CN107005227B - 弹性波装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够谋求小型化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)；IDT电极(6)，设置在压电基板(2)上，具有多根第一电极指、第二电极指和第一汇流条、第二汇流条(6a2、6b2)；电容电极(8)，具有多根第三电极指、第四电极指和第三汇流条、第四汇流条；绝缘膜(9)，层叠在电容电极(8)；第一布线(14)，具有隔着绝缘膜(9)与电容电极(8)对置的第一部分(14b)；以及第二布线(15)，对第一汇流条(6a2)和第三汇流条进行连接。电容电极(8)在声表面波的传播方向上配置在IDT电极(6)的侧方。

Description

弹性波装置
技术领域
本发明涉及弹性波装置。
背景技术
以往，弹性波装置广泛用于便携式电话机等。
在下述的专利文献1中，公开了一种具有使用了梳齿状电极的电容部的声表面波装置。梳齿状电极的多根电极指与IDT电极连成一排，并形成在压电基板上，且隔着电介质膜与公共电极对置。由此，构成了电容部。
在下述的专利文献2中，公开了一种具有由一对梳齿状电极构成的电容部的滤波器。专利文献2的滤波器具有纵向耦合谐振器型弹性波滤波器以及电抗元件。在纵向耦合谐振器型弹性波滤波器和电抗元件的连接点与接地电位之间，连接有上述电容部。电容部的电极指延伸的方向设为与纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的IDT电极的电极指延伸的方向垂直。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开昭63-86912号公报
专利文献2：日本特表2010-512077号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，专利文献1的构成电容部的多根电极指在与上述IDT电极的电极指相同的方向上延伸。因此，会由电容部的多根电极指激励无用的波。因此，滤波器特性等劣化。
近年来，要求弹性波装置的小型化。然而，在专利文献2的滤波器中，与设置电容部相应地，面积增大。因此，难以小型化。
本发明的目的在于，提供一种能够谋求小型化的弹性波装置。
用于解决课题的技术方案
本发明涉及的弹性波装置具备：压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板上，具有彼此相互交替插入的多根第一电极指和多根第二电极指、共同连接了所述多根第一电极指的一端的第一汇流条、以及共同连接了所述多根第二电极指的一端的第二汇流条；电容电极，具有彼此相互交替插入的多根第三电极指和多根第四电极指、共同连接了所述多根第三电极指的一端的第三汇流条、以及共同连接了所述多根第四电极指的一端的第四汇流条；绝缘膜，层叠在所述电容电极；第一布线，具有隔着所述绝缘膜与所述电容电极对置的部分；以及第二布线，对所述第一汇流条和所述第三汇流条进行连接，所述电容电极在声表面波的传播方向上配置在所述IDT电极的侧方。
在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的局面中，还具备对所述第二汇流条和所述第四汇流条进行连接的第三布线。在该情况下，所述电容电极与所述IDT电极并联地连接。由此，能够对IDT电极附加静电电容。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述第四汇流条与接地电位连接。在该情况下，能够在所述IDT电极与接地电位之间赋予静电电容。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述第一布线与所述第四汇流条连接。在该情况下，能够在所述IDT电极与接地电位之间赋予更大的静电电容。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述电容电极配置为，所述第三电极指、所述第四电极指的交叉宽度方向与所述第一电极指、所述第二电极指的交叉宽度方向不平行。在该情况下，能够有效地减小在电容电极中激励的声表面波对所述IDT电极的影响。