JPH04321310A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH04321310A JPH04321310A JP597291A JP597291A JPH04321310A JP H04321310 A JPH04321310 A JP H04321310A JP 597291 A JP597291 A JP 597291A JP 597291 A JP597291 A JP 597291A JP H04321310 A JPH04321310 A JP H04321310A
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- JP
- Japan
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- pattern
- electrode
- electrodes
- interdigital
- acoustic wave
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波装置の電極
パターンに関し、特に、ウェハース状態での弾性表面波
装置の電極パターンに関する。
パターンに関し、特に、ウェハース状態での弾性表面波
装置の電極パターンに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、弾性表面波装置は、圧電性基板上
に交叉指状電極、外部リードとの接続の為のボンディン
グパッド等の金属薄膜の電極パターンが形成されており
、この電極パターンを形成するにはリソグラフィ技術を
利用し、複数個分の電極パターンが形成されているフォ
トマスクのパターンを大きな圧電基板上に複数個同時に
転写し、化学処理後、個々の素子に切断分離する方法が
一般的である。
に交叉指状電極、外部リードとの接続の為のボンディン
グパッド等の金属薄膜の電極パターンが形成されており
、この電極パターンを形成するにはリソグラフィ技術を
利用し、複数個分の電極パターンが形成されているフォ
トマスクのパターンを大きな圧電基板上に複数個同時に
転写し、化学処理後、個々の素子に切断分離する方法が
一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の圧電基
板上の複数個の弾性表面波素子は各々分離された状態で
規則正しく複数個配列され、しかも素子内の交叉指状電
極は、互いの電極パターンが分離した構造となっている
ためにパターンを形成する種々の工程にて熱や圧力など
が印加され焦電効果、圧電効果等により圧電素板内に電
荷が蓄積され、電極パターンが陽極、陰極となり、飽和
点に達すると放電による電荷移動を生じ、図４に示す様
に交叉指状電極１４、１６が欠落する（パターン欠落し
た電極１８）という課題があった。
板上の複数個の弾性表面波素子は各々分離された状態で
規則正しく複数個配列され、しかも素子内の交叉指状電
極は、互いの電極パターンが分離した構造となっている
ためにパターンを形成する種々の工程にて熱や圧力など
が印加され焦電効果、圧電効果等により圧電素板内に電
荷が蓄積され、電極パターンが陽極、陰極となり、飽和
点に達すると放電による電荷移動を生じ、図４に示す様
に交叉指状電極１４、１６が欠落する（パターン欠落し
た電極１８）という課題があった。
【０００４】本発明は従来の上記実情に鑑みてなされた
ものであり、従って本発明の目的は、従来の技術に内在
する上記課題を解決することを可能とした新規な弾性表
面波装置を提供することにある。
ものであり、従って本発明の目的は、従来の技術に内在
する上記課題を解決することを可能とした新規な弾性表
面波装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るウェハース状態での弾性表面波装置の
電極パターン構造は、独立した個々の弾性表面波素子の
電極パターンと、これら個々の電極パターン同士を結合
する結合パターンとを備えて構成される。
に、本発明に係るウェハース状態での弾性表面波装置の
電極パターン構造は、独立した個々の弾性表面波素子の
電極パターンと、これら個々の電極パターン同士を結合
する結合パターンとを備えて構成される。
【０００６】この為に、パターン間は全て結合されてい
ることから同電位となり、電極パターン間に電荷が蓄積
されない構造になっている。
ることから同電位となり、電極パターン間に電荷が蓄積
されない構造になっている。
【０００７】
【実施例】次に、本発明をその好ましい一実施例につい
て図面を参照して具体的に説明する。
て図面を参照して具体的に説明する。
【０００８】図１は本発明に係る弾性表面波装置の一実
施例を示すパターン図である。図２は図１に示した交叉
指状電極部１の拡大図である。
施例を示すパターン図である。図２は図１に示した交叉
指状電極部１の拡大図である。
【０００９】図１、図２を参照するに、参照符号１は交
叉指状電極４、５を有する交叉指状電極部（弾性表面波
素子）を示し、この電極部１の構成要素となっている個
々の交叉指状電極４、５の電極パターンは、１本毎に独
立した構造となっており、電極４、５との間でコンデン
サの役割を果たす構造であるのは従来と変わらないがこ
れらの交叉指状電極４、５は図１に示される結合パター
ン２１により端子８を介して外部で結合されている。ま
た個々の各電極部（弾性表面波素子）は結合パターン２
２により結合されている。結合パターン２１と２２は接
続する事が出来、このようにすれば電極４、５のみなら
ず、全ての電極部をウェハース状態で同電位とすること
が可能となる。
叉指状電極４、５を有する交叉指状電極部（弾性表面波
素子）を示し、この電極部１の構成要素となっている個
々の交叉指状電極４、５の電極パターンは、１本毎に独
立した構造となっており、電極４、５との間でコンデン
サの役割を果たす構造であるのは従来と変わらないがこ
れらの交叉指状電極４、５は図１に示される結合パター
ン２１により端子８を介して外部で結合されている。ま
た個々の各電極部（弾性表面波素子）は結合パターン２
