JPS598964B2 - 弾性表面波装置の製造方法 - Google Patents
弾性表面波装置の製造方法Info
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- JPS598964B2 JPS598964B2 JP15256975A JP15256975A JPS598964B2 JP S598964 B2 JPS598964 B2 JP S598964B2 JP 15256975 A JP15256975 A JP 15256975A JP 15256975 A JP15256975 A JP 15256975A JP S598964 B2 JPS598964 B2 JP S598964B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02889—Means for compensation or elimination of undesirable effects of influence of mass loading
Landscapes
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性表面波装置の製造方法に関し、高周波特性
の向上を図ったものである。
の向上を図ったものである。
まず、従来からよく知られている弾性表面波装置につい
て説明すると、まず第１図は圧電性基板１上に櫛型電極
２が設けられたものであり、また第２図は圧電性薄膜３
を用いた代表的な例で、４は基板５上に設けられた櫛型
電極であり、６は圧電性薄膜３上に設けられた短絡電極
を示す。
て説明すると、まず第１図は圧電性基板１上に櫛型電極
２が設けられたものであり、また第２図は圧電性薄膜３
を用いた代表的な例で、４は基板５上に設けられた櫛型
電極であり、６は圧電性薄膜３上に設けられた短絡電極
を示す。
このような従来の装置において、表面波の波長をλ、櫛
型電極２，４の厚みをｔとすると、その動作周波数ｆが
高くなるにつれてλは小さくなり、厚みｔは電気的な特
性及び取出しリードの配線など機械的な制約により８０
０人以下にすることが実用上困難であるため、ｔ／λの
比が増大することになる。
型電極２，４の厚みをｔとすると、その動作周波数ｆが
高くなるにつれてλは小さくなり、厚みｔは電気的な特
性及び取出しリードの配線など機械的な制約により８０
０人以下にすることが実用上困難であるため、ｔ／λの
比が増大することになる。
具体的に示すと、例えば圧電性単結晶ＬｔＮｂＯｓを用
いて第１図のような電極構成を有するλ＝１０μｍ．ｔ
＝１０００人，１／λ＝０．０１なる弾性表面波フィル
タを構成し、これを中心周波数３ ５ ０ ＭＨｚで動
作させたところ、通過帯域特性が大きく歪むことを見い
出した。
いて第１図のような電極構成を有するλ＝１０μｍ．ｔ
＝１０００人，１／λ＝０．０１なる弾性表面波フィル
タを構成し、これを中心周波数３ ５ ０ ＭＨｚで動
作させたところ、通過帯域特性が大きく歪むことを見い
出した。
これは表面に設けられた櫛型電極が表面波の１／２波長
の周期をもつ機械的負荷となり、機械的不連続性により
表面波エネルギーを反射、散乱あるいは振動モード変換
が現われるためであることがわかった。
の周期をもつ機械的負荷となり、機械的不連続性により
表面波エネルギーを反射、散乱あるいは振動モード変換
が現われるためであることがわかった。
一方、圧電性薄膜として例えば酸化亜鉛
（ＺｎＯ）を用いて第２図に示す構成で装置を作り、高
周波で動作させたところ、ほぼ上記第１図に示す構成の
ものと同様の結果が得られた。
周波で動作させたところ、ほぼ上記第１図に示す構成の
ものと同様の結果が得られた。
またこの場合は表面に電極の厚さと同じ程度の凹凸が形
成されることが確認された。
成されることが確認された。
このように従来の装置においては動作周波数が高くなる
につれ、櫛型電極が周期的な機械的負荷となり、フィル
タの通過帯域特性を大きく歪ませるという欠点があった
。
につれ、櫛型電極が周期的な機械的負荷となり、フィル
タの通過帯域特性を大きく歪ませるという欠点があった
。
本発明はこのような従来の装置の有する欠点を除去でき
る弾性表面波装置の製造方法を提供するものである。
る弾性表面波装置の製造方法を提供するものである。
以下その実施例について第３図〜第５図を用いて説明し
よう。
よう。
まず、第３図において、７は圧電性基板、８はその圧電
性基板７上に設けられた櫛型電極、９はその櫛型電極８
間の全面に形成されたその櫛型電極８と同一物を主成分
とする電気的絶縁物である。
性基板７上に設けられた櫛型電極、９はその櫛型電極８
間の全面に形成されたその櫛型電極８と同一物を主成分
とする電気的絶縁物である。
つぎに、この装置の製法につき第４図を用いて説明する
と、圧電性基板７としてＬｉＮｂ０３を用い、その上面
に電極材料１０としてｉを真空蒸着により１０００人蒸
着する。
と、圧電性基板７としてＬｉＮｂ０３を用い、その上面
に電極材料１０としてｉを真空蒸着により１０００人蒸
着する。
そしてさらにその上にホトレジスト１１をよく知られた
ホトエッチにより櫛型電極状に設ける。
ホトエッチにより櫛型電極状に設ける。
これを電解液中において陽極酸化し、櫛型電極以外の不
要部分を酸化物（Ａｌ２０３）として電気的絶縁物を形
成し、その後ホトレジスト１１を除去する。
要部分を酸化物（Ａｌ２０３）として電気的絶縁物を形
成し、その後ホトレジスト１１を除去する。
このように構成した装置を表面波フィルタとしてその特
性を測定したところ、所望の通過帯域特性が得られ、櫛