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述电容电极配置为，所述第三电极指、所述第四电极指的交叉宽度方向与所述第一电极指、所述第二电极指的交叉宽度方向正交。在该情况下，能够更加有效地减小在电容电极中激励的声表面波对所述IDT电极的影响。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述第一布线的与所述电容电极对置的部分设置在所述压电基板上。在该情况下，因为在上表面平坦的第一布线上层叠了所述绝缘膜，所以所述绝缘膜的上表面也是平坦的。因此，能够容易地设置电容电极。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述电容电极设置在所述压电基板上。在该情况下，能够容易地设置电容电极。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述绝缘膜由不具有压电性的绝缘材料构成。在该情况下，即使在电容电极上设置绝缘膜，绝缘膜的上表面也是平坦的。由此，能够在绝缘膜上容易地设置第一布线。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述弹性波装置是具有至少一个串联臂谐振器以及至少一个并联臂谐振器的梯型滤波器，所述串联臂谐振器以及并联臂谐振器中的至少一个具有所述IDT电极。在该情况下，能够通过所述电容电极对串联臂谐振器以及并联臂谐振器中的至少一个赋予静电电容，从而有效地提高通带的端部的高频侧以及低频侧中的至少一方的端部附近的陡峭性。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够谋求小型化的弹性波装置。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
图2是示出在本发明的第一实施方式中在压电基板上设置了第一导电材料层的状态的简图式俯视图。
图3是示出在本发明的第一实施方式中在图2所示的第一导电材料层上设置了绝缘膜的状态的简图式俯视图。
图4是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的简图式俯视图。
图5是在本发明的第一实施方式中使用的串联臂谐振器的俯视图。
图6是第一比较例的弹性波装置的简图式俯视图。
图7是本发明的第二实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
图8是示出在本发明的第二实施方式中在压电基板上设置了第一导电材料层的状态的简图式俯视图。
图9是示出在本发明的第二实施方式中在图8所示的第一导电材料层上设置了绝缘膜的状态的简图式俯视图。
图10是本发明的第二实施方式涉及的弹性波装置的简图式俯视图。
图11是第二比较例的弹性波装置的简图式俯视图。
图12是沿着图4中的A-A线的弹性波装置的剖视图。
图13是本发明的第三实施方式涉及的弹性波装置的配置有电容电极的部分的部分剖视图。
图14是本发明的第四实施方式涉及的弹性波装置的配置有电容电极的部分的部分剖视图。
图15是本发明的第四实施方式的变形例的弹性波装置的配置有电容电极的部分的部分剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而明确本发明。
另外，需要指出的是，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或组合。
图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
弹性波装置1是梯型滤波器。弹性波装置1具有连接在输入端子3与输出端子4之间的串联臂谐振器S1、S2。在串联臂谐振器S1和串联臂谐振器S2之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器P1。在串联臂谐振器S2和输出端子4之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器P2。在串联臂谐振器S2并联地连接有电容部18。另外，电容部18具有后述的电容电极、绝缘膜、以及隔着绝缘膜与电容电极对置的第一布线。并联臂谐振器P1通过上述第一布线与接地电位连接。
