前記一方主面と前記他方主面との間に延在する側面と、前記パッケージ基板の前記一方主面と前記他方主面との間に延在する側面とを覆うように形成され、前記パッケージ基板の前記一方主面に形成された前記接地電極と前記パッケージ基板の前記他方主面に配設された前記接地用電極パターンとに電気的に接続された導電性膜と、(i)前記パッケージ基板の前記他方主面を被覆し、前記パッケージ基板の前記他方主面に形成された前記入出力用電極パターンと前記接地用電極パターンとが外部に露出する開口を有する、誘電体又は絶縁体の被覆層とを備える。
10 圧電基板
12 上面(他方主面)
14 下面(一方主面)
16 側面
20 パッケージ基板
22 上面(一方主面)
24 下面(他方主面)
25 周縁
26 側面
28 ビア(貫通導体)
30a,30b,30c 入出力電極
32a,32b,32c 入出力用電極パターン
32x,32y,32z 外部入出力電極
40 接地電極
42 接地用電極パターン
42x,42y 外部接地電極
50 被覆層
50a,50b,50c,50d,50e 開口
60 導電性膜
Claims (4)
- 空間を設けて互いに対向する一方主面をそれぞれ有する圧電基板及びパッケージ基板と、
前記圧電基板の前記一方主面において当該一方主面の周縁に沿って形成された接地パッドと、
前記圧電基板の前記一方主面において前記接地パッドより内側に形成された、IDT電極及び入出力パッドを含む導体パターンと、
前記パッケージ基板の前記一方主面において、前記接地パッド及び前記入出力パッドにそれぞれ対応して形成された接地電極及び入出力電極と、
前記接地パッド及び前記入出力パッドと前記接地電極及び前記入出力電極との間にそれぞれ配置され、前記接地パッド及び前記入出力パッドと前記接地電極及び前記入出力電極とをそれぞれ電気的に接続する導電性接着材と、
前記パッケージ基板の他方主面において当該他方主面の周縁まで延在するように形成された接地用電極パターンと、
前記パッケージ基板の前記他方主面において前記入出力電極に対応して形成された入出力用電極パターンと、
前記パッケージ基板を貫通し、前記パッケージ基板の前記一方主面に形成された前記入力電極と前記パッケージ基板の前記他方主面に形成された前記入出力用電極パターンとを電気的に接続する貫通導体と、
前記圧電基板の前記他方主面と、前記圧電基板の前記一方主面と前記他方主面との間に延在する側面と、前記パッケージ基板の前記一方主面と前記他方主面との間に延在する側面とを覆うように形成され、前記パッケージ基板の前記一方主面に形成された前記接地電極と前記パッケージ基板の前記他方主面に配設された前記接地用電極パターンとに電気的に接続された導電性膜と、
前記パッケージ基板の前記他方主面を被覆し、前記パッケージ基板の前記他方主面に形成された前記入出力用電極パターンと前記接地用電極パターンとが外部に露出する開口を有する、誘電体又は絶縁体の被覆層と、
を備えたことを特徴とする、弾性波装置。 - 前記接地用電極パターンは、前記パッケージ基板の前記他方主面から前記パッケージ基板の前記側面に延長されていることを特徴とする、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記パッケージ基板の前記側面に溝が形成され、該溝内に側面電極が形成され、
前記側面電極は前記接地用電極パターンと電気的に接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記圧電基板の前記一方主面を伝搬する弾性表面波を利用することを特徴とする、請求項1に記載の弾性波装置
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111355465A (zh) * | 2018-12-20 | 2020-06-30 | 厦门市三安集成电路有限公司 | 包含弹性波器件的模块 |
US11948854B2 (en) | 2018-11-14 | 2024-04-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component and electronic component module including the same |
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2007
- 2007-09-28 JP JP2007255045A patent/JP5082726B2/ja active Active
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CN111355465B (zh) * | 2018-12-20 | 2023-06-23 | 厦门市三安集成电路有限公司 | 包含弹性波器件的模块 |
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