型電極８による不連続な機械的負荷に起因する通過帯域
特性の歪みが大幅に低減した。
性を測定したところ、所望の通過帯域特性が得られ、櫛
型電極８による不連続な機械的負荷に起因する通過帯域
特性の歪みが大幅に低減した。
これは従来の電極が一定間隔をもって形成されていたも
のに対して、その電極間に該電極と同一材料を構成成分
とする電気的絶縁物を形成したことにより機械的な負荷
が部分的に発生しなくなったことによるものであろう。
のに対して、その電極間に該電極と同一材料を構成成分
とする電気的絶縁物を形成したことにより機械的な負荷
が部分的に発生しなくなったことによるものであろう。
第５図は圧電性薄膜を用いた他の実施例であり、上記に
示したー実施例と同一構成部分には同一番号が附してあ
り、櫛型電極８と電気的絶縁物９は先の実施例と同じ方
法で製造した。
示したー実施例と同一構成部分には同一番号が附してあ
り、櫛型電極８と電気的絶縁物９は先の実施例と同じ方
法で製造した。
１２は櫛型電極８および電気的絶縁物９の上にさらに設
けた酸化亜鉛（ＺｎＯ）等の圧電性薄膜であり、１３は
さらにその上に設けた短絡電極である。
けた酸化亜鉛（ＺｎＯ）等の圧電性薄膜であり、１３は
さらにその上に設けた短絡電極である。
この実施例のものも従来のこの種装置で見られた凹凸は
なくなり、特性が大幅に改善された。
なくなり、特性が大幅に改善された。
なお、上記実施例では基板は圧電性のものにつき述べた
が、これは非圧電性の基板を用いて構成されたものでも
同様である。
が、これは非圧電性の基板を用いて構成されたものでも
同様である。
本発明の方法によって製造された装置は以上のように簡
単な構成で弾性表面波の通過帯域特性、特に高周波特性
を著しく改善することができるものであり、また、平滑
な表面状態は表面波の伝播損失も大きく軽減され、さら
に櫛型電極が絶縁物と一体化しているため、電極の基板
に対する付着力も増大し、その産業性は犬である。
単な構成で弾性表面波の通過帯域特性、特に高周波特性
を著しく改善することができるものであり、また、平滑
な表面状態は表面波の伝播損失も大きく軽減され、さら
に櫛型電極が絶縁物と一体化しているため、電極の基板
に対する付着力も増大し、その産業性は犬である。
第１図、第２図はそれぞれ従来装置の要部断面図、第３
図は本発明の方法によって製造された装置の一実施例を
示す要部断面図、第４図は同製造過程を示す断面図、第
５図は他の実施例の要部断面図である。 ７・・・・・・圧電性基板、８・・・・・・櫛型電極、
９・・・・・・電気的絶縁物。
図は本発明の方法によって製造された装置の一実施例を
示す要部断面図、第４図は同製造過程を示す断面図、第
５図は他の実施例の要部断面図である。 ７・・・・・・圧電性基板、８・・・・・・櫛型電極、
９・・・・・・電気的絶縁物。
Claims (1)
- １ 基板上にアルミニウムを主成分とする導電性材料か
らなる薄膜を形成する工程と前記導電性材料からなる薄
膜のうち櫛型電極として不必要な部分を、酸化して酸化
アルミニウムにする工程とにより弾性表面波用櫛型電極
を形成することを特徴とする弾性表面波装置の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15256975A JPS598964B2 (ja) | 1975-12-19 | 1975-12-19 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15256975A JPS598964B2 (ja) | 1975-12-19 | 1975-12-19 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5275247A JPS5275247A (en) | 1977-06-24 |
| JPS598964B2 true JPS598964B2 (ja) | 1984-02-28 |
Family
ID=15543333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15256975A Expired JPS598964B2 (ja) | 1975-12-19 | 1975-12-19 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS598964B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5387651A (en) * | 1977-01-12 | 1978-08-02 | Toko Inc | Elastic surface wave device |
| JPS53124949A (en) * | 1977-04-07 | 1978-10-31 | Toko Inc | Elastic surface wave device |
| JPS5477048A (en) * | 1977-12-02 | 1979-06-20 | Hitachi Ltd | Manufacture of elastic surface wave device |
-
1975
- 1975-12-19 JP JP15256975A patent/JPS598964B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5275247A (en) | 1977-06-24 |
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