CN107005225B - 弹性波装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在通带内难以产生脉动的弹性波装置。弹性波装置(1)是具有压电膜(6)的弹性波装置(1)，具备：高音速构件，所传播的体波音速与在压电膜(6)中传播的主模的弹性波音速相比为高速；压电膜(6)，直接或间接地层叠在高音速构件上；第一导电膜，设置在压电膜(6)上；以及第二导电膜，设置在压电膜(6)上以及第一导电膜的至少一部分上。在压电膜(6)上设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极(8)，由第一导电膜构成多个IDT电极(8)的至少电极指，由第二导电膜构成对多个IDT电极(8)之间进行连接的连接布线的至少一部分。

Description

弹性波装置
技术领域
本发明涉及弹性波装置。
背景技术
以往，弹性波装置广泛用于便携式电话机等。
例如，在下述的专利文献1记载的弹性波滤波器具有依次层叠了高音速膜、由绝缘体构成的低音速膜以及压电膜的层叠体。在压电膜上，设置有IDT电极。
另外，在高音速膜中传播的体波音速与在压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速。在低音速膜中传播的体波音速与在压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为低速。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2012/086639号
发明内容
发明要解决的课题
但是，在专利文献1记载的弹性波滤波器中，压电膜的厚度薄，进而在压电膜下设置有由绝缘体构成的低音速膜，因此在压电膜上形成IDT电极的工序中，电荷会滞留，有时会在IDT电极的电极指与汇流条之间等产生浪涌击穿。因此，有时会在弹性波滤波器的通带内产生脉动。脉动的产生频率、大小也往往存在偏差。
本发明的目的在于，提供一种在通带内难以产生脉动的弹性波装置。
用于解决课题的技术方案
本发明涉及的弹性波装置是具有压电膜的弹性波装置，其具备：高音速构件，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速；所述压电膜，直接或间接地层叠在所述高音速构件上；第一导电膜，设置在所述压电膜上；以及第二导电膜，设置在所述压电膜上以及所述第一导电膜的至少一部分上，在所述压电膜上，设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极，由所述第一导电膜构成所述多个IDT电极的至少所述电极指，由所述第二导电膜构成对所述多个IDT电极之间进行连接的连接布线的至少一部分。
在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的局面中，所述压电膜直接层叠在所述高音速构件上。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，在所述高音速构件与所述压电膜之间形成有密接层。在该情况下，能够提高高音速构件与压电膜的密接性。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，还具备低音速膜，所述低音速膜层叠在所述高音速构件上，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为低速，所述压电膜隔着所述低音速膜间接地层叠在所述高音速构件上。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述连接布线全部由所述第二导电膜构成。在该情况下，能够减小第一导电膜的面积。由此，能够使得难以产生IDT电极的浪涌击穿，从而能够使得在通带内难以产生脉动。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述连接布线具有由所述第一导电膜构成的第一布线部分，所述第一布线部分对所述IDT电极之间进行连接，所述弹性波装置还具备设置在所述第一布线部分上的绝缘膜，所述第二导电膜的一部分设置在所述绝缘膜上。在该情况下，能够构成隔着绝缘膜层叠了第一布线部分与第二导电膜的一部分的立体布线。由此，能够使弹性波装置变得小型。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，由所述第一导电膜构成所述电极指以及所述汇流条。在该情况下，能够同时设置电极指以及汇流条。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，由所述第一导电膜构成所述电极指，所述汇流条由所述第二导电膜构成，且所述汇流条与所述电极指的端部重叠。