以下，使用图2～图5，对本实施方式的更具体的结构进行说明。
图4是本实施方式涉及的弹性波装置的简图式俯视图。图2以及图3是示出本实施方式的弹性波装置的制造工序的中途的阶段的构造的图。更具体地，图2是示出在压电基板上设置了后述的第一导电材料层的状态的简图式俯视图。图3是示出在图2所示的第一导电材料层上设置了绝缘膜的状态的简图式俯视图。
如图2～图4所示，弹性波装置1具有压电基板2。压电基板2由LiNbO3、LiTaO3等的压电单晶构成。另外，压电基板2也可以由压电陶瓷构成。
在压电基板2上，构成了串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2。在串联臂谐振器S2的侧方设置有电容电极8。串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2通过连接布线17进行连接。另外，在本说明书中，通过矩形以及在该矩形中绘制了两条对角线的简图表示串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2。
图5是串联臂谐振器S2的俯视图。
在压电基板2上设置有IDT电极6。IDT电极6具有多根第一电极指6a1、多根第二电极指6b1以及第一汇流条6a2、第二汇流条6b2。多根第一电极指6a1和多根第二电极指6b1在交叉宽度方向上彼此相互交替插入。多根第一电极指6a1的一端共同连接到第一汇流条6a2。多根第二电极指6b1的一端共同连接到第二汇流条6b2。
在IDT电极6的声表面波的传播方向的两侧，分别设置有反射器7。由此，构成了分别具有一个输入端子和一个输出端子的作为单端口型的弹性波谐振器的串联臂谐振器S2。串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1、P2也具有与串联臂谐振器S2同样的结构。
返回到图2，电容电极8由一对梳齿状电极构成。一个梳齿状电极具有多根第三电极指8a1。多根第三电极指8a1的一端共同连接到第三汇流条8a2。另一个梳齿状电极具有多根第四电极指8b1。多根第四电极指8b1的一端共同连接到第四汇流条8b2。多根第三电极指8a1和多根第四电极指8b1在交叉宽度方向上彼此相互交替插入。
如上所述，电容电极8设置在串联臂谐振器S2的声表面波的传播方向的侧方。串联臂谐振器S2在串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2之中配置在与电容电极8距离最近的位置。串联臂谐振器S2的第一汇流条6a2和电容电极8的第三汇流条8a2通过第二布线15进行连接。串联臂谐振器S2的第二汇流条6b2和电容电极8的第四汇流条8b2通过第三布线16进行连接。因此，电容电极8与串联臂谐振器S2并联地连接。
电容电极8配置为，电容电极8的第三电极指8a1、第四电极指8b1与串联臂谐振器S2的第一电极指6a1、第二电极指6b1正交。
图2示出了在压电基板2上设置了第一导电材料层的状态。第一导电材料层是设置在压电基板2上的第二布线15、第三布线16、电容电极8以及连接布线17。使用图5说明的串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2的多个IDT电极以及多个反射器也是第一导电材料层。在设置第一导电材料层时，例如通过CVD法、溅射法等对金属膜进行成膜。接着，通过光刻法等对金属膜进行图案化。
如图3所示，在电容电极8上以及第二布线、第三布线上，层叠有绝缘膜9。在本实施方式中，绝缘膜9由SiO2构成。另外，绝缘膜9也可以由SiO2以外的无机氧化膜构成，还可以由SiN等无机氮化膜构成。在形成绝缘膜9时，例如通过CVD法、溅射法等在整个面形成绝缘膜。接着，通过光刻法等对绝缘膜进行图案化。另外，本实施方式的绝缘膜9也可以设置在第一导电材料层的整个面。由此，能够使弹性波装置1难以破损。
如图4所示，在压电基板2上设置有输入端子3、输出端子4、与接地电位连接的接地端子5以及第一布线14。第一布线14对并联臂谐振器P1和接地端子5进行连接。第一布线14的一部分设置在绝缘膜9上。
另外，在图4中，在压电基板2上、绝缘膜9上以及第一导电材料层上设置有第二导电材料层。输入端子3、输出端子4、接地端子5以及第一布线14是设置在压电基板2以及绝缘膜9上的第二导电材料层。在第一导电材料层中的各IDT电极的各汇流条以及连接布线17上，也设置有第二导电材料层。由此，能够降低电阻。
