JPS61277215A - 表面波フイルタチツプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、テレビ、ビデオ等映像機器のＶＩＰ回路に使
用される表面波フィルタチップに関するものである。

（従来の技術） 従来、ガラス基板の上に、くし形電極、酸化亜鉛、対向
電極を順次形成したサンドイッチ構造の表面波フィルタ
は、その構造上、ＩＣ，ＬＳＩなどと同様に異常高電圧
に対して敏感であり、インピーダンスの大幅な変化によ
シ、使用される回路とのマツチングに支障を生じること
もあった。そのため静電気等異常高電圧に強い表面波フ
ィルタチップの開発が大きな課題であった。

従来のこのタイプの表面波フィルタチップは第８図に示
したように構成されている。第８図において、１は出力
側くし形電極、２は入力側くし形電極、３は出力側ノ母
ツド電極、４は入力側パッド電極、５はガラス基板、６
は酸化亜鉛、８は対向電極、１０はワイヤー、１１はア
ルミナ基板、１２は印刷電極である。

このように構成された従来例は、まず、ガラス基板５の
一主面上にアルミニウムを蒸着し、フォトリソグラフィ
ーの手法で出力側くし形電極１、入力側くし形電極２、
出力側パッド電極３、入力側ノ４ツド電極４をそれぞれ
形成する。次に、それらの上に酸化亜鉛をス・ぐツタリ
ングして酸化亜鉛６の多結晶膜を形成し、さらに、その
上にアルミニウムを蒸着する。次いでフォトリソグラフ
ィーの手法で対向電極８を形成し、最後に、酸化亜鉛６
の膜のうちパッド電極３，４の上の部分のみをフォトリ
ソグラフィーの手法で除去する。

このようにして形成された表面波フィルタチップを、ア
ルミナ基板ｌｌ上に接着剤１３で貼シつけ、印刷電極１
２とパッド電極３，４とをアルミニウム又は金のワイヤ
ー１０でボンディング接続した後、表面波フィルタチッ
プを覆うようにキャップをかぶせてディバイスとして完
成する。

第９図は、フィルタディバイスの等価回路を示しておシ
、破線で囲まれた部分が表面波フィルタチップ、■、Ｏ
が入力側端子、■、■が出力側端子に相当する。

次忙、上記表面波フィルタチップの動作を説明する。ま
ず第９図の入力端子■、■に電気信号が印加されると第
８因の印刷電極１２、ワイヤー１０を通シ、入力側パッ
ド電極４から入力側くし形電極２に達する。そこで圧電
体である酸化亜鉛６に機械振動が発生し、その振動が酸
化亜鉛６の表面を伝播して出力側くし形電極１に至る。

出力側くし形電極１では５機械振動が電気信号に変換さ
九出力側・セット電極３を経て印刷電極１２を通シ、第
９図の出力端子■、■から出力信号として取出される。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような従来の構成では、くし形電極
と対向電極との間にある酸化亜鉛の膜厚が２〜４μｍと
薄いため、静電気等の異常高電圧が印加された場合、く
し形電極と対向電極との間に電子の移動が生じ、酸化亜
鉛の抵抗値が変化して入出力のインピーダンスが変化す
るという問題を有していた。

本発明は、このような問題点を解決しようとするもので
、静電気等の異常高電圧に対して強い表面波フィルタチ
ップを提供することを目的としている。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、上記問題点を解決するために、ガラス基板の
一主面上にアルミニウム等の金属でくし形電極及びパッ
ド電極を設け、前記くし形電極の上に酸化亜鉛の膜を形
成し、さらに、酸化亜鉛とＡ’ラッド極の上にＳｉＯ２
膜を形成して、その上にそれぞれ対向電極及びパッド対
向電極を形成するようにしたものである。

（作用） 上記構成によれば、くし形電極と対向電極の間Ｋ、圧電
体である酸化亜鉛膜と絶縁体であるＳ　ｉ　Ｏ２膜が形
成されているので電子の移動は無くなシ、さらにノぐツ
ド電極とノ母ツド対向電極の間にも５ＩＯ２膜を形成す
ることでｉ４ッド電極には直接直流電圧が印加されなく
なシ、静電気等の異常高電圧に強い表面波フィルタチッ
プとなる。