在该情况下，能够减小第一导电膜的面积。由此，能够使得难以产生IDT电极的浪涌击穿，从而能够使得在通带内难以产生脉动。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述高音速构件由高音速膜构成，所述弹性波装置还具备支承基板，所述支承基板设置在所述高音速膜的设置有所述低音速膜的面的相反侧的面。在该情况下，能够将能够有效地使弹性波的能量难以泄露的高音速构件设置在支承基板上。因而，能够有效地提高Q值。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述高音速构件由高音速基板构成。在该情况下，能够省去所述支承基板。因而，能够减少部件件数以及成本。因此，能够提高生产性。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述弹性波装置是具有串联臂谐振器以及并联臂谐振器的梯型滤波器，所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器中的至少一方具有所述多个IDT电极。在该情况下，能够使得在梯型滤波器的通带内难以产生脉动。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，弹性波装置是纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。在该情况下，能够使得在纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的通带内难以产生脉动。
本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述弹性波装置是具有第一带通型滤波器以及通带与所述第一带通型滤波器不同的第二带通型滤波器的双工器，其中，所述第一带通型滤波器以及所述第二带通型滤波器中的至少一方是按照本发明构成的弹性波装置。在该情况下，能够使得在双工器的第一带通型滤波器以及第二带通型滤波器中的至少一方的通带内难以产生脉动。
发明效果
根据本发明，能够提供一种在通带内难以产生脉动的弹性波装置。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
图2是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的简图式主视剖视图。
图3是本发明的第一实施方式中的串联臂谐振器的简图式俯视图。
图4是本发明的第一实施方式的变形例的弹性波装置的简图式主视剖视图。
图5是以简图方式示出在本发明的第一实施方式中的压电膜上设置了第一导电膜的状态的局部俯视图。
图6是以简图方式示出本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的局部俯视图。
图7是以简图方式示出在比较例中的压电膜上设置了第一导电膜的状态的局部俯视图。
图8是以简图方式示出比较例的弹性波装置的局部俯视图。
图9是示出本发明的第一实施方式以及比较例的通带中的弹性波装置的频率特性的图。
图10是以简图方式示出在本发明的第二实施方式中的压电膜上设置了第一导电膜的状态的局部俯视图。
图11是以简图方式示出本发明的第二实施方式涉及的弹性波装置的局部俯视图。
图12是以简图方式示出在本发明的第三实施方式中的压电膜上设置了第一导电膜的状态的局部俯视图。
图13是以简图方式示出本发明的第三实施方式涉及的弹性波装置的局部俯视图。
图14是本发明的第四实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
图15是示出本发明的第一实施方式中的IDT电极的变形例的简图式俯视图。
图16是示出弹性波装置中的LiTaO3的膜厚与Q值的关系的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而明确本发明。
另外，需要指出的是，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或组合。
图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
弹性波装置1是具有串联臂谐振器S1～S5以及并联臂谐振器P1～P4的梯型滤波器。在输入端子13与输出端子14之间，相互串联地连接有串联臂谐振器S1～S5。在串联臂谐振器S1与串联臂谐振器S2之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器P1。在串联臂谐振器S2与串联臂谐振器S3之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器P2。在串联臂谐振器S3与串联臂谐振器S4之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器P3。在串联臂谐振器S4与串联臂谐振器S5之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器P4。