设置在绝缘膜9上的作为第一布线14的一部分的第一部分14b隔着绝缘膜9与电容电极8对置。由此，构成了电容部18。
在设置第二导电材料层时，例如通过CVD法、溅射法等对金属膜进行成膜。接着，通过光刻法等对金属膜进行图案化。
本实施方式的特征在于，电容电极8隔着绝缘膜9与第一布线14在厚度方向上对置。由此，能够使弹性波装置变得小型。以下对此进行说明。
图6是第一比较例的弹性波装置的简图式俯视图。
在第一比较例中，第一布线74的所有部分设置在压电基板72上。电容电极8和第一布线74配置在压电基板72上。因此，弹性波装置71的面积增大。
相对于此，如图2～图4所示，在本实施方式中，第一布线14的第一部分14b与电容电极8隔着绝缘膜9在厚度方向上相互对置。第一布线14与第二布线15、第三布线16也隔着绝缘膜9对置。由此，能够减小第一布线14设置在压电基板2上的面积。因此，能够使弹性波装置1变得小型。
另外，绝缘膜9只要至少设置在电容电极8的第三电极指8a1、第四电极指8b1上即可。
电容部18与串联臂谐振器S2并联地连接。电容部18具有电容电极8、设置在电容电极8上的绝缘膜9、以及隔着绝缘膜9与电容电极8对置的第一布线14。由此，在电容部18中，对电容电极8进一步附加了静电电容。因此，能够有效地增大对串联臂谐振器S2附加的静电电容。通过由该电容部18附加静电电容，从而能够使串联臂谐振器S2的反谐振点向低频侧移动。因此，能够有效地提高弹性波装置1的通带中的高频侧的端部附近的陡峭性。
在本实施方式中，在电容部18中，对电容电极8进一步附加了静电电容。因此，例如在得到与第一比较例的电容部58同等的静电电容的情况下，能够减小本实施方式的电容电极8的面积。因此，能够使弹性波装置1变得更加小型。
电容电极8配置为，第三电极指8a1、第四电极指8b1与串联臂谐振器S2的第一电极指6a1、第二电极指6b1正交。因此，在电容电极8中激励的声表面波的传播方向与在串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2中激励的声表面波的传播方向正交。因此，在电容电极8中激励的声表面波与在串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2中激励的声表面波难以发生干扰。因此，能够有效地减小在电容电极8中激励的声表面波对串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2的影响。
另外，电容电极只要配置为将第三电极指、第四电极指延长的线与将串联臂谐振器以及并联臂谐振器的第一电极指、第二电极指延长的线交叉即可。由此，也能够减小在电容电极中激励的声表面波对串联臂谐振器以及并联臂谐振器的影响。可是，优选为，像本实施方式这样，将电容电极8配置为，电容电极8的第三汇流条8a2、第四汇流条8b2与串联臂谐振器S2的第一汇流条6a2、第二汇流条6b2正交。
电容电极8配置在串联臂谐振器S2的侧方。由此，能够使第一布线14延伸的方向与电容电极8的第三汇流条8a2、第四汇流条8b2延伸的方向平行。因此，能够使第三汇流条8a2、第四汇流条8b2的长度变长。由此，能够在不改变各第三电极指8a1与各第四电极指8b1之间的距离的情况下增加第三电极指8a1、第四电极指8b1的对数。因此，能够增大电容电极8与第一布线14相互对置的部分的面积。因此，能够有效地增大电容部18的静电电容。
进而，通过使第三汇流条8a2、第四汇流条8b2的长度变长，并增加第三电极指8a1、第四电极指8b1的对数，从而能够增大第三电极指8a1、第四电极指8b1的交叉部的面积。因此，也能够有效地增大电容电极8的静电电容。
也可以使电容电极8的第三汇流条8a2、第四汇流条8b2的长度变长，并增加第三电极指8a1、第四电极指8b1的对数，并且缩短第三电极指8a1、第四电极指8b1的交叉部的长度。由此，能够在不减小电容电极8的静电电容的情况下有效地减小电阻。进而，还能够谋求弹性波装置的小型化。
图7是本发明的第二实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