（実施例） 以下、口面に基づいて実施例を詳細に説明する。

第１図ないし第６図は、本発明の一実施例を製造プロセ
スに従って示したものである。まず第１図において、ガ
ラス基板５の一主面上にアルミニウムを蒸着し、フォト
リソグラフィーによシ出力側くし形電極１、入力側くし
形電極２、出力側ｉＪ？ツド電極３、入力側パッド電極
４をそれぞれ形成する。次に第２図に示したように、ガ
ラス基板５の各電極を形成した面にス／４’ツタリング
によシ酸化亜鉛６の膜を形成する。この酸化亜鉛６の膜
は、第３図に示したように、出力側パッド電極３及び入
力側パッド電極４の部分が露出するようにフォトリソグ
ラフィーの手法により部分的に除去される。次いで、第
４図に示したように、ガラス基板５の酸化亜鉛６を形成
した面の全面に、スパッタリングにより５ｉ０２７の膜
を形成する。従ってくし形電極１．２の上には酸化亜鉛
６の膜とＳ＞０２７の膜が積層され、パッド電極３，４
の上にはＳｉＯ□７の膜が積層されることになる。さら
に、第５図に示したように、ＳｉＯ□７の膜上に、くし
形電極１゜２及びパッド電極３，４にそれぞれ対向する
ように、対向電極８と・母ツド対向電極９を、アルミニ
ウムの蒸着、フォトリソグラフィーによシ形成する。

このようにして形成された表面波フィルタチツプを、第
６図に示したようにアルミナ基板１１上に接着剤１３で
貼りつけ、入出カッＪ？ツド対向電極９とアルミナ基板
１１の印刷電極１２とを、アールミニラム又は金のワイ
ヤー１０（約３０μｍ径〕でボンディング接続する。最
後に、表面波フィルタチップとワイヤーを保護するよう
に図示しないキャッジをかぶせて表面波フィルタとして
完成させるＯ 表面波フィルタの等価回路は、第７図のようになシ、Ｃ
Ｉ　　＋　０２は、・ぐラド対向電極９と入力側パッド
電極４の間の容量、０３ａＣ４は、・やラド対向電極９
と出力側パッド電極３の間の容量であるＯ 次に本実施例の動作を説明する。まず、第７図の入力端
子０，０間に、入力信号が加わると第６図の印刷電極１
２、ワイヤー１０を通じてパッド対向電極９に達するが
、ここで仮に直流の異常高電圧が加わってもＳｉＯ□７
の膜があるため、ノ＜？ラド電極４には印加されず、容
量ＣＩ＋０２を介して交流の入力信号のみがノ４ツド電
極４に加わる。ノＪ？ッド電極４を経てくし形電極２に
達した電気信号は、圧電体である酸化亜鉛６によって機
械振動に変換され、その振動は圧電体の表面、つまフ酸
化亜鉛６の表面をくし形電極１の方に向って伝播し、く
し形電極１に達した振動はそこで電気信号に変換される
。電気信号は・ぐラド電極３を経た後、容量Ｃ３ｒ　０
４　を介し、・ヤツド対向電極９から印刷電極１２を経
て第７図の出力端子■、■へ導かれる。

このとき、対向電極８は、機械振動と電気信号とのそれ
ぞれの変換効率をあげるために是非とも必要なもので、
酸化亜鉛の膜厚が一定であれば、対向電極の有無で４０
ｄＢ以上のレベル差がある。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、くし形電極と対
向電極との間に、酸化亜鉛とは別にＳｉＯ□膜が存在す
るため、仮に高電圧の直流・交流の信号が加わっても、
　ＳｉＯ□膜によって電子の移動が阻止され、くし形電
極と対向電極間のインピーダンス変化はおこらない。ま
た、パッド電極と・ぐラド対向電極の間に容量を形成す
ることによシ直流がカントされることになり、直流の高
電圧に対してさらに強くなるなど高い耐圧効果が得られ
るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は、本発明の一実施例の表面波フィ
ルタチップの構成を製造プロ七スに従って示した図、第
６図は同表面波フィルタチップをアルミナ基板に装着し
た状態を示す図、第７因は、第６図の表面波フィルタの
等価回路口、第８図は。 従来の表面波フィルタの構成を示す図、第９図は、同表
面波フィルタの等価回路図である。 ｌ・・・出力側くし形電極、２・・・入力側くし形電極
、３・・・出力側・母ツド電極、４・・・入力側・ぐラ
ドＩｔｆＪ、５・・・ガラス基板、６・・・酸化亜鉛、
７・・・Ｓ　ｉ０２．８・・・対向電極、９・・・パッ
ド対向電極、ｌＯ・・・ワイヤー。 １１・・、アルミナ基板、１２・・・印刷電極。 第１図 （ａ） 第２図 Ｃ 第３図 第４図 （ａ） Ｇ−Ｇｗｒ面 第６図 （ａ） （ｂ） Ｈ−ＨＷｒｆｆ］ 第７図 第９図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　絶縁基板の一主面上に形成された金属膜からなるくし
   形電極及びパッド電極と、前記くし形電極上に形成され
   た酸化亜鉛膜と、該酸化亜鉛膜上及び前記パッド電極上
   に形成されたＳｉＯ＿２膜と、該ＳｉＯ＿２膜上に、前
   記くし形電極及びパッド電極にそれぞれ対向して形成さ
   れた金属膜からなる対向電極及びパッド対向電極とから
   構成されたことを特徴とする表面波フィルタチップ。