以下，使用图2以及图3，对弹性波装置1的更具体的结构进行说明。
图2是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的简图式主视剖视图。
弹性波装置1具有支承基板2。支承基板2由Si构成。另外，支承基板2也可以由Si以外的材料构成。
在支承基板2上，层叠有接合膜3。接合膜3对支承基板2与后述的作为高音速构件的高音速膜4进行接合。接合膜3由SiO2构成。另外，关于接合膜3，只要是与支承基板2以及高音速膜4这两者的接合力高的材料，也可以由SiO2以外的材料构成。虽然未必一定要设置接合膜3，但是因为能够提高支承基板2与高音速膜4的接合力，所以优选设置有接合膜3。
在接合膜3上，层叠有高音速膜4。在高音速膜4中传播的体波音速与在后述的压电膜6中传播的主模的弹性波音速相比为高速。高音速膜4由SiN构成。另外，关于高音速膜4，只要是相对高音速的材料，例如，也可以由以氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮氧化硅、DLC膜或金刚石为主成分的材料等构成。
另外，体波的音速是材料固有的音速，存在在波的行进方向即纵向上振动的P波和在作为与行进方向垂直的方向的横向上振动的S波。上述体波在压电膜、高音速膜、低音速膜中都进行传播。在各向同性材料的情况下，存在P波和S波。在各向异性材料的情况下，存在P波、慢S波和快S波。而且，在使用各向异性材料激励了声表面波的情况下，作为两个S波而产生SH波和SV波。在本说明书中，所谓在压电膜中传播的主模的弹性波音速，是指P波、SH波以及SV波这三种模式中的为了得到作为滤波器的通带、作为谐振器的谐振特性而使用的模式。
在高音速膜4上，层叠有低音速膜5。在低音速膜5中传播的体波音速与在后述的压电膜6中传播的主模的弹性波音速相比为低速。低音速膜5由SiO2构成。另外，关于低音速膜5，只要是相对低音速的材料，例如也可以由以在玻璃、氮氧化硅、氧化钽或氧化硅中加入了氟、碳或硼的化合物为主成分的材料等构成。
在低音速膜5上，层叠有压电膜6。压电膜6由切角为50°的LiTaO3膜构成。另外，压电膜6的切角并不特别限定于上述值。压电膜6也可以由LiTaO3以外的例如LiNbO3等的压电单晶构成。或者，压电膜6也可以由压电陶瓷构成。
像这样，在支承基板2以及接合膜3上，设置有依次层叠了高音速膜4、低音速膜5以及压电膜6的层叠体7。在本实施方式中，支承基板2的厚度为200μm。接合膜3的厚度为1800nm。高音速膜4的厚度为1345nm。低音速膜5的厚度为670nm。压电膜6的厚度为600nm。另外，支承基板2、接合膜3、高音速膜4以及低音速膜5各自的厚度并不特别限定于上述值。
另一方面，在将由后述的IDT电极8的电极指间距决定的波长设为λ时，上述压电膜6的厚度优选为3.5λ以下。参照图16对此进行说明。图16是示出在由硅构成的高音速支承基板上层叠有由厚度为0.35λ的SiO2膜构成的低音速膜以及由欧拉角(0°，140.0°，0°)即切角为90°的LiTaO3构成的压电膜的构造中的、LiTaO3的膜厚与Q值的关系的图。根据图16明确可知，在LiTaO3的膜厚为3.5λ以下的情况下，与超过3.5λ的情况相比，Q值增高。因此，优选地，LiTaO3的膜厚为3.5λ以下。更优选为1.5λ以下。
在压电膜6上，设置有IDT电极8。IDT电极8是图1所示的串联臂谐振器S1的IDT电极。以下，作为代表例，对串联臂谐振器S1的结构进行说明。
图3是本发明的第一实施方式中的串联臂谐振器的简图式俯视图。另外，图3是省去了后述的保护膜的串联臂谐振器的简图式俯视图。
在IDT电极8的声表面波传播方向上的两侧，设置有反射器9。由此，构成了串联臂谐振器S1。
IDT电极8具有多根第一电极指8a1、多根第二电极指8b1以及第一汇流条8a2、第二汇流条8b2。多根第一电极指8a1和多根第二电极指8b1相互交替插入。多根第一电极指8a1的一端共同连接于第一汇流条8a2。多根第二电极指8b1的一端共同连接于第二汇流条8b2。IDT电极8还具有多根第一虚设电极8a3以及多根第二虚设电极8b3。多根第一虚设电极8a3的一端共同连接于第一汇流条8a2。多根第一虚设电极8a3与多根第二电极指8b1对置。多根第二虚设电极8b3的一端共同连接于第二汇流条8b2。多根第二虚设电极8b3与多根第一电极指8a1对置。另外，在本说明书中，将具有电极指和汇流条的要素总称为“IDT电极”。