２により結合されている。結合パターン２１と２２は接
続する事が出来、このようにすれば電極４、５のみなら
ず、全ての電極部をウェハース状態で同電位とすること
が可能となる。
【００１０】図１に示す結合パターン２１、２２により
、各々の電極４、５は外部で結合されている為に、交叉
指状電極間で電荷を蓄積する事は不可能となる。
、各々の電極４、５は外部で結合されている為に、交叉
指状電極間で電荷を蓄積する事は不可能となる。
【００１１】なお弾性表面波装置としては、交叉指状電
極間が結合されていると機能しなくなるが、本発明の結
合パターンは、個々の弾性表面波素子として切断分離す
る際に分断される為に、素子単品としては、電極４、５
間は分離され、本来の交叉指状電極となる。
極間が結合されていると機能しなくなるが、本発明の結
合パターンは、個々の弾性表面波素子として切断分離す
る際に分断される為に、素子単品としては、電極４、５
間は分離され、本来の交叉指状電極となる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
個々のパターン間を外部で相互結合している為に、交叉
指状電極間に電荷が蓄積されて図３に示すようなパター
ンが欠落するような課題を未然に防止できる効果が得ら
れる。
個々のパターン間を外部で相互結合している為に、交叉
指状電極間に電荷が蓄積されて図３に示すようなパター
ンが欠落するような課題を未然に防止できる効果が得ら
れる。
【図１】本発明の一実施例を示し、圧電基板上に設けら
れた複数個の弾性表面波装置の配列状態を示す図である
。
れた複数個の弾性表面波装置の配列状態を示す図である
。
【図２】図１に示された交叉指状電極部１の拡大図であ
る。
る。
【図３】従来における弾性表面波装置の配列状態を示す
図である。
図である。
【図４】パターンが欠落した交叉指状電極を示す図３に
おける交叉指状電極部１１の拡大図である。
おける交叉指状電極部１１の拡大図である。
１、１１…交叉指状電極部
２１、２２…結合パターン
３、１３…圧電基板
４、７、１４〜１７…交叉指状電極
８…端子
１８…パターン欠落した電極
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェハース状態での交叉指状電極が外
部パターンにて相互接続されていることを特徴とする弾
性表面波装置。 - 【請求項２】 前記交叉指状電極は第１〜第ｎ（ｎは
正の整数）の交叉指状電極で形成され、該第１〜第ｎの
交叉指状電極は第１の外部パターンにより接続されてい
ることを更に特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP597291A JPH04321310A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP597291A JPH04321310A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04321310A true JPH04321310A (ja) | 1992-11-11 |
Family
ID=11625772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP597291A Pending JPH04321310A (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04321310A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS598420A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Citizen Watch Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
| JPS6120409A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | 表面弾性波素子の製造方法 |
| JPS61257008A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-14 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置の製造方法 |
| JPS645112A (en) * | 1987-06-29 | 1989-01-10 | Hitachi Electronics | Manufacture of surface acoustic wave device |
-
1991
- 1991-01-22 JP JP597291A patent/JPH04321310A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS598420A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Citizen Watch Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
| JPS6120409A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | 表面弾性波素子の製造方法 |
| JPS61257008A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-14 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置の製造方法 |
| JPS645112A (en) * | 1987-06-29 | 1989-01-10 | Hitachi Electronics | Manufacture of surface acoustic wave device |
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