在弹性波装置21中，与第一实施方式的不同点在于，在并联臂谐振器P1并联地连接有电容部28。在上述以外的方面，第二实施方式具有与第一实施方式同样的结构。
接着，使用图8～图10，对第二实施方式的更具体的结构进行说明。
图10是本实施方式涉及的弹性波装置的简图式俯视图。图8以及图9是示出本实施方式的弹性波装置的制造工序的中途的阶段的构造的图。更具体地，图8是示出在压电基板上设置了第一导电材料层的状态的简图式俯视图。图9是示出在图8所示的第一导电材料层上设置了绝缘膜的状态的简图式俯视图。
如图10所示，在弹性波装置21中，串联臂谐振器S2的第二汇流条6b2与电容电极8的第四汇流条8b2未连接，第四汇流条8b2与接地端子5连接。第一布线24的一部分不仅设置在绝缘膜9上，还设置在第四汇流条8b2上。像这样，第一布线24与第四汇流条8b2连接。电容电极8和第一布线24隔着绝缘膜9相互对置。由此，构成了电容部28。
在此，在图11所示的第二比较例中，第一布线84的所有部分设置在压电基板72上。因为电容电极8和第一布线84配置在压电基板72上，所以弹性波装置81的面积大。
相对于此，如图8～图10所示，在本实施方式中，第一布线24隔着绝缘膜9与电容电极8对置，并且设置在第四汇流条8b2上。由此，能够减小第一布线24设置在压电基板2上的部分的面积。因此，能够使弹性波装置21变得小型。
如上所述，电容部28与并联臂谐振器P1并联地连接。电容部28具有电容电极8、设置在电容电极8上的绝缘膜9、以及隔着绝缘膜9与电容电极8对置的第一布线24。由此，在电容部28中，对电容电极8进一步附加了静电电容。因此，能够有效地增大对并联臂谐振器P1附加的静电电容。通过由该电容部28附加静电电容，从而能够使并联臂谐振器P1的反谐振点向低频侧移动。因此，能够通过调整并联臂谐振器P1的频率而有效地提高弹性波装置21的通带中的低频侧的端部附近的陡峭性。
在本实施方式中，也与第一实施方式同样地，在电容部28中对电容电极8进一步附加了静电电容。因此，能够减小电容电极8的面积。因此，能够使弹性波装置21变得小型。
接着，使用图12以及图13对第三实施方式进行说明。
图12是沿着图4中的A-A线的弹性波装置的剖视图。图13是第三实施方式涉及的弹性波装置的配置有电容电极的部分的部分剖视图。
如图12所示，在第一实施方式中，绝缘膜9追随由压电基板2上的电容电极8的第三电极指8a1、第四电极指8b1造成的凹凸形状。由此，绝缘膜9的上表面9a也成为凹凸形状。如上所述，绝缘膜9由SiO2构成。
在图13所示的第三实施方式中，绝缘膜39由聚酰亚胺构成。另外，绝缘膜39也可以由聚酰亚胺以外的树脂等不具有压电性的绝缘材料构成。除上述的方面以外，第三实施方式具有与第一实施方式同样的结构。
另外，在本实施方式中，绝缘膜39设置在电容电极8上，并且未设置在串联臂谐振器上以及并联臂谐振器上。
在第三实施方式中，因为绝缘膜39由树脂构成，所以绝缘膜39不追随由压电基板2上的电容电极8的第三电极指8a1、第四电极指8b1造成的凹凸形状。因此，能够使绝缘膜39的上表面39a为平坦的形状。因此，能够在绝缘膜39的上表面39a容易地设置第一布线14。因此，能够有效地提高生产率。
与第一实施方式同样地，在本实施方式中，也在压电基板2上设置第一导电材料层，然后设置绝缘膜39。绝缘膜39例如能够通过印刷、光刻法等进行设置。
在设置了绝缘膜39之后，与第一实施方式同样地，设置第二导电材料层。另外，优选在设置了第二导电材料层之后，在第一布线14上以及第一导电材料层上形成由SiO2等构成的保护膜。由此，能够使弹性波装置难以破损。
图14是第四实施方式涉及的弹性波装置的配置有电容电极的部分的部分剖视图。
在第四实施方式中，与第一实施方式的不同点在于，第一布线44的整体设置在压电基板2上，电容电极48的一部分未设置在压电基板2上。除上述的方面以外，本实施方式具有与第一实施方式同样的结构。
在设置在压电基板2上的第一布线44上，设置有由SiO2等构成的绝缘膜49。在绝缘膜49上设置有电容电极48。即，在本实施方式中，第一布线44是与各IDT电极以及反射器同时设置的第一导电材料层。电容电极48是与输入端子、输出端子以及接地端子同时设置的第二导电材料层。作为第一布线44的一部分的第一部分44b和电容电极48隔着绝缘膜49相互对置。