IDT电极8是在Ti上层叠了含有1重量％的Cu而构成的Al-Cu合金的层叠体。Ti的厚度为12nm，Al-Cu合金的厚度为162nm。另外，IDT电极8也可以具有上述以外的层叠构造，或者也可以是单层。
如图2所示，在IDT电极8上设置有保护膜12。保护膜12由SiO2构成，厚度为25nm。另外，保护膜12也可以由SiO2以外的材料构成，厚度并不特别限定于上述值。虽然未必一定要设置保护膜12，但是因为能够使IDT电极8难以破损，所以优选设置有保护膜12。
串联臂谐振器S2～S5以及并联臂谐振器P1～P4与串联臂谐振器S1同样地具有IDT电极以及反射器。串联臂谐振器S1～S5以及并联臂谐振器P1～P4的IDT电极以及反射器由后述的第一导电膜构成。
可是，弹性波的能量集中于低音速的介质。在本实施方式中，因为依次层叠有高音速膜4、低音速膜5以及压电膜6，所以能够将弹性波的能量禁锢在低音速膜5以及压电膜6。因而，弹性波的能量难以泄漏到支承基板2侧。因此，能够提高Q值。
另外，也可以像图4所示的变形例那样，作为高音速构件，不使用高音速膜，而使用高音速基板54。高音速基板54例如由Si等构成。关于高音速基板54，只要所传播的体波音速与在压电膜6中传播的主模的弹性波音速相比为高速，也可以由Si以外的材料构成。即使使用高音速基板54，也能够将弹性波的能量禁锢在低音速膜5以及压电膜6。进而，能够省去图2所示的支承基板2。因而，能够减少部件件数以及成本。因此，能够提高生产性。不过，优选像本实施方式这样，在支承基板2上设置有由能够使弹性波能量更加难以泄露的构件构成的高音速膜4。由此，能够更进一步提高Q值。
另外，也可以在高音速膜4与压电膜6之间形成有密接层。当形成密接层时，能够使高音速膜4与压电膜6的密接性提高。密接层只要是树脂、金属即可，例如，可使用环氧树脂、聚酰亚胺树脂。
以下，使用图5以及图6，对弹性波装置1的更具体的结构进行说明。
图6是以简图方式示出本实施方式涉及的弹性波装置的局部俯视图。图5是以简图方式示出本实施方式的弹性波装置的制造工序的中途阶段的状态的局部俯视图。更具体地，图5是以简图方式示出在压电膜上设置了第一导电膜的状态的局部俯视图。另外，图6是省去了保护膜的局部俯视图。
在图5、图6以及后述的图7、图8和图10～图13中，用在矩形中绘制了两条对角线的简图表示串联臂谐振器、并联臂谐振器、IDT电极以及反射器。
如图5所示，在压电膜6上构成了串联臂谐振器S1～S3和S5以及并联臂谐振器P2、P3。虽然在图5中未示出，但是在压电膜6上还构成了图1所示的串联臂谐振器S4以及并联臂谐振器P1、P4。即，在压电膜6上设置有串联臂谐振器S1～S5以及并联臂谐振器P1～P4的各IDT电极以及各反射器。上述各IDT电极以及各反射器是设置在压电膜上的第一导电膜。在本实施方式中，在设置了第一导电膜之后的工序中，在压电膜6上以及第一导电膜的一部分上设置第二导电膜。在图6示出设置有第二导电膜的结构。
如图6所示，在压电膜6上设置有输入端子13、接地端子15以及连接布线17。虽未图示，但是在压电膜6上还设置有输出端子。输入端子13、输出端子、接地端子15以及连接布线17由第二导电膜构成。
连接布线17对串联臂谐振器S1与串联臂谐振器S2进行连接。同样地，连接布线17还对图1所示的串联臂谐振器S1～S5、并联臂谐振器P1～P4、输入端子13以及输出端子14之间分别进行连接。并联臂谐振器P1～P4通过连接布线17与接地端子15连接。接地端子15与接地电位连接。由此，构成图1所示的电路。
连接布线17由第二导电膜构成，且具有未层叠在第一导电膜的部分。如图5所示，在压电膜6上设置了串联臂谐振器S1～S3和S5以及并联臂谐振器P2以及P3的阶段，并未设置图6所示的连接布线17。另外，关于连接布线17，只要具有未层叠在第一导电膜的部分，也可以包含第二导电膜以外的部分。例如，也可以层叠有绝缘膜等。
第二导电膜到达图3所示的串联臂谐振器S1的IDT电极8的第一汇流条8a2、第二汇流条8b2上。同样地，第二导电膜也到达串联臂谐振器S2～S5以及并联臂谐振器P1～P4的IDT电极的各汇流条上。由此，能够减小电阻。另外，第二导电膜也可以不到达各汇流条上。
在压电膜6上设置第一导电膜以及第二导电膜时，例如通过CVD法、溅射法等在压电膜6上形成金属膜。接着，通过光刻法等对金属膜进行图案化。由此，可得到第一导电膜。此时，设置图1所示的串联臂谐振器S1～S5以及并联臂谐振器P1～P4的IDT电极以及反射器。
接着，例如通过光刻法等在压电膜6上以及第一导电膜上形成阻挡图案。接着，通过CVD法、溅射法等在整个面形成金属膜。接着，通过剥离阻挡图案，从而对金属膜进行图案化。由此，可得到第二导电膜。此时，设置输入端子13、输出端子14、接地端子15以及连接布线17。
本实施方式的特征在于，连接布线17由第二导电膜构成。由此，能够使得在通带中难以产生脉动。以下对此进行说明。
图8是以简图方式示出比较例的弹性波装置的局部俯视图。图7是以简图方式示出比较例的弹性波装置的制造工序的中途阶段的状态的局部俯视图。更具体地，图7是以简图方式示出在压电膜上设置了第一导电膜的状态的局部俯视图。
图8所示的比较例的弹性波装置61的连接布线67是层叠为使第一导电膜与第二导电膜相接的层叠体。更具体地，连接布线67具有图7所示的由第一导电膜构成的第一布线部分67a以及图8所示的由第二导电膜构成的第二布线部分67b。比较例的弹性波装置61是在除了上述以外的方面具有与第一实施方式相同的结构的梯型滤波器。
在具有依次层叠有高音速膜、低音速膜以及压电膜的层叠体的弹性波装置中，在作为绝缘体的低音速膜上层叠有压电膜。因此，在压电膜上形成电极的工序中，电荷容易滞留于电极。进而，如图7所示，在比较例中，与串联臂谐振器S1～S3和S5以及并联臂谐振器P2和P3的IDT电极同时还设置有第一布线部分67a。因此，第一导电膜的表面积大。因而，滞留在第一导电膜的电荷的量多。在第一导电膜中，IDT电极的电极指的前端的端面与该端面的对置部中的对置面积特别小。因此，电荷集中在IDT电极的上述对置部。进而，IDT电极的电极指的前端的端面与该端面的对置部的距离短。因此，在比较例中，有时会在IDT电极的上述对置部处产生浪涌击穿。
同时形成的电极的表面积越大，越容易产生浪涌击穿。进而，对置的部分的对置面积的最小值越小，越容易产生IDT电极的浪涌击穿。因而，下述的面积比越大，越容易产生IDT电极的浪涌击穿。
(IDT电极以及与IDT电极同时形成的电极的膜厚×IDT电极以及与IDT电极同时形成的电极的周长)/IDT电极中的最小对置面积
在比较例中，上述的面积比大，因此有时在IDT电极的上述对置部处产生浪涌击穿。由此，有时在弹性波装置61的通带内产生脉动。脉动的产生频率、大小也往往存在偏差。
相对于此，在本实施方式中，图6所示的连接布线17由第二导电膜构成。即，在形成IDT电极时，并未形成连接布线17。由此，能够减小IDT电极以及与IDT电极同时形成的电极的表面积。因而，能够减小上述的面积比。因此，能够使得难以产生IDT电极的浪涌击穿，在通带内难以产生脉动。
在本实施方式中，图3所示的多根第一电极指8a1、第二电极指8b1以及多根第一虚设电极8a3、第二虚设电极8b3各自的前端的端面中的最小的端面面积相当于上述的面积的最小对置面积。另外，在不具有第一虚设电极、第二虚设电极的情况下，多根第一电极指、第二电极指各自的前端的端面中的最小的端面面积相当于上述的面积比的最小对置面积。
图9是示出本发明的第一实施方式以及比较例的弹性波装置的通带中的频率特性的图。实线表示第一实施方式的频率特性，虚线表示比较例的频率特性。
如图9所示，在比较例中，在通带中产生了脉动。另一方面，可知在本实施方式中，在通带内未产生脉动。像这样，可知在本实施方式中，能够使得在通带内难以产生脉动。
在图5、图6中，示出了对串联臂谐振器之间或谐振器与外部端子之间等进行连接的连接布线17为第二导电膜且具有未层叠在第一导电膜的部分的构造。另外，如图15所示，也可以由第二导电膜构成IDT电极78的第一汇流条78a2、第二汇流条78b2。即，第一汇流条78a2由第二导电膜构成，各第一电极指78a1由第一导电膜构成。在各第一电极指78a1的端部重叠有第一汇流条78a2。由此，各第一电极指78a1通过第一汇流条78a2进行连接。同样地，第二汇流条78b2由第二导电膜构成，各第二电极指78b1由第一导电膜构成。在各第二电极指78b1的端部重叠有第二汇流条78b2。各第二电极指78b1通过第二汇流条78b2进行连接。像这样，通过将第一汇流条78a2、第二汇流条78b2形成为具有未层叠在各第一电极指78a1、第二电极指78b1的部分，从而能够减小第一导电膜的面积。因而，可得到与第一实施方式相同的效果。
另外，在图15中，还设置有由第一导电膜构成的第一虚设电极78a3、第二虚设电极78b3。
使用图10以及图11对本发明的第二实施方式进行说明。
图11是以简图方式示出本发明的第二实施方式涉及的弹性波装置的局部俯视图。图10是以简图方式示出第二实施方式的弹性波装置的制造工序的中途阶段的状态的局部俯视图。更具体地，图10是以简图方式示出在压电膜上设置了第一导电膜的状态的局部俯视图。
与第一实施方式的不同点在于，弹性波装置21是纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。在上述以外的方面，第二实施方式具有与第一实施方式相同的结构。
如图10所示，在压电膜6上设置有IDT电极28A～28E、反射器29以及第一接地布线25a。IDT电极28A～28E、反射器29以及第一接地布线25a由设置在压电膜6上的第一导电膜构成。