通过第一布线44的第一部分44b和电容电极48隔着绝缘膜49相互对置，从而形成了电容部58。因此，能够得到与第一实施方式同样的效果。
因为第一布线44的上表面44a是平坦的，所以设置在第一布线44上的绝缘膜49的上表面49a也是平坦的。因此，能够将电容电极48容易地设置在绝缘膜49的上表面49a。因此，能够有效地提高生产率。
如图15所示的变形例那样，绝缘膜69也可以由聚酰亚胺、聚酰亚胺以外的树脂等不具有压电性的绝缘材料构成。在该情况下，也能够得到与第四实施方式同样的效果。
在第一实施方式～第四实施方式中，对弹性波装置为梯型滤波器的情况进行了说明，但是本发明中的弹性波装置也可以是单端口型的谐振器。本发明中的弹性波装置不限于声表面波装置，也可以是声边界波装置。
附图标记说明
1：弹性波装置；
2：压电基板；
3：输入端子；
4：输出端子；
5：接地端子；
6：IDT电极；
6a1、6b1：第一电极指、第二电极指；
6a2、6b2：第一汇流条、第二汇流条；
7：反射器；
8：电容电极；
8a1、8b1：第三电极指、第四电极指；
8a2、8b2：第三汇流条、第四汇流条；
9：绝缘膜；
9a：上表面；
14：第一布线；
14b：第一部分；
15：第二布线；
16：第三布线；
17：连接布线；
18：电容部；
21：弹性波装置；
24：第一布线；
28：电容部；
39：绝缘膜；
39a：上表面；
44：第一布线；
44a：上表面；
44b：第一部分；
48：电容电极；
49：绝缘膜；
49a：上表面；
58：电容部；
69：绝缘膜；
71：弹性波装置；
72：压电基板；
74：第一布线；
81：弹性波装置；
84：第一布线；
S1、S2：串联臂谐振器；
P1、P2：并联臂谐振器。

Claims (8)

1.一种弹性波装置，具备：
压电基板；
IDT电极，设置在所述压电基板上，具有彼此相互交替插入的多根第一电极指和多根第二电极指、共同连接了所述多根第一电极指的一端的第一汇流条、以及共同连接了所述多根第二电极指的一端的第二汇流条；
电容电极，具有彼此相互交替插入的多根第三电极指和多根第四电极指、共同连接了所述多根第三电极指的一端的第三汇流条、以及共同连接了所述多根第四电极指的一端的第四汇流条；
绝缘膜，层叠在所述电容电极；
第一布线，具有隔着所述绝缘膜与所述电容电极对置的部分；以及
第二布线，对所述第一汇流条和所述第三汇流条进行连接，
所述电容电极在声表面波的传播方向上配置在所述IDT电极的侧方，
所述第四汇流条与接地电位连接，
所述第一布线的一部分不隔着绝缘膜与所述第四汇流条层叠。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
还具备：第三布线，对所述第二汇流条和所述第四汇流条进行连接。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
所述电容电极配置为，所述第三电极指、所述第四电极指的交叉宽度方向与所述第一电极指、所述第二电极指的交叉宽度方向不平行。
4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，
所述电容电极配置为，所述第三电极指、所述第四电极指的交叉宽度方向与所述第一电极指、所述第二电极指的交叉宽度方向正交。
5.根据权利要求1、2以及4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述第一布线的与所述电容电极对置的部分设置在所述压电基板上。
6.根据权利要求1、2以及4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述电容电极设置在所述压电基板上。
7.根据权利要求1、2以及4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述绝缘膜由不具有压电性的绝缘材料构成。
8.根据权利要求1、2以及4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置是具有至少一个串联臂谐振器以及至少一个并联臂谐振器的梯型滤波器，
所述串联臂谐振器以及并联臂谐振器中的至少一个具有所述IDT电极。
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