IDT电极28A～28E配置在IDT电极28A～28E的声表面波传播方向上。IDT电极28A～28E分别具有第一端部28Aa～28Ea以及第二端部28Ab～28Eb。第一端部28Aa～28Ea与第二端部28Ab～28Eb相互对置。反射器29设置在IDT电极28A～28E的声表面波传播方向上的两侧。弹性波装置21是具有IDT电极28A～28E以及反射器29的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。
第一接地布线25a与接地电位电连接。第一接地布线25a具有与反射器29以及IDT电极28A、28C、28E的第二端部28Ab、28Cb、28Eb连接的部分。第一接地布线25a对任意IDT电极之间均不进行连接。
与第一实施方式同样地，在设置了第一导电膜之后的工序中，设置第二导电膜。在图11示出设置有第二导电膜的结构。
如图11所示，在第一接地布线25a上以及压电膜6上设置有由第二导电膜构成的第二接地布线25b。第二接地布线25b与第一接地布线25a连接。第一接地布线25a以及第二接地布线25b具有与接地电位连接的部分。由此，第一接地布线25a、第二接地布线25b与接地电位电连接。
IDT电极28B、28D的第一端部28Ba、28Da与第二接地布线25b连接。另外，与第一实施方式同样地，在本实施方式中，第二导电膜也到达各IDT电极的各汇流条。
在压电膜6上以及第一接地布线25a上层叠有绝缘膜22。在压电膜6上以及绝缘膜22上，设置有由第二导电膜构成的高压(hot)侧的布线24a。高压侧的布线24a与IDT电极28A、28C、28E的第一端部28Aa、28Ca、28Ea连接。高压侧的布线还与IDT电极28B、28D的第二端部28Bb、28Db连接。连接有IDT电极28B以及IDT电极28D的高压侧的布线也是对IDT电极28B与IDT电极28D进行连接的连接布线27。即，连接布线27由第二导电膜构成。
如图11所示，在俯视下，在与第一接地布线25a重叠的位置，隔着绝缘膜22设置有高压侧的布线24a以及连接布线27。换言之，构成了高压侧的布线24a以及连接布线27与第一接地布线25a隔着绝缘膜22进行层叠的立体布线。由此，能够减小设置第一接地布线25a、第二接地布线25b以及高压侧的布线24a和连接布线27所需的面积。因而，能够谋求小型化。
另外，绝缘膜22只要至少设置于在俯视下第一接地布线25a与高压侧的布线24a以及连接布线27重叠的位置即可。
连接布线27由第二导电膜构成，并具有未层叠在第一导电膜的部分。如图10所示，IDT电极28A～28E中的任意的IDT电极之间均不通过第一导电膜进行连接。因而，能够减小第一导电膜的面积。即，能够减小上述的面积比的IDT电极以及与IDT电极同时形成的电极的面积。因此，能够使得难以产生IDT电极的浪涌击穿，在通带内难以产生脉动。
在本实施方式中，如上所述，为了构成立体布线而谋求小型化，设置了第一接地布线25a。另外，也可以不设置第一接地布线25a。由此，能够进一步减小第一导电膜的面积。因而，能够使得更加难以产生IDT电极的浪涌击穿，在通带内更加难以产生脉动。
使用图12以及图13对本发明的第三实施方式进行说明。
图13是以简图方式示出本发明的第三实施方式涉及的弹性波装置的局部俯视图。图12是以简图方式示出第三实施方式的弹性波装置的制造工序的中途阶段的状态的局部俯视图。更具体地，图12是以简图方式示出在压电膜上设置了第一导电膜的状态的局部俯视图。
弹性波装置31在以下方面与第二实施方式不同，即，连接布线37具有由第一导电膜构成的部分，纵向耦合谐振器型弹性波滤波器具有9个IDT电极，以及伴随着具有9个IDT电极的电极构造。除此以外，第三实施方式具有与第二实施方式相同的结构。
如图12所示，在压电膜6上设置有IDT电极38A～38I、反射器39以及第一接地布线35a。IDT电极38A～38I、反射器39以及第一接地布线35a由设置在压电膜6上的第一导电膜构成。
IDT电极38A～38I配置在IDT电极38A～38I的声表面波传播方向上。IDT电极38A～38I分别具有第一端部38Aa～38Ia以及第二端部38Ab～38Ib。第一端部38Aa～38Ia和第二端部38Ab～38Ib相互对置。反射器39设置在IDT电极38A～38I的声表面波传播方向上的两侧。弹性波装置31是具有IDT电极38A～38I以及反射器39的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。
第一接地布线35a与接地电位电连接。第一接地布线35a具有与反射器39以及IDT电极38A、38C、38E、38G、38I的第二端部38Ab、38Cb、38Eb、38Gb、38Ib连接的部分。第一接地布线35a还具有对IDT电极38C、38E、38G进行连接的部分。第一接地布线35a的对IDT电极38C、38E、38G进行连接的部分也是后述的连接布线的第一布线部分37a。
与第二实施方式同样地，在设置了第一导电膜之后的工序中，设置第二导电膜。在图13示出设置有第二导电膜的结构。
如图13所示，在第一接地布线35a上以及压电膜6上设置有由第二导电膜构成的第二接地布线35b。第二接地布线35b与第一接地布线35a连接。第二接地布线35b具有与接地电位连接的部分。由此，第一接地布线35a、第二接地布线35b与接地电位电连接。
IDT电极38B、38D、38F、38H的第一端部38Ba、38Da、38Fa、38Ha与第二接地布线35b连接。另外，与第二实施方式同样地，在本实施方式中，第二导电膜也到达各IDT电极的各汇流条。
在压电膜6上以及第一接地布线35a上层叠有绝缘膜32。在压电膜6上以及绝缘膜32上设置有由第二导电膜构成的高压侧的布线34a、34b。高压侧的布线34a与IDT电极38A、38C、38E、38G、38I的第一端部38Aa、38Ca、38Ea、38Ga、38Ia连接。高压侧的布线34b与IDT电极38B、38D、38F、38H的第二端部38Bb、38Db、38Fb、38Hb连接。
高压侧的布线34b也是对IDT电极38B、38D、38F、38H进行连接的连接布线37。更具体地，在本实施方式中，连接布线37具有由第一导电膜构成的第一布线部分37a以及由第二导电膜构成的第二布线部分37b。连接布线37在第二布线部分37b中具有未层叠在第一导电膜的部分。IDT电极38B、38D、38F、38H通过连接布线37的第二布线部分37b进行连接。如图12所示，IDT电极38C、38E、38G通过第一布线部分37a进行连接。
如图13所示，在第一布线部分37a上层叠有绝缘膜32，在绝缘膜32上层叠有第二布线部分37b。在俯视下，在与未与IDT电极38C、38E、38G直接连接的第一接地布线35a重叠的位置，隔着绝缘膜32设置有高压侧的布线34a。由此，与第二实施方式同样地，能够减小设置第一接地布线35a、第二接地布线35b以及高压侧的布线34a、34b所需的面积。因而，能够谋求小型化。
IDT电极38B、38D、38F、38H通过连接布线37的第二布线部分37b进行连接。如图12所示，并未形成对IDT电极38B、38D、38F、38H进行连接的第一导电膜的部分。像这样，即使连接布线37具有第一布线部分37a，也能够减小第一导电膜的面积。因此，能够使得难以产生IDT电极的浪涌击穿，在通带内难以产生脉动。
图14是本发明的第四实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
本实施方式的弹性波装置40是具有第一带通型滤波器41a和通带与第一带通型滤波器41a不同的第二带通型滤波器41b的双工器。在上述以外的方面，第四实施方式具有与第一实施方式相同的结构。
弹性波装置40具有设置在压电膜上的天线端子44a、输入端子13以及输出端子44b。天线端子44a与天线连接。天线端子44a具有输入端子以及输出端子的功能。从输入端子13输入的信号从天线端子44a输出。从天线端子44a输入的信号从输出端子44b输出。在天线端子44a与接地电位之间，连接有阻抗调整用的电感器L。
第一带通型滤波器41a是梯型滤波器。在输入端子13与天线端子44a之间，相互串联地连接有串联臂谐振器S1～S5。在上述以外的方面，第一带通型滤波器41a是具有与第一实施方式的弹性波装置1相同的结构的梯型滤波器。
第二带通型滤波器41b具有纵向耦合谐振器型弹性波滤波器41b1以及特性调整用的谐振器46a～46d。纵向耦合谐振器型弹性波滤波器41b1具有与第二实施方式的弹性波装置21相同的结构。在天线端子44a与纵向耦合谐振器型弹性波滤波器41b1之间，相互串联地连接有谐振器46a、46b。在谐振器46a与谐振器46b之间的连接点和接地电位之间，连接有谐振器46c。在纵向耦合谐振器型弹性波滤波器41b1的输出端与接地电位之间，连接有谐振器46d。
在本实施方式中，也能够得到与第一实施方式以及第二实施方式相同的效果。另外，第一带通型滤波器、第二带通型滤波器例如可以均为梯型滤波器，也可以均为纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。
附图标记说明
1：弹性波装置；
2：支承基板；
3：接合膜；
4：高音速膜；
5：低音速膜；
6：压电膜；
7：层叠体；
8：IDT电极；
8a1、8b1：第一电极指、第二电极指；
8a2、8b2：第一汇流条、第二汇流条；
8a3、8b3：第一虚设电极、第二虚设电极；
9：反射器；
12：保护膜；
13：输入端子；
14：输出端子；
15：接地端子；
17：连接布线；
21：弹性波装置；
22：绝缘膜；
24a：高压侧的布线；
25a、25b：第一接地布线、第二接地布线；
27：连接布线；
27a、27b：第一连接布线、第二连接布线；
28A～28E：IDT电极；
28Aa～28Ea：第一端部；
28Ab～28Eb：第二端部；
29：反射器；
31：弹性波装置；
32：绝缘膜；
34a、34b：高压侧的布线；
35a、35b：第一接地布线、第二接地布线；
37：连接布线；
37a、37b：第一布线部分、第二布线部分；
38A～38I：IDT电极；
38Aa～38Ia：第一端部；
38Ab～38Ib：第二端部；
39：反射器；
40：弹性波装置；
41a、41b：第一带通型滤波器、第二带通型滤波器；
41b1：纵向耦合谐振器型弹性波滤波器；
44a：天线端子；
44b：输出端子；
46a～46d：谐振器；
54：高音速基板；
61：弹性波装置；
67：连接布线；
67a、67b：第一布线部分、第二布线部分；
78：IDT电极；
78a1、78b1：第一电极指、第二电极指；
78a2、78b2：第一汇流条、第二汇流条；
78a3、78b3：第一虚设电极、第二虚设电极；
L：电感器；
S1～S5：串联臂谐振器；
P1～P4：并联臂谐振器。

Claims (13)

1.一种弹性波装置，具有压电膜，其中，
所述弹性波装置具备：
高音速构件，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速；
所述压电膜，直接或间接地层叠在所述高音速构件上；
第一导电膜，设置在所述压电膜上；以及
第二导电膜，设置在所述压电膜上以及所述第一导电膜的至少一部分上，
在所述压电膜上，设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极，由所述第一导电膜构成所述多个IDT电极的至少所述电极指，
在俯视的情况下，对所述多个IDT电极之间进行连接的连接布线的至少一部分是单层，该单层仅由所述第二导电膜构成。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
在所述高音速构件上直接层叠有所述压电膜。
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
在所述高音速构件与所述压电膜之间形成有密接层。
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置还具备：低音速膜，层叠在所述高音速构件上，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为低速，
所述压电膜隔着所述低音速膜间接地层叠在所述高音速构件上。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述连接布线全部仅由所述第二导电膜构成。
6.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述连接布线具有由所述第一导电膜构成的第一布线部分，所述第一布线部分对所述IDT电极之间进行连接，
所述弹性波装置还具备：绝缘膜，设置在所述第一布线部分上，
所述第二导电膜的一部分设置在所述绝缘膜上。
7.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
由所述第一导电膜构成所述电极指以及所述汇流条。
8.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
由所述第一导电膜构成所述电极指，所述汇流条由所述第二导电膜构成，且所述汇流条与所述电极指的端部重叠。
9.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，
所述高音速构件由高音速膜构成，
所述弹性波装置还具备：支承基板，设置在所述高音速膜的设置有所述低音速膜的面的相反侧的面。
10.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述高音速构件由高音速基板构成。
11.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置是具有串联臂谐振器以及并联臂谐振器的梯型滤波器，
所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器中的至少一方具有所述多个IDT电极。
12.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置是纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。
13.一种弹性波装置，是具有第一带通型滤波器以及通带与所述第一带通型滤波器不同的第二带通型滤波器的双工器，其中，
所述第一带通型滤波器以及所述第二带通型滤波器中的至少一方为权利要求1～12所述的弹性波装置。
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